【課題】簡単な構成でありながら、ワーク表面の明るさのムラを効果的に抑制し、無影照明等をより好適に行うことができる光照射装置を提供する。
【解決手段】光の照射対象である製品等のワークと外部観察点との間であって、かつ、それらを結ぶ観察軸線上に設けられた観察孔と、前記観察孔の周囲に設けられ前記ワークに光を照射する第１光源部と、前記外部観察点側であって前記観察孔に臨む位置に、前記観察軸線に対して斜めに設けられたハーフミラーと、射出された光が前記ハーフミラーで反射し、前記観察孔を通って前記ワークに照射される位置に設けられた第２光源部と、前記観察孔内に嵌入された透明部材と、を備えているようにした。 （もっと読む）

【課題】複雑な画像処理を行うことなく、虚報を減らすことで、安定的に欠陥を検出し、かつ生産性が向上する外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物を撮像して欠陥を検出する外観検査装置であって、照明・撮像系と、画像処理装置と、欠陥判定統合パーソナルコンピューター（ＰＣ）と、検査対象物を移動（搬送）する搬送部とを備え、前記照明・撮像系において、画像撮像用受光部（カメラ）、レンズ、照明を１系統とし、それらが、同一軸上に２系統以上配置され、移動（搬送）される検査対象物の同一フレームを同一条件で２回以上撮像し、その後、前記検査対象物の撮像画像の処理を画像処理装置で行い、それぞれの系統毎で前記検査対象物の欠陥検出候補を抽出し、その結果を、欠陥判定統合ＰＣに出力し、前記の結果の組み合わせにより、検査対象物の欠陥の有無を判定する、外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】欠陥の捕捉率、及び分類性能を向上させる。
【解決手段】互いに平行な直線群を含む回路パターンが形成された被検査物を載置して走行するステージと、スリット状の光であるスリット状ビームを複数生成し、前記被検査物の表面に第１の照明領域、及び第２の照明領域を形成する照明光学系と、前記第1の照明領域からの第１の光と前記第２の照明領域からの第２の光とを分離し、前記第１の光は第１のイメージセンサで、前記第２の光は第２のイメージセンサで検出する検出光学系と、前記第１のイメージセンサ、及び前記第２のイメージセンサで得られた信号に基づいて欠陥を示す信号を得る処理部と、を成す。 （もっと読む）

【課題】ワークに設けられる貫通孔の内部に生じたバリを、ロボットを用いて確実に検出する。
【解決手段】各孔検出カメラ５１ａ，５１ｂにより各油孔２１ａ〜２１ｇの両端側を撮像し、ずれ算出部で各油孔２１ａ〜２１ｇの軸線と軸線Ｃ２とのずれ量を算出し、ずれ量に基づいてロボット３０を駆動制御してクランクシャフト２０をバリ検出カメラ５３と正対させる。軸線Ｃ１は軸線Ｃ２と平行なので、バリ検出カメラ５３は各油孔２１ａ〜２１ｇの内部を全域に亘ってとらえることができる。したがって、ロボット３０によりクランクシャフト２０を精度良く移動して、バリ検出カメラ５３により各油孔２１ａ〜２１ｇの内部に生じたバリを確実に検出し、バリ有無判定部により各油孔２１ａ〜２１ｇの内部に生じたバリの有無を間違えること無く判定することができる。 （もっと読む）

