【課題】ウェハ表面の膜を容易に高感度で検査することが可能な検査方法を提供する。
【解決手段】表面に膜が設けられたウェハを支持するステージと、ステージに支持されたウェハの表面に照明光を照射する照明系と、照明光が照射されたウェハの表面からの反射光を検出する検出部と、検出部により検出された反射光の情報から膜の検査を行う検査部とを備えた検査装置による検査方法であって、目標膜厚および屈折率を設定する設定ステップＳ１０１と、目標膜厚および屈折率から、目標膜厚近傍における膜厚変化に対する反射率変化の特性を複数の波長毎に算出する演算ステップＳ１０２と、膜厚変化に対する反射率変化の特性に基づいて、反射率変化（すなわち感度）が最も大きくなる波長を照明光の波長として決定する決定ステップＳ１０３とを有している。 （もっと読む）

【課題】トナー量が異なる領域が混在している画像の全体にたいして「光沢感」が一致していることを表現することができる光沢評価装置及び光沢評価方法を提案する。
【解決手段】記録媒体上に形成したトナー像の光沢感を評価する光沢評価装置４０において、前記光沢評価装置４０は、複数のトナー付着量に相当する特性値（以下、付着量特性値と略す。）に対する光沢に関係する特性値（以下、光沢特性値と略す）との関係から、２つの直線で予め定める理想関係と、計測することにより得られる実測データとの差異にもとづいて光沢感を評価する。 （もっと読む）

【課題】対象物内における該対象物に由来する物質と該対象物とは異質な物質との一方又は双方を同時に検出するための方法を提供する。
【手段】本発明においては、パラレル式モードのスペクトロスコピーを使用して検出する方法が開示され、当該方法はパラレル式モードでのデータ収集、信号処理、データ抽出と、結果の提供を含む。パラレル式モードのデータ収集は、複数の周波数での複数の信号であって、それぞれの信号がある程度の振幅を有し、それが全体として、検出を希望する物質に固有なスペクトルシグネチャーを提供する複数の信号を同時に検出することを可能にする約１０ＧＨｚから約２５ＴＨｚの範囲での十分な帯域幅の電磁放射を同時に含む検査信号を発生させる。信号処理とデータ抽出は、対象物を検査放射に暴露して得られた信号を処理して３次元データマトリクスを発生させ、このマトリクスはその対象物に付随する少なくとも何らかの異質物質又は由来物質を表わす。相関技術を使用してデータマトリクスを基準ライブラリと比較する。 （もっと読む）

【課題】ガス濃度計測のノイズ環境に柔軟に対応し得るロバストなガス濃度計測装置および方法を提供する。
【解決手段】ＳＮ特性計算部２２において、位相検波器１７ｂの同一変調周波数における複数回の計測結果に基づき、計測データのばらつき度合いを求め、変調パラメータ決定部２３により、複数の変調周波数それぞれのばらつき度合いに基づき、変調信号の変調周波数を計測データのばらつきが最も少ない変調周波数に決定するガス濃度計測装置８を採用する。 （もっと読む）

【課題】被検体中で進行している各種化学反応の変化過程を非破壊、非接触で分析することができ、その分析結果に基づいて被検体の性質を特定することができる分析技術を提供する。
【解決手段】分析装置１０は、周波数がテラヘルツ領域のパルス電磁波ＰＷを被検体Ｔに照射する電磁波発生部１１と、電磁波発生部１１から照射され被検体Ｔで反射された反射波ＲＷを検出する反射波検出部１２と、被検体Ｔを透過した透過波ＴＷを検出する透過波検出部１３と、反射波検出部１２及び透過波検出部１３から送られる検出データの記録及び演算を行うデータ処理部１４と、を備えている。データ処理部１４は、分析演算装置１４ａと記録装置１４ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】鶏卵選別包装装置の大型化を招くことなく、容器に収容された鶏卵の褐色度合いを一定精度で揃えることが必要とされていた。
【解決手段】パック３に収容された所定数の鶏卵４のそれぞれの卵殻色を所定の光学測定と演算によって褐色度合いを数値化する褐色度合い決定手段を有し、前記褐色度合い決定手段で決定したそれぞれの鶏卵４の褐色度合いをパック３内で相対比較し、ばらつき度合いを判定する判定手段と、前記判定手段で、ばらつき度が大きいと判断された場合その判定結果を信号として送る通知手段と、を有するパック又はトレイにおける鶏卵の褐色度合いばらつき判定装置１を用いて、パック３に収容された鶏卵４の検査を行なう。これにより、パック３内に収容された鶏卵４の褐色度合いのばらつきを一定範囲内に抑えることが可能となった。さらに、出荷先ごとに異なる基準を設定するなどの柔軟な設定の変更も容易に行なえるようになった。 （もっと読む）

