【課題】ハニカム構造体のセル内の隔壁の欠陥を検出することが可能なハニカム構造体の検査方法を提供する。
【解決手段】一方の端面から他方の端面まで貫通する複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有するハニカム構造体１００を検査対象とし、ハニカム構造体１００の一方の端面１１を、一方の端面１１との角度θが０°より大きく９０°より小さくなる方向から、撮像装置２１で撮像して、ハニカム構造体１００のセル内の隔壁の欠陥を検査するハニカム構造体の検査方法。 （もっと読む）

【課題】ペットボトルのリーク検査と外観検査を行うためのメインロータを１つにすることができ、ヘッドにおいて空気漏れがないペットボトルのリーク検査および外観検査装置を提供する。
【解決手段】ペットボトル１を支持して搬送するメインロータ４と、ペットボトル１の口部１ｍをシールして気体をボトル内に供給する容器押えヘッド３５と、円形軌道の半径方向外側に配置された１台の照明ＬＥＤ１と円形軌道の半径方向内側に配置された少なくとも２台のカメラＣＡＭ１−ａ，ＣＡＭ２−ａとからなる第１検査ステーションＳ１と、円形軌道の半径方向内側に配置された１台の照明ＬＥＤ２と円形軌道の半径方向外側に配置された少なくとも２台のカメラＣＡＭ３−ａ，ＣＡＭ４−ａとからなる第２検査ステーションＳ２とを備え、検査ステーションＳ１，Ｓ２によりペットボトル１の胴部全周を検査可能である。 （もっと読む）

【課題】容器に貼付されたラベルの良否がラベラ内で検査できるラベル検査装置を提供する。
【解決手段】自転しながら公転軌道３ａを公転する容器２にラベル７を貼付するラベラ１と、ラベラ１の公転軌道３ａを挟んで対向し、かつラベルの正面方向またはラベルの側面方向に設置された少なくとも一対の撮像手段１２ａ〜１２ｄと、撮像手段１２ａ〜１２ｄが撮像した容器２の画像をから容器２に貼付されたラベル７の特徴点を計測する画像計測演算手段２２と、ラベル７の良否を判定する基準値が設定された良否判定基準値設定手段２３と、画像計測演算手段２２が計測した特徴点と基準値とを比較演算してラベル７の良否を判定する良否判定演算手段２５とから構成したもので、ラベラ１内に撮像手段１２ａ〜１２ｄを設置するだけでよいため、既存のラベラにも容易かつ安価に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面形状に左右されずに十分な表面検査を行うことができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、被検査物であるシリンダライナ１００の外周面１０１に対して斜め方向に第１検査光１１を照射するとともに、垂直方向に第２検査光１２を照射し、ターンテーブル５にてシリンダライナ１００を回転させつつ、各検査光１１、１２の照射部位２１、２２をデジタルカメラ４で撮像して外周面１０１を検査するものである。 （もっと読む）

【課題】 コークス炉の炭化室の炉壁の肌荒れによる損傷の程度を指標化できるようにする。
【解決手段】 炭化室１１の炉壁１４の画像データから、炭化室１１の奥行方向の各位置における炉壁１４の凹凸量を示す凹凸プロフィール９００であって、炭化室１１の高さ位置が異なる複数の凹凸プロフィール９００を生成する。そして、複数の凹凸プロフィール９００から基準位置の変位の部分を抽出してこれらの差分をとることにより、基準位置が揃った凹凸プロフィールを得る。そして、当該基準位置が揃った凹凸プロフィールを、炭化室の奥行方向において１００ｍｍピッチで分割し、分割した各区間において、当該凹凸プロフィールの値（凹凸量）の最小値を抽出し、その平均値を肌荒れ指数とする。 （もっと読む）

【課題】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置において、膜厚の違いなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して、高感度なパターン検査を実現する。また、多種多様な欠陥を顕在化でき，広範囲な工程への適用が可能なパターン検査装置を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置を、複数の検出系とそれに対応する複数の画像比較処理方式を備えて構成し、又、異なる複数の処理単位で比較画像間の画像信号の階調を変換する手段を備えて構成し、画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であっても、正しく欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】検査装置における照明装置の煩雑・且つ経験や勘に頼る非効率、不確実な調整作業を軽減し、論理的に最適化し、検査における生産性を向上させ、結果として不良率を下げ、稼働率を上げる。
【解決手段】センシングの為のカメラやセンサ200,201を備えた、検査装置に於いて、単色〜主に多色、異波長の光源を備えた照明100と100を複数軸方向に可動する機能102、103、104、場合により専用受光センサ107を備えた照明部分とそのコントローラ101とＰＣ用ソフトウエア105を考案し、照明100の発光色、発光波長、発光光量、照射距離／範囲、照射角度、などを能動的に変化させ、記憶し、呼び出し、比較し、判断する機能を有する。 （もっと読む）

