【課題】 Ｘ線の吸収効果を考慮した被検知物の位相変化に関する像を得ることのできるＸ線撮像装置および撮像方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線を空間的に分割する分割素子と、遮蔽素子を複数有する遮蔽手段を有する。また、第１の検出画素と第２の検出画素を含む画素群を複数有する検出手段を有する。第１の検出画素で検出されるＸ線は前記遮蔽素子によりＸ線の一部が遮蔽されるように構成されている。第１の検出画素と隣り合う第２の検出画素で検出されるＸ線は遮蔽素子によりＸ線が遮蔽されないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】測定対象物へのＸ線の照射密度を高めた場合にも、バックグラウンドとなる蛍光Ｘ線に影響されることなく回折Ｘ線のピークを正確に判別することができるＸ線応力測定装置を提供する。
【解決手段】金属試料表面にＸ線を照射するＸ線照射手段と、金属試料表面から発せられる回折Ｘ線を検出するＸ線検出手段と、回折Ｘ線の波長変化から金属の応力を演算する演算手段とを備えたＸ線応力測定装置において、Ｘ線検出手段と金属試料表面との間にＴｉフィルタとＣｌ化合物フィルタとを備えたことを特徴とする。なおＴｉとＣｌ化合物とを含有するフィルタを用いてもよい。ＴｉフィルタはＦｅの蛍光Ｘ線を低減させ、Ｃｌ化合物フィルタはＴｉの蛍光Ｘ線を低減させる。 （もっと読む）

【課題】測定対象物から放出された光電子のエネルギースペクトルを短時間に正確に取得することができるＸ線光電子分光装置およびＸ線光電子分光方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１０から出力されたＸ線３の照射により測定対象物２で発生した電子４が電子レンズ２０およびエネルギー分析器３０を経て検出器４０に到達したときに検出器４０により得られたエネルギースペクトルを、電子レンズ２０による電子４の減速が調整されて測定対象物２のフェルミ準位よりも低束縛エネルギー側にある禁止帯に相当する帯域のものとして検出器４０により得られたエネルギースペクトルに基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、上記課題に鑑み、タルボ干渉によるモアレの周期を波数空間を用いて解析するに当たり、より分解能の高い解析が可能となる撮像装置および撮像方法を提供する。
【解決手段】
撮像装置は、光源からの光を回折することで２次元の干渉パターンを形成する第１の格子と、前記光を遮蔽する遮蔽部と前記光を透過する透過部とが２次元に配列されており、
前記干渉パターンの一部を遮蔽する第２の格子と、前記第２の格子を経た前記光を検出する検出器と、前記検出器で検出した前記光の強度分布の周期的パターンに基づいて被検体の位相像又は微分位相像を算出する演算部と、を備え、
第１の方向における前記強度分布の周期が前記検出器の検出面上の全ての領域で等しくなるように前記第１の格子と前記第２の格子とが構成されている。 （もっと読む）

【課題】多層ＣＮＴの集合構造全体での構造評価をする。
【解決手段】多層ＣＮＴの集合構造に対して所定の入射角度でＸ線を入射するステップと、上記集合構造から出射する回折Ｘ線の検出位置を集合構造回りに走査しつつ変えていき、各検出位置で回折Ｘ線強度を測定するステップと、上記集合構造のＸ線入射位置を高さ方向に走査しつつ変えていき、各走査位置で透過Ｘ線の強度を測定するステップと、上記回折Ｘ線強度の測定データからピーク面積を、また、上記透過Ｘ線強度の測定データから減衰量を、それぞれ、演算するステップと、上記ピーク面積と減衰量とから上記集合構造の配向性を解析するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】計量手段を備えていても計量精度の低下等の不具合を防止することのできるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】搬送空間Ｓ内のＸ線照射領域である検査位置Ｐ１に被検査物Ｗを搬送するためのＸ線検査用のＸ線コンベア３２と、Ｘ線コンベア３２に隣接し、被検査物Ｗを計量する計量手段１１を有する被検査物Ｗを搬送空間Ｓ内で搬送するための搬送面が水平な計量コンベア３３と、を備え、検査位置Ｐ１が搬入口３０および搬出口３５から見通せないように、搬入口３０から搬出口３５までの搬送空間Ｓが屈曲して形成されている。 （もっと読む）

【課題】屈折コントラスト法に替わるＸ線撮像装置およびＸ線撮像方法を提供する。
【解決手段】被検知物によるＸ線の位相変化を用いて撮像するＸ線撮像装置であって、Ｘ線発生手段１０１から発生したＸ線を空間的に分割する分割素子１０３と、分割素子により分割されたＸ線の入射により第１の蛍光を生じる第１の蛍光体が複数配列された第１の蛍光体アレイ１０５と、第１の蛍光体アレイを透過したＸ線の入射により前記第１の蛍光とは異なるスペクトルを有する第２の蛍光を生じる第２の蛍光体が複数配列された第２の蛍光体アレイ１０６と、前記第１の蛍光と前記第２の蛍光を検出する検出手段１０７と、を有し、第２の蛍光体は、前記Ｘ線の入射位置の変化に応じて蛍光の発光量が変化する発光量勾配を有する。 （もっと読む）

