【課題】配置の制約が少なく、かつ照度不足および照度ムラが生じにくい投影装置を提供する。
【解決手段】撮像部の撮像対象物に対して光を投影する投影装置２００であって、放射する光の波長帯が互いに異なる赤色ＬＥＤ２４０Ｒ、緑色ＬＥＤ２４０Ｇおよび青色ＬＥＤ２４０Ｂと、撮像対象物の特性に基づき、各ＬＥＤが放射する光の光量を制御する投影制御部２３０と、複数のＬＥＤから放射される光を、同一の光軸上に導くことにより、撮像対象物に対して光を投影するリレー部２５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターンを持つ被検査体のムラ欠陥を検出する場合に、映り込みの判別を短時間に行うことが出来、さらに大面積の被検査体の検査時間を短縮する検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】基板を載置して搬送する搬送手段と、基板を照明する第一の照明手段と第二の照明手段と、第一の照明手段の照明角度を変化させる第一の照明角度変化手段と、第二の照明手段の照明角度を変化させる第二の照明角度変化手段と、第一の照明手段によって照明された基板を撮像する第一の撮像手段と、第二の照明手段によって照明された基板を撮像する第二の撮像手段と、第一の撮像手段及び第二の撮像手段によって得られた画像を処理する画像処理部と、前記搬送手段と、第一と第二の照明手段と、第一と第二の照明角度変化手段と、第一の撮像手段及び第二の撮像手段と、を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする検査装置。 （もっと読む）

【課題】 タイヤ表面の薄広凸欠陥を高精度に検出することができるタイヤの欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 ステップＳ１を開始するまでに、予め連続的にスリット光像を含む２次元画像を取得しておく。ステップＳ１では、撮像された複数の２次元画像データから、スリット光像を抽出する。ステップＳ２では、抽出されたスリット光像から偏心によるぶれである偏心成分を除去する。ステップＳ３では、偏心成分を除去した光像に基づいて特徴量を算出し、ステップＳ４で、算出された特徴量に基づいて薄広凸欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】粘度が低いハンダは、その流動性が良いために、スクリーンに設けられた開口部への充填の際にスクリーンの裏面とプリント基板との間の微小な隙間にハンダ、特にフラックスが流出し易く、プリント基板上での印刷結果として上記フラックスやハンダが滲んだ状態になる。すなわち、いわゆる印刷滲みや、はみ出しによるブリッジ等の印刷不良が発生し易い。これに対し、粘度が高いハンダでは、その流動性が悪いため、スクリーンに設けられた開口部へハンダ７が充填され難くなり、未充填や印刷かすれ等の印刷不良が発生し易い。このようにハンダの流動特性を得ることは重要である。
【解決手段】ハンダの流動特性を光学的に得る。 （もっと読む）

【課題】 被検査画像から微小欠陥を検出するとともに、当該欠陥の色の違いを識別することができる外観検査装置および外観検査方法。
【解決手段】 被検査基板を撮像部３０で撮像することで被検査画像を取得する。被検査画像に対して微分処理部４１２は水平方向に微分演算処理を行う。そして、微分処理部４１２は、水平方向の微分処理結果に対して、さらに垂直方向に微分演算処理を行い欠陥候補検出画像４２３を生成する。欠陥検出部４０３が欠陥候補検出画像４２３中の欠陥候補と、欠陥候補が示す特徴を記録した欠陥識別情報４２８とを比較することで、欠陥を検出するとともに、検出された欠陥が白欠陥であるか黒欠陥であるか識別することができる。 （もっと読む）

