【課題】ガラス板上に形成された電極パターンの形状欠陥部を少ない測定回数で精度よく検出できる検査装置、検査方法およびこれらを用いた画像表示用パネルの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】電極パターンを有するガラス板（被検査物１０６）の裏面に光を照射する第１投光装置１０１と、ガラス板の表面に斜め方向から光を照射する第２投光装置１０９と、ガラス板の表面を撮像する撮像装置１０２と、ガラス板の表面を撮像装置１０２に結像させるレンズ系１０３と、撮像装置１０２で撮像したガラス板の表面の画像を画像処理して、電極パターンの形状欠陥部を検出する処理装置とを備え、第１、第２投光装置１０１、１０９による照明条件が、ガラス板の内部に形成された内部気泡の画像、ガラス板の画像、電極パターンの画像の順に輝度が高くなるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】回転によって容器の水平方向から容器の内壁に沿って異物が移動して落下による移動軌跡が長く形成されるようにして、この状態における連写による撮像画像を用いることによって正確な異物の検査を行う異物検査装置および異物検査方法を提供する。
【解決手段】回転装置が、容器の水平軸に対して水平もしくは一定の傾斜角度に容器を保持する容器保持部材及び容器を６０°以上の角度で回転させて、次に静止させる回転動作を実行させる回転制御手段を備え、異物検出手段が、一定の時間で、回転動作毎に連写して取得した撮像画像を用いて形成される異物移動軌跡によって異物の検出を行う。 （もっと読む）

【課題】画像処理によるタイヤの外観検査において精度良く検査を行うことができるタイヤの外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】タイヤの径方向の断面形状をタイヤ周方向に沿って取得する断面形状取得手段と、各断面形状に対して円弧をフィッティングさせる円弧フィッティング手段と、円弧の中心位置を算出する円弧中心位置算出手段と、各断面形状の円弧の中心位置に基づき、各断面形状を整列する断面形状整列手段とを含むようにした。 （もっと読む）

【課題】拡散板等の透光板の側面から出る光又は光源からの光が、隣接する側板の連結部分から漏れ出ることを防止する。
【解決手段】光源２が設けられる底板３と、光源２を囲むように底板３に固定される複数の側板４と、複数の側板４により光源２の光射出側前方に固定される透光板５とを備え、互いに隣接する側板４の連結部４Ｘを形成する一方の側板４の連結端部４０１が、他方の側板４の連結端部４０１に係合する係止凹部４０２を有し、側板４の下面４ｃが、その側板４を底板３に固定した際に底板３に対して光源２側に傾斜するように形成されており、下面４ｃを底板３に接触するように固定することによって、側板４が底板３に対して光源２側に傾斜して固定されるとともに、互いに隣接する側板４の連結部４Ｘが押圧密着するものである。 （もっと読む）

【課題】径サイズの異なるタイヤの検査に容易に適用可能なタイヤ検査装置及びタイヤ検査方法を提供する。
【解決手段】タイヤ検査装置１は、タイヤＴの検査面Ｔａを撮像する第１撮像部１０と、検査面Ｔａを撮像する第２撮像部２０と、画像データ補正部１０３とを備える。第１撮像部１０は、タイヤの回転軸方向視において、第１撮像部１０の光軸Ａｘ１０が法線Ｎ１に一致するとともに検査面Ｔａを撮像するように配置されており、第２撮像部２０は、第２撮像部２０の光軸Ａｘ２０が法線Ｎ１に平行に検査面Ｔａを撮像するように配置されている。画像データ補正部１０３は、第２撮像部２０によって取得された画像と第１撮像部１０によって取得された画像とを一致させるように第２撮像部２０によって取得された画像を補正する。 （もっと読む）

【課題】被計測対象物の全域において光沢分布を高精度で検査可能な画像検査装置、及びこれを備えた画像形成装置を提供すること。
【解決手段】画像が形成された被計測対象物に対して斜め方向から照明光を照射する光照明手段と、前記被計測対象物に照射された前記照明光の正反射光を受光する撮像手段と、前記撮像手段に前記正反射光を結像させる結像手段と、を有し、前記撮像手段の受光した前記正反射光の光量に基づいて前記画像を検査する画像検査装置であって、前記光照明手段は、複数の発光素子と、照明光生成手段と、を含み、前記照明光生成手段は、前記複数の発光素子が発する光の光路を変換し、前記被計測対象物に照射された際の正反射光が前記結像手段の瞳に対して入射する照明光を生成する。 （もっと読む）