【課題】試料の径が大きくなっても、試料に対応した大面積の面状のＸ線検出器を、Ｘ線トポグラフの分解能を低下させること無く、使用できるようにする。また、試料の径が大きくなったことに対応して大面積の面状のＸ線検出器を使用することになった場合でも、Ｘ線検出部の全体形状を大きくしなくて済むようにする。
【解決手段】試料１１を線状のＸ線で走査したときに試料１１で回折したＸ線をＸ線検出器２８によって検出して平面的な回折像を得るＸ線トポグラフィ装置である。Ｘ線検出器２８は試料１１よりも大きい面積を有する円筒形状のイメージングプレート２８であり、線状のＸ線の走査移動Ｆに関連させてイメージングプレート２８を円筒形状の中心軸Ｘ０を中心としてα回転させる。円筒形状の中心軸Ｘ０は線状のＸ線の走査移動方向Ｆと直角方向に延在する。 （もっと読む）

【課題】取得画像に対する散乱Ｘ線の影響を軽減することが可能となるＸ線撮像装置およびＸ線撮像方法の提供を目的とする。
【解決手段】X線を空間的に分割する分割素子１０３と、分割後被検知物１０４を透過したX線の強度を検出する検出手段１０５と、分割素子・被検知物・検出手段のいずれかを移動させる移動手段１０６〜１０８と、Ｘ線の走査速度と検出手段の画像取得速度とを同期させる露光制御手段１０９とを用いて、被検知物の微分位相像または位相像を演算するＸ線撮像装置。 （もっと読む）

【課題】試料透過後の線束を減ずる事無く、放射線検出素子に入力させることでＳ／Ｎを改善した放射線検出装置を提供する。
【解決手段】放射線源と、該放射線源からの放射線を被検査物を介して受光する第１放射線検出素子と、該第１放射線検出素子の近傍に配置された前記第１放射線検出素子と同等の第２放射線検出素子を少なくとも一つ設けるとともに、前記第２放射線検出素子を前記放射線から隔離する隔離手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】対象試料を実条件に近い状態で計測でき、且つ、単純な構成のイオンビーム分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料３に向けてイオンビーム６を照射するイオンビーム照射手段１と、該イオンビーム照射手段１に接続され、前記イオンビーム６の通路となる低圧部２と、該低圧部２の外部に配置されて、前記試料３に前記イオンビーム６が照射されるよう試料３を保持する試料保持手段と、前記イオンビーム６によって前記試料３から放射された放射エネルギーを検出する検出手段４とを備え、前記低圧部２が、イオンビーム６の出口部分となる開口部を有し、該開口部には、隔壁部材５が前記低圧部２の内部を気密保持可能に設けられ、前記隔壁部材５が、イオンビーム透過性を有し、且つ、前記低圧部２の内外の圧力差に耐えうる強度を有する材料からなるイオンビーム分析装置１０。 （もっと読む）

【課題】内部の圧力が上昇した場合であっても、蛍光Ｘ線が透過するシートの膨張を防止することにより、正確な元素分析を可能にする蛍光Ｘ線分析用試料セルを提供する。
【解決手段】液体燃料等の試料を収容した上でＸ線透過シート１０２で密閉した試料セル（蛍光Ｘ線分析用試料セル）１は、内部の圧力が上昇した場合に、窓部となるＸ線透過シート１０２が膨張する前に、試料セル１内の容積が増大するようにカップ端面が変形する。カップ端面は、膜状材を畳み込んで形成しており、試料セル１内の圧力が上昇した場合は、試料セル１の外側に向かって広がり、試料セル１内の容積が増大する。容積の増大によって圧力の上昇が緩和され、Ｘ線透過シート１０２の膨張が防止される。従って、試料と蛍光Ｘ線の検出器との距離が変動することが無く、高精度な蛍光Ｘ線分析が可能となる。 （もっと読む）

