【課題】半導体用研磨スラリー中に含有される不純物粒子等の異物の検査を行い、その異物に関する情報を取得することができるスラリー中の異物の検査方法を提供する。
【解決手段】半導体用研磨スラリーを採取するサンプリング工程と、スラリー中に含まれる砥粒は通過させ、砥粒よりも大きな異物は捕捉することが可能である孔径を有したろ過膜に、サンプリング工程で採取したスラリーを通液し、ろ過するろ過工程と、ろ過工程で得られた、スラリーを通液したろ過膜の表面に存在する異物を検査する異物検査工程と、を有する異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】試料がデュアルビーム粒子光学装置においてより均一に処理されることを可能にするステージ組立体を提供する。
【解決手段】ステージ組立体は、第一軸Ａ１に沿う第一照射ビームＥを発生するための第一源と、ビーム交差地点で前記第一軸と交差する第二軸Ａ２に沿う第二照射ビームＩを発生するための第二源と、試料を載置し得る試料テーブル２１と、基準面に対して垂直なＸ軸、基準面と平行なＹ軸、及び、基準面と平行なＺ軸と実質的に平行な方向に沿って前記試料テーブルの平行移動をもたらすために配置された一組のアクチュエータとを備え、該一組のアクチュエータは、Ｚ軸と実質的に平行な回転軸ＲＡについての試料テーブル２１の回転と、Ｚ軸に対して実質的に垂直なフリップ軸ＦＡについての試料テーブルの回転とをもたらすようさらに配置されること。 （もっと読む）

【課題】効率的、定量的に液体状試料の電子顕微鏡観察を行なう。
【解決手段】凹部を有する微小容器に液体状試料をのせる工程１、及び該凹部を封入する工程２を有し、工程１でインクジェット法により凹部を有する微小容器に液体試料をのせ、工程２で液体試料が冷却されており、工程１と工程２が同時に行われる電子顕微鏡観察用試料作製方法において、液体資料中に凹部を有する微小容器を固定し、かつ封入用物質を液体状試料表面に浮かした状態にする工程、および封入物質を保った液面を下げることにより凹部を有する微小容器表面に該封入物質を移し取る肯定を有する。 （もっと読む）

【課題】FIBによる断面加工や薄片加工に先立って行なわれていたFIBAD膜による試料表面平坦化作業を行なうこと無く、試料表面にFIB照射損傷を与えることなく、SEM試料やSTEM試料を作製する。
【解決手段】試料加工の際に試料表面に作製していた集束イオンビームアシストデポジション（FIBAD）膜の代わりに、対象試料とは別の微小な薄膜の薄板を加工位置に移設固定して保護膜とする。 （もっと読む）

【課題】 観察等を行う箇所を容易に再現良く探し出すことが可能な顕微鏡用サンプル板を提供すること。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡や光学顕微鏡での試料の観察，測定又は加工に用いるための顕微鏡用サンプル板７であって、当該サンプル板７が透明材料からなり、低い拡大倍率で視認可能な低倍率用マーキング２ａと、当該低倍率用マーキング４ａの内側又は周縁に形成されていて、高い拡大倍率で判別可能な高倍率用マーキング４ｃとを有し、当該高倍率用マーキング４ｃの内側又は周縁に試料等５を有していることを特徴とする顕微鏡用サンプル板７である。 （もっと読む）

【課題】回転可能なベースの回りに配置されたサンプルを顕微処理する複数器具を含むクラスタ器具を提供すること。
【解決手段】ベースの上のサンプル・ホルダが、器具の作業領域間においてサンプルを回転させる。スライド可能真空封止が、真空を必要とする器具のサンプル室において真空を維持する。 （もっと読む）

【課題】 排気されるヘリウムガスを用いて、試料保持冷却部４０および液体ヘリウムタンク２０の熱のシールド効果をさらに向上させる試料冷却装置を実現する。
【解決手段】 試料保持冷却部４０および液体ヘリウムタンク２０を内包する様に、液体窒素温度の第１の熱シールド３０との間に、第２の熱シールド６２を配設し、試料保持冷却部４０で気化されたヘリウムガスを貯蔵するヘリウムガスタンク７０と第２の熱シールド６２を熱的に接続することとしているので、試料保持冷却部４０および液体ヘリウムタンク２０の外部との熱シールドを、より完全なものとし、ひいては液体ヘリウムの消費量を削減し、ランニングコストを低減することを実現させる。 （もっと読む）

