【課題】捕集箇所を選ばず、捕集装置からのコンタミネーションなしにパーティクルをフィルター上に効率よく捕集でき、パーティクルの層別が可能で、さらに安価である気中パーティクル捕集方法および捕集装置を提供する。
【解決手段】メンブレンフィルターを１枚ずつセットした１乃至複数個のそれぞれ孔径の異なるフィルターホルダー１２、１４、・・・と、１分間当たりの吸引量が５〜４０リットルの吸引ポンプ１７とを接続してエアー吸引することにより、前記メンブレンフィルターに気中のパーティクルを付着させて捕集する。 （もっと読む）

【課題】絶縁物の分析対象となる領域における帯電を補正することにより、正確かつ再現性良く質量分析を行うことが可能な絶縁物の二次イオン質量分析方法を提供する。
【解決手段】本発明の絶縁物の二次イオン質量分析方法は、絶縁物である試料の表面に導電性の連続膜であるＰｔ−Ｐｄ合金薄膜を成膜し、このＰｔ−Ｐｄ合金薄膜付き試料に一次イオンビーム及び電子ビームを照射し、この試料から発生する二次イオンを引き出し、質量分析する。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で試料の断面を広範囲に観察することができる試料観察方法及び試料観察装置を提供する。
【解決手段】微細パターンが形成されたウエハである平板状の試料Ｓに対して、グロー放電によって表面から深さ方向に掘削し、試料Ｓの表面から深さ方向に掘削断面を形成する。形成した掘削断面に電子線を照射し、ＳＥＭによって試料Ｓの掘削断面の観察を行う。グロー放電によって、試料Ｓの特定の位置に掘削断面を形成することができ、また試料Ｓの表面を広範囲に短時間で掘削することができる。従って、ウエハに形成された微細パターンの欠損の検査を、簡便に短時間で広範囲に実行することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】被評価水の水質評価を精度よく行うことが可能な水質評価方法と、この水質評価方法に用いられる基板接触器具とを提供する。
【解決手段】基板接触器具１０は、内部を真空度−０．０９４ＭＰａ以下に維持することが可能な密閉性能を有している。基板接触器具１０内に基板Ｗを収容して被評価水を通水し、通水停止後、基板接触器具１０内部を密閉し、この基板接触器具１０内に基板Ｗを収容したまま分析設備に搬送する。 （もっと読む）

【課題】 ＳＥＭ観察機能を備えないＦＩＢ装置でも、欠陥部分やコンタクトホールの中心位置を検出することが効率よく、実行できる試料断面作製方法を提供するものである。
【解決手段】 試料断面領域近傍に集束イオンビーム１を走査照射してエッチング加工しながら、集束イオンビーム１を照射することにより発生する二次電子２を検出する。検出した二次電子信号から加工終点検出機構１６で加工終点を検出して、エッチング加工を終了する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料のマスク面側と搭載面とが非平行の場合に、平行に加工する必要が無く試料作製を容易に行うことができるイオンミリング装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、平面を有する試料を真空チャンバ内で試料ホルダユニットに固定してイオンビーム照射しミリング加工するイオンミリング装置において、前記試料ホルダユニットは、前記試料を前記イオンビームから遮蔽するマスクに接する前記平面に対してその裏面側の傾斜に沿って固定できる固定構造を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセスへの金属汚染の拡散を最小限度に抑制し歩留まりを向上させることができる荷電粒子線加工装置を提供する。
【解決手段】真空容器１０に接続され非金属イオン種のイオンビーム１１を試料３５に照射するイオンビームカラム１と、イオンビーム１１により試料３５から切り出されたマイクロサンプル４３を摘出するプローブ１６を有するマイクロサンプリングユニット３と、マイクロサンプル４３とプローブ１６とを接着するガスを流出させるガス銃２と、イオンビームカラム１が接続されたと同一の真空容器１１に接続され汚染計測用ビーム１３をイオンビームカラム１によるイオンビーム照射跡に照射する汚染計測用ビームカラム６Ａと、汚染計測用ビーム１３を照射した際にイオンビームカラム１によるイオンビーム照射跡から放出される特性Ｘ線を検出する検出器７とを備えたことを特徴とする荷電粒子線加工装置。 （もっと読む）

