【課題】カバー絶縁層中の異物の有無を精度よく検査することのできる検査装置、および、配線回路基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】カバー絶縁層に入射する入射光３１を発光する光源ユニット２と、入射光３１がカバー絶縁層の表面で反射された反射光３２を受光するカメラユニット３とを備える検査装置１において、光源ユニット２に、ベース絶縁層の表面との角度が２５°以下となるように、入射光３１を発光する環状の第１発光部６と、ベース絶縁層の表面との角度が３５〜６５°となるように、入射光３１を発光する環状の第２発光部７とを設け、その検査装置１を用いて、カバー絶縁層中の異物の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】溶接ビードの幅方向の位置ずれ量を算出するためのコストを抑えることができる溶接ビードの品質検査方法を提供する。
【解決手段】溶接ビードの品質検査方法は、床小梁との結合部分と端板の溶接ビード側端、溶接ビードの端板との結合部分にそれぞれ影ができるように光を当て、モノクロＵＳＢＣＣＤカメラで撮像する。得られた２つのモノクロ画像データを二値化し、端板の溶接ビード側端に相当する基準線ａ、溶接ビードの床小梁との結合線ｂ、溶接ビードの端板の結合線ｃをそれぞれ設定する。次に、双方の結合線ｂ、ｃの間に中間線ｄを設定し、基準線ａから仮想溶接線ｅを設定する。そして、仮想溶接線ｅの垂直方向Ｙの位置に対する中間線ｄの垂直方向Ｙの位置のずれ量Ｙａを算出する。 （もっと読む）

【課題】角度検出感度を向上させるとともに、検出可能な角度範囲を広くする。
【解決手段】波長域が互いに異なる山形輝度分布が互いに重なり合うように帯状面光源を構成し、各波長域の撮影画像の該山形輝度分布に対応する画素値分布に基づいて検査面の角度を２段階で検出する。第１段階では、Ｒ、Ｇ、Ｂの画素値間の大小関係と曲線近似情報とに基づいて、光源面上周期内参照光位置ｘを決定し、第２段階では、明度の値と曲線近似情報とに基づいて、周期内参照光位置ｘがどの周期ｉに属するか、すなわち、周期始点位置Ｘｉを求める。次いで参照光位置Ｘ＝Ｘｉ＋ｘを検査ラインでの検出角に変換する。 （もっと読む）

【課題】被選別物を選別する精度の向上を図ることができる選別装置を得る。
【解決手段】選別装置１において、一体型検出装置９の第１検出部は、あらかじめ設定された第１検出領域７を被選別物２，３が通過することにより、被選別物２，３の状態を検出する。第１ガス噴射装置１０は、除去すべき被選別物３を吹き飛ばすためのガスを、第１検出部による検出結果に応じて、第１噴射ノズル１０ａから選択的に噴射することにより、第１検出領域７を通過した被選別物のうち、一部の被選別物を除去する。第２ガス噴射装置１２は、除去すべき被選別物３を吹き飛ばすためのガスを第２噴射ノズル１２ａから選択的に噴射することにより、第１噴射ノズル１０ａの位置を通った被選別物のうち、一部の被選別物を除去する。 （もっと読む）

【課題】被検査体の高さを少ない撮像回数で求める。
【解決手段】外観検査装置１０は、周期的に明るさが変化する第１縞パターンを異なる複数の位相で被検査体に投射して複数の第１投影画像を撮像する。外観検査装置１０は、第１縞パターンとは異なる周期で明るさが変化する第２縞パターンを異なる複数の位相で被検査体に投射して複数の第２投影画像を撮像する。外観検査装置１０は、第２縞パターンに対応する被検査体の計測点の明るさ変動の位相を、第１投影画像及び第２投影画像における当該計測点の明るさと、第１縞パターン及び第２縞パターンのそれぞれに対応する明るさ変動の既知の関係とに基づいて求める。 （もっと読む）

