【課題】簡易な構造で、微小異物の検出を確実に行うことができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明に係るＸ線検査装置１００は、物品６００にＸ線Ｓ１を照射し、シンチレータ３００による光変換をフォトダイオードアレイ（ＰＤＡと略記する）４００で検出することにより、物品６００内の微小異物６１０を検出することができ、シンチレータ３００のＸ線照射側にスリット部材５００を設ける。ここで、スリット部材５００のスリット幅は、シンチレータ３００の幅より小さく、フォトダイオードアレイ４００の受光幅の１／２以上の大きさで設けられる。 （もっと読む）

【課題】 電子線を使う半導体検査装置のスループットを向上する。
【解決手段】
電子線を試料に向けて照射する電子源１４・６と、該試料を保持する試料ステージ１４・２２と、該電子ビームの試料へ向けた照射によって該試料の表面の情報を得た電子を検出する検出器１４・４と、該検出器１４・４に検出された電子に基づいて試料表面の画像を生成する画像処理ユニット１４・５と、電子源１４・６から試料ステージ１４・２２への１次電子光学系と試料ステージ１４・２２から検出器１４・４への２次電子光学系を分離するウィーンフィルタ１４・３と、を備え、電子銃１４・６から放出された電子線はウィーンフィルタ１４・３においてクロスオーバを形成すると共に、試料表面から放出された放出電子はウィーンフィルタ１４・３においてクロスオーバを形成し、１次電子光学系と２次電子光学系のクロスオーバの位置は、ウィーンフィルタ１４・３上で異なっている。 （もっと読む）

【課題】高い空間分解能と高い時間分解能と簡便なモニタリングとを兼ね備えた走査型リアルタイム顕微システムを実現する。
【解決手段】走査型リアルタイム顕微システム１０ａは、Ｘ線ビームを照射する光源３と、光源３から照射されたＸ線ビームを集光するゾーンプレート１と、Ｘ線ビームを集光するゾーンプレート１を動かす駆動機構２とを備え、駆動機構２は、ゾーンプレート１に入射するＸ線ビームの進行方向に垂直な方向の周りにゾーンプレート１を回動させる。 （もっと読む）

【課題】 位相コントラストイメージングに用いるタルボ・ロー干渉の条件を満たし、高い透過率により十分な線量を得ることが可能なＸ線用線源格子の提供を目的とする。
【解決手段】 本発明によれば、大焦点のＸ線源と組み合わせることで、線量の大きなＸ線を容易に発生し、マイクロメートルスケールの焦点サイズを有するＸ線源と同等の空間的可干渉性を備える線源格子を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】接合された異種材料の界面を破壊することなく、その界面における結晶性物質の分析を行うことができるＸ線回折法を提供する。
【解決手段】異種材料の接合界面に存在する結晶性物質を同定するＸ線回折法で、次の過程を備える。異種材料の接合界面のうち、その断面が曲線で表される領域を分析対象面とする試料SをＸ線照射源10と回折線検出器30との間に配置する過程。照射源10から、分析対象面に対して、前記曲線の接線方向にＸ線52を照射する過程。このＸ線52の照射に伴って発生する回折線54を回折線検出器30で検出する過程。Ｘ線を分析対象面の接線方向に照射することで、非破壊状態の分析対象面から回折線を的確に検知することができる。 （もっと読む）

