【課題】サンプルの散乱係数及び吸収係数を簡便に取得する。
【解決手段】本発明による光学特性値計測装置（１００）は、サンプル（Ｓ）に照射された光の一部であって、サンプル（Ｓ）において反射された反射光に基づいてサンプル（Ｓ）の反射率を測定する反射率測定部（１２）と、光のうちの一部とは異なる一部であって、サンプル（Ｓ）を透過した透過光に基づいてサンプルの透過率を測定する透過率測定部（１４）とを有する測定部（１０）と、反射率及び透過率に基づいて散乱係数及び吸収係数を取得する取得部（２０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の波長毎の反射率を精度良く測定することができる反射率測定装置及び反射率測定方法、並びに本発明による反射率測定装置を備えた膜厚測定装置及び本発明による反射率測定方法を含む膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】
反射率測定装置１は、照射光Ｌ１を測定対象物へ供給する測定光源３０と、照射光Ｌ１の強度及び測定対象物からの反射光Ｌ２の強度を波長毎に検出する分光検出部８０と、照射光Ｌ１の波長毎の強度の検出値を、基準測定対象物からの反射光Ｌ２の波長毎の強度の検出値に相当する値に変換する変換係数Ｋ（λ）を記録する係数記録部９２と、照射光Ｌ１の波長毎の強度の検出値及び変換係数Ｋ（λ）より求まる、基準測定対象物からの反射光Ｌ２の波長毎の強度に相当する値に基づいて、波長毎の反射率を算出する反射率算出部９３とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転式のレンズマウントの回転域を規制し制御するために、フィードバック制御系及びメカストッパを利用しつつ、レンズマウントに被検レンズを着脱する際にその操作を簡便にし、またレンズマウントの回転制御部に過大な負荷が及ぶことを防ぐ。
【解決手段】レンズマウント６と一体にマウントギヤ３０を設け、スピンドルギヤ３３とセンサギヤ３６とを噛み合わせる。ストッパピン３９と、制限プレート３８の端縁３８ａ及び３８ｂとを当接させる直前で、モータ制御回路４３によりレンズマウント６を測定開始位置，測定終了位置で停止させる。このとき、ストッパピン３９と端縁３８ａ，３８ｂとの間に、スピンドルギヤ３３の歯とマウントギヤ３０の歯との間の遊びの範囲内の隙間を設けておく。 （もっと読む）

【課題】導波モード共鳴格子の構造が設計通りでない場合や配置がずれた場合でも、試料の屈折率の絶対値を容易に且つ高い精度で算出する。
【解決手段】屈性率が制御された複数の屈折液を用意し（Ｓ１）、それらの屈折率を精度よく測定する（Ｓ２）。各屈折液を導波モード共鳴格子に接触させ、出射光の強度を測定して角度スペクトルを算出し、共鳴放射角及び回折角や全反射角の差分値を求める（Ｓ３、Ｓ４）。屈折率と差分値との複数の関係が分かるので、これを用いたフィッティングを行い、これを校正曲線として記憶する（Ｓ５、Ｓ６、Ｓ７）。未知試料を導波モード共鳴格子に接触させ、同様にして共鳴放射角等を測定して差分値を求め（Ｓ８、Ｓ９）、校正曲線を参照して共鳴入射角から屈折率を求める（Ｓ１０）。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、テラヘルツ波を用いて物性の測定を行うテラヘルツ波測定装置およびテラヘルツ波測定方法に関する。
【解決手段】 本発明のテラヘルツ波測定装置は、本発明のテラヘルツ波測定装置は、パルスレーザーをポンプ光とプローブ光とに分割するビームスプリッターと、ポンプ光の入射によりテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生器と、入射されたプローブ光から複数のパルスを生成するパルス列発生部と、パルス列をテラヘルツ波検出器に入射し、テラヘルツ波検出器に入射されたテラヘルツ波の電場の時間的変化を複数のパルスに基づいて測定するテラヘルツ波測定部とを備える、よう構成する。 （もっと読む）

【課題】細孔を有した薄膜に対して超臨界流体とエリプソメータを利用して膜厚を計測する方法において、容器の窓における光弾性効果を補正する方法を提供
【解決手段】あらかじめ大気中で試料５０の反射光の偏光状態を測定し，続いて試料を超臨界流体容器内に配置し超臨界流体を封入ないし流通させた状態で反射光の偏光状態を測定し，続いて試料を超臨界流体容器内に配置し超臨界流体を封入ないし流通させた状態でプローブ材料を添加し偏光状態を測定し，前記大気中偏光状態と前記超臨界流体中偏光状態とから入力窓１１０と出力窓１１２の光弾性効果を求め，さらに入力窓と出力窓の光弾性効果の結果を利用し，プローブ材料を添加した場合の偏光状態から，超臨界流体中にプローブ材料を添加した場合の試料の光学的状態を求める、細孔を有する薄膜の測定方法。 （もっと読む）

