【課題】医療診断分野において、少ない被曝量で、しかも軟組織で、小さな異常組織等も確実に検出できるＸ線検査装置およびＸ線検査方法を提供する。
【解決手段】この発明は、被写体にファンビーム状のＸ線を入射させ、被写体を透過してＸ線検出器１３に入射する透過Ｘ線像をＸ線検出器１３で検出し、画像処理して屈折Ｘ線画像として再構成することで、透過Ｘ線像によるＸ線撮影では、差異が検出されにくい軟組織の異常や被写体内のボイドを画像出力として得ることができる。 （もっと読む）

【課題】非破壊で試料内部の情報を高解像度で取得し良／不良の判断を行うことができ、検査時間を短縮する装置の提供。
【解決手段】電子線またはＸ線を試料（１０３）に照射し、試料からの蛍光Ｘ線をゾーンプレート（１１０）を用いて集め検出器（１０５）で検出し、検出器（１０５）からの電気信号をＡ／Ｄコンバータ（１０６）でデジタル信号に変換し、不良判断部（１０７）で良／不良を判断し、不良の場合、画像処理部（１０７）で画像処理し、画像表示部（１０９）に表示する。 （もっと読む）

【課題】
通常の単一エネルギーのみを使用するパルス中性子非弾性散乱測定では、使用したいエネルギーのパルス時間幅とチョッパーの開口時間幅をほぼ等しくなるように調節することで最適な実験条件を実現させてきたが、複数の入射エネルギーを使用するＲＲＭ法においては、チョッパーの開口時間幅が常に一定になってしまうため、パルス中性子の有する複数の入射エネルギーで同時に最適な実験条件を実現させることができなかった。
【解決手段】
スリットパッケージを構成する中性子吸収材の両面に中性子スーパーミラーを貼付することにより、透過できなかった中性子ビームをミラーによる反射で透過させ、実効的なチョッパー開口時間幅の中性子エネルギー依存性を、中性子源におけるパルス時間幅の中性子エネルギー依存性に、広いエネルギー範囲に亘って近付けようとするものである。 （もっと読む）

【課題】簡素かつ安価な構成で散乱イオン分析を精度良く行う。
【解決手段】真空容器１５内の試料にイオンビーム１３を照射して散乱イオンの分析を行う装置であって、磁場の形成に永久磁石２８Ａ，２８Ｂが用いられる。両永久磁石２８Ａ，２８Ｂは、試料ステージ３２及び散乱イオン測定装置３４，３６を挟んでイオンビーム１３の照射軸と平行な方向に相対向するように配置される。さらに、各永久磁石２８Ａ，２８Ｂの内側には、磁場の強さを均一化するための強磁性体３０Ａ，３０Ｂが設けられる。 （もっと読む）

【課題】ｘ線光電子分光の帯電現象の解析により評価対象の材料中の電荷欠陥を定量的な計測を可能とする。
【解決手段】１ 試料にあたっているｘ線の照射面積を可変とするため複数の異なった孔径を有する稼動しぼりを試料の前面に設ける。 ２ 試料に当たっているｘ線の強度分布が均一であるように上記１の稼動絞りを用いて計測する手法。 ３ ｘ線の試料への照射開始、終了は、定常状態のｘ線源から放射されているｘ線を、ｘ線源と試料の間に設けた高速シャッターで行う。 （もっと読む）

【課題】 膜に保持された試料の試料交換を迅速に行うことができるとともに、分解能の低下を防ぐことができ、また真空室内の汚染を防止することができる試料検査装置及び試料検査方法並びに試料検査システムを提供する。
【解決手段】 試料検査装置は、第１の面３２ａに試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され、膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、一次線７の照射により試料２０から発生する二次的信号を検出する信号検出手段４と、真空室１１内において、３２膜と一次線照射手段１との間の空間を仕切るための開閉バルブ１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線によって物品を検査するＸ線検査装置において、Ｘ線源から発生するＸ線の外部漏洩を防止しながら、装置内部を効率的に冷却することができる手段を提供する。
【解決手段】 Ｘ線を発生するＸ線源（２）と、Ｘ線源（２）を取り囲んで密封する装置壁（４１）と、を備え、装置壁（４１）の内側に、内部熱伝導体（４３）が設けられており、装置壁（４１）の外側に、内部熱伝導体（４３）から装置壁（４１）を介して伝導される熱を放熱する外部熱伝導体（４４）が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面から散乱したＸ線の検出に基づいて、試料の表面上における周期構造の寸法を測定するための、改善された方法および装置を提供する。
【解決手段】試料をＸ線解析する方法は、試料の表面上の周期構造の領域に衝突するようにＸ線ビームを方向付け、方位角の関数として散乱Ｘ線の回折スペクトルを検出するように反射モードで表面から散乱したＸ線を受け取ることを含む。回折スペクトルは、構造の寸法を決定するために解析される。
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【課題】 引張強度が４００Ｍｐａ以上の高強度フェライト鋼板について、その加工硬化特性を正確に評価可能な方法を提供する。
【解決手段】 成形されたフェライト鋼板の塑性変形を受けた部位において、同一方向性を有する転位セルが並んだ転位セル構造からなるフェライト結晶粒の存在割合を測定した後、該フェライト結晶粒の存在割合に基づいて、前記フェライト鋼板の加工硬化特性を評価することを特徴とするフェライト鋼板の加工硬化特性の評価方法。 （もっと読む）

