【課題】各チャンネル間のクロストーク対策を十分に考慮する。
【解決手段】任意波形発生器１と、送信アンプ２と、送信信号の波形に基づいて検査対象物３内にガイド波を発生させる複数チャンネルの送信素子４と、増幅された送信信号を送信素子４に順番に供給する切替手段５と、検査対象物３の検査領域からガイド波の反射波を受信する複数チャンネルの受信素子６と受信アンプ７と、受信信号をアナログ／デジタル変換するＡ／Ｄ変換器８と、反射波の受信波形に基づいて信号解析を行う解析手段９を備えている。受信アンプ７は１つの筐体１５内に並んで収容されると共に、受信アンプ７の間にはノイズ遮断手段１７が設けられており、送信アンプ２は筐体１５とは別の筐体１４に収容されている。 （もっと読む）

【課題】温度変化や、溶液の比重・粘性などの外乱要素の影響を抑制し、高い精度により溶液の電気的特性・力学的特性の測定を行う表面弾性波センサ装置を提供する。
【解決手段】本発明の表面弾性波センサ装置は、基準信号を入力し、溶液の比重及び粘性を含む力学的特性で基準信号が変化した第１の測定信号を出力する第１の表面弾性波センサ素子と、溶液の測定対象の特性により影響を受ける形状に構成されており、力学的な特性と測定対象の特性とにより基準信号が変化した第２の測定信号を出力する第２の表面弾性波センサ素子とを有し、第１及び第２の表面弾性波センサ素子の基準信号を伝搬させる方向の長さが、第１及び第２の表面弾性波素子のセンサ面の構造に起因する誤差の差分に対応する長さ分異なって形成され、第１及び第２の測定信号の振幅比及び位相差から、溶液の特性を検出する。 （もっと読む）

【課題】液体燃料の外部への漏出、外部から液体燃料中への不純物の侵入及び液体燃料中への不純物の溶出を防止し、液体燃料濃度の測定精度を向上させる。
【解決手段】本発明の液体燃料濃度センサは、基板３４と、基板３４の表面側に設けられる弾性表面波電極３７ａ，３７ｂと、基板３４の裏面側に設けられる内部電極３８ａ，３８ｂと、スルーホール３９を通って各弾性表面波電極３７ａ，３７ｂと内部電極３８ａ，３８ｂとを結合する電気配線４０ａ，４０ｂと、を有する弾性表面波素子３１を備え、弾性表面波素子３１は、内部に前記液体燃料を収容する合成樹脂製の取付対象部材１３，１９，２０の内面に沿って設けられ、弾性表面波伝播領域３５ａ，３５ｂが前記液体燃料に臨むと共に内部電極３８ａ，３８ｂが基板３４と取付対象部材１３，１９，２０の間に介装されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】周波数に依存する弾性表面波の伝搬特性の変化から環境変化要因を計測する。
【解決手段】球形状の外表面に周回経路１１が構成され、励起された弾性表面波１２が周回経路に沿って伝搬して周回する球状弾性表面波素子１と、複数の周波数の高周波信号を発生する発生器４２と、前記周回経路に対向して配置され、１つの周波数の高周波信号により弾性表面波を励起し、この励起された弾性表面波を周回経路に沿って連続的に周回させ、かつ、周回してきた弾性表面波から発生する信号を検知し出力する弾性表面波励起・検知手段２と、高周波信号の励起時及び弾性表面波の所定周回目の信号検知時に弾性表面波励起・検知手段を周回経路に接近させるように移動調節する相対距離調節手段３と、周波数の違いによる前記弾性表面波の伝搬特性の変化から所望とする環境変化を計測する制御処理系４とを備えた球状弾性表面波装置である。 （もっと読む）

【課題】
吸着を利用した検出において、特定物質に対する検出感度を向上する。
【解決手段】
物質検出方法は、検出対象物質のエネルギレベル構造に基づき、検出対象物質を基底状態から励起状態に励起できる第１の波長の光を検出空間の雰囲気に照射して、検出対象物質を励起し、励起状態から真空レベル以上のエネルギ状態に励起できる第２の波長の光を検出対象空間の雰囲気に照射して、検出対象物質をイオン化し、イオンを電界加速して検出子に吸着させ、吸着量を検出する。 （もっと読む）