【課題】２波長同時送受信をしつつ、光源の出力波長範囲と計測に適した光吸収線の波長とが一致しないガスを計測する。
【解決手段】複数のレーザ光発生手段（１）と、光強度変調手段（２）と、光合波手段（４）と、波長変換手段（５）と、モニタ光と送信光とに分配する光分配手段（６）と、ターゲットからの散乱光を受信信号に変換する受信用光受信手段（１３）と、ガス封入セル（７）にモニタ光を通した後、モニタ信号に変換するモニタ用光受信手段（８）と、受信信号、モニタ信号の信号強度および位相を算出する周波数分別手段（９、１４）と、信号強度に基づいて出力レーザ光の波長を制御する波長制御手段（１０）と、信号強度および位相に基づいて、装置−ターゲット間におけるガス濃度を計測する信号処理手段（１５）とを備える。 （もっと読む）

【課題】海苔のように表面が粗く湿気を含むようなシート状物の枚数を精度よく測定するに適したシート状物の枚数検査装置の提供。
【解決手段】マイクロ波発振器２からの電磁波を方向性結合器３で照射波と参照波に分配し、中間周波数発振器８からの局部波をパワーデバイダ９で第１局部波、第２局部波に分配し、アップコンバータ４で照射波と第１局部波とを合波し変調照射波を生成し、これをシート状物Ｓの一側面に入射する。シート状物Ｓを通過した透過波をミクサ１０で参照波を合波し２次合成波を生成する。２次合成波と第２局部波をミクサ１４，１５で合波し、差周波数の３次合成波を生成する。位相遅延検出手段（１６，１７）は３次合成波の電圧値／電流値をＡＤ変換し位相遅延量を検出する。重畳枚数判定手段１７が、位相遅延量に基づきシート状物の重畳枚数を判定する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の吸収を利用した水分測定装置において、サンプルセル内の測定対象ガス中以外の光路上での妨害水分濃度を把握する。
【解決手段】レーザ光を周波数変調する変調振幅をa1（＜a2）に設定し（Ｓ１)、その状態でレーザ光をサンプルセルに照射する。透過光の検出信号を同期検出して得られる２次高調波同期検出信号に基づいて水分濃度を算出すると、光学チャンバ内の妨害水分の影響は無視でき、サンプルセル内の測定対象ガスの水分濃度が得られる(Ｓ２)。例えばサンプルセル内が高真空雰囲気になって検出限界以下になると（Ｓ３でＹＥＳ）、変調振幅をより大きなa2に切り替える(Ｓ４)。すると、大気圧雰囲気中の妨害水分に対する検出感度が高くなり、２次高調波同期検出信号に基づいて妨害水分の濃度が算出される（Ｓ５)。 （もっと読む）

【課題】光ファイバーを用いて干渉縞の発生を抑制しつつ、スペックルノイズの発生をも抑制する。
【解決手段】本発明の粒子分析装置は、光を発する光源６６と、複数本の光ファイバー７０ａからなり、前記光源からの光が入射されるとともに粒子を含む試料流に対して光を出射する光ファイバー束７０と、光が照射された試料流中の粒子を撮像する撮像器６５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする課題は従来実用化されていなかった生体の無侵襲グルコース測定装置を提供することにある。
【解決手段】 上記の目的を達成するために、本発明に係わる生体の旋光特性測定装置では、脈拍に同期した波長可変レーザ光をその出力光が左右円偏光状態が周期的に変化するように長さが限定された偏波面保存光ファイバを介して生体に入射させる方法を採用して課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の断層情報をより高い精度で得ることができる。
【解決手段】光トモグラフィ装置１では、ＭＲ情報取得部１０によりＭＲ撮像時に発生する誤差を補正したＭＲ画像に基づいた測定対象物の内部構造を示すＭＲ情報を取得し、解析部４０ではＭＲ情報に基づいて測定対象物の内部の散乱係数又は吸収係数の分布が解析される。この解析部４０による解析では、格納部３０に格納される各部位の散乱係数及び吸収係数の最大値及び最小値によって規定される範囲に含まれる散乱係数及び吸収係数を支配方程式である輸送方程式に適用することで計算値を算出し、これと測定部２０による測定値とを比較部４２において比較し、その結果が所定の閾値よりも小さくなるまで、散乱係数又は吸収係数を修正部４３による修正及び計算値算出部４１による計算値の算出を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】赤外吸収分光とラマン散乱分光を同時に行うことが可能なガス分光分析装置を提供する．
【解決手段】フーリエ赤外分光装置１から出射する赤外光はレンズ２およびビームスプリッタ３を介して中空光ファイバ４に入射する．また，ラマン分光用の光源であるレーザー５から出射する光もレンズ６で集光されたのち，ビームスプリッタ３を介して中空光ファイバ４に入射する．中空光ファイバ４からの出射光はビームスプリッタ７で赤外光のみを取り出して，フーリエ赤外分光装置１に接続された赤外光検出器８で検出する．またラマン分光で使用する紫外，近赤外光はビームスプリッタで反射して，ラマン分光装置９によってラマン散乱スペクトルの測定がおこなわれる．被測定ガスはガス導入部１０より中空光ファイバ４の中空コア部分へ，ポンプなどを用いて導入される．これにより被測定ガスの赤外吸収分光とラマン散乱分光分析が同時に可能となる． （もっと読む）

