【課題】ナノワイヤセンサ装置の製造方法の提供。
【解決手段】シリコンベース層と、該シリコンベース層内に形成された埋め込み酸化層と、該埋め込み酸化層上の上部シリコン層と、前記シリコンベース層内のドープされたウェルとを備えた基板の形成工程と、前記上部シリコン層からシリコンアイランド形成工程と、前記埋め込み酸化層をエッチングし、前記上部シリコンアイランドの裏面側をくり抜く工程と、前記シリコンアイランド、前記埋め込み酸化層、前記ドープされたウェルおよび前記シリコンベース層上に多結晶ＺｎＯシード層の堆積工程と、前記シリコンアイランドの表面から多結晶ＺｎＯの除去工程と、前記ＺｎＯシード層上のＺｎＯナノ構造体成長、形成工程と、ＺｎＯナノ構造体の所望の感度調整工程と、絶縁層の堆積工程と、前記絶縁層のパターニング、エッチング工程と、前記ナノワイヤ構造の硬化工程とを含むナノワイヤセンサ装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 低消費電力でコンクリート構造物の状態を正確に検出する。
【解決手段】 鉄筋コンクリート構造物の表面または内部の健全度を検出する複合センサモジュールであって、前記鉄筋コンクリート構造物の耐久性または施工性に関わる状態量を検出する１種以上の第１のセンサ（１０）と、前記状態量に影響を与える因子の物理量を検出する１種以上の第２のセンサ（２０）と、前記第２のセンサによる検出結果に基づいて前記第１のセンサによって検出された状態量を補正して補正データを出力するデータ処理部（１０１）と、データ処理部（１０１）から出力された補正データを読取装置に対して無線送信する無線通信部（１０２）と、を備える。 （もっと読む）

本発明は、半導体基板（２）上に構成されたダイヤフラム層（３）を備えたガスセンサであって、該ダイヤフラム層（３）上で評価領域（８）内に金属製の評価構造体（７）が配置され、かつ評価領域（８）の外に金属製の加熱構造体（９）が配置されており、評価構造体（７）及び加熱構造体（９）上に配置されたガス感応層（１０）を備えており、該ガス感応層（１０）が加熱構造体（９）によって加熱可能であって、ガス感応層（１０）の電気抵抗が評価構造体（７）によって評価可能であって、加熱構造体（９）が、ダイヤフラム層（３）の上側で接着を行う酸化層（６）上に配置されていて、カバー酸化層（１１）によってガス感応層（１０）から分離されている形式のものに関する。確実な機能形式を得るために、このガスセンサにおいては、評価領域（８）内で、酸化エッチングの影響を受けない接着剤層（１３）がダイヤフラム層（３）と評価構造体（７）との間に配置されているか、又は評価構造体（７）が評価領域（８）内で加熱構造体（９）に応じて、カバー酸化層（１１）によってガス感応層（１０）から分離されており、カバー酸化層（１１）が接触孔（１２）を有していて、該接触孔（１２）が、評価構造体（７）とガス感応層（１０）との間の直接的な接触を形成するために、それぞれ評価構造体（７）の表面の中央領域を露出している。
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【課題】電気接点数を低減することが可能な、ガスを検出するためのガス・センサ・アレーの作動回路装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの信号ラインを有する、センサ・アレー、特にガスを検出するためのガス・センサ・アレーの作動回路装置において、少なくとも１つの信号ラインが少なくとも２つの並列ライン・ブランチに分岐され、少なくとも２つの並列ライン・ブランチ内にそれぞれ、少なくとも１つのセンサと、それぞれのセンサに直列に結合されている少なくとも１つのダイオードとが配置される。この場合、少なくとも２つのダイオードは電気的に逆の遮断方向を有し、少なくとも１つの信号ラインに印加された電位の極性により、少なくとも１つの信号ライン内を流れる電流の少なくとも大部分が、第１の並列ライン・ブランチ内を流れたか、または第２の並列ライン・ブランチ内を流れたかが決定される。 （もっと読む）

【課題】 ガスセンサのセンサ用フィルタにおける所要のガス透過率及び所要の機械的強度（曲げ強さ）の双方を十分に確保する。
【解決手段】 セラミックス粉末原料と一又は二以上の添加剤を調合し、所定の粒度を有する造粒体材料Ｐｏを造粒する第一材料製造工程Ｓａと、この第一材料製造工程Ｓａで得た造粒体材料Ｐｏを所定の一次加圧力Ｆｆにより一次成形した後、所定の一次加熱温度Ｔｆにより一次焼成することにより粒子ｋ…の大きさが０．１〜１．０〔ｍｍ〕の範囲となる圧粉体材料Ｐｐを得る第二材料製造工程Ｓｂと、この第二材料製造工程Ｓｂで得た圧粉体材料Ｐｐを所定の二次加圧力Ｆｓにより二次成形した後、所定の二次加熱温度Ｔｓにより二次焼成して多孔質セラミックスＣを得る主成形工程Ｓｃを備える。 （もっと読む）

