【課題】連続的に搬送される電極基材のスリット面において、バリや異物等の欠陥の有無を精度良く検出することができる欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】電極基材１をスリットするときに、電極基材１のスリット面１ａにおいて生じるバリ５を検出するための欠陥検出方法であって、画像処理装置２２によって、芯材２の基準面α上に存在しない頂点Ａを検出するとともに、バリ５の傾斜角度θ１を検出し、バリ５の傾斜角度θ１が、所定の角度以上であるときは、線分ＡＤの長さを、規格長さＸと比較し、線分ＡＤの長さが、規格長さＸ以上であるときは、バリ５を欠陥と判定するとともに、バリ５の傾斜角度θ１が、所定の角度未満であるときは、頂点Ａにより距離が近い頂点Ｂを検出し、頂点Ｂと該頂点Ｂの対辺の中点Ｅとを結ぶ線分ＢＥの長さを、規格長さＸと比較し、線分ＢＥの長さが、規格長さＸ以上であるときは、バリ５を欠陥と判定する。 （もっと読む）

【課題】背景が含まれる場合であっても、背景の明るさの影響を低減して検査対象物表面の明るさを自動的に調整することができる画像処理装置、該画像処理装置で実行する画像処理方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象物を含む撮像領域を撮像する撮像部と、撮像領域を前記撮像部で撮像した画像に対して画像処理を実行する画像処理部とを備える。画像処理部は、撮像部から出力された画像の撮像領域内に設けられ、各々が複数の画素を含む複数の小領域ごとに、検査対象物が存在する可能性を示す特徴量を算出する。算出した特徴量に基づいて、少なくとも検査対象物を含む画像の明るさの評価値を算出し、算出した評価値に基づいて、画像の明るさを調整するための調整信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】ヒストグラムを目視で確認しつつ、検査対象物の良否を判定する基準である判定閾値を容易に設定することができる画像処理装置及び該画像処理装置で用いる判定閾値設定方法を提供する。
【解決手段】撮像部で撮像された検査対象物の画像と、事前に記憶してある検査対象物と比較する基準となるマスタ画像との一致度を算出する。複数の検査対象物について算出した一致度の度数分布を示すヒストグラムを表示し、撮像部で撮像された検査対象物について算出した一致度を、表示されたヒストグラムに対応付けて表示する。ヒストグラムと一致度とが同じ画面上に表示された状態で、検査対象物の良否判定に用いる閾値を設定する。 （もっと読む）

【課題】全て自動的に周期性パターンの欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】取得した画像データについて濃度比較差分処理と２値化処理を行い、２値化処理工程で得た２値化画像から欠陥のサイズと位置情報を決定することで欠陥点の抽出を行う欠陥抽出処理をこの順に全ての画素について実施する事によって抽出された欠陥について、特定の方向の任意のピッチだけ離れた複数の画素の画像との輝度値を比較し、予め決めた判定基準に従って欠陥の種類である欠陥モードを選別する欠陥選別工程と、前記欠陥選別工程で選別された欠陥ごとに、輝度値の差分をクラス分けする欠陥種別クラス分け工程と、前記欠陥モード別クラス分け工程で得られた全ての欠陥についての判定結果を、予め設定した良否判定基準に従って、良否判定を行う良否判定工程と、から構成されていることを特徴とする周期性パターンの欠陥検査方法および欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】スカッフィングを精度よく検出できるとともに、スカッフィングの大きさを定量的に評価できるエンジンボア表面傷の評価方法を提供する。
【解決手段】解析画像データ４１を取得して、第一周波数スペクトル４２を求める工程Ｓ１０・Ｓ２０と、フィルタリングした第一周波数スペクトル４２を復元し、二次元凹凸データ４５を生成するステップＳ３０〜Ｓ５０と、二次元凹凸データ４５から第二周波数スペクトル４６を求めるとともに、スカッフィングＷ３を検出するステップＳ６０・Ｓ７０と、二次元凹凸データ４５から第三周波数スペクトル４７を求めるとともに、フィルタリングした第二周波数スペクトル４６を復元するステップＳ８０〜Ｓ１１０と、復元した二次元凹凸データ４９よりスカッフィングＷ３を評価するステップＳ１２０〜Ｓ１５０とを行う。 （もっと読む）