【課題】 ペットボトルの開口部の欠陥の有無を高精度に判定することができる検査装置の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 透明体ボトルの外観検査装置１は、開口部１０１を有する透明体ボトル１００に対し、前記開口部１０１に交差する第１光路から第１の周波数の光を照射可能な第１光源部３と、前記第１光路とは反対方向かつ前記開口部に交差する第２光路から第２の周波数の光を照射可能な第２光源部４と、撮影光軸が前記開口部に直交するように配置され、前記第１光源部及び第２光源部から照射された光を判別してそれぞれ撮像可能なエリアカメラ２と、前記エリアカメラ２により撮像された前記第１光源部３からの光による第１画像及び第２光源部４からの光による第２画像に基づいて、前記開口部の欠陥の有無を判定する欠陥判定部６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査装置の検査情報とレビュー装置で取得した観察情報とを用い、欠陥の高さ、屈折率、材質の情報を取得して欠陥材質・屈折率分析や、微細なパターン形状の三次元解析を行う方法、並びにこれを搭載した欠陥観察装置を提供する。
【解決手段】試料上の欠陥を観察する方法において、光が照射された試料からの反射・散乱光を受光した検出器からの検出信号を処理して検出した検査結果の情報を用いて観察対象の欠陥が存在する位置を走査電子顕微鏡で撮像して画像を取得し、この取得した観察対象の欠陥の像を用いて欠陥のモデルを作成し、作成された欠陥のモデルに対して光を照射したときに欠陥モデルから発生する反射・散乱光を検出器で受光した場合のこの検出器の検出値を算出し、この算出した検出値と実際に試料からの反射・散乱光を受光した検出器の検出値とを比較して観察対象の欠陥の高さ又は材質又は屈折率に関する情報を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】部品形状に変更があった場合や、シール剤の軌跡が曲がったり、歪んだりしている場合であっても、軌跡全体にわたって漏れなく太さが適正であるか否かを判定することができる塗布状態検査装置を提供する。
【解決手段】シール剤Ｓが塗布されたワークＷを撮像する撮像装置２と、撮像装置２によって撮像された撮影画像から、シール剤Ｓの塗布領域と塗布軌跡とを抽出する軌跡抽出部３−１と、抽出されたシール剤Ｓの塗布軌跡から、最小・最大太さ領域を生成する領域生成部３−２と、シール剤Ｓの塗布領域と最小・最大太さ領域とを比較してシール剤Ｓの太さが正常であるか否かを判定する画像判定部３−３とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の欠け等の検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、容器フィルムのポケット部に収容された錠剤に対し光を照射可能な照明装置２２と、照明された範囲内の錠剤を撮像可能なカメラ２３と、カメラ２３から出力される画像信号を処理する画像処理装置２４とを備える。画像処理装置２４は、目標となる錠剤の輪郭に関し、重心を原点とする各角度毎の複数の各点の接線の向き情報を目標向き情報として記憶しておき、検査に際し、抽出された錠剤の輪郭に基づき重心を特定するとともに、前記各角度毎の対応する各交点の接線の向き情報を求め、当該接線の向き情報と目標向き情報とを比較する。そして、１の交点の接線の向き情報が、対応する目標向き情報に対し許容範囲を逸脱している場合に、不良候補として判定する。 （もっと読む）

【課題】パターン形成や色の変化を設けない無地の有効面全面に亘って均質な表面を有するように形成された基板において、局部的に発生する光学的に不均質な欠陥を検出して分類する一般的で容易に実現できる欠陥検査方法を提供すること。
【解決手段】カメラ画像情報の２値化処理により検出した１次欠陥画素情報にその周囲の画素の輝度情報を加えた欠陥像の２次判定を行うことにより、分類することを特徴とする欠陥検査方法であって、前記１次欠陥画素情報の周囲の画素の輝度情報が、１次欠陥画素の輪郭に沿って正の整数ｎ個分拡張した数のカメラ画素で囲った領域における輝度情報であり、前記欠陥像の２次判定のための条件としてｎを設定できる。 （もっと読む）

【課題】従来の欠陥検出技術では電縫溶接部の欠陥を十分に検出できるまでには至っておらず、機械的特性の劣化した局部を含む電縫鋼管が製品に混入する場合があるという事態を防ぎ難い。
【解決手段】溶接施工時の溶接部を対象とし、該対象の発光状態をスパークセンサ１２で撮像し、該撮像した画像からスパークを判定し、次いで前記対象の輝度をＤＳセンサ１０で画像信号として捉えて監視するとともに、前記監視後の溶接部をアレイ探触子を用いた超音波探傷装置（アレイＵＴ）１１で検査する溶接欠陥検出システムである。 （もっと読む）

【課題】回折光や散乱光等の外乱による影響を受けにくく、パターンの微細化に十分対応できる基板検査装置及びマスク検査装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板検査装置は、検査データの取得と対物レンズ（８）の焦点データ信号の取得を並行して行う。検査中に対物レンズの光軸方向の位置を制御するオートフォーカス装置は、焦点誤差信号を出力する焦点誤差検出手段（４０）と、対物レンズ位置信号又は焦点誤差信号が加算された対物レンズ位置信号により構成される焦点データ信号を用いて対物レンズの光軸方向の位置を制御する焦点制御信号を走査ラインごとに生成する焦点制御信号生成手段（６０）とを有する。ｉを正の整数とした場合に、ｉ番目の走査ラインの走査により取得した焦点データ信号を用いて生成された焦点制御信号は、（ｉ＋２ｍ）番目の走査ラインを走査するときの焦点制御信号として用いられる。 （もっと読む）

【課題】自動的に基準軌跡の抽出と許容領域の生成とを実行することができ、容易に部品形状の変更に対応することができる塗布位置検査装置を提供する。
【解決手段】シール剤Ｓが塗布されたワークＷを撮像する撮像装置２と、撮像装置２によって撮像された撮影画像から、シール剤Ｓの塗布軌跡を抽出する軌跡抽出部４−１と、所定の基準軌跡を記憶する記憶部５と、軌跡抽出部４−１により抽出されたシール剤Ｓの塗布軌跡が、記憶装置５に記憶されている所定の基準軌跡を中心とする許容領域内に収まっているか否かを判定する形状判定部４−２とを備える。 （もっと読む）