【課題】保護膜としての機能を果たしながら応答速度の低下を抑制できる水素透過膜を提供する。また、この水素透過膜を水素センサに適用して、応答速度が速い水素センサおよび水素検知方法を提供する。
【解決手段】本発明の水素透過膜は、リンを添加した酸化珪素からなる。また、本発明の水素センサは、半導体と、半導体の表面の少なくとも一部に付設する水素吸収体と、水素吸収体の露出した面を覆うとともに水素を透過する水素透過膜と、水素吸収体の付設位置を挟んで、半導体に水素吸収体によって導通しないように配置した対になる電極とを具備してなり、水素透過膜がリンを添加した酸化珪素からなり、水素吸収体への水素吸収の有無に対応する半導体の抵抗値変化を対になる電極間で計測することにより、水素の存在を検知可能とされてなる。 （もっと読む）

【課題】試料ガス等の消費増大を招くことなく良好な再現性を維持しながら測定時間を短縮できるにおい測定装置を提供する。
【解決手段】センサ４を配設したフローセル３に試料ガスを所定の一定時間供給したときのセンサ４の抵抗値を測定しサンプル抵抗値とし、フローセル３に供給するガスを試料ガスからゼロガスに切り換えた後、所定の一定時間が経過したときのセンサ４の抵抗値を測定しベース抵抗値とするようにプログラムされた制御部１１を備えてにおい測定装置を構成し、これら２つの測定値にもとづく所定の演算により試料ガス中のにおい成分の定量／定性を行うようにする。 （もっと読む）

【課題】ガスの臭気を人の感覚で表現することが可能な臭気測定装置を提供する。
【解決手段】臭気測定装置は、種々のガスの臭気に対する人の脳波データを、快、不快の程度を表す座標系及び興奮、沈静の程度を表す座標系で定義される２次元座標上の原点からの位置ベクトルに対応させた臭気感性データと、該種々のガスの臭気に対する半導体ガスセンサの出力から算出される４８個の特徴値との対応関係を学習したニューラルネットワークを予め記憶している。半導体ガスセンサの出力から特徴値を算出し、算出した特徴値を、ニューラルネットワークの入力層に入力し、出力層から２次元座標上の原点からの位置ベクトルを算出して、算出された位置ベクトルの２次元座標上の方向及び大きさにより、測定対象のガスを人が嗅いだときの感覚に対応させて翻訳する。 （もっと読む）

【課題】 吸収缶の破過時期を推定する破過曲線図を用いずに、作業者自身に呼吸用保護マスクの吸収缶の交換時期を的確に報知することができる呼吸用保護マスクを提供する。
【解決手段】 硫化水素ガスを吸収する吸収材を内臓した吸収缶を一側に着脱自在に取り付け、他側に開口部を有する保護面体と、該保護面体に連結した半導体ニオイセンサーとを具備し、前記半導体ニオイセンサーにより前記吸収缶の交換時期を報知するように構成した呼吸用保護マスク。 （もっと読む）

【課題】 湿度センサが設けられている管路内が濡れたり、湿度センサが濡れてしまってもキャビティ内のエアの湿度の計測が可能なキャビティ湿度計測装置及びキャビティ湿度計測方法の提供。
【解決手段】 第１真空排気管路１０には、第１弁２１及び第２弁２２を有する第２真空排気管路２０が連通している。第１弁２１と第２弁２２との間の第２真空排気管路２０の所定領域２０Ｃには、湿度センサ３０が設けられている。第１弁２１には、第１大気連通管４０を介してエジェクター４２が接続されており、第２真空排気管路２０の所定領域２０Ｃは、第２弁２２及び第２大気連通管５０を介して大気に連通可能である。第２真空排気管路２０の所定領域２０Ｃや湿度センサ３０が結露して濡れても、エジェクター４２により第２真空排気管路２０の所定領域２０Ｃにエアを流して乾燥させることができる。 （もっと読む）

【課題】結晶粒または微粒子セラミックスから構成されるガスセンサでは、粒径縮小による高感度化と、粒成長による経時変化がトレードオフの関係にあるため、高感度化と信頼性耐久性の両立が困難であった。また、高感度かつ高耐久性・高信頼性を有するセラミックスセンサを、Ｓｉ集積回路とモノリシックに集積化するのが困難であった。
【解決手段】熱により粒成長等のセラミックス構造変化が生じない人工的なナノ構造体セラミックス膜によりガスセンサを構成する。ナノメータレベルのパターン状テンプレートに、ゾルゲル法を用いてセラミックス薄膜を形成するとともに、十分に焼成して緻密化する。さらに、上記ガスセンサを、集積回路とモノリシックに集積化する。 （もっと読む）

【課題】オフガス中の水蒸気により、排気ガスの導入部分やＣＯセンサの周囲に結露水が溜まることを防止して、正確な排気ガスのＣＯ濃度検知を行うこと。
【解決手段】水素生成器１の加熱用バーナ５の排気ガス３４中のＣＯ濃度検知を行うＣＯセンサ３６と、排気ダクト３５にＣＯセンサ３６を臨ませる時にＣＯセンサ３６の周囲に設け、先端を排気ダクト３５内に突出したセンサキャップ３７と、センサキャップ３７に設ける複数個の透孔３８を設けたので、オフガス７が燃焼して生成する水分が排気ガス３４中に多量に含まれてもセンサキャップ３７に設ける透孔３８から排気ガス３４がセンサキャップ３７内に流入し、結露水により透孔３８が詰まることが無く、ＣＯセンサ３６のＣＯ濃度検知不良を防止できる。 （もっと読む）

