【目的】簡易な構成により被測定ガス中に含まれる導電性の微粒子（パティキュレートＰＭ）の量を検出するパティキュレート検出素子であって、検出部に捕集されたＰＭの脱離を抑制して、不感時間が短く信頼性の高い構造のパティキュレート検出素子を提供する。
【解決手段】気絶縁性耐熱基板１３の表面に所定の間隙Ｄを設けて対向する一対の検出電極１１、１２を設けて検出部１００とし、検出部１００に捕集され検出電極間に堆積する導電性微粒子の量によって変化する電気抵抗Ｒ_Ｘを検出して、被測定ガス中の導電性微粒子を検出するパティキュレート検出素子１０において、検出電極１１、１２の端縁を傾斜面となし、該傾斜面と電気絶縁性耐熱基板１３とのなす角度θを４０°より大きく、９０°より小さい鋭角テーパ状、若しくは、傾斜面と電気絶縁性耐熱基板１３とのなす角度θを９０°より大きく、１４０°より小さい鈍角テーパ状に形成する。 （もっと読む）

【目的】検出部以外の部位へのＰＭの堆積を抑制して信頼性の高いパティキュレート検出センサを提供する。
【解決手段】少なくとも被測定ガスに晒され、電気絶縁性耐熱基板１３の表面に所定の間隙を設けて対向する一対の検出電極１１、１２を形成した検出部１００と、検出部１００を所定の温度に加熱する発熱体１４０とからなるパティキュレート検出素子１０を具備し、検出部１００に堆積した導電性微粒子ＰＭの量に応じて変化する電気抵抗を測定して被測定ガス中のＰＭ濃度を検出するパティキュレート検出センサ１において、パティキュレート検出素子１０の検出部以外の被測定ガス３０１に晒される部位における被測定ガスの温度Ｔ_２を検出部１００における被測定ガス３００の温度Ｔ_１より高くして熱的な壁を形成する熱壁形成手段として第２の発熱体１４１及び、隔壁３２０を具備する。 （もっと読む）

【目的】簡易な構成により被測定ガス中に含まれるＰＭを検出するパティキュレート検出素子であって、不感期間がなく、信頼性の高いパティキュレート検出素子を提供する。
【解決手段】被測定ガスに晒され、電気絶縁性耐熱基板１３の表面に所定の間隙を設けて対向する一対の検出電極１１、１２を設けた検出部１００と、検出部１００の検出電極１１、１２間に堆積する導電性微粒子の量に応じて変化する電気抵抗Ｒ_Ｘを検出する検出手段２１とを具備し、被測定ガス中のＰＭを検出するパティキュレート検出素子１０において、不感期間解消用抵抗体として所定の抵抗値Ｒ_ＦＩＸを有する抵抗体２０を検出部１００に形成される電気抵抗Ｒ_Ｘに対して並列に設ける。 （もっと読む）

UMG-Si原料バッチ中のボロンおよびリンの濃度を決定するための品質管理プロセスを提供する。シリコン検査インゴットは、UMG-Si原料バッチから得た溶融UMG-Siの方向性凝固によって形成される。シリコン検査インゴットの抵抗率を上部から底部まで測定する。次いで、シリコン検査インゴットの抵抗率プロファイルをマッピングする。シリコン検査インゴットの抵抗率プロファイルから、UMG-Siシリコン原料バッチのボロンおよびリンの濃度を算出する。さらに、UMG-Si原料バッチにそれぞれ対応する複数の検査インゴットを、多るつぼ結晶成長器において同時成長させてもよい。

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【課題】 測定精度の高い構造物表面の塩分測定装置を提供する。
【解決手段】 演算処理装置と共に操作パネル３０ａ及び表示部３０ｂを備えた装置本体３０と、装置本体３０に接続され鋼構造物表面Ｓに当接させて検出を行う検出部１１とからなる塩分測定装置であり、検出部１１は、一端に開口部１２ａを有し且つ塩分測定の際に塩分抽出用の純水を受入れて保持する液保持室１２と、純水を液保持室１２に供給する液供給流路１３と、液保持室１２内の液を撹拌する撹拌子１４と、液保持室１２内に検出端を露出させた塩分測定用センサー１５と、鋼構造物表面Ｓに密着して液保持室１２の液密状態を保つシール部材１８と、検出部１１を鋼構造物表面Ｓに吸着させる磁石１９と、シール部材１８の一部分を磁石１９の磁力に抗して鋼構造物表面Ｓから離間させる離間手段２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ウェハの評価の良い部分の領域や悪い部分の領域が分かる半導体検査装置のデータ処理方法とデータ表示方法と半導体検査装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを用いた吸収電流測定方法を用いて、ウェハ２３のコンタクトホール界面状況を評価する半導体検査装置において、電子銃１０によって所定の電子ビームサイズでコンタクトホールを照射し、その際に測定される吸収電流値をコンタクトホールサイズで正規化した値をグラフ化し、そのグラフから任意の領域を指定して、表示装置１５０に表示されるウェハ上のマップにその測定点を表示する。 （もっと読む）