【課題】
基板表面欠陥検査方法及びその検査装置において効率的に欠陥サンプルデータを収集して、分類性能の高い設定条件を提供することを可能にする。
【解決手段】
本発明は、検査対象の基板を載置して回転可能なステージ手段に載置された基板に１つ又は複数の光を照射し、前記基板からの反射或いは散乱光を検出する１つ又は複数の検出器を備えた検査光学系手段と、前記１つ又は複数の検出器から出力される信号を増幅してＡ／Ｄ変換した信号を処理して基板上の欠陥を検出する欠陥検出手段と、欠陥検出モデルに従って散乱光シミュレーションを行い複数の検出器出力を予想する出力計算手段と、ルールベースの機械学習によって分類器を構築する分類器構築手段を備えた基板表面欠陥検査装置において、前記分類器構築手段は、散乱光シミュレーションによる分類器を基に、必要な実欠陥サンプルの収集を提示し、必要十分な条件での分類器を構築する。 （もっと読む）

【課題】微細な欠陥の検出を容易に行うことができるパターン検査装置、およびパターン検査方法を提供することである。
【解決手段】実施形態に係るパターン検査装置は、被検査体に向けて光を出射する光源と、前記被検査体からの光を検出する検出部と、前記検出部からの出力に基づいてパターン検査を行う検査部と、を備えている。そして、前記光源は、前記光の波長を変化させる。また、前記検査部は、前記検出部からの出力に基づいて回折像を作成し、最も鮮明な回折像に関する光の波長と、対比する回折像に関する光の波長と、を比較することで、前記パターン検査を行う。 （もっと読む）

【課題】対象物体に関する腐食の段階に基づく劣化の診断を高精度で行う。
【解決手段】金属製の対象物体の腐食により生じる錆を撮影して得た発錆箇所に係るＲＧＢ色空間の錆画像情報をＨＬＳ色空間の錆画像情報に変換するＨＬＳ変換部１１５と、変換後のＨＬＳ色空間の錆画像情報に係るＨＬＳ値が、発錆箇所が錆びているとする際の基準となる錆色領域の範囲内に含まれるか否かを判定する診断実行判定部１２１と、ＨＬＳ値が錆色領域の範囲内に含まれる旨の判定が下された場合、対象物体に関する腐食の段階に基づく劣化を診断する劣化診断部１２３と、を備える。錆色領域は、腐食の段階が初期の際に現れる赤茶色系統の初期錆、および、腐食の段階が前記初期よりも進んだ後期の際に現れる黒褐色系統の後期錆を共に錆として捉えることを考慮して設定される。 （もっと読む）

【課題】様々な形のトレイに対応可能であり、且つ、トレイ上の物品の適否の検出精度が向上する検査装置、検査方法および検査プログラムを提供することを課題とする。
【解決手段】物品を載せたトレイを検査する検査装置であって、検査対象のトレイを映した検査画像のデータを取得すると、記憶媒体に格納されている画像のデータであって、物品を適正に載置したトレイを映した第一の画像のデータと、物品を載置していないトレイを映した第二の画像のデータとにアクセスして、前記第一の画像のデータに対する前記検査画像のデータの近似度と前記第二の画像のデータに対する前記検査画像のデータの近似度とをそれぞれ算出し、算出した各近似度に基づいて前記トレイに載っている物品の有無および適否の少なくとも何れかを判定する判定処理部を備える。 （もっと読む）

