【課題】異常の原因を特定することが可能な検査装置および方法を提供する。
【解決手段】検査装置は、加工によりウェハ１０の表面に設けられた構造体を照明する照明光学系２０と、当該構造体で反射した照明光を検出するＣＣＤカメラ４０と、それぞれ異なる加工条件で設けられた構造体を対象として、複数の照明条件若しくは反射条件で検出される検出値を加工条件ごとに記憶するデータベース部４６と、複数の照明条件若しくは反射条件に含まれる少なくとも２条件で被検物である構造体から検出される検出値と、データベース部４６に記憶された検出結果との関連性に基づいて、構造体に対する加工の条件を求める画像処理検査部４５とを有している。 （もっと読む）

【課題】船舶、橋梁、配管などに用いられている様々な溶接形状を計測し、実際の溶接形状に即した溶接の形状パラメータを算出し、自動的に溶接部の疲労強度を算出する溶接形状評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】溶接形状評価装置１が照射部１３からレーザーを照射し、溶接部を複数の２次元座標（直交座標又は極座標）を持った計測点で計測する計測装置１０と、前記計測点を用いて疲労強度を算出する演算装置２０とからなり、溶接形状評価方法が座標から計算式により溶接の形状パラメータを算出して簡易式により応力集中係数を算出する簡易式工程と、有限要素法（ＦＥＭ）を用いて溶接部を解析して応力集中係数を算出する有限要素法（ＦＥＭ）工程とを備えた応力集中係数算出工程と、複数の提案式と方法を備えて疲労強度を算出する疲労強度算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型の装置構成で、高精度に、被検体（ワーク）の欠陥検査を行うことを可能にする。
【解決手段】複数のレンズがアレイ配列されてなるレンズアレイ１１と、該レンズアレイの複数のレンズのそれぞれにより略結像される被写体の縮小像（個眼像）の集合である複眼像を撮像する撮像素子１４とを備える撮像装置１０を使用する。処理装置２０は、該撮像装置１０により被写体を撮影して得られる複眼像を処理して被検体の欠陥を判定する。ここで、処理装置２０は、撮像装置１０により得られる複眼像を複数の個眼像に分離する画像キャプチャ部２１、分離された複数の個眼像それぞれを歪み補正する画像補正部２２、歪み補正された複数の個眼像に基づいて被検体の欠陥を判定する欠陥判定部２３からなる。 （もっと読む）

【課題】被検査対象物であるワークに対して加工したり、他の部位を装着したりすることなく、ワーク全周の疵を安定して検出することが可能な検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】ワークＷの円筒面である外径面の疵を疵検出手段１００を用いて検出するための検査装置及び検査方法である。回転軸心が相互に平行に配設されている一対の回転軸１，２にてワークＷを支持させた状態で、回転体１，２をワークＷに接触させ、一対の回転軸１，２を回転駆動させる。これによって、回転体１，２をワークＷとともに回転させる。回転軸１，２とワークＷとの間に滑りが生じることなくワークＷがその軸心廻りに１回転する基準時間での回転体の回転状態を検出する。回転状態に基づいてワークＷと回転軸１，２との間に滑りがあるか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】不良品を的確に排出可能な極めて実用性に秀れた光学検査装置の提供。
【解決手段】搬送機構により搬送される被検査物を照明する照明部と、被検査物を撮像する撮像部と、被検査物の撮像データをもとに画像処理を行う画像処理部と、画像処理の結果をもとに良否判定を行う良否判定部と、被検査物の通過を検知可能な通過検知部と、良否判定部により不良と判定された被検査物を排出する不良品排出部とを備え、不良品排出部は照明部及び撮像部の搬送下流側で所定時間の間作動させることで不良と判定された被検査物を排出するように構成した光学検査装置であって、被検査物の搬送方向長さを検出する長さ検出部を設けると共に、この長さ検出部により検出される被検査物の搬送方向長さが所定長さより長い場合に不良品排出部の作動時間を長くする排出制御部を設ける。 （もっと読む）

【課題】 光源が点灯した後の一定時間において照度が安定しないという課題を解決し、従来にはなかったデジタル顕微鏡を提供する。
【解決手段】
デジタル顕微鏡１は、発光ダイオード３４と、発光ダイオード３４から出射された光を試料に照射するための光学系と、試料にて反射または散乱した光を光電変換して試料を撮像する撮像素子と、試料を複数回撮像するように撮像素子を制御する制御部３５と、撮像素子にて撮像された画像を表示する表示部３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、紙パック容器などに装着されたシュリンクフィルムの包装状態の良否を自動で検査する方法を提供するものである。
【解決手段】紙パック容器の包装用に装着されたシュリンクフィルム接合部の位置検査方法であって、前記紙パック容器の上方より撮像して得られた画像情報を取得し、前記画像情報に含まれる、前記紙パック容器のセンターシール接合部とエンドシール接合部の二箇所のシュリンクフィルム接合部の内、前記エンドシール接合部のデーターの位置を検出することで、シュリンクフィルム包装状態の良否を判定することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 導光板を作製するときに用いられる導光板用シートや導光板自身の黄色味または透明度の程度を、効率よく検査することができる検査装置を提供する。
【解決手段】 光照射部２は、導光板用シート６の端面に光を照射する。受光部３は導光板用シート６を透過した透過光を受光しＸ値および輝度値を検出する。判定部４２の第１判定部４２１は、第１記憶部４１１に記憶される相関関係αに基づいて受光部３により検出されたＸ値に対応するＹＩ値が所定の閾値を超えているか否かを判定し、第２判定部４２２は、第２記憶部４１２に記憶される相関関係βに基づいて受光部３により検出された輝度値に対応する全光線透過率が所定の閾値未満であるか否かを判定する。出力部４３は、判定部４２による判定結果を出力する。 （もっと読む）