【課題】結晶球の周回経路の結晶方位に対応した膜厚の膜を正確に真空成膜する。
【解決手段】真空容器２１内で蒸着材料２２を加熱気化させる蒸着材料放射ステップ（２２，３１）と、弾性表面波４を周回させる圧電性結晶球２の周回経路５が前記気化された蒸着材料２２の放射ビームの照射方向と対面するように、圧電性結晶球２を回転可能に支持する支持ステップ（３２，３５）と、周回経路の結晶方位に従って前記回転支持ステップによる圧電性結晶球２の回転速度を変更し、周回経路上に結晶方位に依存した膜厚分布で真空成膜する成膜制御ステップ（１，５，３２，３４，３５）とを有する球状弾性表面波素子の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】比重の小さな気体成分でも検出感度を上げ、より高精度に分析することにある。
【解決手段】キャリアガスとともに供給される分析対象気体の気体成分の吸収・脱離を行う薬剤を利用し、分析対象気体から各気体成分を分離する気体分離管１と、この分離された各気体成分を周回する弾性表面波に順次接触させ、弾性表面波の信号変化を検出する球状弾性表面波素子４と、周回する弾性表面波に高周波信号を励起し、球状弾性表面波素子から受け取る励起された弾性表面波の信号変化を計測する信号励起計測手段１０とを備え、この球状弾性表面波素子４は、少なくとも一部を球形状とする球体表面の最大外周円を含む円環状領域を有する球形基体２４と、高周波信号で励起させた弾性表面波を当該円環状の領域の延出方向に沿って周回させるとともに、所定周回後に弾性表面波から得られる信号変化を検出する弾性表面波励起・検知手段とを有する気体分析装置である。 （もっと読む）

【課題】セメント硬化物の表面からその内部の状態を検出することができ、セメント硬化物の内部に生じた空間を確認することができる非破壊検出システムおよび非破壊検出方法を提供する。
【解決手段】非破壊検出システム１０は、セメント硬化物の一方の表面に設置される複数の弾性波第１〜第ｎ検出センサＳ_１〜Ｓｎと、それら検出センサＳ_１〜Ｓｎの近傍を順に打撃して複数の弾性波を発生させる所定直径の鋼球ハンマー１３と、それら検出センサＳ_１〜Ｓｎが検出した複数の弾性波を用いて表面波トモグラフィ解析を行うことで表面波位相速度分布を表示し、それによってセメント硬化物の内部に生じた空間を可視化するコンピュータ１４とから形成されている。 （もっと読む）

【課題】監視対象物の温度が変化しても表面欠陥の深さの変化を正確に検出する。
【解決手段】基準温度Ｔｒにおいて監視対象物２の表面に励起用パルスレーザ光３を照射して表面欠陥１を迂回して伝播する迂回波４と表面欠陥１が無い部分を伝播する参照波５を励起させると共に、レーザ干渉計７によって迂回波４と参照波５による表面変位を検出して伝播時間ｔ１(Ｔｒ)，ｔ２(Ｔｒ)を測定する準備工程（ステップＳ３１）と、準備工程と同じ位置で迂回波４と参照波５を励起させてそれらの伝播時間ｔ１(Ｔ)，ｔ２(Ｔ)を測定する測定工程（ステップＳ３２）と、ｔ２(Ｔ)をｔ２(Ｔｒ)で除して補正係数ｆ(Ｔ)を求める補正係数算出工程（ステップＳ３３）と、ｔ１(Ｔ)にｆ(Ｔ)を乗じて補正伝播時間ｔ１ａを求める補正工程（ステップＳ３４）と、ｔ１ａとｔ１(Ｔｒ)との時間差Δｔを求め、求めた時間差Δｔに基づいて表面欠陥１の深さａの変化を検出する検出工程（ステップＳ３５）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、前記課題を解決するため、抗原抗体反応を促進することにより検体の反応時間を短縮することができ、検知ないし検出機能に優れた表面弾性波センサを提供することを目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明に係る表面弾性波センサは、圧電基板と、前記圧電基板の表面に形成され、表面弾性波の送信を行う送信電極と、前記圧電基板の表面に形成され、表面弾性波の受信を行う受信電極と、前記送信電極及び前記受信電極の間に形成され、被検対象となる検体が導入される伝搬領域と、前記伝搬領域に導入された検体を機械的に振動可能な振動体と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超音波の表面波が被検査体の幅方向を一周して全面探傷することができ、欠陥以外からの反射波を低減する表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置及びその方法を提供する。
【解決手段】本発明の表面欠陥及び表面皮下欠陥の検出装置は、被検査体２に対して被検査体２の表面直下を伝播する超音波を送出する送信部、及び送出された超音波のうち、少なくとも被検査体２内の欠陥で反射して戻った超音波を受信する受信部を備えた探触子１０と、該送信部から送出される超音波の伝播方向にある被検査体２の表面付着物を、該伝播方向に対して略垂直方向へ除去するエアブロア３ａと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】回転体の回転を止めずに周方向に走査して表面探傷を行う。
【解決手段】一定速度で回転する検査対象物１に励起用パルスレーザ光を一定周波数で照射して検査対象物１の表面を伝播する超音波を繰り返し発生させると共に、励起用パルスレーザ光の照射位置７とは別の位置８で超音波による表面変位を励起用パルスレーザ光に同期させたレーザ干渉計を用いて測定し、測定波形の変化に基づいて超音波の伝播経路５途中における表面欠陥６を検出するものであり、検査対象物１に対する励起用パルスレーザ光の照射位置７及びレーザ干渉計の測定用レーザ光の照射位置８を固定すると共に、検査対象物１の回転周期Ｔｒと励起用パルスレーザ光の照射周期Ｔｓとを相違させることで、検査対象物１の励起用パルスレーザ光によって励起される部位１０とレーザ干渉計によって測定される部位１１とを検査対象物１の周方向に徐々にずらして走査を行うようにする。 （もっと読む）