【課題】テープに貼り付けられた透明な検査対象物に対しても、透過照明により正確な情報を得ることのできる検査装置を提供する。
【解決手段】観察光軸Ｏａ上の所定の位置を観察面Ｆｐとする観察光学系（１１）と、観察光学系側から観察面Ｆｐを照明する反射照明機構１２と、観察光学系とは反対側から観察面Ｆｐを照明する透過照明機構１４と、を備える検査装置１０である。透過照明機構１４は、光源（５１）から導光された透過光を出射する出射部５３と、出射部５３により出射された透過光を散乱させる散乱部（３５ｂ）と、を有し、散乱部は、観察面Ｆｐにおける透過光を所定の散乱状態とすべく、透過照明機構１４の透過光軸Ｐａ方向で見て観察面Ｆｐから所定の間隔を置いて設けられている。 （もっと読む）

【課題】環状部材に保持されたテープに貼り付けられた検査対象物を、透過照明を用いて効率良く適切に検査することのできる検査装置を提供する。
【解決手段】観察光学系（１１）と、反射照明機構１２と、透過照明機構１４と、検査対象物（４４）が貼付されるテープ４２を保持する環状部材４３の内側で透過照明機構１４側からテープ４２を保持可能な筒状の保持ステージ３４と、を備える検査装置１０である。透過照明機構１４は、光源（５１）から導光された透過光を保持ステージ３４の外方から観察面Ｆｐへ向けて出射する出射部５３を有し、保持ステージ３４には、観察光学系側に観察面Ｆｐに沿う平面を規定する平坦面（３５ａ）が設けられた板状を呈しかつ出射部５３から出射された透過光の透過を許す透過部材３５と、保持ステージ３４に対して観察光軸Ｏａ方向に関する位置調整可能に透過部材３５を保持する位置調整機構（３７、３８）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】検査対象のビンの中に、正常品のビン（充填時に設定した形状のビン）とは異なるビン（異種ビン：設定外の形状のビン）が含まれているときに、異種ビンが存在することを簡単に検知することに適したビン検査装置を提供する。
【解決手段】立設されているビンに対して上側から装着される検査ヘッドと、予め定められている鉛直方向の異なる位置に設置されていて、前記ビンに対して上側から装着されている状態の前記検査ヘッドの方向に向けて、それぞれ水平方向に検査光を発射する複数個の光電センサとを備えており、前記複数個の光電センサから鉛直方向の異なる位置で、水平方向に発射される複数本の検査光が前記検査ヘッドの上端側で遮光されるか否かを利用して、前記検査ヘッドが装着されたビンが正常品のビンであるか否かを把握するビン検査装置。 （もっと読む）

【課題】搬送路の幅が短い環境であっても、照明条件の異なる複数の検査を実行するのに必要な光学系を配備して、シートの両面に対する検査を実行する。
【解決手段】シートＳの搬送路の上方にカラーカメラＣ１を、下方にモノクロカメラＣ２を、それぞれ受光面をシートＳに向け、シートＳの搬送方向に沿って位置ずれした状態で配備する。各カメラＣ１，Ｃ２に対し、その撮像対象領域に斜め方向から光を照射する青色光源１０Ｂ_１，１０Ｂ_２を設けると共に、カメラＣ１に搬送路を介して対向する位置に赤色光源１０Ｒをその光軸をカメラＣ１に合わせた状態で配備する。欠陥検出装置３には欠陥検出のための処理を行う検出部として、カメラＣ１からの青色画像データＤ_Ｂを処理する検出部３０Ｂと、カメラＣ１からの赤色画像データＤ_Ｒを処理する検出部３０Ｒと、カメラＣ２からのモノクロ画像データＤ_ＢＬを処理する検出部３０ＢＬとが設けられる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の疵を精度良く検出する。
【解決手段】特徴量算出部４３は、検査対象物Ｈの画像データから、各画素Ｇ（ｉ，ｊ）の輝度値Ｐ（ｎ，ｉ，ｊ）の標準偏差Ｖ（ｉ，ｊ）を求め、求めた標準偏差Ｖ（ｉ，ｊ）を用いて輝度値Ｐ（ｎ，ｉ，ｊ）を規格化し、規格化輝度値Ｐ´（ｎ，ｉ，ｊ）を算出する。特徴量算出部４３は、疵が現れていないことが推定される正常領域を全画像データに設定し、設定した領域内の規格化輝度値Ｐ´（ｎ，ｉ，ｊ）から検査対象物Ｈの正常領域の共分散行列Ｃを算出する。疵情報生成部４４は、規格化輝度値Ｐ´（ｎ，ｉ，ｊ）と共分散行列Ｃとのマハラノビス距離ｄ（ｉ，ｊ）を算出し、疵の箇所を示す疵画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で記録画像の品質の検査能力を向上させ、高画質の画像記録を実現することが可能な画像記録技術を提供する。
【解決手段】記録部で画像が記録された直後の記録媒体に対して、ページ信号３１および印刷ライン信号３２に同期してＲＧＢの各色の照明光を照射して検査画像を取得して記録媒体における記録画像を検査する画像記録装置において、記録媒体の各ページ毎にＲＧＢの照明光の照射順序を変化させ、時分割でチャンネルを分けてカラー画像を得ることに起因する不感帯によって記録媒体の特定のページで色情報が失われてしまうようなケースでも、他ページで検査を行うことで、記録不良を看過することなく、確実に検出可能とし記録媒体における記録不良の検出能力を高める。 （もっと読む）