【課題】。
【解決手段】照明装置１００を構成する一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂの複数のＬＥＤ１０１が収納溝４Ｂ内のチップ部品Ａに光を拡散板１０２を介して均一に照射して、しかもチップ部品Ａに付された丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢを形成する刻印の深さに応じて、確実に照射光によって前記刻印の端部により影ができるような傾斜した照射光となるように照射して、印字検査カメラ８５が撮像した画像において、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢとそれ以外の表面部分ＡＣとのコトラストが大きくなって、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢが黒色に、それ以外の表面部分ＡＣは白色に撮像でき、チップ部品Ａの有無、前記チップ部品の表裏、チップ部品Ａの向きを検査することができる。 （もっと読む）

【課題】被検体の表面から反射光が得られないような場合であっても、被検体の表面性状を確実に測定でき、歩留まり及び製造効率の向上を図ることができる表面性状評価方法を提供する。
【解決手段】ウエハＷをセットしていない状態において、第１参照平面５６で反射された第１参照光と、ウエハＷをセットした状態において、ウエハＷを透過して後に第１参照平面５６で反射された被検光と、に基づいてウエハＷの表面性状を評価することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板の内部に存在するクラック等の欠陥を正確に検出可能とする、シリコン基板の検査装置および検査方法を得ること。
【解決手段】赤外照明手段１とシリコン基板５との間の光路中に設けられ、直線偏光成分４を射出する第１の直線偏光フィルタ３と、シリコン基板５を透過した直線偏光成分４’を撮像する第１の撮像手段９および第２の撮像手段１１と、シリコン基板５と第１の撮像手段９との間の光路中に設けられ、シリコン基板５の基板面に平行な方向に偏光方向が設定された第２の直線偏光フィルタ８と、シリコン基板５と第２の撮像手段１１との間の光路中に設けられ、基板面に垂直な方向に偏光方向が設定された第３の直線偏光フィルタ１０と、第１の撮像手段９から入力された画像データと、第２の撮像手段１１から入力された画像データとを比較演算する画像処理手段１２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】積層体の端面に沿って上下向きのバリなどの欠陥部位を精度よく求める。
【解決手段】撮像画像データから積層体の領域を求め、積層体の領域の画像データを利用して最小二乗法により当該領域を矩形近似し、当該矩形と積層体の領域合わせ込み、積層体の領域からフィッティング後の領域の差分をとり、塗布物質の欠陥部位を求めるとともに、芯材の領域の画像データを利用して最小二乗法により当該領域を矩形近似して芯材の領域と合わせ込み、芯材の領域からフィッティング後の矩形領域の差分をとり、芯材の欠陥部位を求める。 （もっと読む）

【課題】紫外線を用い、空間分解能数ミクロン以下で液体ナトリウム中の可視化が行えるようにする。
【解決手段】フッ化マグネシウム窓２８を備えナトリウム中に浸漬可能な紫外線照射・検出装置１０、及びナトリウムバウンダリ外に設置される画像化装置１２を具備し、紫外線照射・検出装置は、ナトリウムバウンダリ外から供給される外部エネルギーにより波長１００〜１３０ｎｍの真空紫外線を発生し、その紫外線をフッ化マグネシウム窓を通して液体ナトリウム中の被検査体に向けて照射する紫外線発生部２２と、該被検査体からの反射・散乱光をフッ化マグネシウム窓を通して検出し可視光へ変換する紫外線検出部２４を備えた構造とする。紫外線検出部２４で得られた光信号は、多チャンネル光ファイバケーブル１４によって前記画像化装置へ送られ、可視化できる状態となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、分解能よりも小さいサイズの欠陥を検出可能であって、より簡易な構成でより短い検査時間で欠陥を検出し得る内部欠陥検査装置および該方法を提供する。
【解決手段】本発明の内部欠陥検査装置Ｄａは、検査対象の物体ＳＭを透過可能な波長の照明光を放射する光源部１と、光源部１から放射された照明光を検査対象の物体ＳＭに照射する照明光学系２と、検査対象の物体ＳＭの光学像を形成する撮像光学系３ａと、撮像光学系３ａによって形成された光学像を光電変換することによって光学像の画像信号を生成する撮像素子４ａおよび画像処理部７１ａと、この生成された光学像の画像信号に基づいて検査対象の物体ＳＭを提示する出力部６とを備え、照明光学系２と撮像光学系３ａとは、暗視野光学系を形成している。 （もっと読む）