【課題】内容物を観察することなく、内容物の面出し及び構成元素の把握が確実にできる石英ガラス内に存在する内容物分析の前処理方法を提供する。
【解決手段】本石英ガラス内に存在する内容物分析の前処理方法は、石英ガラス内に存在する内容物分析に先行して、レーザ光により内容物の３次元座標を特定し、その座標に基づいて内容物の端部から１００μｍ以上離れた位置で石英ガラスを切断し、内容物が分析面となるように切断面を鏡面研磨して、内容物を研磨面に露出させる。 （もっと読む）

【課題】 多数の切片試料を、損傷や損失なく連続的に、しかも所定の姿勢で且つ所定の順序で容易に採取することが可能で、３次元構造分析の効率的実施を可能ならしめる分析用切片試料の作製方法及び作製装置を提供する。
【解決手段】 分析対象物を含む固体Ｓを切削用ナイフ４２で切削することにより順次形成された切片試料Ｅを、同等の姿勢で液体Ｌの自由表面上に順次供給する。蠕動ポンプ６１により液体Ｌにその自由表面に沿って流れる液流Ｆ１〜Ｆ４を形成する。この液流に従って切片試料Ｅを液体自由表面上の移動経路にて移動させ、その際に、切片試料Ｅの移動経路の幅を切片試料Ｅの短径より大きく且つ最長径より小さく設定しておく。そして、移動経路を移動してきた切片試料Ｅを、捕集手段１２により試料台Ｐの上表面に貼り付けて捕集する。 （もっと読む）

【課題】イオンビームで研磨された試料を固定した試料ホルダはSEM試料台支持部に取り付けるに際して試料ホルダとＳＥＭ試料台支持部との間に取り付けのために用いられて来た中間材を設けることなく取り付けることができ、以って両者間の距離を短くし、試料ホルダをＳＥＭ試料台支持部に近接配置できるようにする。
【解決手段】試料ホルダ２３に試料３の研磨されて観察される面の裏側の面に、ＳＥＭ試料台支持部に設けたおねじ部５３に直接ねじ挿入されるめねじ穴５２を設け、当該おねじ部を当該めねじ部に直接ねじ挿入することによって、試料を固定した前記試料ホルダをSEM試料台を介さずに直接ＳＥＭ試料台支持部に固定される。 （もっと読む）

【課題】
イオンビーム測定子の移動を行うに際して、手間取らずに簡便に行うことのできるイオンミリング装置を提供する。
【解決手段】
イオンビーム測定子が真空チャンバの内部に設けられ、該イオンビーム測定子に連結され、真空排気によって駆動される駆動部を有する他の真空排気系が真空チャンバに連通する真空排気系に連通して設けられ、かつ各真空排気系に一方が開のときに閉、閉のときに開となる弁がそれぞれ設けられる。 （もっと読む）

【課題】 微小な試料片において、加工歪のない清浄な剥離面を得ることができる分析用の試料片抽出方法を提供する。
【解決手段】 多層膜試料１の所定箇所の輪郭に沿って溝１Ｄ加工を行ない、所定箇所を剥離する工程により所定箇所の膜面を剥離して、剥離面を露出させる。試料１は、母材１Ｂ上に多層膜１Ｃが形成されている。溝１Ｄの加工は、集束イオンビームを用いて行なうことができる。試料１の微小な分析対象箇所の加工が簡易であり、試料１に余分な力を加えずに、バリや新たな剥離面の発生を生じない試料片１Ａを抽出することができる。 （もっと読む）

【課題】液体状の媒体に分散した微粒子の形態を観察する方法を提供する。
【解決手段】ＳｉＯ₂ 超微粒子が分散したグリースを−１００℃に冷却して凝固させ、固形物とした。この固形物に剪断力を加えて破断し、その破断面をＳＥＭにより観察した。この時、ＳＥＭのサンプルホルダーは、固形物が融解して液体状とならないように−８０℃に制御した。このような方法により、グリースからの揮発成分の発生等の不都合が生じることがなく、グリースに分散したＳｉＯ₂ 超微粒子そのものの形態を観察することができる。 （もっと読む）