【課題】発光素子検査装置およびその検査方法が開示される。
【解決手段】本発明の実施形態に係る発光素子検査装置は光放出面上に蛍光体物質を含む少なくとも１つ以上の発光素子と、可視光線を発光素子に照射する第１照明ユニットと、紫外線を発光素子に照射する第２照明ユニットと、発光素子から反射された可視光線を撮像して少なくとも１つ以上の第１映像データを生成し、発光素子から反射された紫外線を撮像して少なくとも１つ以上の第２映像データを生成する映像撮像ユニットと、第１映像データおよび第２映像データを用いて発光素子の外観および発光特性に対する不良の有無を判断する判断ユニットとを備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥の高さ（深さ）に依存することなく高いＳ／Ｎで欠陥を検出する。
【解決手段】実施の形態のパターン検査装置は、照射手段と照明手段と検出手段と結像手段と画像処理手段とを含む。前記照射手段は、互いに異なる波長を有する光を生成して出射する。前記照明手段は、前記照射手段から前記異なる波長の光を、検査対象のパターンが形成された基体の同一領域に照射する。前記検出手段は、前記基体で反射した、互いに異なる複数の波長の反射光を検出して波長毎の信号を出力する。前記結像手段は、前記反射光を導いて前記検出手段に入射させ、その検出面で像結像させる。前記画像処理手段は、前記波長毎の信号を前記検出面の入射位置に対応付けて加算処理して波長および信号強度の情報を含む加算画像データを生成し、該加算画像データに基づいて検査対象のパターンにおける欠陥の有無を判定し、欠陥が有ると判定した場合に前記基体に垂直な方向における前記欠陥の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】欠陥の検出感度を向上させる。
【解決手段】実施形態のパターン検査装置は、ステージ駆動手段と光源と検出手段と光学系とフォーカス位置変動手段と制御手段と判定手段とを含む。前記ステージ駆動手段は、検査対象のパターンが形成された基体を支持するステージを前記基体の表面に水平な方向に移動させる。前記検出手段は、前記基体からの反射光を検出して信号を出力する。前記光学系は、前記光源から照射された光を前記基体に導き、前記反射光を前記検出手段に導く。前記フォーカス位置変動手段は、照射された光の前記基体におけるフォーカス位置を前記基体の表面に垂直な方向に変動させる。前記制御手段は、前記ステージの移動と前記パターンの位置への前記光の照射とを対応させて前記フォーカス位置が変動するように前記ステージ駆動手段と前記フォーカス位置変動手段とを制御する。前記判定手段は、前記検出手段からの信号に基づいて前記パターンの欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】カメラぶれが生じた場合であっても、短時間にて、亀裂や膜形成不具合などがあるろ過膜板の有無を判定することができる画像処理によるろ過膜板検査装置を提供することにある。
【解決手段】水槽の上方に取り付けられ、当該水槽内の液体に浸漬して配置された複数のろ過膜板を撮影するカメラ２と、複数のろ過膜板へ空気を圧送しつつカメラにより前記複数のろ過膜板を撮影して得られた画像信号から入力画像を作成する入力画像作成部２１ａと、入力画像作成部により作成された２つの前記入力画像に基づきオプティカルフローを計算してオプティカルフローの計算結果を出力するオプティカルフロー計算処理部２１ｂと、前記オプティカルフローの計算結果に基づき破損ろ過膜板の有無を判定し、結果データを出力する破損ろ過膜板の有無判断処理部２１ｃとを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】光学ガラス検査治具に保持された光学ガラスの透過光の、光学ガラス検査治具の表面からの反射の影響を排除して、光学ガラスの傷等の検査精度向上と迅速化を図る。
【解決手段】光学ガラス検査治具の構成を、一または複数の光学ガラスを載置するためのガラス載置部３１ｎと、載置された光学ガラスを保持するためのガラス保持部３２とを有し、さらにガラス載置部３１ｎが光学ガラス検査治具３０Ａの表面３０ｘと裏面３０ｙの間を連通する治具開口部３１ｃを備え、ガラス保持部３２が治具開口部３１ｃの少なくとも２つの領域に配設されて光学ガラスを保持することができるとともに、光学ガラス３５を通過した光が更に治具開口部３１ｃを通過する構成とした。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でガラス基板の表面の画像を高精度かつ迅速に取得する。
【解決手段】表面検査装置１０は、被検査対象物（ガラス基板１４）の移動方向に沿う複数の異なる位置にそれぞれ照明光を照射可能な複数の光源（３つの線光源１１，１２，１３）を有する照明手段と、被検査対象物（１４）を照明手段に対して相対移動させる駆動手段（駆動ローラ４）と、複数の光源（１１，１２，１３）によってそれぞれ照明された被検査対象物（１４）を所定のタイミングで撮像し、複数の異なる画像を取得する撮像手段（ラインセンサカメラ１５）と、照明手段と駆動手段（４）とを制御し、被検査対象物（１４）を相対移動させた状態で被検査対象物（１４）の異なる位置に照明光を所定のタイミングで照射するとともに所定のタイミングで複数の異なる画像を取得するよう撮像手段（１５）を制御する制御手段５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】全体のコンパクト化が図れるとともに、設置の際にブースを大幅に改造するのを抑えることができる塗布ムラ検査装置を提供する。
【解決手段】ステージ上の基板に光を照射する照射部と、塗布膜により反射された光を受光する受光部とを有し、受光部における受光状態から基板上に形成された塗布膜の塗布ムラを検出する塗布ムラ検査装置であって、前記塗布ムラ検査装置の照射部は、片面側に均一な光を照射する導光板と、この導光板の側面に設けられるＬＥＤ発光部と、を有しており、前記導光板の照射側と反対側には、導光板の一の側面側から吸気し他の側面側から排気することにより照射部から発生する熱を排出する排熱冷却部が設ける構成する。 （もっと読む）