【課題】
光学式の磁気ディスク欠陥検査装置で、基板表面のより微細な欠陥、例えば浅い傷欠陥（シャロー欠陥）や基板内部の欠陥を他の欠陥と弁別して検出することを可能にする。
【解決手段】
光学式欠陥検査方法において、試料を回転させて一方向に連続的に移動させながら試料の表面に対して傾いた方向から照明光を入射させて試料の表面に照明光を照射し、この照明光が照射された試料の表面からの正反射光と正反射光の光軸の周辺の前方散乱光とを含む反射光のうち正反射光を除いて正反射光の光軸の周辺の前方散乱光の像を検出し、照明光が照射された試料の表面からの散乱光のうち照明光の入射方向に対して側方へ散乱した側方散乱光を集光して検出し、正反射光の光軸の周辺の前方散乱光の像を検出して得た信号と側方散乱光を集光して検出して得た信号とを処理して試料上の任意の方向のスクラッチ欠陥を含む欠陥を抽出するようにした。 （もっと読む）

【課題】 装置の専有面積を小さくすることができ、高精度の検出結果を短時間で行なうことができる撮像光学検査装置を提供する。
【解決手段】 単一のリニア撮像素子３ａと、被検査物１００上のリニア撮像素子３ａによる撮像領域１０２を変更する搬送装置２と、リニア撮像素子３ａに入射する光の特性が異なる複数の照明装置４，５，６，７と、被検査物１００の所定の領域がリニア撮像素子３ａの撮像領域内にある時間内に複数回のデータ転送が可能となるように、搬送速度又は転送速度を制御する撮像制御部１０と、照明装置の点灯のタイミングをリニア撮像素子３ａのデータ転送回ごとに変更する照明制御部９と、リニア撮像素子３ａからの画像データを同じ照明装置が点灯した画像データごとに集積する画像処理部１１と、集積画像データから合成画像データを作成する画像合成部１２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】異物がガラス壜の壜底部にある場合、異物を確実に検出することができる異物検査装置を提供する。
【解決手段】ガラス壜１の上方に配置されガラス壜１の上方からガラス壜１内を照明する照明２と、ガラス壜１の下方に配置されガラス壜１の底部１ａを透過した透過光を撮影する撮像手段３とを備え、ガラス壜１の底部１ａと撮像手段３との間に、半径方向内側と半径方向外側にそれぞれ逆円錐面を有し、半径方向内側の逆円錐面の下端に環状の開口部４ｃを形成した逆円錐状レンズ４を設け、照明２からガラス壜の肩部１ｓを介してガラス壜１内に入射した光をガラス壜１の内壁面で複数回反射させた後にガラス壜の底部１ａを透過させ、ガラス壜の底部１ａを透過した光の一部を逆円錐状レンズ４の半径方向内側および外側の２つの逆円錐面４ａ，４ｂを介して撮像手段３に入射させるようにした。 （もっと読む）