【課題】ＴＯＦＤ法による超音波探傷において、厚肉構造物の探傷を高精度で実行できると共に、探傷に要する時間の短縮ができる、複合型超音波探触子及びそれを用いたＴＯＦＤ法による超音波探傷法を提供すること。
【解決手段】ＴＯＦＤ法による超音波探傷に用いられる一対の送信探触子１０及び受信探触子１１を有し、送信探触子１０は、複数の送信振動子２ａ，２ｂを有し、受信探触子１１は、複数の送信振動子２ａ，２ｂからそれぞれ送信される超音波を受信自在な複数個の受信振動子６ａ，６ｂを有し、複数の送信振動子２ａ，２ｂは、それぞれ送信する超音波（２２ａ，２２ｂ）の屈折角が互いに異なるが（θａ１≠θｂ１）、それぞれ送信する超音波（２２ａ，２２ｂ）の入射点Ｐ１が共通であるよう配置され、複数の受信振動子６ａ，６ｂは、それぞれ受信する超音波（２３ａ，２３ｂ）の屈折角（θａ２≠θｂ２）が互いに異なるが、それぞれ受信する超音波（２３ａ，２３ｂ）の入射点Ｐ２が共通であるよう配置される。 （もっと読む）

【課題】腐食による欠陥の程度をより精度よく評価することができる土中構造物の欠陥評価装置を提供する。
【解決手段】探触子より超音波を発信する（Ｓ２０１）。次に、受信器を第２受信フィルタで受信するようセットする（Ｓ２０２）。第２受信フィルタで腐食部反射エコーが認められた場合（Ｓ２０３おいてＹＥＳ）、メモリに腐食部反射エコーの波形データを記憶して、切り替え部により受信器を第１受信フィルタで受信するようセットする（Ｓ２０４）。第１受信フィルタで反射エコーの波形データを受信したら（Ｓ２０５）、メモリに波形データを記憶して、腐食による欠陥の程度を評価する（Ｓ３０１）。 （もっと読む）