【課題】正確な断面観察を行なうことができる観察用試料を、簡便な方法により、素早く大量に作製することが可能な観察用試料の作製方法及び観察用試料を提供する。
【解決手段】単結晶基板２上に金属膜３が成膜された試料１０の金属膜３側の表面に罫書線１０ａを形成し、試料１０を、液体窒素５０中で冷却しながら、罫書線１０ａに沿ってへき開する方法とする。 （もっと読む）

【課題】試料の高さ方向の位置を容易に調節することが可能なホルダ装置、及びこのホルダ装置を用いた加工観察方法を提供する
【解決手段】ホルダ装置２５は、試料台１０及び試料台ホルダ３０で構成され、試料台ホルダ３０は、本体３１及びバネ３２を備えている。本体３１には、保持部３３が形成され、この保持部３３には、試料台１０を高さ方向に付勢するバネ３２が設けられている。試料台１０は、試料２０が固定される固定面１０ａと、挿入穴１１と、挿入穴１２とを備えている。バネ３２が挿入穴１１，１２のいずれかに挿入されるように、試料台１０を保持部３３に保持させて、ストッパ４１によって試料２０を位置決めした後、試料台１０が固定される。また、アダプタの突起部を挿入穴１１に挿入して固定することにより、試料台１０を研磨機専用の試料ホルダに装着することができる。 （もっと読む）

【課題】 既存技術よりはるかに安価に、かつ簡便に平面観察を行ってから観察後に断面を加工することができる試料作製方法を提供する。
【解決手段】 集束イオンビーム装置のチャンバ内で試料１をブロック状に切り出し、その試料ブロック（バルク）４を真空外に取り出して、マニピュレータの先端にセットしたガラスプローブ５に接触させて支持する。次に、バルク４を試料台である円筒状のピン６の先端にエポキシ樹脂で固定する。次に、平面観察用の薄膜試料をＦＩＢ加工により作製する。次に、内部の欠陥位置を２次元的にＴＥＭ／ＳＴＥＭで観察し同定する。その後、ピン６を手動で９０°回転させてから、欠陥部位を含む位置を断面加工する。 （もっと読む）

【課題】ＦＩＢ加工時とＳＥＭ観察時とで試料台を共用するとともに、装置本体と試料台が衝突することを防止する。
【解決手段】試料台１０は、断面の形状が略正方形にされており、搭載面１０ｂに試料が搭載される。また、搭載面１０ｂと対向する対向面１０ｄには、ＦＩＢ加工時に試料台１０を試料ホルダ５０に装着するための装着金具４０が螺合される。また、搭載面１０ｂ及び対向面１０ｄに隣接する側面１０ｃには、ＳＥＭ観察時に装着金具４０が螺合される。また、側面１０ｃと対向する側面１０ａには、試料を位置決めするための位置決め金具２０が取り付けられる。位置決め治具２０によって、試料の端面を搭載面１０ｂと側面１０ａとで形成される角部の近傍に位置決めした後、試料が、固定金具３０によって搭載面１０ｂに固定される。 （もっと読む）

顕微鏡分析用試料を調製し保存する装置、方法、およびシステムを開示する。該装置は、変位型ピペットに取り付けることによって、顕微鏡分析用試料を調製するのに望ましい試薬で貯留部を満たすことのできる貯留部を提供する。いくつかの実施形態では、標本が透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）グリッド上に含まれていてもよい。他の実施形態では、試料は光学顕微鏡（ＬＭ）標本または走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）標本であってもよい。さらに別の実施形態では、本発明は、ＴＥＭグリッドを調製する装置、ＴＥＭ、ＳＥＭ、またはＬＭ標本を調製する装置、およびグリッドと標本の両方を保存する装置など、顕微鏡検査用試料を調製する方法を提供する。さらに別の実施形態では、本発明は、長期保存を提供しつつ、複数の試料の調製、分析、および組織学的評価を追跡するシステムを提供する。
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【課題】窪みの中にある微小な試料を採取することができる試料摘出装置を提供する。
【解決手段】試料摘出装置は、プレートに形成されたノズル孔の中に詰まった微小異物を取り出すために用いられる。試料摘出装置は、プレートを載置固定する載置台と、プレートなどを観察する実体顕微鏡と、ノズル孔の中の微小異物を観察するマイクロスコープ３４と、マイクロスコープ３４の先端に取り付けられた微小異物を取り出す採取針３２と、マイクロスコープ３４が接続され採取針３２を移動させる第１マニピュレータとを有する。マイクロスコープ３４の先端に採取針３２が取り付けられていることにより、ノズル孔の中の微小異物を観察しながら取り出すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】分析試料の膜に与えるダメージを少なくして分析可能な試料を形成することができる分析試料の形成方法を提供する。
【解決手段】分析試料の形成方法は、まず、基板１２上に形成された膜１３のうち膜剥がれが発生した第１膜１３ａと基板１２との間にある異物１４を分析するべく、第１膜１３ａの周囲を、収束イオンビーム加工装置（ＦＩＢ）１５によってカットする。次に、第１膜１３ａにカーボンテープを貼り付けて、カーボンテープを引き上げることにより、第１膜１３ａと第２膜１３ｂとを分離して、第１膜１３ａのみを基板１２上から取り除く。これにより、異物１４の付着した第１膜１３ａの面と基板１２の部分が露出する。 （もっと読む）

