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Fターム[2G052AD12]の内容

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【課題】コヒーレントX線を用いた散乱測定において、測定部位を実デバイスと同様の条件で作製できるX線評価用試料及びその作製方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板11に対し、実デバイス形成時と同様の工程を実施する。その後、シリコン基板11を切断して、測定部位13を含む所望の大きさの試料20を切り出す。次に、試料20の裏面側を研磨してX線が透過する厚さにした後、試料20の裏面にAu等の金属からなるX線吸収膜23を形成する。次いで、測定部位13の近傍に、試料20を貫通する参照光用穴24を形成する。また、X線吸収膜23をパターニングして、測定部位13の裏面側に物体光用開口部25を形成する。 (もっと読む)


【課題】多くの被採取対象から迅速、かつ、効率的に危険物質を検出すること。
【解決手段】複数の人物9を順次入れ替わり導入して人物9に付着した物質を試料として採取するためのサンプリング装置1であって、人物9にエアを吹き付けて人物9から試料を吹き落とすエアシャワ21と、吹き落とされた試料を捕捉するトラップフィルタ25と、人物9が入れ替わるごとにトラップフィルタ25を交換する交換機構とを備えるサンプリング装置1を提供する。 (もっと読む)


【目的】二次イオン質量分析装置などの試料ホルダーにおいて、測定窓より小さな複雑な形状を持つ試料や微小試料を安定に保持して分析ができる試料ホルダーを提供する。
【解決手段】試料ホルダー100の試料設置部4aに導電性を持つ熱可塑性樹脂4a−1を配し、試料設置部4aを加熱し、該樹脂4a−1が変形可能となった時点で試料5の下部を埋め込み、冷却、硬化させることで、測定窓8より小さな粒子や微小試料など複雑な形状の試料5を容易に固定することが出来るようになり、二次イオン質量分析を行なうことができる。 (もっと読む)


【課題】試料の薄膜化が進む中、試料の湾曲を押さえて所望の極薄の試料を作製することができ、しかも、観察領域も失われない。
【解決手段】薄膜状の試料1の一面側からイオンビームを照射して、試料の一面を観察面12aが露出するまで削り加工する工程と、試料の削り加工した一面に試料を補強するための補強層2を形成する工程と、試料1の他面側からイオンビームを照射して、試料の他面を観察面が露出するまで削り加工する工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】従来の1個の試料を搭載固定した試料台を有する透過電子顕微鏡用試料の作製方法と比べて、作製時間とTEMによる観察時間が大幅に短縮することができる透過電子顕微鏡用試料の作製方法の提供。
【解決手段】イオンビームの光軸に対して垂直な面内を回転する機構を有するホルダー上の試料台に最大4個まで微小試料を搭載し、各微小試料は隣の微小試料とは90度以上の角度になるように離すように固定することを特徴とする透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法及び最大4個まで使用される微小試料が、隣の微小試料とは90度以上の角度になるように離すように搭載固定されている保持台並びに該保持台を有することを特徴とする透過電子顕微鏡観察用薄片試料ホルダーにて提供。 (もっと読む)


【課題】
複数の異なる材料から成る複合材の試料の断面作成において、試料表面をフェムト秒レーザで直接切断して観察に適した断面を作成する方法を提供するものであり、また研磨加工された試料断面にフェムト秒レーザを照射して最表面の加工変形層を除去することで観察に適した断面を作成する方法を提供しようとするものである。
【解決手段】
各種試料の断面作成に際し、切削された試料の観察断面をフェムト秒レーザで照射することにより、試料断面の加工変形層またはダメージ層を除去する工程を有することを特徴とする試料断面作成法。 (もっと読む)


【課題】本発明は試料断面作製装置の遮蔽材保持機構に関し、試料に熱が伝わらないようにした試料断面作製装置の遮蔽材保持機構を提供することを目的としている。
【解決手段】イオンビームにより試料1をエッチングして試料観察面を作製するようにした試料作製装置に用いられる遮蔽材保持機構であって、試料表面にイオンビームが照射されることを遮蔽する遮蔽材を用いる遮蔽材保持機構において、試料1の上に載置され、試料1を直接遮蔽する遮蔽板3と、該遮蔽板3の上に該遮蔽板3を覆うように配置された遮蔽ブロック5と、を設けて構成される。 (もっと読む)


