【課題】黒色及び黒色以外のプリプレグの外観を検査するにあたって、プリプレグの地合によるノイズを低減でき、プリプレグに存在する異物、樹脂球、糸抜け、繊維等の微細な異常の検出精度を向上させることができるプリプレグの赤外検査装置を提供する。
【解決手段】プリプレグの赤外検査装置に関する。波長７５０〜２０００ｎｍの赤外光の平均透過率が１０％以上であるプリプレグ１０を検査対象として搬送する搬送装置２と、前記搬送装置２により搬送される途中のプリプレグ１０の一方の面を撮像する撮像装置３と、前記プリプレグ１０の他方の面に赤外光を照射する発光部７を有する赤外光源６とを備えている。前記赤外光源６は、前記発光部７が前記撮像装置３の撮像視野９内から外れ、かつ、前記赤外光が前記撮像視野９内のプリプレグ１０に照射されるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】穀粒外観品位判別装置を利用して穀粒の品位別重量比率を算出する場合であっても該重量比率を精度よく算出できる方法を提供する。
【解決手段】撮像手段により穀粒を撮像し、該撮像データに基づいて穀粒の品位を判別する穀粒外観品位判別装置における品位別重量比率の算出方法において、複数の穀粒を撮像し、該撮像データに基づいて前記複数の穀粒の品位を判別し、該品位を判別された複数の穀粒の前記撮像データにおける画素数を品位別に集計し、該品位別に集計された画素数に予め品位別に設定される一画素当たりの重量換算係数を掛け合わせることで前記画素数を品位別の重量に換算し、該品位別の重量に基づいて当該穀粒の品位別重量比率を算出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布液の供給配管経路の途中に設置でき、塗布液の透明、不透明の影響を受けず、全ての気泡を確実に検知できると共に、気泡径の測定をも可能とした気泡検知用用具を提供すること。
【解決手段】塗布液を薄膜化させて流通させる気泡検知流路１を形成可能に所要の間隔をおいて対向配置され、少なくとも一方を透明板とさせた一対の平板２、３を備えた平板部と、平板部を挟み込んで平板部を保持させる共に、塗布液の供給配管経路の途中に接続されるプレート部とを備える。そして、プレート部は、供給配管経路と連通され、気泡検知流路１へ塗布液を流入させる入口側マニホールド６及び気泡検知流路１から塗布液を流出させる出口側マニホールド７と、気泡検知流路１を流通する塗布液中の気泡の有無を透過光又は反射光を用いて検知可能または目視可能に気泡検知流路１と対応する部位を開口させた検知スロット１９とを設ける。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査に適したウェーハの画像を効率よく取得できるようにする。
【解決手段】受光部２により撮像された検査対象のウェーハＷの画像の平均輝度が欠陥検出可能範囲内にあるか否かを判定し、ウェーハＷの画像の平均輝度が欠陥検出可能範囲内にないと判定した場合に、ウェーハＷを撮像する際の露光時間を変更して、受光部２によりウェーハＷの画像を再度取得させる制御処理部６ａと、ウェーハＷの画像の平均輝度が欠陥検出可能範囲内にあると判定された場合に、当該ウェーハＷの画像に基づいて欠陥検査を行う画像処理部６ｂとを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】食品を包装するフィルム状の包装袋の噛み込みやシワに起因するシール不良等を良好に判別できるのは勿論、既存の設備に簡単に後付け適用可能な光学検査装置の提供。
【解決手段】搬送機構に設けられる間隙部においてこの搬送機構により搬送される被検査物１に照明光を照射する照明部２と、前記間隙部において前記被検査物１を撮像する撮像部３と、この撮像部３で撮像した前記被検査物１の撮像データをもとに画像処理を行う画像処理部と、この画像処理の結果をもとに良否判定を行う良否判定部とを備えた光学検査装置であって、前記間隙部を通過する前記被検査物１の通過を検知可能な通過検知部６を、その光軸が前記間隙部を前記搬送機構の幅方向において傾斜状態で通過するように設ける。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの画像から適切に欠陥を検出することができるようにする。
【解決手段】画像中のウェーハＷの検査対象の領域内の各画素について、所定の直線方向に並ぶ複数の画素中の当該画素を含む所定の範囲内の複数の画素の輝度を平均した移動平均輝度を算出し、各画素における移動平均輝度と、各画素の輝度との差分値を算出し、各画素についての差分値と、閾値とを比較することにより、各画素が欠陥候補画素であるか否かを判定し、欠陥候補画素に基づいて、ウェーハにおける欠陥を検査する画像処理部６ｂを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、本高速でパターンドメディア表面やスタンパのパターン形状の整形不良を検査できるパターン形状検査装置または検査方法並びにパターンドメディアディスク製造ラインを提供することである。
【解決手段】
本発明は、パターンが形成された被検査対象を載置して回転させながら半径方向に移動させ、前記被検査対象に対して遠紫外光を含む広帯域の照明光を斜め方向から照射し、該照射光学系で照射された被検査対象から発生する０次反射光を検出し、前記検出された０次反射光を一定の波長幅を有するチャンネル分光データを得、該チャンネル分光データが設定許容範囲内に存在するか判断し、前記判断結果を基に前記被検査対象に形成されたパターン形状を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークの表面塗膜の下層の影響を受けずに、表面塗膜の検査精度を向上させる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置１０は、ワーク３０の表面に形成された特定の波長帯域を吸収する上塗りクリア塗膜４０に前記特定の波長帯域の光を照射する照射部１６と、照射部１６によりワーク３０に照射された光の反射光を撮像し、且つ、前記特定の波長帯域の光に対して感度を有する撮像部２０と、撮像部２０が撮像した画像を用いて、上塗りクリア塗膜４０の状態を検査する画像処理装置２２と、前記ワークの表面を、前記撮像部２０に対して相対的に移動可能するアーム２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの表面欠陥を簡便に高い信頼性をもって検査し得る手段を提供すること。
【解決手段】検査対象である半導体ウェーハの表面に向かって光源部から検査光を照射すること、ウェーハ表面の検査光が照射された照射領域からの散乱光を検出すること、ならびに、検出された散乱光に基づきウェーハ表面の欠陥の有無および／またはその程度を評価すること、を含む半導体ウェーハの表面検査方法。前記検査光をウェーハ表面に対して斜め方向からウェーハ半径以上の幅をもって入射させることにより、前記ウェーハ表面に、ウェーハ半径以上の幅を有しウェーハ中心を含む照射領域を形成し、前記ウェーハおよび光源部の少なくとも一方を移動させることにより前記検査光をウェーハ全面に走査させる。 （もっと読む）

