【課題】
本発明の目的は、半導体ウェハ等の表面や内部にある異物や欠陥などをＴＥＭもしくはＳＴＥＭで観察や分析など解析するために加工された薄片試料を迅速に採取することに関する。
【解決手段】
本発明は、ＴＥＭ／ＳＴＥＭ試料作製の全体工程を、ＦＩＢを利用した微小試料の加工作業と、微小試料の採取及び試料ホルダへの移設作業と、を別の装置で行い、微小試料の加工作業と、微小試料の採取作業と、を並行して行うことに関する。好ましくは、キャリアにおいて微小試料を設置する箇所を液体とすると、採取具に付着した微小試料を確実、且つ迅速にキャリアに移設できる。本発明によれば、事前に集束イオンビーム装置で試料上に作製された微小試料を迅速に採取し、キャリアに設置することができるため、１個の試料を加工するためのＦＩＢ装置の占有時間が短縮し、試料作製効率が高まる。 （もっと読む）

【課題】ＴＥＭ試料の観察時間を短縮することのできる技術を提供する。
【解決手段】プローブ１０は、中央部より先端部の径が小さい棒状のガラス体１１と、ガラス体１１の先端部１１ａの径断面１３よりも大きな面積の採取面１２ａを含むガラス体１２と、を有する。ガラス１２体は、採取面１２ａとそれとは反対の裏面１２ｂとを含む板状体である。ガラス体１１の先端部１１ａにガラス体１２が形成されている。棒状のガラス体１１の先端部１１ａは屈曲している。 （もっと読む）

【課題】試料に含まれる極微量の成分の分析の感度を高めること。
【解決手段】液体中で試料（１４）を調製する試料調製工程と、調製された試料（１４）を、試料搬入部材（２１）の冷媒液収容部（２１ｂ）に収容された液体状の冷媒中に沈んだ状態で収容する試料冷却収容工程と、試料（１４）が収容された試料搬入部材（２１）を、真空状態に排気されて分析が行われる分析真空室（２）に接続された搬入室（１２）に搬入する試料搬入工程と、搬入室（１２）を、真空状態に排気する搬入室排気工程と、搬入室（１２）の試料搬入部材（２１）を分析真空室（２）に移動させ、試料搬入部材（２１）の試料（１４）を、分析真空室（２）の試料保持部材（３）に移動させる試料移動工程と、試料保持部材（３）の試料に対して分析を行う試料分析工程と、を実行する試料分析方法。 （もっと読む）

【課題】鉛直方向へ移動させる移動手段を用いなくても蓋を開けることが可能であり、かつ、搬送時であっても試料が配置された密閉空間の気密性を確保可能な分析装置を提供する。
【解決手段】分析試料を保持する試料台、及び、試料台に保持された分析試料を少なくとも覆う蓋を備え、蓋によって覆われた空間が密閉され、密閉された空間内の圧力をＰ１、蓋を境に該空間と隣接する隣接空間の圧力をＰ２、とするとき、分析試料の分析が開始されるまでに、Ｐ２＜Ｐ１とされ、少なくとも圧力差Ｐ１−Ｐ２に起因する力Ｆを受けた蓋が動くことによって空間の密閉が解除されるように、蓋の質量が決定されている、分析装置とする。 （もっと読む）

【課題】本発明はイオン液体を用いた試料の処理方法及び処理システムに関し、大気中を搬送しても試料表面が大気に曝されないようにすることができるイオン液体を用いた試料の処理方法及び処理システムを提供することを目的としている。
【解決手段】イオンビーム加工装置等の真空中で試料２に加工処理を施し、加工処理が施された試料２にイオン液体を塗布し、イオン液体が塗布された試料２を電子顕微鏡等の予備排気室８に搬送し、該予備排気室８でイオン液体を除去し、該イオン液体が除去された試料２を電子顕微鏡本体で観察するように構成される。 （もっと読む）

【課題】採血済み真空採血管中の血液や血清をその真空採血管の蓋を開けずに取り出せる簡便で安全なサンプリングデバイスを提供する。
【解決手段】内部に第１空間および第２空間を区画する隔壁を有する筒形カバーと、
前記筒形カバーの第１空間側の隔壁に固定され、細孔を有するパッキンと、
前記パッキンの細孔から前記隔壁を貫通して先端が前記第２空間内に突出する注射針と、
前記筒形カバーの第１空間側に着脱可能に取り付けられ、挿着時に前記第１空間側に位置する前記パッキンの細孔に先端が挿入されるシリンジと
を備えたことを特徴とするサンプリングデバイス。 （もっと読む）

【課題】
基材の擬制表面について高められる多数の高化構造の整然配列を有する造成表面を備える基材が提供される。１ｎｍ〜１００μｍの少なくとも２つの寸法で、造成表面は、微結晶の結晶化を起こさせるか、又は疎水特性を向上させる。多数の基材を備えるターゲットプレートも、同様に開示される。
【解決手段】
基材の擬制表面に高められた多数の高化構造の整然配列を含む造成表面を備え、上記高化構造の少なくとも２つの寸法は、１ｎｍ〜１００μｍの範囲にあり、上記造成表面は、微結晶の円滑な結晶化を起こさせるか、又は基材の疎水特性を向上させる、基材が提供される。 （もっと読む）

