【課題】試料の断面観察をする際に要する断面観察用試料片の作製方法において、包埋樹脂のような充填剤を注入する容器内に試料を安定に固定することのできる作製方法を提供すること。
【解決手段】本発明の断面観察用試料片の作製方法は、試料を容器に収容する工程（Ａ）、該試料を固定部材によって該容器に固定する工程（Ｂ）、該容器に充填剤を注入する工程（Ｃ）、および得られた試料と充填剤とを切削する工程（Ｄ）を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、複数の試料、例えば、観察したい試料と、収差補正の標準調整試料を同時に装着し、それぞれの試料を観察できる試料ホルダーにより、大幅な利便を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、試料ホルダーを駆動するための試料ホルダー駆動機構を有する試料ホルダーであって、前記試料ホルダー駆動機構は、前記試料ホルダーの略長手方向において前記試料ホルダーを可変可能であることを特徴とする。また、本発明の試料ホルダーの好ましい実施態様において、前記試料ホルダー駆動機構は、前記試料ホルダーとは別個に設置された試料ホルダーの略長手方向の駆動機構とは無関係に、試料ホルダーの保持筒への試料ホルダーの挿入深さを可変することが可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被処理物の断面の観察により処理の適否をより正確かつ簡単に判断することができる断面観察方法を提供する。
【解決手段】基材に基材の他の部分とは導電率が異なるマーカー層を形成するマーカー層形成工程と、マーカー層が形成された基材に対して処理を行なって被処理物を形成する被処理物形成工程と、被処理物の断面に電子を照射することにより発生した二次電子を検出する二次電子検出工程とを含む断面観察方法である。 （もっと読む）

【課題】本発明はイオン液体を用いた試料の処理方法及び処理システムに関し、大気中を搬送しても試料表面が大気に曝されないようにすることができるイオン液体を用いた試料の処理方法及び処理システムを提供することを目的としている。
【解決手段】イオンビーム加工装置等の真空中で試料２に加工処理を施し、加工処理が施された試料２にイオン液体を塗布し、イオン液体が塗布された試料２を電子顕微鏡等の予備排気室８に搬送し、該予備排気室８でイオン液体を除去し、該イオン液体が除去された試料２を電子顕微鏡本体で観察するように構成される。 （もっと読む）

【課題】吐出口から液体試料が蒸発することを抑制して、固化する際の検体の組成や構造の変化を抑制し、かつ安定した検体の吐出を可能にする。
【解決手段】固体試料の作製室（１〜３）と、ステージ（１４）と、検体を吐出する吐出口を備え、吐出動作により、ステージの表面に検体を供給する検体供給器（１６）と、ステージを冷却する冷却器（１３）と、を有し、作製室内において、冷却されたステージの表面に検体を供給して、検体を固化させる固体試料の作製装置において、検体供給器の吐出動作の待機時に、検体供給器の吐出口を作製室内の雰囲気から遮蔽した状態で、吐出口から検体を吸引する吸引器（１８）を有する。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭにより検鏡される電気的絶縁試料の表面に金属薄膜を成膜する際に、簡易な方法により電気的絶縁試料に対して金属薄膜を高い密着度で成膜し、ＳＥＭから照射される電子線による電気的絶縁試料の帯電を低減して二次電子放出を効率的に行うと共に放出方向を一定にして電気的絶縁試料の表面を高精度、かつ鮮明に検鏡する。
【解決手段】電気的絶縁試料の表面に金属薄膜を成膜するに先立って、チャンバー内に炭化水素ガスを導入した状態で両電極間に電圧を印加してグロー放電を発生させて炭化水素成分をイオン化して電気的絶縁試料の表面に炭化水素膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】トモグラフィー法にあって、試料を試料台の回転軸上に容易に搭載でき、全回転角において、観察・分析を正確に行うことができるようにする。
【解決手段】電子顕微鏡にも共用される、試料台が備えられている試料回転ホールダにあって、試料台の軸心上の試料搭載側先端に球体部を設け、粉体試料を効率よく回転軸中央に装着し、試料回転ホールダ及び試料台それぞれの各回転角で、三次元再構成時の取得画像の位置合わせが正確に行え、三次元再構成像を高精度で得ることができるようにした。 （もっと読む）