【課題】２方向からＸ線を照射するＸ線検査装置を配置して検査効率を向上すると共に、Ｘ線検査装置を車両に適切に搭載することを目的とする。
【解決手段】検査対象物をＸ線で検査するＸ線検査装置１と、Ｘ線検査装置１を積載する車両２とを備えるＸ線検査車両であって、Ｘ線検査装置１は、車両２の一側方から他側方へ検査対象物を搬送する搬送手段７と、搬送手段７をトンネル状に囲む外周部８と、斜め上方から検査対象物へＸ線を照射する上方Ｘ線発生手段９と、斜め下方から検査対象物へＸ線を照射する下方Ｘ線発生手段１０と、上方Ｘ線発生手段９からのＸ線を搬送手段７の下方側及び車両後方側で受ける下部Ｘ線検出センサ１１と、下方Ｘ線発生手段１０からのＸ線を搬送手段７の上方側及び車両後方側で受ける上部Ｘ線検出センサ１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線ホログラフィ測定方法に関し、回折Ｘ線ホログラフィ測定と透過Ｘ線ホログラフィ測定の両方の測定を可能にする。
【解決手段】 測定部を有する基材の一の面に対する他の面にＸ線を吸収するＸ線吸収膜と、前記測定部に対応する前記他の面に、前記Ｘ線吸収膜を貫通する第１の開口と、前記Ｘ線吸収膜と前記基材と前記測定部位に隣接する領域とを貫通する第２の開口と、前記第２の開口の上方に設置される前記結晶片とを有する測定用試料の一の面に対する他の面からＸ線を照射し、前記測定部からの回折光と前記結晶片からの回折光を前記一の面側に位置する検出面で重ね合わせ、前記重ね合わせにより形成された干渉縞をホログラムとして分析する。 （もっと読む）

【課題】強磁場中に配置されるマイクロチャンネルプレートでの二次電子増幅率の減少を抑制して散乱イオンの測定精度の低下を抑制できる散乱イオン分析装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る散乱イオン分析装置は、磁場形成手段１８と散乱イオン検出器２０とアパーチャ１６とを備え、散乱イオン検出器は、マイクロチャンネルプレート（ＭＣＰ）２２と二次電子の位置を検出する位置検出手段３０とバイアス電圧を印加するためのバイアス電源３２とを有し、ＭＣＰ２２では、磁場Ｂ方向に対し、微細貫通孔２６に入射する散乱イオンの入射方向が傾いているのと同じ側に微細貫通孔２６の中心軸２６ｂが傾き、且つ散乱イオンの入射方向の傾きよりも中心軸２６ｂの傾きが小さくなるように当該微細貫通孔２６が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 互いに積層されてパッケージに収容された複数の単結晶基板の夫々について、パッケージを破壊することなく反りを測定する。
【解決手段】
パッケージにＸ線を照射するステップと、受光スリットの調節及びパッケージの高さ方向の位置調節を行うことにより、パッケージに収容された複数の単結晶基板により回折された複数の回折Ｘ線のなかから、所望の単結晶基板からの回折Ｘ線だけを選択的に検出するステップと、所望の単結晶基板からの回折Ｘ線のロッキング曲線を測定するステップと、パッケージを所定方向に一定距離移動させるステップとを含み、ロッキング曲線測定を行うステップとパッケージを所定方向に一定距離移動させるステップとを繰り返し行う。 （もっと読む）

【課題】蛋白単分子等の微小標的粒子にＸ線ビームを照射するＸ線分析装置において、コンテナレス法やコンテナ法では解決が難しかった種々の技術的課題を一挙に解決する。
【解決手段】保持基板１に保持されている標的粒子Ｐの位置形状測定を行うプローブ式測定手段２と、前記プローブ式測定手段２のプローブ２ａを、標的粒子Ｐの測定が可能な位置である測定位置と、前記Ｘ線照射機構による標的粒子へのＸ線ビームの照射に干渉しない位置である退避位置との間で移動可能に保持する移動機構３と、前記保持基板１及びＸ線照射機構の相対位置を調整する位置調整機構５とを設け、前記プローブ式測定手段２で位置が特定された標的粒子Ｐに対し、前記保持基板１及びＸ線照射機構の相対位置を調整してＸ線ビームを照射できるように構成した。 （もっと読む）