【課題】黒色及び黒色以外のプリプレグの外観を検査するにあたって、プリプレグの地合によるノイズを低減でき、プリプレグに存在する異物、樹脂球、糸抜け、繊維等の微細な異常の検出精度を向上させることができるプリプレグの赤外検査装置を提供する。
【解決手段】プリプレグの赤外検査装置に関する。波長７５０〜２０００ｎｍの赤外光の平均透過率が１０％以上であるプリプレグ１０を検査対象として搬送する搬送装置２と、前記搬送装置２により搬送される途中のプリプレグ１０の一方の面を撮像する撮像装置３と、前記プリプレグ１０の他方の面に赤外光を照射する発光部７を有する赤外光源６とを備えている。前記赤外光源６は、前記発光部７が前記撮像装置３の撮像視野９内から外れ、かつ、前記赤外光が前記撮像視野９内のプリプレグ１０に照射されるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】補正パターンを有するフォトマスクの欠陥検査において、補正パターンに由来する欠陥を除外すること。
【解決手段】本発明に係る検査装置１０は、結像面に転写される主パターンと、主パターンに対して光学近接効果補正を行う補正パターンとを有するフォトマスクを検査する。検査装置１０は、照明光源１１１と、照明光源１１１からの光を集光して前記フォトマスクに照射する光学系と、フォトマスク２０の透過像を取得する検出器１４２と、検出器１４２により得られた透過像と補正パターンのみに対応する検索画像とを用いて補正パターンに対応する除外領域を決定し、当該除外領域を欠陥検出から除外するためのフィルタを生成する処理部３０と、フィルタを用い、除外領域を除外して欠陥検査を行う欠陥判定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査に適したウェーハの画像を効率よく取得できるようにする。
【解決手段】受光部２により撮像された検査対象のウェーハＷの画像の平均輝度が欠陥検出可能範囲内にあるか否かを判定し、ウェーハＷの画像の平均輝度が欠陥検出可能範囲内にないと判定した場合に、ウェーハＷを撮像する際の露光時間を変更して、受光部２によりウェーハＷの画像を再度取得させる制御処理部６ａと、ウェーハＷの画像の平均輝度が欠陥検出可能範囲内にあると判定された場合に、当該ウェーハＷの画像に基づいて欠陥検査を行う画像処理部６ｂとを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの画像から適切に欠陥を検出することができるようにする。
【解決手段】画像中のウェーハＷの検査対象の領域内の各画素について、所定の直線方向に並ぶ複数の画素中の当該画素を含む所定の範囲内の複数の画素の輝度を平均した移動平均輝度を算出し、各画素における移動平均輝度と、各画素の輝度との差分値を算出し、各画素についての差分値と、閾値とを比較することにより、各画素が欠陥候補画素であるか否かを判定し、欠陥候補画素に基づいて、ウェーハにおける欠陥を検査する画像処理部６ｂを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】表面特性を定量的に評価するための、さらに下塗りラッカ塗装の評価も可能にする装置と方法を提供する。
【解決手段】表面特性を定量的に評価するための装置（２１）は、第１光放射装置（２３）を有し、この光放射装置は、調査しようとする表面（１）に対して第１所定角度で配設され、調査しようとする表面（１）に放射光を方向付け、表面（１）に向けられた放射光は、赤外領域にある波長を有する少なくとも１つの成分を有し、さらに、調査しようとする表面に対して第２所定角度で配設された検出装置（２４）が備えられ、この装置が表面に照射されてこれからはね返される放射光を検出する。 （もっと読む）

【課題】検査装置の診断及び測定変数設定方法を提供する。
【解決手段】検査装置内に検査基板を装着する段階と、前記検査装置のカメラを介して取得された撮影イメージの明るさと画素数とを軸としたヒストグラムの幅がダーク領域及びブライト領域を避けるように調整する段階と、前記ヒストグラムが明るさ軸の方向においてグラフの中央に近いように調整する過程を通じて前記検査装置の照明強度を調整する段階と、を含むことを特徴とする検査装置の照明強度の設定方法。 （もっと読む）

【課題】鉛蓄電池用格子体に存在する形状変化を、バラツキなく高精度で検出できるばかりではなく、検出した鉛蓄電池用格子体の形状変化から、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常、例えば、鋳造鋳型に塗布されている離型剤の寿命及び鋳造装置の不具合を迅速かつ適確に判定可能な、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常判定方法を提供するものである。
【解決手段】鋳造された鉛蓄電池用格子体の形状変化を検出して、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常を判定する方法であって、（ａ）鉛蓄電池用格子体の形状変化検出領域を照明する工程、（ｂ）照明された形状変化検出領域を撮像する工程、（ｃ）撮像された画像に２値化処理及び任意的に収縮処理を施す工程、（ｄ）上記処理後の画像から鉛蓄電池用格子体の形状変化を検出する工程、並びに（ｅ）検出した形状変化から、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常を判定する工程を含む、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常判定方法。 （もっと読む）