【課題】精密ソルダレジストレジストレーション検査方法を提供する。
【解決手段】マシンビジョン検査システムを動作させて、蛍光材料内の特徴の位置を再現可能に特定するために、蛍光画像を取得するための蛍光撮像高さを決定する方法が開示される。蛍光材料外に露出した露出ワークピース部分の高さが特定される（例えば、高さセンサまたはオートフォーカス動作を使用して）。特定された高さは再現可能である。露出部分は、蛍光材料および／または蛍光材料内に配置された特徴に対して特徴的な高さを有する。蛍光材料内部であり得る蛍光撮像高さが、特定された露出部分の高さに相対して決定される。蛍光撮像高さは、結果として生成される蛍光画像において蛍光材料内に配置された所望の特徴の検出を向上させるように決定される。様々なワークピースに対して、この方法は、従来既知の方法よりも確実に、適宜合焦された蛍光画像の自動取得を提供する。 （もっと読む）

【課題】 コークス炉の炭化室の炉壁に対して炉長方向に移動させながらレーザ光を照射し、レーザスポットの画像と炉壁の画像とを重畳させた画像から壁面の凹凸量を測定するに際し、レーザスポットの画像を正確に抽出する。
【解決手段】 壁面観察装置１００によって、炭化室１１の炉壁１４に対して奥行方向に移動しながらレーザ光を照射し、レーザスポット４２の画像が重畳された「炉壁１４の画像」を取得する。このとき、レーザスポット４２の奥行方向に延びる線分（レーザ線分６０１）の幅（炭化室１１の高さ方向の長さ）が、耐火煉瓦の目地６０２の幅よりも短くなるようにレーザ光を照射する。そして、レーザスポット４２の奥行方向に延びる線分（レーザ線分６０１）として想定される幅と同じ幅の高輝度領域の輝度だけを元の輝度よりも高くするレーザ線分強調処理を実行した上で、レーザ線分６０１を追跡するレーザ線分追跡処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤからなる照明手段を用いて塗装面の焼き付きを防ぐとともに、車輌の塗装面の色の違いによる検査ムラをなくして検査率を向上させ、しかも、検査装置の光源の放熱性能を向上させて熱暴走などに起因する故障や低寿命化を防止した被塗物の塗装面検査装置及びその装置を用いた被塗物の塗装面検査方法を提供する。
【解決手段】被塗物の塗装面に、該塗装面の色彩に応じた発光色を照射可能な光源としてのＬＥＤを有するＬＥＤ保持装置を備え、前記ＬＥＤにより照射した光の前記塗装面からの反射光に基づいて被塗物の塗装面を検査可能とした被塗物の塗装面の検査装置であって、前記ＬＥＤ保持装置は、発色の異なる複数種のＬＥＤを複数個ずつ環状に配置するための保持基盤と、この保持基盤の背後に所定間隔をあけて配設した複数の放熱板と、前記保持基盤及び前記放熱板を挿貫して連結固定するための縦杆と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板表面の離散的であって線状に分布する欠陥(線状スクラッチ欠陥)を他のランダムに分布する微小な欠陥と区別して分類することを可能にする。
【解決手段】基板表面欠陥検査装置１０００は、基板１を載置して回転可能なステージ手段１９０と、基板１に光を照射する照明光源１１０と、基板１からの反射・散乱光を検出する検出手段１２０，１３０，１４０と、検出される信号を増幅してＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段１５１，１５２，１５３と、このＡ／Ｄ変換手段で変換された検出器から出力される信号を処理して基板上の欠陥を検出して検出した欠陥を分類する欠陥検出手段１６０とを備えて構成し、欠陥検出手段１６０は、検出器から出力される信号を処理して基板の表面の微小な欠陥を抽出し、この抽出した微小な欠陥の中から線状の領域に離散的に存在する線状欠陥を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】人為的なミスを防止することで目視検査よりも検査精度を高めた部品組付け検査確認装置を低コストに提供する。
【解決手段】検査対象となる部品と同数設けられ、切替えスイッチ１１の操作によりランプ部１２を点灯状態から消灯状態へと切替え可能とする明滅切替えスイッチユニット１３と、各明滅切替えスイッチユニット１３に設けられ、明滅切替えスイッチユニット１３ごとに異なる種類の部品の形態を検査者３が視認することのできる形態視認部材１４と、ランプ部１２を検査者３から遮蔽する遮蔽部材１５と、明滅切替えスイッチユニット１３に接続され、アセンブリ２の種類に応じて、複数ある明滅切替えスイッチユニット１３のうち所定の明滅切替えスイッチユニット１３のみを点灯させ、当該点灯状態のランプ部１２が消灯状態に切替わることで、組付けライン１のインターロックを解除するインターロック制御部１６とを具備している。 （もっと読む）

【課題】数秒／枚程度で生産されるパターンドメディアを全面を全数に亘って検査することを可能にするパターンドメディアの形状欠陥検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】基板に形成された寸法が１００nm以下の繰り返しパターンを検査する方法において、基板に複数の波長成分を含む光を照射し、この光を照射した基板からの反射光を分光して検出し、この分光して検出して得た信号を処理して分光反射率を求め、この求めた分光反射率から評価値を算出し、予め求めておいた評価値とパターン断面形状との関係に基づいて分光反射率から算出した評価値からパターンの形状欠陥を判定するようにした。 （もっと読む）