【課題】粉末試料の発光測定において、簡便に優れた測定精度が得られる発光測定方法、及びその発光測定に用いるホルダを提供する。
【解決手段】粉末試料６０に励起光を照射した際に生じる発光を測定する方法であって、励起光および発光を吸収しない材料からなる一組のプレート４２を用いて、該一組のプレート４２で粉末試料６０を挟んで圧着し、一枚のプレート状のプレート化試料４０を形成するプレート化工程と、プレート化試料４０を着脱自在に保持するホルダを、励起光の光路上から外れた位置に設けて、プレート化試料４０の圧着面に励起光の光軸が交差するように、該プレート化試料４０を設置する設置工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】薄膜の蛍光を測定する技術において、当該蛍光を増強するための技術を提供すること。
【解決手段】薄膜１２の蛍光を測定するための測定装置であって、薄膜１２を含む薄膜試料１３が積層されているプリズム１０を、任意の媒質または真空からなる環境内において支持するための透光部材支持部と、プリズム１０と薄膜試料１３との界面に対し、プリズム１０側から、プリズム１０と環境との界面における臨界角以上の特定の入射角で光Ｌ１を照射して、薄膜試料１３における光吸収を増大させる励起手段と、当該光吸収を増大させることによって増強された、薄膜１２からの蛍光Ｌ３を測定する蛍光測定手段と、を備えている測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 固体の粗面の見掛けの屈折率を測定することが可能な光学測定方法及び光学測定装置を提供すること。
【解決手段】 直線偏光の電界成分が入射面内で振動するｐ偏光を試料３０の粗面３２に入射させる光照射部（光源１０及び偏光子２０）と、試料３０の粗面３２で反射の法則に従って反射した反射光の強度を検出する光検出部４０と、試料３０を回転させることで前記直線偏光の入射角度φを変化させる回転駆動部と、前記反射光の強度が最小になる入射角度φ_ｍｉｎと、試料３０の粗面３２と接触している気体の屈折率ｎ_ｓとに基づいて、試料３０の粗面３２の見掛けの屈折率ｎ_ｃｓを算出する演算処理を行う演算処理部７２とを含む。 （もっと読む）

【課題】スペクトル検出器からＳＮ比が高いスペクトル信号を得ることができる撮像システムを提供する。
【解決手段】観察対象のサンプルを設置するステージと、サンプルに照射された光を、所定の焦点面に結像させる光学系と、焦点面に結像されたサンプルの像の少なくとも一部の光を検出する画素が２次元の行列状に配列された画素アレイを有し、該画素アレイが検出した光に応じたサンプルの画像を取得する撮像素子と、画素アレイに隣接するよう配置され、焦点面における光のスペクトルを検出してスペクトル情報を出力するスペクトル検出部と、スペクトル検出部から出力されたスペクトル情報に基づいて、撮像素子が取得したサンプルの画像を補正する補正部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 固体の粗面の屈折率と、粗面を固体とそれに接触している気体の混合層とみなしたときの、前記混合層における固体と気体の体積比γを測定することが可能な光学測定方法及び光学測定装置を提供すること。
【解決手段】 ｐ偏光を気体が接触した試料３０の粗面３２に入射させ、粗面３２から反射した反射光の強度が最小になる入射角度φ_ｍｉｎに基づき気体が接触した粗面３２の見掛けの屈折率ｎ_ｃｓを測定する第１ステップと、ｐ偏光を液体が接触した粗面３２に入射させ、粗面３２から反射した反射光の強度が最小になる入射角度φ_ｉに基づき液体が接触した粗面３２の見掛けの屈折率ｎ_ｃｉを測定し、屈折率ｎ_ｃｓ、ｎ_ｃｉに基づいて、粗面３２を固体と気体の混合層とみなしたときの混合層における固体と気体の体積比γと、試料３０の屈折率ｎ_ｍとを求める第２ステップとを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】連続的な広い周波数範囲にわたって信号対雑音比のよい測定ができる分光装置を提供する。
【解決手段】インコヒーレント光の光源であるブロードエリア半導体レーザ１と、インコヒーレント光を平行化して集光する一対のレンズ２ａ、２ｂと、一対のレンズ２ａ、２ｂを通過したインコヒーレント光を通過させるためのピンホールが形成されたピンホール部材６と、ピンホールを通過したインコヒーレント光を２つに分割するビームスプリッタ７と、分割された後の２つのインコヒーレント光のうちの一方のインコヒーレント光の照射に基づき第１電磁波を放射する電磁波放射用光伝導素子８と、第１電磁波を試料に透過または反射させた第２電磁波と上記２つのインコヒーレント光のうちの他方のインコヒーレント光とが入射され、第２電磁波と他方のインコヒーレント光との相互相関信号を得る電磁波検出用光伝導素子９とを備える。 （もっと読む）

