【課題】
電子線を照射した際に得られる２次電子像のコントラストが大きく、互いに直交する２種類の直線形状突起物集合体及びこれを用いた走査型電子顕微鏡用寸法校正試料を提供することにある。
【解決手段】
（１００）面単結晶シリコン基板の結晶面を利用して、直線パターンの上面を形成し、上面に対して鋭角の角度を有する側壁を（１１１）面で形成し、＜０１１＞軸に平行または垂直に直線形状突起構造体を形成する。突起構造体の上面に平行な断面は上面から底部に向かって横幅が小さくなる逆テーパ構造とする。
【効果】
本発明によって、互いに直交する２種類の直線形状突起物の境界から得られる２次電子像のコントラストを大きくし、縦方向横方向の２方向で寸法校正を精度良く行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 半導体装置表面に付着している微小異物を採取し、精度の良い観察、分析を行うことができる試料作製装置および試料作製方法を提供する。
【解決手段】 埋包試料３０は、無機固体物１２中に微小異物１０を埋め込ませて採取したものである。無機固体物１２が試料ホルダ１４ａ、１４ｂの左右方向に退けられ、微小異物１０が上下の試料ホルダ１４ａと１４ｂの対向面にそれぞれ直接接触するに至るまで埋包試料３０を圧縮する。微小異物と上下の試料ホルダとの接触部分を結ぶ経路は、微小異物１０以外の第３物質である無機固体物１０によって阻害されることがない測定経路となる。 （もっと読む）

集積支持フィーチャを有する試料支持構造体ならびに補強された膜を作製する方法およびそれを使用する方法。試料支持構造体は、電子顕微鏡法、光学顕微鏡法、Ｘ線顕微鏡法、ＵＶ−ＶＩＳ分光法および核磁気共鳴（ＮＭＲ）技術などの顕微鏡技術を使用する分析のための試料を支持するために有用である。
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【課題】 短い調製時間で大きいカット深さを実現でき、高い確実性および達成可能な良好な試料品質において高い経済性を達成できるイオンエッチング法を実現する。
【解決手段】 電子顕微鏡検鏡用試料を固体材料から切出す。次いで、試料に構成された試料表面（３）を、イオンビーム（Ｊ）によって所定の入射角度で処理し、かくして、試料（１）のイオンビーム（Ｊ）の投射ゾーン（４）の範囲に、電子顕微鏡による試料（１）の所望範囲の観察（１２）を実現できる所望の観察範囲（２０）が露出されるまで、イオンエッチングによって試料表面（３）から材料を切除する。この場合、イオンビーム（Ｊ1，Ｊ2）が試料表面（３）において少なくとも互いに接触するか、又は交叉して、上記試料表面に投射ゾーン（４）を形成するよう、少なくとも２つの不動のイオンビーム（Ｊ1，Ｊ2）を所定の角度（α）で相互に配向して試料表面（３）に導き、試料（１）もイオンビーム（Ｊ1，Ｊ2）も、移動させず、従って、位置不変の状態で処理する。 （もっと読む）

【課題】
試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面
観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および
微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と
電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し
、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 （もっと読む）

【課題】 立体的な試料を断面加工し、観察するための新たな方法の提供を課題とする。
【解決手段】 集束イオンビーム加工観察装置で立体的な試料を断面加工し、得られた断面を観察する方法において、試料直上に試料表面を保護するためのマスクとして前記装置内に設けられた可動式プローブを用い、該可動式プローブを試料の０．５〜５μｍ上方に配置して断面加工することを特徴とする試料の断面加工方法である。前記可動式プローブは、その先端を予め所望の断面加工の形状にして使用する。 （もっと読む）

【課題】試料の特性に左右されることなく、グロー放電により試料を確実に掘削する。
【解決手段】グロー放電掘削装置１は、連続的に給電を行う連続モード及び断続的に給電を行う断続モードの切替が可能であり、グロー放電に伴う熱により溶融しやすい試料Ｓ、グロー放電に伴うスパッタリングの威力により壊れやすい試料Ｓ等に対しては断続モードで給電を行うことで、良好な観察を行える観察面を得られるように試料Ｓの掘削を行う。試料Ｓが溶解しやすい及び壊れやすい特性を具備しないときは、連続モードで給電を行うことにより効率良く良好な観察面が得られるように試料Ｓの掘削を行う。 （もっと読む）

