【課題】 製造工程におけるリードの断線や使用状態におけるリードの断線を未然に防止できると共に、高い精度で使用できるセンサを提供する。
【解決手段】 本発明の一実施形態に係るセンサは、ベースと、ベースに固定された複数本のピンと、センサ素子と、複数本のピンにセンサ素子を接続する複数本のリードと、
備えている。センサ素子は、複数本のリードを介して、複数本のピンに支持されている。複数本のリードのそれぞれは、複数本のピンのうち接続されているピンとセンサ素子とのを結ぶ直線に沿っており、且つ、当該ピンとセンサ素子との間において複数回屈曲している。 （もっと読む）

本発明は、基板上に堆積された金属含有構造物、特に導電性構造物を腐食攻撃、特に電気的腐食攻撃から保護するための方法に関する。前記方法は、構造物に対して、当該の導電性材料の不動態化範囲内の不動態化電圧を、少なくとも一時的に印加することに基づくものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガス濃度に対して高い検出精度が要求される場合に温度センサを設けることなく、周囲温度を正確に検出して温度補償を行うことができるガス検出装置を提供すること。
【解決手段】ガスの濃度を検出してセンサ出力を生成するガスセンサ１と、ガスセンサ１に、ガスの濃度を検出するための一定の高レベルと、ガスの濃度を検出しない一定の低レベルとにパルス的に交互にレベル変化する電圧を供給する電圧源１２と、ガスセンサ１に流れる電流を検出する電流検出手段１６と、電圧源１２より低レベル時の電圧が供給されている間に検出された電流値を判定し、電流値とガスセンサの周囲温度とセンサ出力との予め求められた相関関係に基づいて、周囲温度を示す温度情報信号を生成する温度情報信号生成手段２０ｃと、温度情報信号に基づいて、センサ出力に対する温度補償を行ってガス濃度データを生成するガス濃度データ生成手段２０ｄとを備えている。 （もっと読む）

【課題】低コストで、処理回路と制御回路と変換回路とを一体的に集積することができ、余計なマスクや工程を必要としないガス検知半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ガス検知半導体装置１は、シリコン基板２上に形成され、当該シリコン基板２は、ＣＭＯＳ技術互換性のある高温金属からなるヒーター６が埋め込まれた酸化ケイ素絶縁薄膜３を有している。上記高温金属は、タングステンである。上記装置１は少なくとも、絶縁層４によってヒーター６から隔離されるガス感受性層を備える１つの検知領域を有している。最終製造過程工程の１つの工程として、検知領域内に薄い膜を形成するために、基板がエッチバックされる。当該エッチバック工程及びガス感受性層の形成工程を除いて、タングステンヒーター６を含む他のすべての層は、タングステン金属化を用いたＣＭＯＳプロセスが利用される。 （もっと読む）

【課題】ナノロッドの配列の上部への電気接点層を形成するための構造および方法を提供すること。
【解決手段】システムおよび方法は、ほぼ垂直方向に整列したナノロッド１３２の配列に電気接点を提供する。ナノロッド１３２は、ナノロッド１３２への底部接点１２０として作用する導電性の層の上部に製造することができる。上部金属接点１４０は、ナノロッド１３２の配列の複数のナノロッド１３２に適用される。接点１２０，１４０は、ナノロッド１３２のＩ／Ｖ（電流／電圧）特性を測定することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】温度分布を均一化して、高温で且つ長時間駆動可能なヒータを有する雰囲気センサを提供する。
【解決手段】基板１２上に所定の厚さで形成されたダイアフラム２０、このダイアフラム上に形成されたヒータ１８を有しこのヒータが発生する熱が測定される雰囲気によって奪われるもしくは与えられることで生ずるヒータの抵抗値に基づき雰囲気を測定する雰囲気センサであって、ダイアフラム２０に形成されたヒータ１８が互いに略平行且つジグザグ状に配設された複数のパターン部１８Ａからなり、配設された複数のパターン部の各パターン部の間隔ｄを各パターンの線幅ｂ１よりも小さくした。 （もっと読む）

【課題】 ガス検出装置の劣化判定の起動を迅速に行い、耐久性を向上させる。
【解決手段】 常時被検出ガスの濃度を検出する少なくとも一つの常用検出素子５０Ｂと、常用検出素子５０Ｂに近接して設けられ、間歇的に被検出ガスの濃度を検出する少なくとも一つの基準検出素子５０Ａと、常用検出素子５０Ｂの出力値と基準検出素子５０Ａの出力値を比較して常用検出素子５０Ｂの劣化を判定する劣化判定部６６とを備え、基準検出素子５０Ａが被検出ガスの濃度の検出を行わない待機動作中に、被検出ガスの濃度検出時よりも低い電力を供給するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】 ガス検出素子の一時的な異常およびガス検出素子の故障を検出することができるガスセンサの故障検出装置およびガスセンサの故障検出方法を提供する。
【解決手段】 ガスセンサ１の故障検出装置Ｄは、検査対象ガスに含まれる被検出ガスのガス濃度を検出するガス検出素子１２を備え、ガス検出素子１２の計測値をパラメータとして検出する検出手段８と、検出手段８により検出されたパラメータが所定の閾値以上となった場合にガス検出素子１２が異常であると判定し、さらに、パラメータが所定の閾値以上となった状態が所定時間継続した場合に、ガス検出素子１２が故障であると判定するＥＣＵ７とを具備した。 （もっと読む）

