【課題】中性子を用いて試料に含まれる過酸化物および超酸化物を検出する。
【解決手段】試料に含まれる化合物を検出するシステムは、中性子源と、試料に近接して設置された少なくとも１つのガンマ線検出器と、信号プロセッサと、を備える。中性子源は、試料に向けて中性子ビームを送る。ガンマ線検出器は、試料から放出されたガンマ線を収集し、信号プロセッサは、ガンマ線検出器によって収集されたガンマ線に基づいて、試料に含まれる化合物を同定する。同定される化合物は、過酸化物および超酸化物からなる群から選択される。 （もっと読む）

【課題】被検査物から検出された異物に関する各種情報を容易に把握できる。
【解決手段】Ｘ線異物検出装置１は、搬送される被検査物ＷにＸ線を照射し、被検査物Ｗを透過したＸ線の透過量に基づく被検査物ＷのＸ線透過画像から異物を抽出するための画像処理を行って異物抽出処理画像を作成し、異物抽出処理画像から被検査物Ｗ中に異物が含まれているか否かによって良品又は不良品であるかを判定部３３で判定する。そして、異物が存在すると判定（不良品判定）されると、異物情報特定手段３２ｂにおいて不良品判定された異物抽出処理画像から異物に関する異物情報を特定し、この特定された異物情報を表示部４０に表示する。 （もっと読む）

【課題】既設の製造ラインへの適用を可能にすることが目的とされる。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、Ｘ線を用いて物品の検査を行う装置であって、照射部１２と、受光部１３と、本体１１と、支持部１４とを備える。照射部１２は、物品ＰにＸ線を照射する。受光部１３は、物品Ｐを透過したＸ線を受光する。本体１１には、Ｘ線の照射位置Ｐ１へと物品Ｐを搬送する搬送機構１６を取り付けることができる。支持部１４は、受光部１３を支持し、本体１１に対して上下に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】物品に照射するＸ線の強度を高めた場合でも、効率良くＸ線の漏洩を防止することが目的とされる。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、Ｘ線を用いて物品の検査を行う装置であって、照射部１２と、受光部と、搬送機構とを備える。照射部１２は、物品にＸ線を照射する。受光部は、物品を透過したＸ線を受光する。搬送機構は、搬送ベルト１６３とガイド部材１６５とを有し、Ｘ線の照射位置へと物品を搬送する。搬送ベルト１６３は、物品を載せた状態で、物品を照射位置へ導くベルトである。ガイド部材１６５は、搬送ベルト１６３のうち少なくとも物品に接する部分１６３ａをガイドする。そして、物品の搬送方向から見たときのガイド部材１６５の両端部１６５２，１６５３は、中央部１６５１に対して起き上がっている。 （もっと読む）

【課題】微細に加工された半導体デバイス内の所望の箇所の３次元的構造を観察するための電子顕微鏡用試料作製装置、電子顕微鏡及びその方法を提供する。
【解決手段】試料片１０の加工にダイサーを用い、試料片上の観察対象となる部分を突起状に削り出す加工に集束イオンビーム加工を用い、試料片１０を１軸全方向傾斜試料ホルダに、突起１１の中心軸と試料傾斜軸Ｚを一致させて固定し、高角に散乱された電子で結像したＴＥＭ像を投影像として用い、再構成を行う。 （もっと読む）

【課題】薄膜結晶についても容易に表面形状や結晶性を評価可能な技術を提供する。
【解決手段】Ｘ線波面センサは、入射されるＸ線を複数の光束に分割する波面分割素子と、各光束を試料の異なる領域に照射し、それぞれの反射光を干渉させて検出する計測器とを備える。例えば、Ｘ線発生装置１０から入射されるＸ線をＸ線プリズム１２によって波面分割し、一方の光束はそのまま試料１４に当て反射光を検出器１６で検出する。もう一方の光束は、Ｘ線プリズム１５によって偏向して試料１４に当て反射光を検出器１６で検出する。検出器１６に現れる干渉縞の向きや間隔から、試料結晶１４の表面形状や結晶性の評価が可能となる。 （もっと読む）