【課題】異なる反射率を示すものが被検査物に含まれる場合でも、検査を実施することのできる検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、感度補正係数を前記被検査物の反射率毎に複数種類予め記憶する感度補正係数記憶工程と、被検査物の反射率の情報を取得する情報取得工程と、前記情報取得工程で取得した前記反射率の情報に対応する感度補正係数を、複数種類予め記憶した前記感度補正係数の中から対応感度補正係数として選択する感度補正係数選択工程と、前記被検査物で反射した反射光を受光して、該反射光の受光量に基づく出力信号を取得する信号取得工程と、前記信号取得工程で取得した前記出力信号を、前記対応感度補正係数を用いて補正する補正工程と、前記補正工程で補正した前記出力信号に基づいて前記被検査物の良否を判定する判定工程と、を含む検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ベルトの幅方向の傷の検出精度を向上させるベルト検査装置を提供する。
【解決手段】所定方向に形成された内側平坦部２０及び外側平坦部２２と、湾曲側部２９ａ、２９ｂとを輪郭とする略矩形断面を呈する薄型金属ベルト１８の表面に存在する傷を検査するベルト検査装置３０にあって、前記所定方向に沿って、第１照明光を前記湾曲側部２９ａ、２９ｂに出力する緑色光源５６、５８と、湾曲側部２９ａ、２９ｂによって反射された照明光を湾曲側部２９ａ、２９ｂの正面から撮影するカラーカメラ４０、４２と、カラーカメラ４０、４２が照明光を撮影した画像に基づいて薄型金属ベルト１８の表面状態を判定する表面状態判定部７８とを備え、表面状態判定部７８は、撮影された照明光の幅を計測し、該照明光の幅に基づいて、薄型金属ベルト１８に、内側平坦部２０及び外側平坦部２２間を幅方向とする傷があるかを判定する。 （もっと読む）

【課題】人間の視覚と同様の粒度や明度に応じた地合の違いを検査条件等の違いに拘わらず地合指数を用いて客観的に比較、評価することができる地合検査装置及び地合検査方法を提供する。
【解決手段】地合検査装置は、シート状の検査対象物を撮影して得られた画像の画像データＤ１に対してＦＦＴ演算を行って空間周波数毎のコントラストを示すコントラスト分布画像を求めるＦＦＴ演算部５５と、撮影された画像の明度とその画像に対する観察視野を考慮した空間周波数毎のコントラスト感度を求めるＭＴＦ演算部５６と、ＦＦＴ演算部５５で得られたコントラスト分布画像とＭＴＦ演算部５６で得られたコントラスト感度とを空間周波数毎に乗算して加算することにより地合指数ＤＸを算出する局所地合指数演算部５７とを備える。 （もっと読む）

【課題】錠剤の変更にも柔軟かつ円滑に対応することができ、しかも検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、容器フィルムのポケット部に収容された錠剤に対し光を照射可能な照明装置２２と、照明された範囲内の錠剤を撮像可能なカメラ２３と、カメラ２３から出力される画像信号を処理する画像処理装置２４とを備える。画像処理装置２４は、画像データに基づき錠剤の輪郭を抽出し、輪郭上における第１の所定点及び第２の所定点の接線の向き情報を演算するとともに、第１及び第２の所定点で挟まれた第３の所定点の接線の向き情報を求め、第３の所定点の接線の向き情報が、第１の所定点の接線の向き情報及び第２の所定点の接線の向き情報に基づく許容範囲を逸脱している場合に、当該第３の所定点に関し不良候補として判定する。 （もっと読む）

【課題】製品の欠損等がある部分を検出する。
【解決手段】画像データ取得部は画像データ２００を取得する。総和データ生成部は画像データ２００を複数のブロック３１０に分割し、各ブロック３１０内の画素に対応付けられる画素値を合計した総和データを生成する。差分データ生成部は位置が縦方向に隣り合う２つのブロックの総和データの差分を表す第１種の差分データと、位置が横方向に隣り合う２つのブロックの総和データの差分を表す第２種の差分データを生成する。判定データ生成部は第１種の差分データと第２種の差分データのうちの一方を選択し、選択した差分データと、選択した差分データに対応するブロックの画像データ２００内の位置とを対応付けた判定データを生成する。結果データ生成部は選択された差分データが表す差分が許容条件を満たすか否かを判別した結果データを生成する。出力部は結果データの画像データ２００内の位置を出力する。 （もっと読む）