【課題】 食品を包装するフィルム状の包装袋を有する被検査物の噛み込みやシワに起因するシール不良等をシール部の折れ曲がりの影響を受けることなく、極めて良好に検査できる実用性に秀れた光学検査装置を提供する。
【解決手段】 搬送機構に設けられる間隙部１０においてこの搬送機構により搬送される被検査物７に照明光を照射する照明部３と、前記間隙部１０の下方から前記被検査物７を撮像する撮像部２と、該撮像部２で撮像した前記被検査物７の撮像データをもとに画像処理を行う画像処理部と、該画像処理部で行った画像処理の結果を表示する表示器８とを備えた光学検査装置１であって、前記照明部は搬送機構の上方に設けるとともに、前記照明部３の発光面９が間隙部１０の間隙距離よりも搬送流れ方向に広く設ける。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ配線基板の幅をコンパクト化可能にするとともに、組み立て部品の削減及び組み立て工数を削減する。
【解決手段】各ＬＥＤ配線基板３が、長手方向に沿って列状に設けられた複数のＬＥＤ３１と、当該複数のＬＥＤ３１に平行に設けられた給電ライン部材３２ａ、３２ｂとを備え、給電ライン部材３２ａ、３２ｂが、ＬＥＤ配線基板３のＬＥＤ搭載面３ｂから上部に設けられており、隣接するＬＥＤ配線基板３において、一方のＬＥＤ配線基板３に設けられた給電ライン部材３２ａ、３２ｂが、長手方向外側に延出して設けられて他方のＬＥＤ配線基板３の給電ライン部材３２ａ、３２ｂに接触する接触端子３２ａ、３２ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】。
【解決手段】照明装置１００を構成する一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂの複数のＬＥＤ１０１が収納溝４Ｂ内のチップ部品Ａに光を拡散板１０２を介して均一に照射して、しかもチップ部品Ａに付された丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢを形成する刻印の深さに応じて、確実に照射光によって前記刻印の端部により影ができるような傾斜した照射光となるように照射して、印字検査カメラ８５が撮像した画像において、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢとそれ以外の表面部分ＡＣとのコトラストが大きくなって、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢが黒色に、それ以外の表面部分ＡＣは白色に撮像でき、チップ部品Ａの有無、前記チップ部品の表裏、チップ部品Ａの向きを検査することができる。 （もっと読む）