【課題】集光素子上の金属薄膜は、帯電を防ぐ大きな効果をもたらすが、逆にこの金属薄膜による軟Ｘ線の吸収が行われ、信号強度の大きな減衰を招き、結果として検出感度の大幅な劣化となる。
【解決手段】試料と集光素子の間に接地電位の金属グリッドを置くことにより集光素子上での帯電による電界を遮蔽し、照射電子線の位置変動を抑える。又、集光素子上の金属薄膜の蒸着を止めることにより、軟Ｘ線の金属薄膜による吸収を無くし、検出感度の向上を行う。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの膜の特性をインラインで測定して、定期的なモニタリング作業を不要にした半導体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上に複数の膜を積層して成膜する。この基板１上に形成され上記基板１上の特定エリアを示すパターンを認識し、この特定エリアのみの上記複数の膜に、Ｘ線をマイクロ化されたスポット径で照射して、Ｘ線反射率測定によって、上記各膜の特性を測定する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線によって高い空間分解能で被検体の表面形状を検査できるようにする。
【解決手段】Ｘ線検査装置に、真空容器５に収められたリング状の電子エミッタ６およびリング状のＸ線ターゲット７を備える。リング状のＸ線ターゲット７から放出されたＸ線は、すべて所定のＸ線照射領域１１に向かう。このＸ線は、被検体に照射され、被検体から放たれる散乱または蛍光Ｘ線１２は、反射Ｘ線コリメータ２を通って、Ｘ線二次検出器３によって検出される。リング状のＸ線ターゲット７から放出されるＸ線９は、すべて所定のＸ線照射領域１１に向かうため、Ｘ線ターゲット７の熱衝撃を大きくすることなく、Ｘ線強度を増加させ、検査精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】外観撮影手段を用いなくとも物品やその検査条件を視覚的に把握可能な画像を用いて、品種選択作業を容易化したり検査中の品種の照合・判定を容易化したりし得る低コストのＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】物品Ｗを透過したＸ線を検出するＸ線検出手段１０と、その情報に基づき物品Ｗの品質状態に対応するＸ線画像を生成する画像生成手段２１と、品種ごとの物品情報とＸ線検出手段１０及び画像生成手段２１の動作条件とを設定する設定手段２２と、その設定情報を記憶する設定情報記憶手段２３とを備え、Ｘ線画像に基づき物品Ｗの品質状態を検査する装置で、設定情報記憶手段２３は、設定手段２２により品種ごとにＸ線検出手段１０及び画像生成手段２１の動作条件が設定されるときのＸ線画像を品種ごとの情報に関連付けた設定時Ｘ線画像として記憶する。 （もっと読む）

【課題】 試料を傾斜しても所定の光電子分光測定が出来る様にする。
【解決手段】試料ステージコントロールユニット３１，レンズステージコントロールユニット３２，視野制限絞りコントロールユニット３３，角度制限絞りコントロールユニット３４及び電源ユニット２０を連動して作動させる制御装置２１と、試料ステージ５の傾斜角度に対して結像レンズ９が試料ステージ５に干渉しない位置、結像レンズ９の位置に対する視野制限絞り１６の開口径，角度制限絞り１７の開口径，及び、静電レンズ１５への印加電圧と結像レンズ９への供給電流が記憶されるメモリ３５とを設け、試料ステージ５の傾斜角度に応じた結像レンズ９の位置、及び、結像レンズ９の位置に対して所定の分析が行える視野制限絞り１６の開口径，角度制限絞り１７の開口径，静電レンズ１５への印加電圧及び結像レンズ９への供給電流値をメモリ３５から呼び出し、各ユニットを連動して作動させる。 （もっと読む）