【課題】高速かつ高精度なエッチングが可能な加工試料の加工装置および薄膜試料の生産方法の提供。
【解決手段】ホルダ50と、イオン銃20と、電子銃10とを備える。ホルダ50は、互いに略平行な表面および裏面を有すると共に、表面および裏面の距離として厚さが定義される加工試料を把持する。また、イオン銃20は、アルゴンイオンを放出し、ホルダ50に把持された加工試料の裏面に、アルゴンイオンを照射する。そして、電子銃10は、電子を放出し、ホルダ50に把持された加工試料の表面に電子を照射するように構成される。また、マイコン30は、電流検出器40が測定した透過電子の電流密度を基にして、イオン銃20が放出するアルゴンイオンの電流密度を制御する。 (もっと読む)


【課題】簡便かつ定量的な肌質評価方法の提供。
【解決手段】本発明は、角層タンパク質の可溶性タンパク質の量比を指標とした肌質の評価方法であって、(a)テープストリッピングにより得た角層の付着した粘着テープ試料を水性緩衝液に浸して可溶性タンパク質を当該水性緩衝剤に溶出せしめ、(b)当該水性緩衝液から前記粘着テープ試料を分離し、当該当性緩衝液中に溶出した可溶性タンパク質を定量し、(c)ステップ(b)で分離した前記粘着テープ試料を次に還元剤含有緩衝液に浸して不溶性タンパク質を溶出せしめ、(d)当該還元剤含有水性緩衝液から前記粘着テープ試料を分離し、当該緩衝液に溶出した不溶性タンパク質を定量し、(e)前記可溶性タンパク質の定量値の前記不溶性タンパク質の定量値に対する比を求める、ことを含んでなる方法、を提供する。 (もっと読む)


【課題】組織切片が丸まらずかつ改善された更なる処理が可能な、ミクロトームによって組織切片を作成する方法及び組織切片に支持材料を載着する装置。
【解決手段】ミクロトームによって組織試料(4)を有するブロック(3)から所定の厚さを有する組織切片(34)が作成され、組織切片(34)の作成の前に、支持材料(2)が載着機構(6)によってブロック(3)に載着される、ミクロトームによる組織切片の作成方法において、支持材料(2)は、ブロック(3)に載着される前に、ブロック(3)の横断面(7)に実質的に適合する寸法及び/又は形状に切断されること、及び
切断された支持材料(35)が、ブロック(3)に載着されることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】FIBによって液体浸透性材料、熱、イオン衝撃に弱い材料の表面近傍の正確な断面情報を得る時に保護膜形成時に構造変化を発生しない保護膜形成方法を提供する。
【解決手段】FIB装置による断面加工に用いる加工対象物表面に被覆する保護膜を、保護膜原料となるガス状物質を凝結固化させることにより形成する保護膜形成方法。 (もっと読む)


【課題】 規制物質検出ユニット及び規制物質評価試験方法に関し、規制物質検出ユニットを小型化するとともに、評価対象物をあるがままの状態で簡易に且つ安価に評価する。
【解決手段】 規制物質溶出用の水もしくは薬液の少なくとも一方を含浸部材に含有させた溶出層4と、前記溶出層4と接すると共に規制物質と反応して変色する反応試薬を前記含浸部材に含有させた反応層5とを含む規制物質検出部3と、規制物質検出部3に接するように設けた電極6とにより規制物質検出ユニット2を構成する。 (もっと読む)


【課題】マニホルドであって、これを通じて延びる所定パターンの流体導管を含むマニホルドと、マニホルドに取付けられたプラテンであって、複数のサンプル受容部分を含み、ここで、サンプル受容部分の各々が、マニホルドの少なくとも1つの流体導管と流体連絡する入口、および少なくとも1つの流体導管と流体連絡する出口を含むプラテン、とを備える、マニホルドアセンブリを提供すること。
【解決手段】自動化組織処理システムのためのマニホルドアセンブリであって、マニホルドであって、これを通じて延びる所定パターンの流体導管を含むマニホルドと、マニホルドに取付けられたプラテンであって、複数のサンプル受容部分を含み、ここで、サンプル受容部分の各々が、マニホルドの少なくとも1つの流体導管と流体連絡する入口、および少なくとも1つの流体導管と流体連絡する出口を含むプラテン、とを備える、マニホルドアセンブリ。 (もっと読む)


【課題】高分子材料や有機材料等の熱に弱い材料の断面を、イオンビームの熱による影響を抑制し、かつ、短時間で加工可能な集束イオンビームによる高分子材料加工方法及び装置を実現する。
【解決手段】試料7から微小試料片を大電流イオンビームにより切り出す前に、微小試料18に熱影響を与えない小電流イオンビーム16により微小試料18の周囲に熱伝達抑制用の溝19を形成し、その後、形成した溝19の外周を大電流イオンビームにより微小試料片を切り出す。試料に熱影響を与えない小電流イオンビームにより微小試料片18を切り出すことも考えられるが、微小試料片18を切り出すまでに長時間を要する。試料7に熱影響を与えない小電流イオンビーム16による溝19の形成加工は、試料片の切り出し加工より短時間で終了可能である。 (もっと読む)