【課題】長い寿命を有する、大量生産において製造可能な高感度の煤感知性の構造を提供する。
【解決手段】電気的絶縁性キャリア７上のストリップ導体セグメントからの煤感知性の貴金属構造を有する煤センサであって、該貴金属構造のストリップ導体セグメントが５〜１００μｍの幅を持ち、かつ互いに５〜１００μｍの間隔を置いている煤センサにおいて、電気的に絶縁されたキャリア７が単結晶であり、かつ貴金属が該単結晶の表面上に晶出されているか、または電気的に絶縁されたキャリア７が多結晶であり、かつ貴金属が多結晶性の電気的に絶縁されたキャリア７上に晶出されていることを特徴とする、煤センサ。 （もっと読む）

【課題】シリコン薄膜の結晶性を測定する。
【解決手段】光源５４と、表面に透明導電膜５２ａ，５２ｂが形成された絶縁体５２と、透明導電膜５２ａに直接取り付けられた測定用端子５６と、光源５４から出力された光が絶縁体５２を透過して試料表面に照射されるような配置で、光源５４、透明絶縁体５２及び透明導電膜５２ａ，５２ｂを一体に収納するホルダ５０と、を備える結晶性評価装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】オイル中の金属粒子を精度良く検出する。
【解決手段】オイルが通過するオイル用部材を貫通して取り付けられるセンサボディ２と、センサボディ２をオイル用部材に取り付ける取付手段と、オイル用部材を貫通したセンサボディ２の先端部に設けられる電極群１１〜１５と、オイル中に混入した金属粒子を電極群に吸着する吸着手段１７と、吸着手段１７により吸着された金属粒子により電極群の電極同士が短絡するように構成された電気回路２１〜２７，３１〜３３とを備える。電極群は、センサボディ２の中央部に設けられた中心電極１１と、中心電極１１を中心として同心状に形成された複数のリング状電極１２〜１５とを有する。 （もっと読む）

複数成分流れにおける粒子監視、特にインライン粒子監視及び対象物の選択操作のためのシステム及び方法が開示される。例示のシステムは、不透明な流体キャリア中の粒子などの成分を監視するための検出システムを含むことができる。例示のシステムは、少なくとも第１の波長範囲の光波に不透明な流動性試料を閉じ込めることと、流動性試料を第１の方向に圧縮し、同時に試料を流動性試料の流れの方向と平行かつ第１の方向に垂直な第２の方向に制限し、同時に試料を第１及び第２の方向に垂直な第３の方向に伸長することを含む。試料が第１の方向に圧縮された時、試料は、第１の波長範囲内の少なくとも１つの波長に透明になり、粒子検出のための光学的手段が使用可能になる。システムはまた、検出成分を流体キャリア中の他の成分から操作するための弁又はアクチュエータなどの装置を含むことができる。制御装置又は他の処理装置が、検出成分のデータを受け取って処理し、関心のある成分を残りの流動性試料と区別することができる。成分が認識されると、制御装置は、流れ操作装置を検出システムと同期させて、流体キャリアから検出成分を操作する。
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【課題】小型で測定誤差が小さく、安価に製造することが可能な粒子状物質検出装置を提供する。
【解決手段】一方の端部１ａに一の貫通孔２が形成された一方向に長い検出装置本体１と、貫通孔２を形成する壁の内部に埋設され、誘電体で覆われた少なくとも一対の電極１１，１２とを備え、貫通孔２内に流入する流体に含有される荷電された粒子状物質、又は、一対の電極１１，１２に電圧を印加することにより貫通孔２内に生じる放電により荷電された、貫通孔２内に流入する流体に含有される粒子状物質を、貫通孔２の壁面に電気的に吸着させることが可能であり、貫通孔２を形成する壁の電気的な特性の変化を測定することにより貫通孔２の壁面に吸着された粒子状物質の質量を検出することが可能な粒子状物質検出装置１００。 （もっと読む）

【課題】正確にセンサ素子の劣化を検出できる劣化検出装置を提供する。
【解決手段】ステップ電圧供給部１８が、所定期間毎にセンサ素子８の両端電圧にステップ電圧を供給する。ＣＰＵ４１が、ステップ電圧の供給が開始されてからセンサ素子８の両端電圧が定常状態に達するまでの間に定められた時間ｔ１後のセンサ素子８の両端電圧、及び、定常状態に達した後のセンサ素子８の両端電圧、を測定する。そして、ＣＰＵ４１は、定常状態に達した後のセンサ素子８の両端電圧に対する時間ｔ１後のセンサ素子８の両端電圧の割合である両端電圧％を求めて、この求めた両端電圧％が閾値以下のときに劣化を検出する。 （もっと読む）