【課題】冊子状の被検査物の内部に綴じ部材が隠れている場合であっても綴じ状態の良否を判別することができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査物Ｗの綴じ部材Ｓの正常状態を含む綴じ部材情報を予め設定する設定入力手段１５と、Ｘ線検出器１０から出力される濃度データから、被検査物Ｗの外形を抽出する外形抽出手段１７と、Ｘ線検出器１０から出力される濃度データから、被検査物Ｗの綴じ部材Ｓを抽出する綴じ部材抽出手段１８と、外形抽出手段１７が抽出した被検査物Ｗの外形の中に綴じ部材抽出手段１８が抽出した綴じ部材Ｓを重ね合わせ、綴じ部材抽出手段１８が抽出した綴じ部材Ｓの状態と、綴じ部材情報に含まれる綴じ部材Ｓの正常状態とを比較して、被検査物Ｗの綴じ状態の良否を判別する判別手段２０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、微小異物の検出を確実に行うことができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、物品にＸ線Ｓ１を照射し、シンチレータ３００による光変換をフォトダイオードアレイ（ＰＤＡと略記する）４００で検出することにより物品６００内の微小異物６１０を検出することができ、シンチレータ３００のＸ線照射側にスリット部材５００を積層したものである。特に、本発明の実施の形態に関するＸ線検査装置１００では、シンチレータ３００のＸ線照射側にスリット部材５００が積層され、Ｘ線検査装置１００ａでは、さらに防水部材７００が積層される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検出器を移動する機構を簡素化し、Ｘ線検査を高速化する。
【解決手段】一実施の形態に従うＸ線検査装置は、Ｘ線を用いて撮像するためのＸ線検出器２３．１と、Ｘ線検出器を移動するためのＸ線検出器駆動部２２と、検査対象領域を透過したＸ線が、Ｘ線検出器に入射するようにＸ線を出力するＸ線源１０と、Ｘ線検査装置の動作を制御する演算部７０と、Ｘ線検出器２３．１による複数の撮像のための各位置が同一平面に存在し、かつ、各位置におけるＸ線検出器の向きが一定となるように、Ｘ線検出器駆動部２２を制御するセンサ駆動制御部とを含む。 （もっと読む）

【課題】原子価を高精度で且つ非破壊で求めることができる原子価分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の原子価分析装置は、試料に対してＸ線管１から放射されるＸ線をエネルギーを走査させながら照射するＸ線照射手段と、Ｘ線が照射されることにより前記試料について得られるＸ線吸収スペクトルを解析して前記試料に含まれる目的元素のＸ線吸収端エネルギーを求めるスペクトル解析手段と、前記Ｘ線管１のターゲット材由来の或いはターゲット材に含まれる不純物由来の特性Ｘ線のピークエネルギーに基づき前記Ｘ線吸収端エネルギーを補正する補正手段と、標準試料及び分析試料それぞれの補正後のＸ線吸収端エネルギーの比較により原子価が未知の目的元素の原子価を算出する原子価算出手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】
Ｘ線回折装置において、Ｘ線調整に要する動作量を減少させ、また、Ｘ線調整に要する調整時間を減少させる。
【解決手段】
水平ゴニオメータを備えθ−θスキャンを行うＸ線回折装置において、Ｘ線源２のＸ線放出方向と直交する方向を回転軸方向としてＸ線源を回転させる回転機構５を備えた構成とし、回転機構５によるＸ線源２の回転によってＸ線調整を行う。回転機構５はＸ線源２を回転させることによってＸ線の照射方向を変更する。Ｘ線の照射方向の変更を回転動作で行うことによって、Ｘ線調整に要する動作量、及びＸ線調整に要する調整時間を減少させる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線放射器／検出器システム内の信号雑音を低減する。
【解決手段】共通クロックが、Ｘ線放射器／検出器システムの少なくとも２つのサブシステムに接続され、Ｘ線放射器／検出器システム内の少なくとも２つのサブシステムに関連付けられる複数の雑音源が共通クロックと相関できるようになる。複数のタップを有する少なくとも１つの適応フィルタが、所望の信号及び相関雑音推定信号を受信すると共に誤差信号を出力するように構成される。更新アルゴリズムが、出力される誤差信号を最小にするように複数のタップの値を更新するために用いられ、それにより、Ｘ線放射器／検出器システム内の少なくとも１つの可変フィルタのそれぞれにおいて複数の雑音源のうちの少なくとも１つが実質的に除去され、Ｘ線放射器／検出器システムの出力のより正確な表示が与えられる。 （もっと読む）