【課題】空間フィルタの設定には、オペレータの目視によるスキャン画像の確認と空間フィルタの調整の繰り返し作業が必要とされる。また、設定状態がオペレータに依存する。
【解決手段】散乱光の像（ビーム像）と回折光の像（フーリエ像）を同時に観察すると共に、散乱光の像（ビーム像）と回折光の像（フーリエ像）の各強度プロファイルを同時に監視する。１本の空間フィルタだけを回折光の像の視野範囲でスキャンし、空間フィルタを挿入しない場合の強度プロファイルに対する状態変化を検出する。検出された状態変化に基づいて空間フィルタの設定条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】立体角をわずかに変えて観察した際に表面塗装に生じる変化も表面特性検査の際に分解できるようにすることである。
【解決手段】本発明は、表面の光学的特性を検査するための装置に関するものであり、所与の一つ目の立体角で検査表面に光を照射する、少なくとも一つの主照射装置を備え、表面に照射され、そこから反射して戻ってきた光を補足するための少なくとも一つの主検出装置を備え、このとき主検出装置は位置分解して光を検出することができ、所与の二つ目の立体角で表面に対して配置されており、少なくとも一つの副照射装置または副検出装置を備え、これは所与の三つ目の立体角で光を検査表面に照射するか、または表面に照射されてここから反射して戻ってきた光を検出する。 （もっと読む）

【課題】シート部材の性状に左右されることなく、シート部材の表面における微少な歪みを検出することが可能なシート部材の歪み検査装置及び歪み検査方法を提供する。
【解決手段】シート部材２の一面２ａに対向して配置され、一面２ａ上に、複数の点状またはスポット状の光被照射領域をマトリックス状に照射可能な光源３と、シート部材２の一面２ａに対向して配置され、一面２ａに照射された複数の前記光被照射領域の相互の間隔及び／または前記光被照射領域の照射範囲の形状を検出可能な検出装置４と、検出装置４によって検出された光被照射領域の相互の間隔及び／または光被照射領域の照射範囲の形状に基づいて、シート部材２の一面２ａにおける歪みの有無を判定する判定手段と、を具備してなるシート部材の歪み検査装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの表面上にある連続的なメッシュがシートの欠陥検査に及ぼす影響を少なくし、ＰＴＰシートの検査の精度を上げることができる。
【解決手段】錠剤包装検査装置であって、ＰＴＰシートを撮像する撮像部と、ＰＴＰシート上の連続的なメッシュ形状と同型のカーネルを用いて、撮像されたＰＴＰシートの画像に対して積分処理をする積分フィルタ部９３と、積分処理された画像に基づき、撮像部によって撮像されたＰＴＰシートの欠陥の有無を判定する欠陥判定部９５とを有する。 （もっと読む）

【課題】
検査対象基板において不規則な回路パターン部分では、パターンからの散乱光によって欠陥信号が見落とされ、感度が低下する課題があった。
【解決手段】
光源から出射した光を検査対象基板上の所定の領域に所定の複数の光学条件をもって導く照明工程と、前記所定領域において、前記複数の光学条件に対応して生じる複数の散乱光分布の各々につき、所定の方位角範囲および所定の仰角範囲に伝播する散乱光成分を受光器に導き電気信号を得る検出工程と、該検出工程において得られる複数の電気信号に基づいて欠陥を判定する欠陥判定工程とを有することを特徴とする欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ上のＬＰＤを検出して結晶欠陥と付着異物とに分類する精度を向上させる方途を提供する。
【解決手段】ウェーハの表面に対して垂直の方向に照射させる垂直照射光の該照射表面からの散乱光のうち、高角度範囲に散乱する散乱光の検出強度から照射表面における輝点欠陥の第１のサイズを求め、照射表面に対して斜めの方向に入射させる斜め照射光の該照射表面からの散乱光のうち、低角度範囲に散乱する散乱光の検出強度から輝点欠陥の第２のサイズを求め、輝点欠陥を、第２のサイズに対する第１のサイズの比および予め求めた閾値に基づいて結晶欠陥と付着異物とに分類するに際し、垂直入射光の波長と斜め入射光の波長とを異ならせるようにする。 （もっと読む）

【課題】カバー絶縁層中の異物の有無を精度よく検査することのできる検査装置、および、配線回路基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】カバー絶縁層に入射する入射光３１を発光する光源ユニット２と、入射光３１がカバー絶縁層の表面で反射された反射光３２を受光するカメラユニット３とを備える検査装置１において、光源ユニット２に、ベース絶縁層の表面との角度が２５°以下となるように、入射光３１を発光する環状の第１発光部６と、ベース絶縁層の表面との角度が３５〜６５°となるように、入射光３１を発光する環状の第２発光部７とを設け、その検査装置１を用いて、カバー絶縁層中の異物の有無を検査する。 （もっと読む）