【課題】 光源が点灯した後の一定時間において照度が安定しないという課題を解決し、従来にはなかったデジタル顕微鏡を提供する。
【解決手段】
デジタル顕微鏡１は、発光ダイオード３４と、発光ダイオード３４から出射された光を試料に照射するための光学系と、試料にて反射または散乱した光を光電変換して試料を撮像する撮像素子と、試料を複数回撮像するように撮像素子を制御する制御部３５と、撮像素子にて撮像された画像を表示する表示部３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査物の比較的広い面積に光を照射して検査する場合であっても、ピンホールの場所によらず均一な検査感度で精度よくピンホールの有無を検査することができるピンホール検査装置を提供する。
【解決手段】複数の光源それぞれの輝度を互いに独立に複数階調で調整可能な光照射装置４０と、光照射装置４０の複数の光源によって面状に照射される照射光を検出する光源調整用の光検出装置３０と、光源調整用の光検出装置３０の検出結果に基づいて、光照射装置４０の複数の光源によって面状に照射される照射光の光量が照射面において均一になるように前記複数の光源それぞれの輝度を複数階調で調整する制御部１００と、制御手段１００によって前記複数の光源の輝度が調整された光照射装置４０から面状に照射され被検査物１０を透過した漏れ光を検出するピンホール検査用の光検出装置３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物品の色に応じた最適な検査手段、方法により、誤判定を無くすための技術を提案する。
【解決手段】検査対象となる物品（実施例では瓶２）を撮像するための少なくとも一つの撮像装置１１ａ・１１ｂ・１１ｃ・１１ｄ・１１ｅと、前記物品に対して光を照射するための少なくとも一つの照明装置１２と、を有し、前記光が照射された前記物品を前記撮像装置１１ａ・１１ｂ・１１ｃ・１１ｄ・１１ｅにて撮像し、撮像された画像に基づいて前記物品の欠陥を判定するための反射系検査部１０を有する、物品の欠陥検査装置１であって、前記照明装置１２は、検査対象となる物品（瓶２）に対して照射する光の色を変更できる構成とする。 （もっと読む）

【課題】 検査対象における欠陥の形状が凹状又は凸状のいずれであっても検出可能とするとともに、光透過性を有しないものや低いもの、表面に光沢を有するシートなどについても検査の対象物とする。
【解決手段】 検査対象物の被検査面に対して光を照射し、その反射光を利用して被検査面の凹凸を検査する凹凸検査システム１であって、被検査面に対向する位置に配置されて当該被検査面に光を照射する同軸落射照明２２と、被検査面に対して斜め方向から光を照射する斜方照明２１とを用いて光を照射し、その被検査面を撮像して得られた画像にもとづいて凹凸の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】半田の撮像画像の欠落を無くすことが可能な印刷半田検査装置を提供することにある。
【解決手段】印刷半田検査装置の撮像素子７０は、走査方向の垂線に対してなす角θが０度を超え９０度未満となるように傾けられ、その撮像領域の長手方向とスリット照明の長手方向が平行となるように照射し走査したとき、そのときの角度を存在率の低いもしくは存在しない長方形や楕円形等の前記半田の回転角度に設定されている。これにより、照射光の長手方向中心軸と、半田の短手方向中心軸を平行にならないようにし、明るさが落ち込む場所が非常に長くなる現象の発生を防ぎ、また、サチュレーション部の欠落画像の補間を可能となる。 （もっと読む）

【課題】反射光に阻害されることなく透過光画像を観察して卵の品質を検査することができる卵検査装置を提供する。
【解決手段】卵４を搬送方向に沿って列状に搬送する搬送装置１と、搬送装置１の上の卵４に近接する位置から照射光を卵殻内に向けて斜め上方に照射する光源２と、搬送装置１の上方から光源２の光軸と非平行な方向で卵の透過光画像を撮影する撮像装置３を備える。 （もっと読む）