【課題】 水を制限領域内に閉じ込めることができる新規な物質を提供し、その物質が呈する特徴的な物理特性に基づいて、種々の応用的な用途を提供する。
【解決手段】 少なくとも２つの炭素片を所定の間隔で隣接して配置し、前記炭素片の間隙中に前記炭素片に水を吸着するようにして存在させる。このとき、前記炭素片は前記水の吸着によって活性化され、所定のガス雰囲気中に配置した場合に、前記雰囲気中のガスと前記空隙の水とが反応することによってガスハイドレートが形成されることを利用し、ガスセンサ、圧力センサ及び分子ふるいなどの実用的なデバイスを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 センサに付着した結露を払拭し、正確なガス濃度測定が行えるセンサの結露防止装置を提供する。
【解決手段】 ガスが流通する流路に臨んで配置され、その流路内を流れるガスの濃度を検出する熱触媒素子３ａを備えたセンサに付着する凝結水を取り除く結露防止装置において、熱触媒素子３ａを回転軸２ｂを中心として右回り方向と左回り方向に交互に回転させることで、熱触媒素子３ａに付着する凝結水を取り除く。この水素センサ１は、燃料電池システムを構成する水素燃焼器の後方に接続された燃焼後のガスを排出させる排気管に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】 高精度にガス濃度を測定することができる小型の可燃性ガス濃度測定装置を提供する。
【解決手段】 本発明の可燃性ガス濃度測定装置は、可燃性ガスが吸気されるガス吸気手段と、空気が吸気される空気吸気手段と、前記ガス吸気手段からのガスと空気吸気手段からの空気とを混合する混合部と、前記混合部の下流側に配置され混合されたガスのガス濃度を検出するガスセンサと、前記混合されたガスを前記ガスセンサに供給するポンプとを有し、当該ポンプは、ダイヤフラムを収縮拡大して負圧状態または加圧状態を生成し前記混合ガスを前記ガスセンサに導き、更に、互いに異なる位相で収縮拡大する複数のダイヤフラムを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料流路内でのＮＯ_２の損失による測定誤差の発生を抑えて測定精度を高めたアンモニアガス測定装置を提供する。
【解決手段】試料採取用のプローブ１１内に設けられたアンモニアを酸化或いは還元する触媒１３至近の下流側試料ガス経路（第１の経路１８）中にＮＯ_２をＮＯに還元する触媒１６を設けた。これにより、アンモニアを酸化或いは還元する触媒１３でＮＯがＮＯ_２に酸化されても、ＮＯ_２が損失する前に再度ＮＯに還元することができる。 （もっと読む）

【課題】 酸性ガス雰囲気下においても十分に安定して動作できる湿度センサ素子を提供すること。
【解決手段】 本発明は、基板１の一側に対向するように形成された一対の電極３、一対の電極３上に設けられる感湿膜９を備え、感湿膜９が下記一般式（ＩＩ）：


〔上記一般式（ＩＩ）中、Ａ及びＢはそれぞれスルフォニル基（−ＳＯ_２−）若しくはカルビニル基（−ＣＯ−）で表される二価基、Ｒ１は置換基を有しても良い一価又は二価の有機基、Ｒ２は二価の有機基である。Ｍは、アルカリ金属等を表し、同一分子中に複数の種類を含んでいても良い。ｎは２以上の正の整数である。〕で表される構造を含有する湿度センサ素子１００である。この湿度センサ素子１００によれば、酸性雰囲気下においても十分に安定して動作できる。 （もっと読む）

ガス混合物中に存在する個別のガスの検出または定量測定に適用可能であるという点で有用であり、小型であり低消費電力であるという点で好都合であるガス検知装置が、本明細書において開示される。これは、４つ以上のセンサー素子と、２つ以上の電極とを含んでなる。
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【課題】製造時に効率よくセンサチップをセンサベースに固定することができるガスセンサを提供することにある。
【解決手段】センサベース５と、センサベース５の主表面に対してその主表面が垂直になっている加熱型センサチップ１を備えたガスセンサであり、別の態様として、センサベース５と、加熱型センサチップ１と、前記センサチップ１に接続された複数のワイヤ２と、前記センサベース５に一列又は二列に立設され、前記ワイヤ２を介してセンサチップ１を保持する複数のピン３とを備えたガスセンサであり、前記ガスセンサにおいて前記加熱型センサチップ１を覆うセンサカバーを備えたこと、又は前記センサベースの主表面が方形であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 結露が十分に防止され、装置の小型化が可能で、且つ、十分な検知感度を有するガスセンサを提供すること。
【解決手段】 化学的にガスを検知するセンサ素子部１００と、センサ素子部１００に接して設けられ水分を除去する水分除去部５０と、を備えるガスセンサ１ａ。 （もっと読む）