【課題】試料表面のスピン状態分布を高精度に分析するための電子スピン分析器を提供する。
【解決手段】試料Ｗから放出される二次電子を入射方向に対して横方向に走査する走査偏向器５ａ、５ｂを通してパルス化された二次電子を放出するパルスゲートユニット４と、パルスゲートユニット４から出る二次電子を加速させる加速ユニット７と、加速ユニット７から出た二次電子を照射するターゲット８と、ターゲット８の周囲に配置される電子スピン検出器１５ａ〜１５ｄと、電子スピン検出器１５ａ〜１５ｄから出る二次電子を受けるコレクタ１０ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】 屈折コントラスト法の問題点を解決することのできるＸ線撮像装置およびＸ線撮像方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生手段から発生したＸ線を空間的に分割する分割素子を有する。また、分割されたＸ線が入射する第１の蛍光体が複数配列された蛍光体アレイを有する。この第１の蛍光体は、Ｘ線の入射位置に応じてＸ線による蛍光の発光量が変化するように構成されている。また、蛍光体アレイから発光した蛍光の強度を検出するための検出手段を有する。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡において、従来、複数の方向からの試料の観察を一度に実施することは不可能であり、例えば、試料の３次元形状を求めるには、試料を様々な角度に傾斜させ、得られた各々の画像から３次元形状を再構築するトモグラフィー法、右視野像、左視野像の２枚の画像を試料の傾斜もしくは電子線の照射角度の変化によって作り出し、立体観察を可能成らしめるステレオ法などがあるが、いずれも複数枚の画像を得るには画像枚数回の画像取得作業を必要としており、時間分解能が低く、動的観察、実時間観察には至っていない。
【解決手段】照射光学系中に第１の電子線バイプリズムを設置し、角度の異なる２つの電子線を試料の観察領域に同時に照射する。この同時に試料を透過した２つの電子線を結像光学系に配置した第２の電子線バイプリズムにより空間的に分離して結像させ、照射角度の異なる２つの電子顕微鏡像を得る。この２つの画像を検出手段で取得しこれを元に試料の立体像や異なる情報を有する２つの像を生成し、表示装置に表示する。 （もっと読む）

【課題】一般的なＸ線源を用いて、高精度なＸＡＦＳ測定を行う。
【解決手段】Ｘ線源２は、少なくとも所定のエネルギ帯域の成分を含むＸ線を放射する。集光素子３は、Ｘ線源２から放射されたＸ線を集光する。試料台４は、集光素子３によるＸ線の集光位置Ｆに対して、サンプル１０を進入退避可能に載置する。分光結晶５は、集光位置Ｆから発散するＸ線を斜入射することにより、そのＸ線を分光する。検出装置６は、分光結晶５により分光されたＸ線の強度分布を検出する。演算装置７は、検出装置６によって検出された強度分布に基づいて、サンプル１０のＸ線吸収スペクトルを演算により求める。 （もっと読む）

【課題】 特許文献１に記載された手法と比較して、検出器の画素サイズに対しＸ線の移動量検出範囲が十分に取れるＸ線撮像装置等を提供する。
【解決手段】 本発明のＸ線撮像装置は、Ｘ線を空間的に線状に分割する分割素子を有する。また、分割素子により分割され、被検知物により位置が変化したＸ線の一部を遮蔽する遮蔽手段を有する。この遮蔽手段は、Ｘ線を透過する領域とＸ線を遮蔽する遮蔽素子を備えた領域とを有する。Ｘ線を透過する領域と遮蔽素子を備えた領域との境界線が前記線状に分割されたＸ線を横切るように斜めに配されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線減弱率が被検査物の正常部位と大差のない物質からなる異物でも、その混入を確実に検出することができ、しかも、検査に先立つ装置の設定作業が容易で、更にはこれらの機能を持つが故のコストの上昇を極力抑制したＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線エネルギが互いに異なる透過Ｘ線を検出するＸ線検出手段２と、良品の被検査物もしくはそれと同等の物品を撮像して得られる複数のＸ線エネルギそれぞれの出力の相互の関係を記録しておく記録手段７を備えるとともに、被検査物の検査時にＸ線検出手段２による複数のＸ線エネルギの検出出力から、記録手段により記録した相互の関係からの乖離度より画像を形成する画像形成手段６を備え、その画像形成手段により形成された画像に基づいて異物の有無を判定する。画像形成手段６により形成された画像は、異物以外の被検査物の像はほぼ一様となるのに対し、異物の像は強調された状態となり、その画像形成手段により形成された画像に基づいて異物の有無を判定することで、課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】装置内部の空気を置換ガスに効率よく置換することが可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】筺体１の上面中央の開口部にセルホルダ２を装着させることによって、筺体１で囲まれた分析室１ａが密閉される。また、試料セル５のＸ線透過窓材５４の破損によって試料がこぼれ出た場合に、こぼれ出た試料がＸ線管３及びＸ線検出器４等に付着することを防止するために、セルホルダ２がＸ線透過窓材２３を挟持する。蛍光Ｘ線の分析処理を行なう場合、分析室１ａ内の空気と、試料セル５のＸ線透過窓材５４及びセルホルダ２が挟持するＸ線透過窓材２３の間の窓材間空間内の空気とを置換ガスに置換する。即ち、カバー７で覆われた試料室内の空気を置換ガスに置換する必要はない。 （もっと読む）

【課題】パッケージ内に実装された半導体チップの反り応力を、パッケージを破壊することなくＸ線を用いて測定する方法と装置およびプログラム等を提供する。
【解決手段】単結晶基板をパッケージ材料で封止した部品にＸ線を照射し、前記単結晶基板からの回折Ｘ線を前記パッケージ材料越しに検出し、前記検出ステップの結果を用いて前記単結晶基板の応力を求める。 （もっと読む）