【課題】 カメラ長を短くし、もって、多くのラウエ斑点を観察することが可能であり、かつ、その分解能にも優れた背面反射Ｘ線回折像観察装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管１０からのＸ線を試料４０に投射して得られる反射Ｘ線回折像を、Ｘ線回折像を可視光像に変換する蛍光板を備えた暗箱２０を介してCCD素子３１に導いて背面反射Ｘ線回折像を観察する背面反射Ｘ線回折像観察装置は、暗箱の一面にコリメータ１５を垂直に取り付け、それに対向する面には透過型の蛍光板を設け、更に、その内部には、透過型蛍光板上に形成された可視光像を暗箱のその他の面に取り付けたCCD素子に導くための鏡面を配置しており、コリメータは第１のピンホールＰ１と第２のピンホールＰ２を備えると共に、蛍光板上に設けられた第３のピンホールＰ３（２７）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】頻繁に試料を回転させることなく、また正確な試料の面合わせを必要とせず、高精度に結晶材料の構造あるいはひずみを測定できるイオン分光分析装置を提供する。
【解決手段】散乱角１８０°（観察角０°）を取り囲む方向と散乱角１３５°（観察角４５°）を取り囲む方向に二次元位置敏感・時間分析型検出器１４，１５を配置する。 （もっと読む）

【課題】結晶相のみの試料であっても標準試料を要することなく非点収差の補正が可能な、透過型電子顕微鏡の試料ホルダーを提供する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡の観察位置に試料を位置させるための試料ホルダー（３０）は、内部に段差（１３）を有する第１の開口（１２）が形成された試料ホルダー本体（１０）と、前記段差（１３）によってその周縁の一部が支持されることにより前記第１の開口（１２）内に回転可能に収納されかつ中心部に前記試料（７）を保持するための第２の開口（１５）を有する試料保持部材（１１）と、前記第２の開口（１５）を少なくとも一部を残して被覆する非晶質材料膜を備えたカバー部材（２０）とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】ソーラスリットを設けるための空間を節約することができ、この空間の節約によりＸ線強度を上げることができるＸ線供給装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源から発生したＸ線Ｒをソーラスリット１８の後方へ供給するＸ線供給装置である。ソーラスリット１８は、スペーサ２８によって互いに間隔をおいて積層された複数の金属箔２７を有し、スペーサ２８はＸ線進行経路の片側において金属箔２７の一端部を支持し、Ｘ線源からのＸ線Ｒはスペーサ２８によって支持された金属箔２７の一端部に隣接する端部から入射し、その端部の反対側の端部から出射し、複数の金属箔２７のうちスペーサ２８によって支持された一端部と反対側の端部は開放端である。Ｘ線Ｒの進行経路に対して直角の方向に沿って金属箔２７の開放端に対向してモノクロメータ又は試料が設けられる。 （もっと読む）

【課題】特定の散乱イオンのみを通過させる散乱イオンの弁別性能を確保しつつ、測定室内において圧力差を生じさせないイオン弁別手段（アパーチャ）を具備する平行磁場型ラザフォード後方散乱イオン測定装置を提供すること。
【解決手段】特定の散乱イオンを通過させるイオン通過用開口部Ｚａの周りに形成された散乱イオンの遮断部Ｚｂに、イオンビームＨの軸を中心とする放射線に沿って伸びる複数のスリットＺｃが設けられ、このスリットＺｃは、板状の遮断部ＺｂにイオンビームＨの軸方向に対して斜め方向Ｒ１に測定室２０内の試料側２０ａとイオン検出器側２０ｂとを連通させるよう形成されており、イオンビームＨの軸方向から見て相互に重なり合う部分５１、５２を有することにより、イオンビームＨの軸方向から見て隙間が形成されない状態となってアパーチャＺ１が構成されている。 （もっと読む）

【課題】被検査物の寸法を測定して被検査物がある程度決まった寸法のものか否かを検査する。
【解決手段】幅算出手段１９ａは、Ｘ線検出器１０の素子間の距離に対し、Ｘ線発生器９から被検査物Ｗの表面までの距離Ｙ１とＸ線発生器９からＸ線検出器１０までの距離Ｙ２との比率を乗じた値を濃度データに対する搬送幅方向Ｙの単位寸法とし、この搬送幅方向Ｙの単位寸法を基に被検査物Ｗの搬送幅方向Ｙの各種幅寸法を算出する。長さ算出手段１９ｂは、搬送速度を繰り返し速度で除算した値を濃度データに対する搬送方向Ｘの単位寸法とし、この搬送方向Ｘの単位寸法を基に被検査物Ｗの内容物の搬送方向Ｘの各種長さ寸法を算出する。この算出による得られる被検査物Ｗの外形寸法が設定入力手段１５から設定された外形寸法の許容範囲外のときに被検査物Ｗを寸法不良と判別する。 （もっと読む）