【課題】
試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面
観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および
微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と
電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し
、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 （もっと読む）

【課題】元試料から、TEMまたはSEM観察のための試料片の採取、成形および観察
ホルダ設置までの工程を簡素化し、試料処理室において一貫して行なう。
【解決手段】集束イオンビーム照射光学系2により元試料5の所望位置において試
料片15の切り出しの成形を行なう。次に、脱着可能な試料片プローブ7によって
試料片15を採取し、試料片プローブ7を観察用試料ホルダ10に移載した後、試料
処理室1からエアーロック機構を用いて観察用試料ホルダ10を抜き取ることによ
って、簡便かつ迅速な試料作成を行なう。 （もっと読む）

【課題】半導体用研磨スラリー中に含有される不純物粒子等の異物の検査を行い、その異物に関する情報をより精度よく取得することができるスラリー中の異物の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】半導体用研磨スラリーを採取するサンプリング工程と、サンプリング工程で採取された半導体用研磨スラリーを、半導体用研磨スラリーから抽出した分散液を用いて希釈する希釈工程と、希釈工程で希釈された半導体用研磨スラリー中に含まれる砥粒は通過させ、砥粒よりも大きな異物は捕捉することが可能である、孔径が０．１ｎｍ〜１００μｍのろ過膜に、希釈された半導体用研磨スラリーを通液し、ろ過するろ過工程と、ろ過工程で得られた、希釈された半導体用研磨スラリーを通液したろ過膜の表面にろ別された異物を検査する異物検査工程とを有することを特徴とするスラリー中の異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】フィルムや紙等の基材上に形成されている有機物からなる有機膜の断面状態を走査電子顕微鏡により明瞭に観察できるようにし、有機膜の膜厚や形状等の情報が正確に得られるようにしたことを特徴とする、走査電子顕微鏡を用いた有機膜の断面観察方法の提供を目的とする。
【解決手段】最表面に位置する有機物からなる有機膜の断面状態を観察する方法であって、有機膜表面に有機膜を構成する有機物よりも電子線照射時に電子線の放出量が多い金属からなる金属膜を形成してから樹脂により包埋し、しかる後に断面出しを行い、その断面を走査電子顕微鏡で観察することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
電子顕微鏡で用いられる倍率校正を高精度で行う校正用標準部材を提供し、それを用いた走査電子顕微鏡技術を提供する。
【解決手段】
測定試料上の観察領域に入射電子線を走査して発生する二次電子または反射電子強度の情報から、前記観察領域内のパターンを計測する走査電子顕微鏡を校正する校正用標準部材であって、多層膜（１、２）が積層された第１の基板と、その表面に前記第１の基板を保持するための凹部を有する第２の基板（３）とを有し、前記第１の基板は、前記多層膜表面の法線方向が前記第２の基板表面の法線方向に対してほぼ垂直になるように、前記第２の基板の凹部内に保持され、前記多層膜は、シリコンを含有する膜（１）とモリブデンを含有する膜（２）との多層構造を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】速やかなクリーニングを実現できるクリーニング装置を提供する。
【解決手段】各々の空間部の最上部に試料７０a、７０b、７０cが取り付けられたホルダ３０a、３０b、３０cの各空間部にフィラメント９０a、９０b、９０cが取り付けられ、試料７０a、７０b、７０cを支持している部分には電圧印加用電極８０a、８０b、８０cが設けられている。
そして、一台のフィラメント加熱用電源１００からスイッチング回路１１０を介してフィラメントに電流が流せ、一台の電圧印加用電源１２０からスイッチング回路１３０を介して任意の電極に電圧が印加できる。 （もっと読む）

【課題】グロー放電を利用した球状の試料の掘削を可能とする試料掘削方法、及び試料掘削装置を提供する。
【解決手段】アルゴンガス（不活性ガス）が供給される試料室（処理室）３内で、グロー放電管１が備える電極に対向して下方に配置された載置部３１に球状の試料Ｓを載置し、複数のセラミックボール（球）３２によって試料Ｓの移動を拘束した上で、試料Ｓを電極に対向配置させる。超音波発振器（発振器）３３から振動を載置部３１に加えながら試料Ｓと電極との間に電圧を印加してグロー放電を発生させ、グロー放電に伴うアルゴンイオンのイオン衝撃により試料Ｓの表面を掘削する。振動によって試料Ｓはランダムに回転しながらほぼ等方的に掘削され、グロー放電発光分析による半径方向の成分分析が可能となり、清浄に形成した試料Ｓの表面をＳＥＭ等で観察することも可能となる。 （もっと読む）