【課題】短時間で効率的に広範囲の構造物表面の検査が可能な検査装置及びそれを用いた検査方法を提供する。
【解決手段】所定の周波数で検査面の打突を行う打突振動子１０５と、前記打突振動子１０５と第１距離の位置にて固定される第１受信子１０７と、前記打突振動子１０５と前記第１距離より大きい前記第２距離の位置にて固定される第２受信子１０８と、前記第１受信子１０７によって検知された検査面の振動に係る物理量から、表面波を抽出する第１フィルタ手段（制御部１０１）と、前記第２受信子１０８によって検知された検査面の振動に係る物理量から、表面波を抽出する第２フィルタ手段（制御部１０１）と、前記第１フィルタ手段と前記第２フィルタ手段によって抽出された物理量との比が、所定値より大きいか否かを判定する判定手段（制御部１０１）と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】気体中の種々の気体成分を種類と濃度により気体の流れの方向に相互に分離させる気体分離流路を使用する気体分析装置の簡易化と性能向上とを達成することである。
【解決手段】気体分析装置１０は：気体中の種々の気体成分を種類と濃度に応じて気体の流れの方向に相互に分離させる気体分離流路１２ａを含む本体１２と；球形状の一部で構成され球形状の最大径の外周円を含み弾性表面波を励起及び伝搬可能な円環状領域を有する基体と、円環状領域に弾性表面波を励起させ円環状領域延出方向に周回させ周回後に検知した弾性表面波に対応した電気信号を発生させる弾性表面波・励起／検知手段と、を含み、上記流路中の所定位置に配置された球状弾性表面波素子１４と；を備え、上記素子の円環状領域を周回する弾性表面波が気体中の分離された気体成分に順次接触し接触した気体成分の種類と濃度に応じた弾性表面波の変化を電気信号として検出する。 （もっと読む）

【課題】複数のガスが混じり合った混合ガスの分析装置及び分析方法を提供する。
【解決手段】キャリアガス流量調節用第1バルブＶ１と、Ｖ１に配管接続して、測定ガス注入器と保持力が小さい第１分離カラムＣＬ１と第１弾性表面波素子ＢＳ１と第１弾性表面波測定手段Ｍ１とからなる第１分析部と、第１分析部に配管接続し、接続切り替えが可能な第２のバルブＶ２と、更にＶ２に配管接続し、保持力が大きい第２分離カラムＣＬ２と第２弾性表面波素子ＢＳ２と第２弾性表面波測定手段Ｍ２とからなる第２分析部とを有する。あらかじめＶ１を用いて流量を調節したキャリアガスの一部を、ＣＬ１における保持時間が短い混合ガスの遅延時間と振幅変化とをＭ１によりＢＳ１で測定した信号に基づいて、ＣＬ１を通過させずに直接ＣＬ２に導入し、かつ、ＣＬ１での保持時間が長い混合ガスがＣＬ２に導入しないようにＶ２のバルブを切り替える。 （もっと読む）

【課題】誤測定の可能性を減少させ、測定時間を節減する基板の回路パターン欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】基板１０５の検査対象回路パターン１０６に非接触式でレーザー１０３を照射するためのレーザー照射部１０１を準備し、検査対象回路パターン１０６と電気的に連結される連結回路パターン１０７に非接触式でプローブビーム１０４を照射するためのプローブビーム照射部１０２を準備し、検査対象回路パターン１０６にレーザー照射部１０１からレーザー１０３を照射し、連結回路パターン１０７にプローブビーム照射部１０２からプローブビーム１０４を照射してプローブビーム１０４の回折有無及び回折角度を測定する。 （もっと読む）

【課題】狭隘部に存在する複数あるいは広い面積の検査対象を感度よく効率的に検査できるレーザー超音波検査装置を提供する。
【解決手段】第１のレーザー光を被検査材に照射する照射手段２と、第２のレーザー光を前記被検査材表面に照射し、その反射成分を受光する照射・集光手段M6と、集光された前記反射成分から第１のレーザー光の照射によって被検査材に発生した超音波信号を光学的に検出する受信用光学系OPと、OPで受信された超音波信号を電気信号に変換する信号変換手段RECと、RECの出力信号を信号処理から超音波の伝播と前記被検査材の特性に関する情報を演算し表示し記録する信号処理手段41を備えたレーザー超音波検査装置において、２およびM6の少なくとも一方を前記被検査材の検査すべき部位の数と同数備え、第１および第２のレーザー光の偏向で選択された各検査点の計測信号を各々の検査点ごとに分別する信号分別手段を備える。 （もっと読む）

【課題】酸素を含有する空気中で、低濃度の水素を検出可能な水素ガスセンサを提供する。
【解決手段】板状の圧電体１１、圧電体１１の表面の一部に配置されたパラジウム―プラチナ合金からなる薄膜状のガス感応部３２、及びガス感応部３２に接するガスの水素濃度に依存するガス感応部３２の物性の変化を検出する検出部として機能する櫛歯状の電極２２を備える水素ガスセンサを提供する。 （もっと読む）