【課題】部品実装機において電子部品のピンの先端部のみを鮮明に撮像できる撮像判定方法及び該方法を実現する部品実装機を提供すること。
【解決手段】光照射手段２８による水平方向に照射されている光Ｌ内で電子部品ＣのピンＰを移動させているので、例えばピンの移動を上下方向とすることにより部品本体Ｂ及びピンの外筒部での光の反射を防止でき、ピンの先端部のみを鮮明に撮像できる。さらに、ピンの移動開始から移動終了まで連続してピンを撮像するようにしているので、電子部品のピックアップ部位が異なってピンの先端部の上下方向の位置が異なっていたとしても、また、電子部品の製造ロットや製造メーカによって各ピンの長さにバラツキが生じていたとしても、全てのピンの先端部の累積画像から鮮明な画像を容易に取得できる。よって、ピンの形状や配置の良否、ピンの抜けや曲げや折れの有無等の検査を容易且つ高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】タイヤの外観検査において、マスター画像を用意することなくパターンマッチングによりタイヤの外観を検査する外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤ表面を撮像した撮像画像の中から複数のモデル画像を設定するモデル画像設定ステップと、複数のモデル画像と撮像画像とを繰り返しパターンマッチングし、所定のマッチング率以上の撮像画像の領域をマッチング画像として抽出するマッチング画像抽出ステップと、モデル画像とマッチング画像との差分を演算し、差分画像を作成する差分画像作成ステップと、差分画像を閾値と比較して欠陥画像を抽出する欠陥画像抽出ステップとを含むようにした。 （もっと読む）

【課題】複数の自動欠陥検査装置の立ち上げ時の検出条件の設定と、定期的に検出条件を校正する自動欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ基板の欠陥不良を検出する自動欠陥検査装置であって、カラーフィルタ基板を搬送する搬送手段と、搬送されたカラーフィルタ基板を照明する照明手段と、照明されたカラーフィルタ基板を撮像する撮像手段と、撮像された撮像画像から欠陥不良を抽出する画像処理手段と、前記搬送手段と、照明手段と、撮像手段と、画像処理手段と、を制御する制御手段と、を備え、かつ、カラーフィルタ基板を製造する製造工程中に配置された上流の自動欠陥検査装置で検査した検査結果を、下流の自動欠陥検査装置で利用して下流の自動欠陥検査装置の欠陥検出条件を設定する欠陥検出条件設定手段を備えたことを特徴とする自動欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】表面検査ツールおよび方法を提供する。
【解決手段】検査ツールの実施形態は、光ビームをワークピース上に導くことによって、前記ワークピースの欠陥から散乱された光、および前記ワークピースの通常の散乱パターンにしたがって散乱された光を含む、散乱された光を発生する照射源を含む。この実施形態は、前記ワークピースから散乱された光を受け取り、前記ワークピースの欠陥から散乱された前記光を、この光を電気信号に変換する前記フォトセンサに選択的に導くプログラム可能な光選択アレイを含む。処理回路は、前記光検出要素からの電気信号を受け取り、ワークピースの欠陥の特徴付けを含みえる前記ワークピースの表面分析を行う。プログラム可能な光選択アレイは、以下に限定されないが、反射器アレイおよびフィルタアレイを含みえる。本発明はまた関連付けられた表面検査方法も含む。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表面において濃淡ばらつきと欠陥とが混在する場合であっても、欠陥のみを確実に検出することができる表面外観検査装置を提供する。
【解決手段】表面外観検査装置１００に、ＬＥＤマトリクス照明１と、ＣＣＤカメラ５と、画像処理ユニット６と、を備え、画像処理ユニット６が、基準調光設定値Ｄ１を、（１）式を用いて決定し、輝度閾値Ｌｔｈを（２）式を用いて決定し、（７）式を満たさない場合には、半導体モールドパッケージ２００に濃淡ばらつきがあると判断し、画像をｍ×ｎ個に分割して分割領域を生成し、分割領域毎の平均輝度階調値Ｌ１（ｍ，ｎ）ｍｅａｎに基づいて、分割領域毎に調光設定値Ｄ２（ｍ，ｎ）を決定し、ＬＥＤマトリクス照明１が分割領域毎の調光設定値Ｄ２（ｍ，ｎ）で照明光を出射し、ＣＣＤカメラ５によって生成された画像データに対して、輝度閾値Ｌｔｈを用いて２値化処理を行うように構成した。 （もっと読む）

【課題】セラミック基板の外観検査における誤判定を防止するとともに、外観検査の作業効率を向上することのできる外観検査装置を提供する。
【解決手段】セラミック基板を個別に収容するためのトレイと、セラミック基板をトレイを背景にして撮像した第１の画像を得るための第１の撮像装置と、トレイに振動を加えるための振動装置と、振動装置により振動が加えられた後に，セラミック基板をトレイを背景にして撮像した第２の画像を得るための第２の撮像装置と、第１及び第２の画像を演算処理するための画像処理部とを有し、第１の画像の画像処理時に検出された暗色系領域の発見エリアに関する位置座標データと、第２の画像の画像処理時に検出された暗色系領域の発見エリアに関する位置座標データとが一致した場合にそのセラミック基板は不良品と確定されることを特徴とする外観検査装置による。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、発光ダイオードの取付角度を容易にそろえることができて容易に製造でき、高効率で均一性も良好な照明装置を提供する。
【解決手段】 光学素子３４は、光の出射面３６を含んで発光ダイオード３３の光を検査領域に照射するための特性を持つシリンドリカルレンズを構成する。また出射面３６と対向する光の入射面３７は平面であって、複数の発光ダイオード３３の発光部３５の前面の断面形状に等しくなるような溝３８が形成されている。複数の発光ダイオード３３は、それぞれの発光部３５を光学素子３４の溝３８に嵌め込んで位置決めしつつ取り付けられる。 （もっと読む）