【課題】メッシュ上で十分に均一に分散された粉体観察用試料を得るための粉体観察用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】粉体観察用試料の作製方法であって、溶媒と前記溶媒に可溶な分散剤とを含む溶液中に被観察粉体を混合し試料混合液を作製する混合工程と、前記試料混合液を湿式衝突型分散機にて分散させる分散工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、アトムプローブ分析用試料の作製方法において、ＡＰ分析時の強い静電引力に十分耐えることができる試料基板とブロック状試料との強固な接着固定手法を提示することにある。
【解決手段】本発明のアトムプローブ分析用試料の作製方法は、ベース針２と移植試料片１の双方にＦＩＢのエッチング加工によって凹凸構造を作製するステップと、互いの部材を接合させるステップと、前記凹凸構造が噛合い形態となるようにＦＩＢのデポジション加工によって接着するステップとを踏むものとした。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内で、イオンビームに対して試料の加工面が非直交の状態で、前記試料の加工面に対して直交する軸を中心に回転されながら、前記加工面にイオンビームが照射される試料作成装置に関し、操作性の良い試料作成装置を提供することを課題とする。
【解決手段】真空チャンバ１に取り付けられ、試料ホルダ７が設けられた筐体９に、試料ホルダ７の試料６が設けられた面７ａと直交するＸ軸（第１の軸）を中心に試料ホルダ７を回転させる回転機構と、Ｘ軸と直交するＺ軸（第２の軸）を中心に試料ホルダ７を傾斜させる傾斜機構とを設け、筐体９の真空チャンバ１の外側に位置する部分に、傾斜機構の操作部を設ける。 （もっと読む）

Ｓ／ＴＥＭサンプルの調製および分析用の改良された方法および装置である。本発明の好ましい実施形態により、ＴＥＭサンプル作成用、特に小さい形状（厚さ１００ｎｍ未満）のＴＥＭラメラ用の改良された方法が提供される。機械視覚ベースの計測および画像認識、高精度のフィデューシャルマーク、ならびに自動フィデューシャル配置の組み合わせを用いてラメラの配置正確度および精度を大幅に改善させる。本発明の好ましい実施形態により、ＴＥＭサンプル作成を一部または全部自動化するための方法、ＴＥＭサンプルの作成および分析のプロセスを労力のより少ないものにするための方法、ならびにＴＥＭ分析のスループットおよび再現性を高めるための方法が提供される。
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Ｓ／ＴＥＭ分析のためにサンプルを抽出および取り扱うための改善された方法および装置。本発明の好適な実施形態は、マイクロマニピュレータと、真空圧を用いてマイクロプローブ先端をサンプルに付着させる中空マイクロプローブとを使用する。小さな真空圧をマイクロプローブ先端を通してラメラに印加することによって、ラメラをより確実に保持することができ、静電力だけを用いるよりも、ラメラの配置をより正確に制御することができる。勾配の付いた先端を有し、その長手軸線周囲に回転させることも可能なプローブを用いることによって、抽出されたサンプルをサンプル・ホルダ上に平坦に置くことができる。これによってサンプルの配置および配向を正確に制御することが可能になるので、分析の予測可能性および処理能力が大幅に増大される。
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【課題】捕集箇所を選ばず、捕集装置からのコンタミネーションなしにパーティクルをフィルター上に効率よく捕集でき、パーティクルの層別が可能で、さらに安価である気中パーティクル捕集方法および捕集装置を提供する。
【解決手段】メンブレンフィルターを１枚ずつセットした１乃至複数個のそれぞれ孔径の異なるフィルターホルダー１２、１４、・・・と、１分間当たりの吸引量が５〜４０リットルの吸引ポンプ１７とを接続してエアー吸引することにより、前記メンブレンフィルターに気中のパーティクルを付着させて捕集する。 （もっと読む）