光音響ガス検出器及び光音響ガス検出法が開示される。検出器は、レーザ源、音響共振器及び、検出器の軸長に沿って配置された、少なくとも１つの音叉を備える。検出器は広い温度範囲にわたって１つ以上の測定対象ガスの濃度の高速測定を実施することができる。
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【課題】
【解決手段】本発明は、貫通チャネルを通して流体フローセルに接触させた、短範囲規則を有するナノプラズモン素子を用いて、ナノプラズモン計測を行うための方法に関する。この素子は、ミクロ／ナノスケールの複合コロイドリソグラフィ、薄膜蒸着及びエッチングのステップを組み合わせて用いるステップからなる微小加工プロセスにおいて製造され、化学的又は生物学的な検知分析等の用途に用いられる。この方法では、ナノプラズモン共鳴におけるシフトと、分子反応等のプロセスによって生じる屈折率の変化に感応する素子の光学特性とを利用する。
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【課題】液体試料中に分析対象物質と化学構造が類似する物質を含んでいても、液体試料から当該分析対象物質を検出でき、かつ、液体試料中の当該分析対象物質の濃度を高精度で特定できる装置又は方法の提供。
【解決手段】ガス供給口１２及びガス排出口１３を有する容器１１に、分析対象ガスを含む液体試料を収容すると共に、キャリヤーガスを供給・排出しながら、前記分析対象ガスを前記キャリヤーガス中に分離するガス分離装置１０と、ガス分離装置１０で分離された前記分析対象ガスの吸収スペクトルを測定するガス分析装置２０とを備えたガス検出装置１において、ガス分離装置１０は、ガス供給口１２とガス排出口１３とがパーベーパレーション膜からなるチューブ１４で接続されていることを特徴とするガス検出装置１。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ時間領域分光装置による測定は、一定の時間を要するため、多数回の測定を実施して統計的方法により測定値の標準偏差を求めることが容易でなく、そのためテラヘルツ時間領域分光装置で測定された光学定数等のスペクトルについて、ほとんどの場合、その標準偏差（ランダム誤差）の導出がされずに測定結果のみが提示され、その正確さを評価する方法がないという問題があった。
【解決手段】本発明は、テラヘルツ時間領域分光装置で測定されるテラヘルツ波電界の強度スペクトルとその標準偏差のスペクトルの間に正の良い相関があるという知見に基づいて、複数以上のリファレンスの強度及びその標準偏差のスペクトルから得られる、強度の標準偏差スペクトルのモデルを用いて、１個のサンプルの強度スペクトルからその標準偏差を求める方法を提示し、これにより透過率並びに吸収係数等の光学定数の標準偏差スペクトルを、１回の試料の測定からでも見積もることを可能にする方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】強磁性体の異方性磁場等の磁気光学特性を精度よく、安価で簡便に測定する磁気光学特性測定装置及び磁気光学特性の測定方法を提供する。
【解決手段】磁気光学特性測定装置１は、レーザ光源２が試料Ｆの磁化の光励起歳差運動の周期に同期可能な高繰り返し周期の光パルス列を発生し試料に照射するモードロックレーザであり、外部磁場印加手段４が試料に所定の外部磁場を電磁石により印加させ、偏光検出器５は光パルス列が試料で反射した反射光を検出して、偏光成分を磁気光学信号として出力し、制御装置６が外部磁場印加手段を制御して試料の磁化の光励起歳差運動が光パルス列の周期に同期したときの外部磁場と磁気光学信号とを共鳴条件として取得し、共鳴条件での光パルス列の周期と外部磁場の強度と磁気光学信号とを用いてＬＬＧ方程式に基づき試料の磁気光学特性である有効内部磁場又は異方性磁場とダンピングファクタとを算出する。 （もっと読む）

【課題】波長領域毎に異なるスペクトル形状を示す測光値データにおいて、リアルタイムに波長領域毎のピーク検知パラメータの決定し、そのピークパラメータ値によるピーク検知処理の結果を提供する。
【解決手段】試料に対して測定光を照射する発光手段と、測定光を任意の波長に分光する分光手段と、分光手段により分光された波長について光度検出を行う検出手段と、測定すべき波長走査範囲と波長走査速度を入力する入力手段２１と、測定を実行する測定手段２３と、得られたデータを処理するデータ処理手段２４と、を有する分光分析装置において、データ処理手段２４は、測定手段２３から得られた測定データと前記パラメータとからピークを検知し、該ピーク検知の際に波長領域毎の感度を決定する。 （もっと読む）

【課題】顕微分光測定により、試料の測定対象の特性を適正に把握する。
【解決手段】顕微分光測定装置２０は、信号処理装置４０により、試料１０と集光装置２２の相対位置を変化させ、励起された試料１０の一の測定対象（光学構造１１）から生じて集光装置２２で集光される光の強度変化を評価する。光の強度のほか、試料１０と集光装置２２の相対位置の変化に対する光の強度変化を評価することで、測定対象の特性を適正に把握する。 （もっと読む）