【課題】微細パターン（例えば、透明基板上に形成された微細な半透光膜パターン）の膜透過率を正確に測定可能な透過率測定装置を提供することを目的の一とする。
【解決手段】透明基板上に形成された半透光膜の微細パターン等の膜透過率の測定において、測定対象物となる半透光膜に、測定波長の光が最も小さなスポット径（ビームウエスト）となるように集光させて透過させた後、その透過光を全て積分球に取り込んでディテクタで検出する。 （もっと読む）

【課題】計算時間を短縮することが可能なパラメータフィッティング方法を提供する。
【解決手段】本発明は遺伝的アルゴリズムを用いて、測定値又は目標値と計算値との間の誤差を表す評価関数値を算出し、前記評価関数を最小化することでパラメータフィッティングを行うパラメータフィッティング方法であって、前記評価関数に所定条件を代入したときに得られる評価関数値に対するボーダー値を定めて、前記評価関数値が前記ボーダー値を超えたときは処理を打切るステップを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検知対象液体が複数存在する場合であっても光ファイバに付着した液体の識別が可能な液体検知器を提供する。
【解決手段】液体検知器は、屈曲部が設けられた複数の光ファイバと、前記光ファイバの各々に個別に設けられ、外部入力される電気信号に応じた光を前記光ファイバの一端に入射する発光素子と、前記光ファイバの各々に個別に設けられ、前記光ファイバの他端から出射される光に応じた電気信号を外部出力する受光素子とを具備し、各光ファイバの屈曲部の曲げ半径は、それぞれが担当する検知対象液体の屈折率に応じて設定されている。 （もっと読む）

【課題】二軸性を有する光学素子を正確に評価することができる光学素子評価技術を提供する。
【解決手段】入射面角度Φおよび入射角Θで、単色光２１を評価対象１０に入射し、評価対象１０および検光子４０を透過した透過光２２の透過光強度Ｉ（Φ，Θ）を検出器５０で検出する。透過光強度Ｉ（Φ，Θ）の検出は、３つ以上の入射面角度Φそれぞれと複数の入射角Θの組合せに対して行う。そして、検出した複数の透過光強度Ｉ（Φ，Θ）に基づいて、評価対象１０の３つの主屈折率ｎ_Ｘ、ｎ_Ｙ、ｎ_Ｚおよび厚さｄ、あるいは、評価対象１０の垂直入射時のリタデーションＲｅ、厚さ方向のリタデーションＲ_ｔｈ、主屈折率ｎ_Ｘ、ｎ_Ｙ、ｎ_Ｚのうちの一つおよび厚さｄを評価する。 （もっと読む）

【課題】複数種類の計測方法を組み合わせることにより、検査可能な試料を制限することのない試料検査装置及び試料検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、入射部１１、反射光受光部１２及び分析部１３（エリプソメータ部）と、Ｘ線源２１、蛍光Ｘ線検出部２２及び分析部２３（Ｘ線測定部）と、レーザ光源３１、ビームスプリッタ３４、ラマン散乱光検出部３２及び分析部３３（ラマン散乱光測定部）とを備える。試料６に応じた適切な手法を用いて試料の厚みの計測が可能である。またエリプソメトリ及び蛍光Ｘ線分析を組み合わせることにより、試料６の厚みと屈折率等の光学特性とを独立に計測することができる。また試料６が多層試料である場合は、各層を適切な試料で検査することができる。 （もっと読む）

【課題】測定結果の信頼性やオペレータの作業効率を損なうことなしに、光源光による光学素子の劣化を低減することのできる分光光度計を提供する。
【解決手段】複数の光源１１、１２、分光器１５、及び光検出器１８を含む測光部１０を具備する分光光度計において、所定時間に亘って測定が行われず且つ操作入力もない場合に、光源１１、１２からの光が以降の光学素子に入射しない状態となるように光源切替ミラー１３を駆動する。これにより、光源光が必要以上に長時間に亘って光学素子に照射されるのを防止し、光による光学素子の劣化を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】２次元的な広がりを持つ被評価面の光沢又は肌を簡易に評価することができるようにする。
【解決手段】明部又は暗部が２以上の方向に繰り返し配置された２次元パターンを持つ光源像を反映するように光を照射する光源装置を用いて、塗装外観面に光を照射し、光源装置によって塗装外観面に反映された光源像に基づいて、塗装外観面の光沢又は肌を評価する。 （もっと読む）

【課題】検出感度に優れるＳＰＲセンサセルおよびＳＰＲセンサを提供することにある。
【解決手段】
サンプルと接触される光導波路２を備えるＳＰＲセンサセル１において、光導波路２に、アンダークラッド層３と、少なくとも一部がアンダークラッド層３から露出するように、アンダークラッド層３に設けられるコア層４と、アンダークラッド層３から露出されたコア層４を被覆し、サンプルに接触される金属粒子層８とを設ける。 （もっと読む）