【課題】微粒子が凝集することなく分散して包埋された材料の成形体を製造することを可能とする。
【解決手段】微粒子材料と液状の微粒子包埋材料２とを入れるホルダー３と、超音波振動子４とを有し、微粒子包埋材料２に超音波振動子４により超音波振動を与えながら微粒子包埋材料２を凝固させるようにした。微粒子包埋剤２として、加熱することによって微粒子が流動可能な液体に変化すると共に徐熱することによって液体から固体に変化する熱溶融性材料が用いられる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料を透過した電子を用いて観察するＴＥＭやＳＴＥＭ、或いはＳＥＭにおいて、画像のサブミクロンから数１０μｍの微小寸法を高い精度で測定可能にする荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】本発明では、上記目的を達成するために、倍率、或いは寸法校正のための異なる２つの試料が含まれている荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】所望の位置における断面をより容易かつ確実に取得可能な薄膜積層体の検査方法を提供すること。
【解決手段】基板本体２上に形成された線状パターン１５と、基板本体２上に線状パターン１５と線状パターン１５上で交差するように形成された第１電極層１６とを有する第１ＴＦＤ素子１８の検査方法において、基板本体２を、線状パターン１５の一端辺１５ｃと第１電極層１６の一端辺１６ａとの第１交点Ｐ１と平面視で重なる箇所を支点として応力をかけて、第１ＴＦＤ素子１８のうち少なくとも平面視で線状パターン１５及び第１電極層１６と重なる領域を、第１電極層１６の一端辺１６ａに沿って割断する割断工程を備える。 （もっと読む）

【課題】高温高圧下で使用される構造物の低合金鋼の寿命を正確に予測する。
【解決手段】稼働中の実機から採取した低合金鋼のサンプルの金属組織写真において、結晶粒界を構成する曲線を直線に近似する直線近似ステップと、近似された直線に基づいて、結晶粒の偏向度を表す所定の指標値を計算する損傷度算出ステップと、前記低合金鋼について予め求めた指標値と使用時間との関係を示す使用時間−指標値曲線を参照して、計算した指標値から寿命を判定する寿命判定ステップと、を実行する。 （もっと読む）

【課題】ＦＩＢ加工とＳＥＭ観察の繰返しによる加工断面の奥行き方向のＳＥＭ観察において、加工断面の奥行き方向への移動に伴うＳＥＭ観察の観察視野ずれとフォーカスずれを容易に回避する。
【解決手段】イオンビームを試料の特定箇所に照射して加工・作製し、かつ、イオンビーム軸に対して斜め交差軸方向から電子ビームを照射して走査顕微鏡（ＳＥＭ）画像により試料断面を観察する試料作製・観察方法において、所望の立体加工はステージ移動を利用して行い、所望の観察面はＳＥＭからみて常に一定位置に保持されるようにして、ＳＥＭのフォーカスと観察視野を再調整することなく連続的に（あるいは繰返し）断面を観察し三次元解析する。 （もっと読む）

【課題】凹凸の少ない、平滑な試料のＳＥＭによる観察において、像質を確認するための対象物として適当な凹凸が少なく、焦点、非点収差を調整する際、調整が困難である。
【解決手段】平滑試料面を被観察部とする走査型電子顕微鏡用試料の作成方法であって、前記被観察部近傍に非点収差補正、焦点調整用の痕を形成することを特徴とする走査型電子顕微鏡用試料の作成方法を用いることにより、高倍率の調整、観察に適したサイズの該痕を目印として非点収差補正、焦点調整をおこなうことができ、凹凸の少ない平滑面に対して観察倍率が高倍率であっても精細な像を得ることが可能となる。 （もっと読む）