【課題】培養された細胞等からなる試料に散布される薬品の使用量を低減することのできる試料保持体等を提供する。
【解決手段】試料保持体４０は、開放された試料保持面３７ａの少なくとも一部が膜３２と膜３２の周囲のテーパ部３７ｂで構成され、膜３２の試料保持面３２ａにおいて試料３８を培養可能である。テーパ部３７ｂがあるので、使用する試薬の量を少なくすることができる。試料３８には、膜３２を介して、試料観察又は検査のための一次線が照射可能となっている。これにより、細胞等の試料３８を培養させた状態で生きたままでの観察又は検査を良好に行うことができる。特に、一次線として電子線を用いれば、生きた状態での試料のＳＥＭ観察・検査を良好に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする課題は、デバイスの分析したいところを局所的に切出して針状突起にする試料予備加工の技術を提示すると共に、後述する事情の中で小さな蒸発電界の元素層を含む多層構造の試料であっても順次の安定したイオン蒸発を可能とし、原子レベルのＳＡＰ分析を可能とする技術を提供することにある。
【解決手段】本発明のアトムプローブ装置用試料の予備加工は、ＦＩＢ装置を用いて試料所望観察部位をブロック状に切り出すステップと、該ブロック状の切り出し試料を試料基板上に移送して固定するステップと、該試料基板上に固定されたブロック状の試料をＦＩＢエッチング加工によって針先形状に加工するステップとからなる。また、針先形状に加工された試料は多層構造の層方向が針の長手方向に平行となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】無機多孔体の細孔と骨格部とを電子顕微鏡を用いてコントラストよく観察するための試料を提供することを目的とする。
【解決手段】無機多孔体の断面を電子顕微鏡で観察するための観察試料であって、前記無機多孔体よりも二次電子放出率の高い金属が前記無機多孔体の細孔に充填されていることを特徴とする。前記無機多孔体は樹脂中に固定されるようにしてもよい。充填する金属としては、ジルコニウムを特に好適に用いることができる。 （もっと読む）

【課題】１０μｍ〜１００μｍオーダーの平滑な断面形成に適し、作業者の熟練の技術を必要とせず、かつ加工位置精度に優れ、所望の特定位置に正確に断面を形成できる、走査電子顕微鏡による断面観察用サンプルの作製方法を提供する。
【解決手段】試料の被観察部を通る粗断面を形成するとともに、イオンビームによる加工深さ以下の厚さの透明な基板を、前記被観察部を覆うように試料に固定した後、前記試料を、イオンビームを試料に照射する装置の試料ホルダーに設置して、前記被観察部と前記装置のイオンビーム照射位置との位置合わせを行い、その後、被観察部にある粗断面をイオンビーム照射により加工することを特徴とする走査電子顕微鏡による断面観察用サンプルの作製方法。 （もっと読む）

【課題】グロー放電により試料を掘削する試料掘削装置において、試料の大きさ及び形状に関わらずに掘削を可能とし、試料と電極との間の距離を適切に調整することができる試料掘削装置及び試料ホルダを提供する。
【解決手段】グロー放電により試料を掘削する試料掘削装置は、円筒部（端部）１２ｂを有する陽極１２と試料ホルダ２とを備え、試料ホルダ２は、一端が開口端となり他端が閉口端となった筒状筐体部２１と、一端が試料保持端となった試料保持部２２とを有する。試料保持部２２は、試料保持端を開口端と同じ向きに向けて筒状筐体部２１に螺着される。試料ホルダ２は、試料Ｓを保持した試料保持端を陽極（電極）１２の端部に対向させて配置される。螺着の際にねじ込む深さを変更して筒状筐体部２１に対する試料保持部２２の位置を調整することにより、試料保持部２２で保持した試料Ｓと陽極１２の円筒部１２ｂとの距離を調整することができる。 （もっと読む）