【課題】貼り合わせた２つの基板層のいずれかに検査光の透過しない部分があっても、貼り合わせ界面に発生し得る微小空洞を検査することのできる基板検査装置を提供することである。
【解決手段】基板１００の表面に対して斜めに入射するように検査光を帯状に照射する光源ユニット３０と、前記検査光により前記基板の表面に形成される帯状照明領域を挟んで光源ユニット３０と逆側の所定位置に配置されるラインセンサカメラ２０とを有し、照明ユニット３０及びラインセンサカメラ２０と基板１００とが相対移動している際にラインセンサカメラ２０から出力される映像信号に基づいて基板画像情報を生成し、基板画像情報に基づいて基板１００の第１基板層１０１と第２基板層１０２との界面に生じ得る微小空洞についての検査結果情報を生成する構成となる。 （もっと読む）

【課題】微量な光硬化性樹脂を高感度かつ簡便に検出可能な光硬化性樹脂の検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】光硬化性樹脂の検査装置は、検査対象物における光硬化性樹脂を検査するための検査装置であって、パルス光源１と、ストリークカメラ７とを備えている。パルス光源１は、プリント配線板５にパルス状の紫外光を照射するためのものである。ストリークカメラ７は、パルス光源１から照射される紫外光のパルスの幅よりも遅れた時間に、プリント配線板５における紫外光の照射部のソルダーレジスト５３の残渣から生じる蛍光を検出するためのものである。 （もっと読む）

【課題】被測定物の状態によらず、高い検出感度を得るための調整が容易であり、検出感度の劣化要因となる照明光の発生を防ぐことが可能な照明装置、および光学装置を提供すること。
【解決手段】一定の領域１を照明するように構成され、光源として複数のＬＥＤを有し、その複数のＬＥＤと一定の領域１との間に、互いに異なる偏光方向１５、２５、３５をそれぞれ有する複数の偏光子１２、２２、３２を有し、複数のＬＥＤは、それぞれ数個〜十数個のＬＥＤからなる複数のＬＥＤ群１０、２０、３０に分割して駆動することができるように構成され、各ＬＥＤ群の出射光はそれぞれ１つの偏光子のみを通過するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、色差分析を用いた偏光板のムラ自動検査装置及び検査方法に関する。
【解決手段】本発明は、少なくとも１枚の基準偏光板及び上記基準偏光板に装着される被検査偏光板又は偏光素子を含む検査部と、上記検査部の一面に位置し上記検査部に光を照射する光源部と、上記検査部の他面に位置し上記被検査偏光板又は偏光素子を撮影しその画像を演算部に伝送する撮影部と、上記撮影部から伝送された被検査偏光板又は偏光素子の画像を検査領域別に色差分析して微細ムラを検出する演算部と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成にて巻締め検査を精度よく行える金属缶端部の巻締検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】カメラ３２からの取得画像から極座標展開画像１１２を形成し（Ｓ４）、巻締め部３内側側面６１の内側フランジエッジ１２２と（Ｓ５）、外側側面６２の外側フランジエッジ１２４を認識して（Ｓ６）、内側フランジエッジ１２２から外側フランジエッジ１２４までの幅寸法１３１が閾値内にあるか否かを判断する（Ｓ８）。閾値内の場合、内側側面６１の内帯幅１６１の長さ方向での変化量、及び外側側面６２の外帯幅１６２の長さ方向での変化量を検査し（Ｓ９）、これらの変化が大きい場合、巻締不良フラグをセットして（Ｓ１０）終了する一方、変化が小さい場合には、巻締不良フラグをリセットして（Ｓ１１）終了する。 （もっと読む）

【課題】ウェブの特徴付けのためのシステムを提供する。
【解決手段】材料のウェブ３０をマーキングするシステムであって、基準マーク４０をウェブに適用する基準マーカと、基準マーク４０に対して識別された領域を定位する位置情報を決定する検査モジュール２４と、基準マーク４０から定位情報を読み取るとともに提供する基準リーダ６２と、ウェブに位置特定マークを適用するウェブマーカ６４と、欠陥を構成する異常のうちの少なくとも一つの位置を識別する位置特定マークをウェブに適用するようにウェブマーカを制御するウェブマーカコントローラ６０と、基準マーク４０の各々が、ウェブ３０内の特定の位置に厳密に位置している１つ以上の基準位置特定マークと、各基準位置特定マーク用の一意の識別子を符号化するバーコードと、を含む、システム。 （もっと読む）

【課題】微細な傷等を見逃すことなく被検査体の正確な外観検査を行うことができる外観検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明では、被検査体(2,2')に透過光又は反射光を照射して被検査体(2,2')の表面の検査を行う外観検査装置(1,1')において、被検査体(2,2')に照射する透過光又は反射光の一部を遮蔽して被検査体(2,2')の表面に明部と暗部の境界領域を形成することにした。また、前記透過光又は反射光を被検査体(2,2')に対して相対的に移動させることにした。さらに、前記透過光又は反射光を被検査体(2,2')に対して相対的に移動させながら被検査体(2,2')の表面の画像(A₁〜A_n)を複数枚撮影し、複数枚の画像(A₁〜A_n)から前記境界領域の近傍の画像(抽出画像B₁〜B_n)を合成して１枚の検査画像(C)とすることにした。 （もっと読む）