【課題】筒状電離箱を用いて高い測定感度および分解能を共に改善できるように構成した電離箱型Ｘ線異物検出装置を提案すること。
【解決手段】電離箱型Ｘ線異物検出装置１の検査面５の真下には幅方向に一定のピッチで２列に筒状電離箱２４（１）〜２４（ｍ）、２５（１）〜２５（ｎ）が配列されている。各筒状電離箱は、その中心軸線がＸ線発生源１２に向く姿勢となるように配置してある。検査面上の検査対象物Ｗを透過したＸ線は各筒状電離箱の中心軸線に沿って各筒状電離箱に封入されている電離ガスを通過するので、直径方向に通過する場合に比べて、Ｘ線が通過する電離ガスの容積が格段に多い。よって、測定感度の高い電離箱型Ｘ線異物検出装置を実現でき、測定の分解能を高めるために各筒状電離箱を細くして細かいピッチで配列した場合においても、各筒状電離箱を軸線方向に長くすることにより、所望の測定感度を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い放射線検出器を提供する。
【解決手段】 Ｘ線ラインセンサ１では、低エネルギ範囲のＸ線を吸収して光を発するシンチレータ層２４と、高エネルギ範囲のＸ線を吸収して光を発するシンチレータ層２６とが接触させられており、更に、後側のシンチレータ層２６の厚さよりも、前側のシンチレータ層２４の厚さが薄くなっている。これらにより、同じ角度で前側から入射した低エネルギ範囲のＸ線及び高エネルギ範囲のＸ線に対するシンチレータ層２４での発光位置Ｐ１とシンチレータ層２６での発光位置Ｐ２とのずれ量が小さくなるため、このとき、シンチレータ層２４が発した光及びシンチレータ層２６が発した光は、対向する光検出部１６及び光検出部２３によって検出されることになる。従って、同時に取得された低エネルギ範囲のＸ線透過像と高エネルギ範囲のＸ線透過像とがずれるのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】一次電子ビームと二次電子ビームとの重複領域で二次電子ビームの空間電荷効果による収差増大を抑制する。
【解決手段】電子ビームを生成して試料である基板Ｓに一次電子ビームＢｐとして照射する電子銃１１と、一次電子ビームＢｐの照射を受けて基板Ｓから放出される二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出して基板Ｓの状態を表わす信号を出力する電子検出部３０と、上記二次電子、上記反射電子および上記後方散乱電子の少なくともいずれかを導いて二次電子ビームＢｓとして拡大投影し、電子検出部３０のＭＣＰ検出器３１の検出面に結像させる二次光学系２０と、を備える基板検査装置１に、一次電子ビームＢｐの軌道と二次電子ビームＢｓの軌道との重複領域が縮小するように一次電子ビームＢｐを偏向する偏向器６８をさらに設ける。 （もっと読む）