本発明は、試料中の分析物の検出に用いるための膜貫通タンパク質細孔に関する。細孔は、細孔と分析物との間の相互作用を助長する分子アダプターを含む。アダプターは、細孔を用いて分析物を検出することを可能にする向きで、細孔と共有結合している。

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【課題】被測定物の微小な欠陥を検出することが出来る検査装置を提供すること。
【解決手段】被測定物（半導体ウェハ１０上に設けたレジスト膜１２）の静電容量を測定する静電容量センサ１５と、前記被測定物の底面と前記静電容量センサとの間の距離を測定する測長センサ２０（測定光源２１，受光部２２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】シート状や布状や膜状の測定対象物の電気抵抗の測定を正確かつ安定に行なうことができる抵抗測定方法およびその抵抗測定方法が適用された検査部品プロセスを提供する。
【解決手段】第１のステップで、導電板、例えば表面に膜が形成された亜鉛めっき鋼板１ａ，１ｂを２枚用意して、これら２枚の亜鉛めっき鋼板１ａ，１ｂで伸縮可能な導電性材料１０を挟むとともに、２つの亜鉛めっき鋼板１ａ，１ｂの間隔を規制するスペーサ１１を挟み、導電性材料１０の少なくとも片側には、測定対象物、例えば導電性の布を挟みこむ。次の第２のステップで、測定対象物を介在させて導電性材料１０を挟んだ状態の２つの亜鉛めっき鋼板１ａ，１ｂの間の電気抵抗を測定する。 （もっと読む）

【課題】燃料電池の絶縁抵抗を高精度に測定する。
【解決手段】漏電検出器７０は、燃料電池２０に絶縁抵抗測定用の交流電圧を印加したときの応答電圧を測定する測定部７２と、過去に測定された燃料電池２０の絶縁抵抗Ｚの値Ｚ１、交流電圧Ｖ１と応答電圧Ｖ２との比（Ｖ２／Ｖ１）、及び燃料電池２０の電圧変動ΔＶｆに基づいて、燃料電池２０の絶縁抵抗Ｚの値Ｚ２を補正計算する計算部７３とを備える。 （もっと読む）

【課題】低速回転で帯電特性、抵抗、感度等のドラム状感光体の様々な特性評価に対応でき、かつ画像出しを実施せずに欠陥を判別可能な電子写真感光体の特性評価装置の提供。
【解決手段】少なくとも帯電手段、露光手段、及び表面電位検出手段を備え、前記表面電位検出手段が、ガラス基材上に導電性材料を塗布してなる透明プローブであり、前記透明プローブと前記露光手段とが一体化した露光・検出ユニットを有し、前記露光・検出ユニットが前記電子写真感光体周りに複数個配置されている電子写真感光体の特性評価装置である。 （もっと読む）

【課題】設置作業の容易化を図りつつ、高い信頼性でガラスの破損有無を検知することができるガラス破損検知装置を提供する。
【解決手段】ウインドウガラス１には、破損時に断線状態となる平面コイルパターン２と、その平面コイルパターン２に電気的に接続されたチップコンデンサ４とによって第１共振回路部５が形成されている。また、平面コイル部９とコンデンサ１０とを有する第２共振回路部７が、その第１共振回路部５に対向配置されている。そして、制御部は、両共振回路部５，７の電磁結合状態を監視し、該電磁結合状態に基づいてウインドウガラス１の破損有無を検知する。平面コイルパターン２は、ウインドウガラス１のガラス面に熱硬化性導電樹脂材料を固着することによって構成されている。 （もっと読む）

液体試料を取り込むための測定デバイス（１０）であって、使用時に液体表面と接触するための測定表面（２０）を持つ測定部分（１５）と、複数の電気接点（５０）を有するプラグ部分（４０）とを含み、プラグ部分（４０）は、測定評価装置（１００）のソケット（１１０）に取り付け可能である。
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【課題】 流体中に混入した破片が微量であっても、高い検出確率で破片検出が可能な破片検出センサを提供する。
【解決手段】 この破片検出センサは、流体中に混入する破片を検出する手段であって、互いにバネ６の介在によってすき間を確保した状態で並設された複数の平板５を備える。また、これら複数の平板５のうち少なくとも１つの平板を平板並び方向に動かすことによって、複数の平板５，５間に前記破片を挟み込ませる平板移動機構９と、測定・判定手段１４とを備える。測定・判定手段１４は、平板５，５間のギャップの距離を測定することで、前記破片の有無、または大きさ、または蓄積量を検出する。 （もっと読む）