【課題】 真空容器等の気密容器に、強度上の構造的、材料的な制限を加えることなく、エネルギ線源等を一定の位置に保持できて、精度良い分析が可能な分析装置を提供する。
【解決手段】 サンプルを内部空間の所定位置に収容する気密容器１と、前記サンプルＳの分析を行う分析部２と、前記気密容器１を支持するベース板１１２と、前記ベース板１１２に固定されるものであって、前記分析部２を前記サンプルＳから所定距離離間した位置に支持する支持構造体３と、ガス導出入に伴う気密容器１の変形による、当該気密容器１と前記分析部２との相対移動を許容しながら、この分析部２と気密容器１とを気密に接続する接続機構５と、を設けた。 （もっと読む）

【課題】 分析装置における真空容器の蓋体による密閉を好適に行え、かつ開口部から容器本体内へのアクセスを容易化する。
【解決手段】 斜め上向きに開口する開口部１ａを真空容器１０１の容器本体１に設け、その開口１ａ部に対して蓋体２が、シール部材３を押圧変形させて開口部１ａを完全に閉止する閉止位置Ｐ１及びその閉止位置Ｐ１よりも上方であってシール部材３に接触又は近接する準閉止位置Ｐ２の間では上下方向に移動するとともに、その準閉止位置Ｐ２及びそこから水平に一定距離離間した中間位置Ｐ３の間では水平にスライド移動し、その中間位置Ｐ３及びそこから前記スライド方向とは異なる方向に一定距離離間した開放位置Ｐ４の間では上下左右前後いずれかの方向に移動するように構成した。 （もっと読む）

【課題】ガス収着試験に用いる薄膜サンプルチャンバを提供。
【解決手段】ガス収着サンプルチャンバは、複数の薄膜基板を含み、該基板をシーベルト装置又は他のガス収着分析器に流体連通結合する。薄膜基板は、サンプルチャンバ内において、サンプルチャンバ内の自由気体体積を低減して収着試験の精度が向上するように、列状の配列で、重ね合わせ配置か又はわずかに隙間を空けた配置で互いの近傍に保持される。チャンバの内部構造形状は、薄膜基板とチャンバの内部表面との間のクリアランスが最小になるように構成されており、それにより、チャンバ内空間の略全てが薄膜サンプル材料及び不活性基板材料によって占められている。グローブボックス内での使用を容易にするために、チャンバは、全ての基板をひとまとめにして積み込んだり取り出したりできるように、複数の薄膜基板が配置された取り出し可能なサンプルカートリッジを備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】 小さな容積の容器中のガスを質量分析する場合に、ガスが測定中に減少して、測定のタイミングによって絶対量や組成比が正しく測定できない問題あった。
【解決手段】 オリフィスを通して真空排気される容積Ｖの試料室の内部でガスを内部に有する容器を開封し、開封後の複数の時刻Ｔで試料室の内部のガスを質量分析してガスの検出強度Ｍ（Ｔ）を得て、複数の時刻Ｔの検出強度Ｍ（Ｔ）とオリフィスのコンダクタンスＣとから、下記の式（１）に基づいて容器中の内部のガス量Ｑを得る。
Ｍ（Ｔ）＝Ａ・Ｃ／Ｓ・Ｑ／Ｖ・ｅｘｐ（−Ｃ（Ｔ−Ｔ０）／Ｖ）＋Ｂ ・・式（１）
ただし、Ａ：感度補正係数、Ｓ：ポンプの排気量、Ｔ０：容器を開封した時刻、Ｂ：バックグラウンド強度。
以上の方法により容積の小さい容器中に含まれるガスであってもそのガスを精度良く分析できる。 （もっと読む）

本発明は固相マイクロ抽出（ＳＰＭＥ）に適した形状を有する中空針１に関するものである。中空針１は、先端５と、先端５から距離を置いて中空針内に備えられた吸着材２とを含んでいて、中空針の側壁の領域に形成された複数の側方穴４を具備することを特徴とし、前記領域は、吸着材２が備えられた場所と先端５との間に位置している。本発明は、中空針１を製造する方法に関するものでもある。更に本発明は、容器及び吸引手段と共同して上記中空針を用いる装置に関するものでもある。
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【課題】バイオチップの特性を向上させる。特に、生体試料を基板上に良好に固定する方法を提供する。
【解決手段】液体状の生体試料（３５０）を冷却された基板１０８上に吐出することにより、基板１０８上にほぼ固定した生体試料（３５０ａ）を形成した後、基板１０８上の生体試料（３５０ａ）を真空凍結乾燥する。このように、液体状の生体試料を冷却された基板上に吐出し、凝固（凍結）させることにより、基板上に生体試料を固定する。その結果、液滴の移動を抑制でき、また、気泡の巻き込みを低減できる。よって、所望の位置に試料を固定できる。また、試料量や膜厚の均一性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は第1ホルダ(40)内の第1位置から第2ホルダ(10)内の第2位置へ、及び/又はその逆へ試料(2)を搬送する搬送機構に関する。
【解決手段】 各ホルダ(10,40)は脱着可能な状態で試料を保持するように備えられ、ホルダ間での試料の搬送は、第2位置とは異なる搬送位置で行われる。試料がホルダ(10,40)間を搬送されるとき、機械的案内機構は、第2位置での相互精度よりも高い相互精度でホルダを位置設定し、かつ試料が第2位置にあるときには、ホルダ(10,40)のうちの少なくとも1は位置設定されない。
機械的案内機構は追加部分(50)を有して良い。
ホルダ(40)のうちの少なくとも1は多数の試料を保持するように備えられて良い。 （もっと読む）