本願発明は、反応を解析する方法に関する。前記方法は、少なくとも一つのアクセプター化合物と、少なくとも一つのドナー化合物を含む溶液を提供する工程を含む。ドナー化合物は、化学的要素を含む化合物部分をアクセプター化合物に付与することが可能である。溶液は、ドナー化合物とアクセプター化合物との間の反応に影響を及ぼす少なくとも一つの制御化合物を含む。その後溶液をインキュベートし、アクセプター化合物の一部をドナー化合物と反応させ、アクセプター生成物を形成する。未反応ドナー化合物を、アクセプター生成物から分離する。その後、Ｘ線蛍光を使用して、アクセプター生成物またはドナー化合物を計測する。さらなる解析方法が開示される。
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【課題】分解能の向上、又は分解能が従来と同じであれば測定時間の短時間化を図ることができる散乱イオン分析装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、引出開口２１が設けられた引出部材２０と、散乱イオンの進行方向を偏向面Ｓに沿って偏向させる磁場形成手段３０と、散乱イオンの位置を検出するイオン検出器４０と、引出部材２０と磁場形成手段３０との中間位置に設けられ、偏向面Ｓにおいて、引出開口２１の開口中心と試料Ｔにおけるイオンビームの照射位置とを結ぶ線Ｃに直交する方向に沿って引出開口２１を通過した散乱イオンを発散又は集束させる磁気レンズ５０とを備え、磁気レンズ５０は、磁場形成手段３０を通過した散乱イオンのうち試料Ｔの同じ深さで散乱した散乱イオンがイオン検出器４０で集束するように、引出開口２１を通過した散乱イオンを発散又は集束させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パルスモータが通常有している原点センサを利用して簡便に脱調を検出できるパルスモータの制御装置などを提供する。
【解決手段】原点センサ付きのパルスモータ２の制御装置２５であって、まず、パルスモータ２の回転位置において現在位置Ｐｓから最終目的位置Ｐｔまでの間で原点センサが原点を検出すべき位置のうち最後の位置を中間目標位置Ｐｉとし、現在位置Ｐｓから中間目標位置Ｐｉに到達するだけのパルスをパルスモータ２に与えて実際に到達した位置を脱調検出位置Ｐｄとする。そして、その脱調検出位置Ｐｄで原点センサが原点を検出するか否かを調べ、脱調検出位置Ｐｄで原点センサが原点を検出しない場合には、パルスモータ２が脱調したと判断し、脱調検出位置Ｐｄで原点センサが原点を検出した場合には、中間目標位置Ｐｉから最終目的位置Ｐｔに到達するだけのパルスをパルスモータ２に与える。 （もっと読む）

【課題】非破壊検査の際の半導体素子や電子部品等の被検体の破壊、機能や外観の損傷の発生が防止された透視検査装置を提供する。
【解決手段】放射線を発生し被検体に向けて放出する放射線源１と、被検体１０１を透過した放射線を検出する放射線検出器４と、被検体１０１に照射される放射線量を制限する放射線量制限手段８，９，１０とを備え、放射線量制限手段８，９，１０は、予め測定されている被検体１０１の放射線照射許容量に基づいて、被検体１０１に照射される放射線量を制限する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、線源しゃへい装置およびガンマー線を用いた計測システムに関するものである。
【解決手段】線源しゃへい体は、しゃへい本体部と、前記しゃへい本体部の中心に設けられた線源格納部と、前記線源格納部から下方に放射されるガンマー線の通路と、前記通路を開閉するシャッタとから構成されている。前記しゃへい本体部は、周囲４箇所および上下２箇所に所定の面積を有する凸面からなる突出部を備え、前記一方の突出部から他方の突出部にかけた面または曲面によって囲まれている。前記しゃへいケースは、内部周囲における４箇所および上下２箇所、合計６箇所に設けられた凹部と、前記線源を放射する孔と、前記線源しゃへい体との間に形成された空間部とから構成されている。前記突出部は、前記しゃへいケースの凹部と嵌合される。また、前記突出部の面積は、小さい場合、前記空間部が大きすぎ、この部分においてガンマー線のエネルギーを減衰させることができないため、ガンマー線の減衰程度を考慮して決められる。 （もっと読む）

【課題】結晶を破壊することなく簡便に精度良く転位を評価する方法を提供する。
【解決手段】結晶試料の表面にＸ線を照射することにより、逆格子空間における結晶試料の非対称回折面からの水平方向の強度分布曲線を作成し、該強度分布曲線の半値幅により結晶試料の転位を評価する。 （もっと読む）