【課題】表面特性を定量的に評価するための、さらに下塗りラッカ塗装の評価も可能にする装置と方法を提供する。
【解決手段】表面特性を定量的に評価するための装置（２１）は、第１光放射装置（２３）を有し、この光放射装置は、調査しようとする表面（１）に対して第１所定角度で配設され、調査しようとする表面（１）に放射光を方向付け、表面（１）に向けられた放射光は、赤外領域にある波長を有する少なくとも１つの成分を有し、さらに、調査しようとする表面に対して第２所定角度で配設された検出装置（２４）が備えられ、この装置が表面に照射されてこれからはね返される放射光を検出する。 （もっと読む）

【課題】セパレートフィルム付き偏光板の欠陥を検査する際に、簡便な装置構成にて、問題とならないセパレートフィルムに起因する欠陥を検出せず、偏光板本体および粘着剤層に起因する欠陥のみを精度よく検出できる欠陥検査方法・検査装置も開発。
【解決手段】偏光板の一方の側に配置された光源と他方の側に配置されたカメラとを用い、偏光板の透過光を利用するセパレートフィルム付き偏光板の欠陥検査方法において、光源からの透過光が直接カメラに入射しないようにカメラの受光方向と光源の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】樹脂成分に依存して入射角度などを変更する必要がなく、鋼板地肌を精度良く検査すること。
【解決手段】樹脂被膜付き鋼板の表面検査方法は、所定の偏光角度で直線偏光されたシート状の光を被膜のブリュースター角度と所定の角度以上異なる入射角度で鋼板に照射する工程と、偏光角度０度の直線偏光を、入射光の正反射角度に対して所定の角度ずらした受光角度で撮像する工程とを含む。これにより、被膜からの反射が抑制され、被膜自体の異常を観察せず、鋼板の地肌を観察することができ、高精度な検査が可能になる。また、樹脂成分に依存して入射角度および受光角度を変更する必要がなく、鋼板地肌を精度良く検査することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、より簡単な構成で、より簡易な情報処理でシリコンウェハの汚れを検査し得るシリコンウェハ汚れ検査装置およびシリコンウェハ汚れ検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の一シリコンウェハ汚れ検査装置Ｓａは、測定対象であるシリコンウェハＳＷの表面へ同時に複数の角度から光を投光する投光部１ａと、投光部１によって光を投光されたシリコンウェハＳＷの表面を撮影する撮影部２と、撮像部２によって得られたシリコンウェハＳＷの表面の画像を１枚用い、前記画像における輝度が所定の閾値以下である領域を汚れとして検出する検出部３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】、マスク上の欠陥とそれがウェハに及ぼす影響、修正による改善の程度まで推定可能な欠陥推定装置と欠陥推定方法を提供する。欠陥判定処理を容易にし、マスク上の欠陥とウェハ像への波及を推定可能な検査装置と検査方法を提供する。
【解決手段】マスク検査結果２０５のうち、欠陥箇所のマスク採取データは、模擬修正回路３００に送られて模擬修正が行われる。模擬修正されたマスク採取データは、マスク検査結果２０５に戻された後、対応する箇所の参照画像とともにウェハ転写シミュレータ４００に送られる。ウェハ転写シミュレータ４００で推定されたウェハ転写像は比較回路３０１に送られ、比較回路３０１で欠陥と判定されると、その座標と、欠陥判定の根拠となったウェハ転写像とが、転写像検査結果２０６として保存される。マスク検査結果２０５と転写像検査結果２０６はレビュー装置５００に送られる。 （もっと読む）