流体サンプル採集デバイスは、流体サンプルを採集し、血液サンプルから血漿または血清を分離するなど構成部分にこれを分離するように構成される。デバイスは、真空の外部容器と内部容器とを含む。外部容器は、第１開放端部と第２閉鎖端部とを有する。穿孔可能なクロージャが、第１開放端部を閉鎖し、これにより第１内部チャンバを画定する。内部容器は、外部容器内に含まれ、第１内部チャンバを、流体連通する上方チャンバ部分と下方チャンバ部分とに隔てる。内部容器は、多孔性膜によって下方チャンバ部分から隔てられた第２内部チャンバを画定する。第２内部チャンバを第１内部チャンバと流体連通させるために、ポートが設けられる。デバイスの別の態様は、血液サンプルから血漿または血清を分離するためのデバイスの使用方法に関する。
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【課題】製造されたデバイスの内部構造をテストするために薄いサンプルを準備して像形成する。
【解決手段】物体のサンプルを形成し、物体からサンプルを抽出し、真空チャンバーにおいて表面分析及び電子透過度分析を含むマイクロ分析をこのサンプルに受けさせるための方法及び装置が開示される。ある実施形態では、抽出されたサンプルの物体断面表面を像形成するための方法が提供される。任意であるが、サンプルは、真空チャンバー内で繰り返し薄くされて像形成される。ある実施形態では、サンプルは、任意のアパーチャーを含むサンプル支持体に位置される。任意であるが、サンプルは、物体断面表面がサンプル支持体の表面に実質的に平行となるようにサンプル支持体の表面に位置される。サンプル支持体に装着されると、サンプルは、真空チャンバー内でマイクロ分析を受けるか、又はロードステーションにロードされる。 （もっと読む）

供給源から、高圧ガスのサンプリングに特に有用な低圧装置へのガスの流れを制御するための方法及び装置を示す。ＲＧＡの高圧供給の例を挙げると、一実施形態において、上記方法により、高圧のガス容量を分離し、それらの圧力を制限し、このガスを低圧で供給する。一実施形態において、前記装置は、弁と、制流装置と、逆流防止弁とを備えており、例えば、正確で繰り返し可能な量の不連続なガスを高圧部分から低圧部分へ供給するか、又は、連続したガスを高圧部分から低圧部分へ供給する。上記装置及び方法は、供給源の圧力に比較的影響されず、したがって供給源の圧力の範囲を超える復元可能な結果が得られる。
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【課題】結晶相のみの試料であっても標準試料を要することなく非点収差の補正が可能な、透過型電子顕微鏡の試料ホルダーを提供する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡の観察位置に試料を位置させるための試料ホルダー（３０）は、内部に段差（１３）を有する第１の開口（１２）が形成された試料ホルダー本体（１０）と、前記段差（１３）によってその周縁の一部が支持されることにより前記第１の開口（１２）内に回転可能に収納されかつ中心部に前記試料（７）を保持するための第２の開口（１５）を有する試料保持部材（１１）と、前記第２の開口（１５）を少なくとも一部を残して被覆する非晶質材料膜を備えたカバー部材（２０）とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】音響振動やフロア振動の影響を受けにくい電子顕微鏡用試料移動装置を実現する。
【解決手段】電子顕微鏡用試料移動装置は、長手方向に変位可能なように支持した棒状の試料ホルダ（２００）の一端側が試料室内に位置するように、試料室壁（３００）を貫通して気密に取り付けられたゴニオメータ（１００）と、試料ホルダおよびゴニオメータの試料室壁の外側となる部分を耐圧的に覆うカバー（５００）と、カバーの内部気圧を大気圧より高くする加圧手段（６００，６０１）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、試料の交換作業を短時間で行なえる真空搬送装置を実現し、しかも、占有面積が小さく、スループットを向上させた荷電粒子線検査装置を提供する。
【解決手段】２つの駆動源２，１０により回転および上下動作が可能なアーム１と、このアーム１の両端に、アーム１の回転に伴って回転するように支持されて試料を載置する第１のハンド２２と第２のハンド２３とを上下方向に離間させて配置して、アーム１の回転と上下動作の制御のみにより試料の搬送とその交換を可能した真空搬送装置２６を構成し、また、この真空搬送装置２６を荷電粒子線検査装置の予備排気室ではなく真空試料室内に配置した。 （もっと読む）