【課題】小角Ｘ線散乱と広角Ｘ線散乱とを同時に測定できると共に、広角Ｘ線散乱の測定精度を向上できる小角広角Ｘ線測定装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源Ｆから出たＸ線を試料Ｓに照射し試料Ｓから発生する散乱線を小角度領域内で検出器２６によって検出する小角Ｘ線光学系と、試料Ｓと検出器２６との間に設けられており試料Ｓから発生する散乱線を広角度領域内で検出する広角Ｘ線光学系７とを有する小角広角Ｘ線測定装置である。広角Ｘ線光学系７は、試料Ｓと検出器７との間のＸ線光路上に設けられており、Ｘ線像を可視光像に変換する蛍光体３８と、蛍光板３８上に形成された可視光像を反射する光反射体４２と、光反射体４２で反射した可視光像を検出する光検出器４７とを有する。Ｘ線光路と交わる部分の蛍光体３８及び光反射体４２のそれぞれにＸ線用開口３９，４２が設けられ、その開口３９，４２は小角度領域の最大角度値を見込む開口径を有する。 （もっと読む）

三次元目標物体の領域の画像を構築する画像データを提供する方法及び装置が開示される。本方法は、入射放射線を提供するステップと、少なくとも１つの検出器を介して、目標物体で散乱した放射線の強度を検出するステップと、目標物体に対して入射放射線を再位置決めするステップと、続けて、目標物体で散乱した放射線の強度を検出するステップと、３Ｄ物体の１つ又は複数の深さにおいて、入射放射線の少なくとも１つの特性の推定値を示すプローブ関数を求めるステップと、物体の１つ又は複数の領域の画像を、プローブ関数を使用して反復プロセスを介して構築することができる画像データを提供するステップとを含む。
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本発明は、分析平均面（analysis mean plane）（４）を画定する試料（１）の分析ゾーン（２）を放射する、一定の入射方向（３）で放出されるＸ線ビームの発生部（１０）と、前記放射された分析ゾーン（２）で回折したＸ線を少なくとも１次元座標上で検出する検出器（３０）と、を備えた試料（１）のＸ線解析装置において、更に、前記試料（１）と検出器（３０）の間に配置され、前記分析平均面（４）に含まれる回転軸（５）を中心に回転する周面の一部を切り取った面（partial
surface）からなるＸ線回折面（２１）を含むアナライザシステム（２０）を備え、前記回転軸（５）は前記Ｘ線の入射方向（３）とは異なる方向で前記分析ゾーン（２）の中心を通り、前記回折面（２１）を経て前記検出器（３０）に向かって回折されたＸ線を出射させるように前記回折面（２１）が配置されることを特徴とする。
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【課題】保温材で取り囲まれる配管の第１外面と保温カバーの第２外面との間に形成される保温領域に存在する水分の検出精度を向上させる。
【解決手段】水分測定装置１は中性子源装置３及び中性子検出装置７を有し、中性子源装置３は中性子源４及び減速材５を有する。中性子検出装置７は中性子検出器８をコリメータ７で取り囲んでいる。コリメータ７に形成されたスリット１０は、スリット１０を基点とした、配管２２の第１外面に対する接線が第１外面と接する接点とこの接点を基点とした保温材２３の厚み方向での第２外面の位置との間を向いて配置される。中性子源４から放出された高速中性子は、減速材５で減速された後、保温領域内に存在する水分２５でさらに減速されて熱中性子になる。この熱中性子はスリット１０を通って中性子検出器８で検出される。配管２２内の液体２６によって発生した熱中性子はスリット１０を通過できない。 （もっと読む）

【課題】 マルチビーム型の半導体検査装置において、多様な特性を持つ試料に対して、高い欠陥検出感度と高い検査速度を両立させ得る荷電粒子線応用装置を提供する。
【解決手段】 試料上における一次ビームの配置を可変とし、さらに、試料の特性を元に、最適な検査仕様で高速に検査を行うためのビーム配置を抽出する。また、また、多数の光学パラメータおよび装置パラメータを最適化する。さらに、抽出された一次ビームの特性を測定し、調整する。 （もっと読む）