【課題】搬送されるワークの外形を正確に検査する。
【解決手段】両側にガイド壁２２を備えた直線状のワーク搬送路Ｐを設け、搬送されるワークＷを上方からＣＣＤカメラ４で撮像してワーク寸法の良否を検査するワーク検査装置であって、ＣＣＤカメラ４に中心を一致させて下方のワーク搬送路Ｐに向けて設けたリング状照明器３と、ガイド壁２２の上方にこれに沿いワーク搬送路Ｐに向けて設けたライン状照明器５Ａ，５Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、セラミック球体を破壊することなく、表面層の内部の欠陥およびスノーフレークの有無を検出するセラミック球体検査装置を提供すること。
【解決手段】セラミック球体Ｓを所定の位置で自転可能に支持し、投光手段１１０の照射光を受光手段１２０で検出して表面層の内部状態を評価するセラミック球体検査装置１００であって、受光手段１２０が投光手段１１０から照射される照射光のセラミック球体の表面での反射光を検出しないように構成されていること。 （もっと読む）

【課題】熱硬化型接着剤が硬化した樹脂部を検査対象とする場合において、樹脂部の分布状態の良否を適正に判定することができる樹脂部の分布状態の良否を適正に判定することができる電子部品の実装状態検査方法を提供する。
【解決手段】基板３の電極３ａ上に端子４ａを有するチップ型電子部品４を半田粒子入りの熱硬化型接着剤を介して搭載した後、この基板３を加熱することにより半田粒子を溶融させて端子４ａと電極３ａとを接合する半田部１５ａを形成するとともに、熱硬化型接着剤を硬化させて樹脂部１５ｂを形成した状態の実装済基板において、基板３に実装されたチップ型電子部品４を撮像して画像データを取得し、この画像データに基づき基板３上におけるチップ型電子部品４の装着状態を検査するとともに樹脂部１５ｂのチップ型電子部品４の周囲における分布状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】透明材料中に存在する欠陥の検出方法及び検出装置を提供する
【解決手段】透明材料の一定の容積部分を第一放射光源で照射する工程と、第二放射光源の光を前記透明材料中へ照射結合させて前記容積部分中の前記光の光路が前記透明材料の内部だけに拡がるようにする工程と、前記透明材料の前記容積部分中の前記欠陥の存在を検出するため、前記容積部分中の欠陥からの散乱光、前記容積部分中の前記欠陥からの明度視野吸収、及び／または前記容積部分中の前記欠陥による前記第一放射光源の光の偏向を検出する工程から構成される透明材料中の欠陥の検出方法。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、多結晶シリコンウェーハのコントラストを低減させて、多結晶シリコンウェーハ表面の異物を過検出することなく適切に検査することのできる、多結晶シリコンウェーハの検査方法及び装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の多結晶シリコンウェーハの検査方法は、光源からの光をカバーの内面にて乱反射させて間接的にウェーハ表面を照明し、照明したウェーハ表面をカバーに設けられた撮像部を通してカバーの外部に設けられた撮像手段により撮像して画像を取得し、その画像よりウェーハ表面の欠陥を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２種類の波長の紫外線を、同時又は個別に、各波長の強度を調整しながら照射することができる紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】紫外線照射装置１００は、第１開口１１１及び第２開口１２１を有する筐体１０１と、筐体１０１内に配置され、第１開口１１１を介して、第１波長領域内の紫外線を照射する第１ランプ１１２と、筐体１０１内に配置され、第２開口１２１を介して、第２波長領域内の紫外線を照射する第２ランプ１２２と、を備える。また、紫外線照射装置１００は制御部１３０を備える。制御部１３０は、第１開口１１１を介した第１ランプ１１２からの紫外線照射強度及び第２開口１２１を介した第２ランプ１２２からの紫外線照射強度を制御する。 （もっと読む）