【課題】検査員の主観に依らずして客観的な基準により鏡面球体のショット玉を検出し、安定した検査精度を実現でき、検査の自動化によりインラインで全数検査を実施できる鋳物穴加工品の鏡面球体残留検査装置および方法を提供する。
【解決手段】鋳物穴加工品１１の加工穴１２の内部を照らす照明部と、加工穴内を撮像可能なＣＣＤカメラ２１と、ボアスコープ２２を撮像対象加工穴１２に挿入するＸＹステージ３０と、ＣＣＤカメラ２１で撮像した画像を画像処理する画像処理装置５２を備え、画像処理装置５２は、撮像した取得画像において、ハイライト領域を有し、かつハイライト領域を囲む周辺部位にハイライト領域よりも輝度値の低い環状の暗領域を有する画像領域を、鏡面球体像の候補領域として選択し、候補領域におけるハイライト領域の輝度値が上位閾値より高く、かつ暗領域の輝度値が下位閾値より低い場合に候補領域が真の鏡面球体像であると判断する。 （もっと読む）

【課題】表面に凹凸を有する検査対象物の光沢を検査することができる外観検査方法を提供する。
【解決手段】傾斜面１２を有する凹凸が表面に形成された検査対象物Ｂの光沢を検査する外観検査方法である。前記検査対象物Ｂの表面から離間した位置に、光源３と受光器２とを前記検査対象物Ｂの表面からこの順で配置し、前記受光器２から前記検査対象物Ｂの表面に前記光源３を投影した位置を基準として前記検査対象物Ｂの表面の対称な位置を二つの検査領域Ｂ１、Ｂ２とし、前記光源３から前記検査対象物Ｂの表面に光Ｌ１、Ｌ２を照射し、前記二つの検査領域Ｂ１、Ｂ２からの反射光Ｌ３、Ｌ４を前記受光器２で受光し、前記受光器２で受光した反射光Ｌ３，Ｌ４から得られる前記各検査領域Ｂ１、Ｂ２の測定値を比較して前記測定値の差が所定の閾値以下か否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】低コストでノズル穴に生じる不良箇所を精度よく特定可能なノズル外観検査装置、およびノズル外観検査方法を提供すること。
【解決手段】ノズル外観検査装置１００は、暗視野光学系ユニット５と、ノズル穴の撮像画像を取得する画像入力手段（撮像手段）７０と、ノズル穴の中心を推定する中心推定手段７１と、エッジ検出により輪郭を検出する輪郭検出手段７２と、輪郭から仮の近似円の中心を求める仮近似円算出手段７３と、仮の近似円の中心と輪郭上の各点との距離の平均値を求める仮距離平均算出手段７４と、平均値と各距離との差が規定値未満となる輪郭上の点を抽出する近似円候補抽出手段７５と、抽出された点によって形成される輪郭から近似円を特定する近似円特定手段７６と、近似円の中心から抽出された輪郭までの距離が規定値以上となる箇所を不良箇所と特定する不良箇所特定手段７７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
従来、プリント基板の外観検査装置等で試みられている、位置ずれした被検査基板のずれ補正の前処理を施し、被検査基板画像と基準画像との差分をとって、基板の欠陥検査が行われていた。しかし、その位置ずれ補正の前処理にかなりの時間を要し、検査のタクトタイムを短縮することが困難であった。そのために、位置ずれ補正と画像の差分が迅速に精度よく行われる技術と装置の開発が求められてきた。
【解決手段】
本発明は、画像欠陥の検査のために、基準画像と被検査画像の両者をフーリエ変換して、両者のフーリエ変換強度画像の回転角変化を補正して差分した画像と、前記何れかの画像のフーリエ変換位相画像とで逆フーリエ変換画像を求めて、２画像間の差異を求める方法と装置を提供した。２画像間に位置ずれ、回転ずれがあっても、2画像間の差異が明確に求まり、画像欠陥等の検査を簡単に迅速に行うことができた。 （もっと読む）

【課題】繰り返しパターンの線幅の測定精度を向上させた表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に直線偏光を照射する照射ステップ（Ｓ１０２）と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光を受光する受光ステップ（Ｓ１０３）と、対物レンズの瞳面と共役な面において、反射光のうち直線偏光の偏光方向と垂直な偏光成分を検出する検出ステップ（Ｓ１０４）と、検出した偏光成分の階調値から繰り返しパターンの線幅を求める演算ステップ（Ｓ１０５）とを有し、演算ステップでは、瞳面における対角線上の瞳内位置および対角線外の瞳内位置での階調値から、繰り返しパターンの線幅を求める。 （もっと読む）