【課題】短時間で、検査精度の高い検査を行うことができる穴内検査装置を提供する。
【解決手段】穴内検査装置１００は、複数の穴２を有する被検査物１の穴２の内部の異物を検査する穴内検査装置１００であって、被検査物１の穴２の内部を撮像する撮像部１０と、撮像部１０を制御する制御部２０と、を含み、制御部２０は、穴２の内部を撮像部１０に撮像させて、第１画像を取得する第１画像取得処理と、第１画像に基づいて異物を検出し、異物の大きさが所与の値よりも大きいか否かを判定して、前記所与の値よりも大きい異物がある穴２を選択する選択処理と、選択処理において選択された穴２の内部を、撮像部１０に複数回撮像させて、複数の第２画像を取得する第２画像取得処理と、を行い、複数の前記第２画像は、互いに異なる焦点位置で撮像される。 （もっと読む）

【課題】多重解像度解析により物体検出を行う際に用いる画像処理フィルタのパラメータを、操作者による最適パラメータの指定を要さずに最適化して、精度よく物体を検出することができる物体検出装置を提供する。
【解決手段】物体検出装置は、候補フィルタを記憶する候補フィルタ記憶部と、候補フィルタで多重解像度の学習用サンプル画像の各解像度画像を走査する候補フィルタ走査部と、候補フィルタ走査部による走査の結果を用いて学習用サンプル画像の各解像度画像の走査結果についての競合学習を行う競合学習部と、候補フィルタを、競合学習部による競合学習の結果において極値を示した学習用サンプル画像の解像度の最適フィルタに決定する最適フィルタ判定部と、多重解像度の被験対象画像を最適フィルタで画像処理して被験対象画像に含まれる物体を検出する物体検出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表裏を一台のカメラで一度に検査できるようにすること。
【解決手段】外観検査装置１は、カメラ４と、光学系１５とを具備する。検査対象物２０の正面２０ａがカメラ４の視野４ｂに配置される。光学系１５は、検査対象物２０の正面２０ａ及び背面２０ｂをカメラ４が同時に撮影することが可能なように背面２０ｂからの光線１０２の向きを変更する。 （もっと読む）

【課題】欠陥位置の検出や特定をする処理を簡単に行うことができるシート状製品（偏光板原反）の検査方法を提供する。
【解決手段】帯状の偏光板原反Ｎの幅方向端部に、偏光板原反Ｎの移送される方向に沿って、所定間隔毎に移送方向の位置を表わす識別情報を記録する工程と、記録された識別情報を読み取る工程と、偏光板原反Ｎが移送される方向の移動量を検出する工程と、偏光板原反Ｎの表面欠陥を検査する検査工程と、読み取られた識別情報と検出された移動量とに基づいて、検出された表面欠陥の位置を演算し、この演算された位置情報を記憶装置９に記憶する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の課題は、異なった素材による中空糸膜を用いた場合、白色の原料または透明度の高い原料のいずれの原料を使用した場合でも、リング型照明の射出角度および位置を任意に切り替えることで、高精度に糸乱れ欠点の検査を行うことができる中空糸膜モジュールの検査装置を提供することである。
【解決手段】
中空糸膜モジュールへ光を照射する射出角度の異なる２つの照射口を持つリング型照明と、前記リング型照明の前記２つの照射口にそれぞれ接続される２つの照明光源と、前記照明光源の動作を制御する照明切り替え手段と、前記リング型照明の内側に前記中空糸膜モジュールを所定の挿入幅にて調節しつつ挿入させる移動手段と、光が照射された前記中空糸膜モジュールからの散乱光を受光する撮像手段と、前記撮像手段で得られた画像を処理する欠陥判別手段と、前記モジュールを搬送させる手段とを有する中空糸膜モジュール検査装置。 （もっと読む）

【課題】複数の装置から得たデータの管理を効率的に行うことができる検査システムを提供することである。
【解決手段】検査システム１０は、工場で生産される製品を検査する検査装置１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、検査装置１１ａ，１１ｂ，１１ｃに通信回線を介して接続される管理サーバ３０とを備える。検査装置１１ａは、装置側検査結果ＤＢ（Ｄａｔａｂａｓｅ：データベース）１４ａを備える。装置側検査結果ＤＢ１４ａは、検査装置１１ａが基板を検査した結果を示すデータである検査結果データを格納する。装置側検査結果ＤＢ１４ａは、キー（Ｋｅｙ）とバリュー（Ｖａｌｕｅ）とによって構成されるキーバリュー（Ｋｅｙ−Ｖａｌｕｅ）型のデータベースである。 （もっと読む）