【課題】 多孔性膜の正確な内部構造を観察するための断面観察用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも１つの樹脂層を有する多孔性膜の断面観察用試料の作製方法であって、前記多孔性膜に、常温で液体、かつ揮発性で、前記多孔性膜を構成する樹脂のうち少なくとも１種との溶解性パラメータの差が２（ｃａｌ／ｃｍ^３）^１／２より小さい有機溶媒を含浸させる含浸工程と、前記有機溶媒を含浸させた前記多孔性膜を前記有機溶媒の凝固点温度または前記樹脂のガラス転移温度のいずれか低い方の温度以下に保持して、前記有機溶媒を凍結させる凍結工程と、前記多孔性膜を刃物で厚さ方向に裁断して裁断断面を得る裁断工程と、裁断した前記多孔性膜を前記有機溶媒の凝固点温度より高い温度に保持して、前記有機溶媒を乾燥除去させる乾燥工程と、を経て断面観察用試料を得ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】溶液中に含まれる異物の組成を簡易かつ安価に分析し、これによって前記異物を簡易かつ安価に同定する新規な方法を提供する。
【解決手段】孔径が０．１ｎｍ〜１００μｍの貫通孔を有する基材及びこの基材上に、前記貫通孔を残存させた状態で形成された無機膜を含むろ過膜に溶液を通液して、前記ろ過膜の表面に前記溶液中の異物を残存させ、前記ろ過膜の前記表面上に残存した前記異物の組成を分析して、同定する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム・システムを用いて欠陥を観察するための方法および装置を提供すること。
【解決手段】不正確に発見された欠陥が、一連のスライスをミリングし、軽い優先的エッチングを行って、類似する二次電子放出特性を有する材料間の形状的界面を提供することによって画像化される。スライスは小さな欠陥を補足するのに十分小さいものであるが、再堆積の問題を克服するには十分に大きいものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は試料作製方法及びシステムに関し、集束イオンビーム装置と走査電子顕微鏡を利用することによる、ＦＩＢ装置の時間効率を改善することを目的としている。
【解決手段】集束イオンビーム装置１０内にイオンビーム照射により薄膜試料を作製する加工手段を設け、走査電子顕微鏡２０内には前記試料を前記集束イオンビーム装置１０から試料ホルダ１２ごと移し替えたものに、ガスを噴射させるガス供給手段２２と、プローブ２４を有するマニピュレータ２３とを設け、前記プローブ２４を試料に接触させた状態で前記ガス供給手段２２よりガスを噴射させつつ、試料に電子ビームを照射することにより、前記プローブ２４に試料を接着させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は本発明は試料作製方法に関し、更に詳しくは透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）又は走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）等で観察するに適した試料を作製することを目的としている。
【解決手段】基板３０の上に接着剤３４を塗布し、該基板３０の上に試料片４０ａを両側から挟むようにスペーサ３１，３２を配置して接着させ、該接着された試料片４０ａとスペーサ３１，３２の上に接着剤を塗布して透明な保護膜３３を張り付けて積層体となし、接着剤硬化後にカッタで前記積層体を切り出し、切り出された試料片４０ａをガラス板に張り付け、前記積層体が所定の厚みになるように研磨して試料を作製するように構成される。 （もっと読む）

【課題】体積の少ない生物組織、及び／又は、パラフィン等によりブロック包埋された生物組織の薄切切片から、ＳＥＭ標本を作製する。
【解決手段】生物組織薄切切片からＳＥＭ標本を作製する方法であって、ａ）生物組織凍結ブロックから薄切切片を切り出す工程、及び、ｂ）ＳＥＭ標本台載物面と略同形及び同サイズ以下であり、且つ、該薄切切片の剥離防止処理を施したカバーガラスに、該薄切切片を貼付する工程を含んで成る。 （もっと読む）

【課題】捕集箇所を選ばず、パーティクルをフィルター上に捕集かつパーティクルの層別が可能で、同時にイオン性物質の液体捕集をも行うことができ、さらに安価である大気中の汚染物質捕集方法又は捕集装置を提供すること。
【解決手段】大気中の汚染物質をフィルター捕集および液体捕集するためのサンプリング装置であって、
メンブレンフィルター（１１，１３）をセットしたフィルターホルダー（１２，１４）と、インピンジャー（１９，２３）と、ポンプ（２６）とを備え、
前記フィルターホルダーと前記インピンジャーと前記ポンプとがこの順に接続されていることを特徴とする大気中汚染物質捕集装置。 （もっと読む）

【課題】 断面作製等を行った試料を簡易に真空環境下で保管でき、真空環境下で保管したまま搬送可能な試料保存装置を提供する。
【解決手段】 試料保存装置１は、試料作製装置２０の加工室２１に固定して取り付けられたメインケース２と、脱着型ケース１０とからなる。試料保管室５及び脱着型ケース１０内は、真空仕切り弁を介して加工室２１と連通可能である。試料を試料保管室５及び／又は脱着型ケース１０に入れ、真空仕切り弁を開けた状態で、試料作製装置２０が備える真空排気装置により加工室２１を真空排気すれば、試料は真空環境で保管される。真空仕切り弁を閉じれば、大気開放して試料の取り出しが可能である。 （もっと読む）