【課題】表面の干渉分析の方法とシステムを提供する。
【解決手段】物体の空間的特性を決定するための方法には、２つ以上の界面を含む測定物体からの走査低コヒーレンス干渉信号を得ることが含まれる。走査低コヒーレンス干渉信号には、２つ以上の重なり合う低コヒーレンス干渉信号（それぞれ個々の界面に起因する）が含まれる。低コヒーレンス干渉信号に基づいて、少なくとも１つの界面の空間的特性が決定される。場合によって、決定は、低コヒーレンス干渉信号のサブセットに基づき、信号の全体に基づくのではない。あるいはまたは加えて、決定は、低コヒーレンス干渉信号を得るために用いられる干渉計の機器応答を示す場合があるテンプレートに基づくことができる。 （もっと読む）

【課題】格子欠陥等のステップバンチング以外の欠陥とステップバンチングとを個別に検出できる検査装置を実現する。
【解決手段】ステップバンチング以外の欠陥を検出する第１検査モードとステップバンチングを検出する第２の検査モードを有する。第１の検査モードでは、微分干渉光学系のシャーリング方向を調整し又は基板を支持するステージの回転角度を調整することにより、微分干渉光学系のシャーリング方向をステップバンチングの延在方向と平行に設定する。これにより、ステップバンチング以外の欠陥が検出される。また、第２の検査モードでは、微分干渉光学系のシャーリング方向をステップバンチングの延在方向と平行から外れた状態に設定する。この状態において走査を行い、微分干渉画像を撮像する。そして、画像処理工程において、ステップバンチングの延在方向と直交する方向の輝度変化を強調する画像処理を実行し、ステップバンチングを検出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、発光ダイオードの取付角度を容易にそろえることができて容易に製造でき、高効率で均一性も良好な照明装置を提供する。
【解決手段】 光学素子３４は、光の出射面３６を含んで発光ダイオード３３の光を検査領域に照射するための特性を持つシリンドリカルレンズを構成する。また出射面３６と対向する光の入射面３７は平面であって、複数の発光ダイオード３３の発光部３５の前面の断面形状に等しくなるような溝３８が形成されている。複数の発光ダイオード３３は、それぞれの発光部３５を光学素子３４の溝３８に嵌め込んで位置決めしつつ取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】表面検査ツールおよび方法を提供する。
【解決手段】検査ツールの実施形態は、光ビームをワークピース上に導くことによって、前記ワークピースの欠陥から散乱された光、および前記ワークピースの通常の散乱パターンにしたがって散乱された光を含む、散乱された光を発生する照射源を含む。この実施形態は、前記ワークピースから散乱された光を受け取り、前記ワークピースの欠陥から散乱された前記光を、この光を電気信号に変換する前記フォトセンサに選択的に導くプログラム可能な光選択アレイを含む。処理回路は、前記光検出要素からの電気信号を受け取り、ワークピースの欠陥の特徴付けを含みえる前記ワークピースの表面分析を行う。プログラム可能な光選択アレイは、以下に限定されないが、反射器アレイおよびフィルタアレイを含みえる。本発明はまた関連付けられた表面検査方法も含む。 （もっと読む）

【課題】幅の広い鋼板を検査する際に高分解能な縞画像を撮像して、微小な表面欠陥を検出すること。
【解決手段】本発明に係る表面欠陥検査装置は、変調された線状のレーザ光を互いに重畳しないように照射する複数のレーザ照射装置と、鋼板によって反射された線状のレーザ光を撮像し、前記鋼板の光切断像を生成する複数の遅延積分型撮像装置とを有する鋼板撮像装置により生成された光切断像から構成される縞画像を利用して、鋼板の表面の凹凸状態を表す複数の形状画像と、鋼板の表面での粗度の相違を表す複数の輝度画像と、を生成する画像生成部と、搬送ラインにおける鋼板の搬送速度に応じて、生成された形状画像及び輝度画像を伸縮させて当該鋼板の搬送速度によらない一定の画像サイズへと変更する画像伸縮処理部と、伸縮後の形状画像を利用して、鋼板の表面に存在する表面欠陥を検出する欠陥検出処理部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の撮像ユニットの焦点合わせが簡潔なパターン検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数個の撮像ユニット５ａ，５ｂ，５ｃを、被検査物２の表面に対して接近離間方向（Ｚ）に移動可能な１つの架台４に固定し、撮像ユニット５ｂ，５ｃの光学レンズ系ユニット８ｂ，８ｃを接近離間方向（Ｚ）に駆動してピント合わせして、被検査物２の上に形成されたパターン３を検査する。 （もっと読む）