【課題】転倒しやすい被検査物を安定的に搬送でき、Ｘ線漏洩のおそれが少なく、機長が過大とならず設置スペースが小さくて済むＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生手段及び検知手段を有する筐体２の前段から後段に搬送手段6,8 で被検査物を搬送する。筐体外の搬送手段８を覆っているカバー９の端面11は閉止され、端面の近傍であって搬送方向に平行なカバーの壁面の一方に開口12が形成され、ここで外部搬送手段７の端部と搬送手段８の端部が並列している。ここに設けられた案内手段15により、開口を経て外部搬送手段と搬送手段との間で被検査物が乗り移る。カバーの機長を短くしても開口からＸ線が漏洩する可能性は低く、かつ略Ｚ型の経路で被検査物は安定して乗り移れる。 （もっと読む）

【課題】パッケージ材料で封止した部品中の単結晶基板の反りを、部品を破壊することなくパッケージ材料越しに回折Ｘ線を用いて測定する。
【解決手段】Ｘ線検出器１を固定したまま、入射Ｘ線４の波数ベクトル８の方向から測定した試料ステージ６の回転角ωを変化させると、ブラッグ条件が満たされるとき、すなわち試料３０内のＳｉチップの照射領域の表面と入射Ｘ線４の波数ベクトル８とのなす角αがある特定の値をとるとき、Ｘ線の結晶回折が生じＸ線検出器１で回折Ｘ線９が検出される。ここで、試料３０は、プリント基板上にＳｉチップが搭載され、それらがモールドにより封止した構造である。Ｘ線検出器１は、モールド越しに回折Ｘ線９を検出し、ロッキング曲線を取得することができる。このロッキング曲線に基づいて、Ｓｉチップの反り測定ができる。 （もっと読む）

【課題】入射部での散乱Ｘ線の影響を極力排して試料で生じた回折Ｘ線を検出できる透過型のＸ線回折装置とＸ線回折方法とを提供する。
【解決手段】試料10を配置するための閉鎖された空間を構成する試料室100と、試料室100内の試料10を所定温度に加熱する加熱手段900と、Ｘ線が試料10に照射されて生じる回折Ｘ線を試料室100の外部で検出するＸ線検出部200とを備える透過型Ｘ線回折装置である。この装置は、試料室100の壁面にガラス製の入射部110と出射部150とを備え、試料室100内に第一遮蔽体300が配置される。第一遮蔽体300は、入射部110での散乱Ｘ線がＸ線検出部200の所定領域に達することを防止する。 （もっと読む）

【課題】 大気中の生体試料を電子顕微鏡などで観察可能とする耐久性のある非晶質膜の電子透過膜であり、より低加速電圧で使用可能な電子透過膜を提供すること。
【解決手段】 電子顕微鏡などにおいて、電子を発生させる電子線源の設置された真空筐体から、大気中に定置した生体などの試料に対して、大気を透過せず電子を透過させるとともに、大気圧差に対する耐久性、人体への生体適合性を有する電子透過膜の実現化及び電子線源小型化などのための一層の低加速電圧化で使用可能な電子透過膜の実現化に対し、電子透過膜の材質として従来使用されている元素であるチタン、シリコンよりも軽元素であり、軽元素を含む材料の性質に着目し、軽元素としての炭素を含む材質からなる薄膜として、炭素を主成分とする非晶質の薄膜、好ましくはアモルファス炭素の薄膜にし、電子透過膜の形状を平板状又は凸形状にすれば課題解決できる。 （もっと読む）