【課題】実際の口腔環境に近い環境を再現し、該環境下において実際の咀嚼を模擬することにより、実際の咀嚼において試料から発生する香りの成分、味成分により近い成分を得ることができると共に、咀嚼力が弱いと考えられる消費者の噛む力をも再現して、これら消費者を対象とした商品を開発することができる咀嚼模擬装置を提供する。
【解決手段】試料(S)を破砕及び摩砕することにより、咀嚼を模擬するための装置(10)であって、前記試料(S)を収容するための容体(20A)と、該容体(20A)の内壁面(22)に沿って一方が他方に向かって摺動するように、対向して配設された一対の咀嚼擬似歯(31,32)と、を少なくとも備えてなる。 (もっと読む)


本方法は、分析される炭化水素と少なくとも1つの寄生性の化合物とを含む抽出されたガスのガス流れを得るための、泥水中に含まれるガスを抽出する工程を含む。本方法は、移送ライン54を介してガス流れを移送する工程と、分析される炭化水素を分離カラム121におけるそれらの溶出時間に応じて分離するためにガス流れを分離カラム121を通過させるように送る工程とを含む。寄生性の化合物の分離カラム121における溶出時間は、分析される最初の炭化水素の溶出時間と分析される最後の炭化水素の溶出時間との間にあると考えられる。本方法は、分析される炭化水素を保持することなく上記のまたは各々の寄生性の化合物を選択的に保持するために、ガス流れを寄生性の化合物との化学的および/または物理的相互作用面141の上を通過させるように送る工程を含む。 (もっと読む)


【課題】対象物から切削によって切り出した場合においても、深さ方向の汚染程度を正確に把握して除染作業の合理化を図ることができる測定用サンプルの採取方法を提供する。
【解決手段】汚染された対象物を、円筒状の切削工具によって深さ方向に切削することにより円柱状のサンプル母材を切り出し、このサンプル母材を深さ方向の複数部位において円板状に切断した円板状のサンプル母材10の外周部分を切断除去して汚染測定用サンプル11を採取するに際して、円板状のサンプル母材10の外周縁10aと汚染測定用サンプル11の最外周部11aとの間の長さ寸法Lが、対象物の毛細管現象による液体の浸透深さ以上となるように、円板状のサンプル母材10の外周部分10bを切断除去することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】荷電粒子ビーム・システムを用いて欠陥を観察するための方法および装置を提供すること。
【解決手段】不正確に発見された欠陥が、一連のスライスをミリングし、軽い優先的エッチングを行って、類似する二次電子放出特性を有する材料間の形状的界面を提供することによって画像化される。スライスは小さな欠陥を補足するのに十分小さいものであるが、再堆積の問題を克服するには十分に大きいものである。 (もっと読む)


【課題】構成の簡略化及び低コスト化を図りながら向上した切れ味を長時間確保した上で、刃先の傾きやうねりに影響されること無く、高品質な薄切片を作製すること。
【解決手段】生体試料Aが包埋された包埋ブロックBを薄切して薄切片を作製する装置であって、包埋ブロックを薄切するカッター3と、包埋ブロックとカッターとを接近離間する接近離間方向Xに沿って相対的に移動させる移動機構4と、両者を垂直方向に沿って相対的に移動させる高さ調整機構と、両者を接近離間方向に略直交するスライド方向Yに沿って相対的に移動させるスライド機構30と、予め設定された初期位置から両者が動き始めように制御し、カッターの刃先3bの同一ポイントに包埋ブロックを接触させ、その後、接近離間方向の速度とスライド方向の速度との比を同一に保った状態で同一方向にカッターをスライドさせる制御部4と、を備えている薄切片作製装置1を提供する。 (もっと読む)


【課題】微細に加工された半導体デバイス内の所望の箇所の3次元的構造を観察するための電子顕微鏡用試料作製装置、電子顕微鏡及びその方法を提供する。
【解決手段】試料片10の加工にダイサーを用い、試料片上の観察対象となる部分を突起状に削り出す加工に集束イオンビーム加工を用い、試料片10を1軸全方向傾斜試料ホルダに、突起11の中心軸と試料傾斜軸Zを一致させて固定し、高角に散乱された電子で結像したTEM像を投影像として用い、再構成を行う。 (もっと読む)


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