【課題】 硬い素材の上に柔らかい素材が重層された試料を短時間で研磨する。
【解決手段】 研磨材の研磨面に試料を当てて試料２０を研磨する研磨治具において、硬い素材２０ａの上に素材２０ａより柔らかい素材２０ｂが積層された重層形態試料２０の硬い素材２０ａ側が試料取付面１２ａに固着される角度設定台１２と、角度設定台１２を固定する基台１１であって角度設定台１２の試料取付面１２ａが研磨面に対して所要角度θ傾けられたとき硬い素材２０ａを研磨面に当てて該素材を所要位置まで研磨しその後に角度設定台１２の試料取付面１２ａが研磨面に対して垂直にされたとき柔らかい素材２０ｂを研磨面に当てて該素材を研磨する基台１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビームで形成した試料面は平坦であり、走査電子顕微鏡での構造観察には適していなかった。
【解決手段】材料毎のスパッタイールド差を大きくするアシストガスを利用した集束イオンビームアシストエッチングにより、構造毎の微小凹凸を形成することで、走査電子顕微鏡観察に適した試料作製を実現する。 （もっと読む）

【課題】スループットを大きくする等のため照射電流値を増加する場合にも試料表面の帯電量を適切に制御することができ、歪の小さい鮮明な画像データが取得され、信頼性の高い検査を行うことができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査方法は、荷電粒子ビーム２を試料１０に照射するビーム源１と、試料表面からの荷電粒子を検出部する検出部１８とを備える検査装置を用いる。試料１０の表面が所定の電気抵抗値を有する抵抗膜４２により被覆され、荷電粒子ビーム２が試料１０に照射され、試料表面から発生される二次荷電粒子等が検出部１８により検出される。 （もっと読む）

粒子状汚染物質のサンプリング装置（１）が記載されている。この装置は、多くの閉鎖エンクロージャに適合することができる。この装置を用いることにより、この閉鎖エンクロージャの雰囲気に含まれる汚染物質を表面で回収することができる。このようなサンプリング法を用いると、これらの汚染物質の性質に関する具体的な情報を得ることが可能である。
このサンプリング装置（１）は、具体的には、サンプルが捕集される適当な基板（６）を位置づけることのできる支持体（２）を備える。この装置（１）は、得られたサンプルを分析場所まで閉じ込めて、測定の特性をさらに向上させるように構成されている。
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【課題】 試料の特性に左右されることなく、グロー放電により試料を確実に掘削する。
【解決手段】 グロー放電掘削装置１は、連続的に給電を行う連続モード及び断続的に給電を行う断続モードの切替が可能であり、グロー放電に伴う熱により溶融しやすい試料Ｓ、グロー放電に伴うスパッタリングの威力により壊れやすい試料Ｓ等に対しては断続モードで給電を行うことで、良好な観察を行える観察面を得られるように試料Ｓの掘削を行う。試料Ｓが溶解しやすい及び壊れやすい特性を具備しないときは、連続モードで給電を行うことにより効率良く良好な観察面が得られるように試料Ｓの掘削を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、微小試料片およびまたはその周辺領域を汚染することなく、確実で安定的な微小試料片の分離、摘出、格納を行う装置および方法を提供することにある。
【解決手段】試料基板から観察すべき領域を含む試料片をイオンビームスパッタ法により分離し、試料を押し込んで保持し、引き抜いて分離するための、根元に比較して先端が細く、該先端部が割れている形状で、該形状により得られる試料片を保持する部位の弾性変形による力で試料片を保持する棒状部材からなるはり部材を用いて、前記試料片を試料基板から摘出し、試料片を載置するための載置台上へ移動させた後、前記はり部材と前記試料片を分離することで該試料片の格納を行う。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング（摘出）して、分析／計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント（搭載）する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】 FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術を用いる。
【効果】 分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 （もっと読む）