【課題】 ガス検出素子に水滴が付着し難いガス検出装置を提供する。
【解決手段】 ガス内の特定成分を感知するガス検出素子５３と、ガス検出素子５３の周囲を加温するヒータ５４と、ガス検出素子５３とヒータ５４の間に配設されてヒータ５４を支持し、ヒータ５４をガス検出素子５３に対して臨出させる臨出部５５ｂを有する基板５５と、を備えるガス検出装置５において、基板５５に、当該基板５５の外周部５５ｄと臨出部５５ｂとを連続させる排出経路５５ｃを形成する。 （もっと読む）

【課題】高精度計測に加熱が必要なガスセンサを用いた検知システムの電力消費を抑止する。
【解決手段】検知システムはサーバと無線通信によって連絡された複数のガスセンサから構成され、各ガスセンサにはヒータと、ヒータ通電のオンオフを制御するコントローラ、検出したガス濃度と所定の閾値を比較する比較器を設ける。通常はすべてのガスセンサにおいてヒータには通電されておらず、ガスセンサは低精度でガス濃度を計測し、常時、閾値との比較を行っている。一つのガスセンサにおいてガス濃度が閾値を越えると、自身のヒータＯＮとし高精度計測に切り替わり、計測を終えたらヒータをＯＦＦする。同時にサーバに閾値超過検出を報告し、サーバは閾値超過検出を通報したガスセンサの周辺のガスセンサの閾値を下げ、監視レベルを厳しくする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、汎用性が高く、膜剥離、歪や基板の反りを防止できる積層薄膜電気配線板を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の積層薄膜電気配線板は、基板上に下部電気絶縁層と上部電気絶縁層を有し、下部電気絶縁層と上部電気絶縁層との間に電気配線層を有している。更に、本発明の積層薄膜電気配線板によれば、電気配線層に孔部を設けることに特徴がある。 （もっと読む）

【課題】 検知対象空間内に安定に定置することができると共に、浸水などによってガスセンサが損傷する事故が未然に防止された定置型ガス検知器の提供。
【解決手段】 定置型ガス検知器は、上下方向に長く伸びるケーシングを具え、ケーシング内部の上部側領域にはガスセンサを含むガス検知機構が配設されていると共に、当該ケーシング内部の下部側領域に駆動用電源となる可充電電池または乾電池が装填される電池室が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 燻焼などの火災を早期に、かつ正確に感知でき、煙濃度とＣＯ濃度に応じて事前に状態を報知する複合式火災警報器を提供する。
【解決手段】 予め２次元平面上に火災領域、非火災領域及びこれら領域の間に火災注意領域Ａ、Ｂ、ＣとＣＯ注意領域がそれぞれ設定され、煙感知部３及びＣＯ感知部４により感知された煙濃度とＣＯ濃度から何れかの領域を判別する感知状態判別部２１と、感知状態判別部２１により火災領域と判別されたとき火災発生を報知し、複数の注意領域の何れかが判別されたときはその領域に応じて報知する警報報知部２４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 ガス検出装置が短時間の停止や瞬断後に再起動された場合にも、早期にガス検知を再開できるガス検出装置などを提供する。
【解決手段】 ガス検出装置１０は、検出回路１１を用いてセンサ出力値S(n)を取得し、これを用いて還元性ガスの濃度昇降を検知する。検出回路１１では、センサ出力値S(n)が、ガスセンサ素子１７のセンサ抵抗値Rsに応じて変化すると共に、入力するパルス信号Scのデューティ比DTを変更しても変化する。ガス検出装置１０では、起動後、ガスセンサ素子１７の活性化を２回判断し、活性化したと判断するとガス濃度の昇降検知を開始する。２回目の判断は、センサ出力値S(n)が所定の値となるようにパルス信号Scのデューティ比DTを変更させた後に行う。 （もっと読む）

【課題】 時間の経過により生じるｐ−ｎセンサ出力電流値の低下による影響を低減して正確にＣＯガスを検出できるＣＯガスセンサの出力電流の制御方法を提供する。
【解決手段】 ｐ型半導体とｎ型半導体とを接触させて形成したｐ−ｎセンサに電圧を印加した状態で被検ガスを接触させ、ｐ−ｎセンサの出力電流値を測定することにより被検ガス中の一酸化炭素を検知するＣＯガスセンサの出力電流の制御方法であって、ｐ−ｎセンサに順又は逆方向のバイアス電圧を所定時間印加することにより、ｐ−ｎセンサの出力電流を増減させるＣＯガスセンサの出力電流の制御方法。バイアス電圧の極性は、ｐ−ｎセンサの出力電流計測時にセンサに印加する電圧と逆の極性であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 高精度にガス濃度を測定することができる小型の可燃性ガス濃度測定装置を提供する。
【解決手段】 本発明の可燃性ガス濃度測定装置は、可燃性ガスが吸気されるガス吸気手段と、空気が吸気される空気吸気手段と、前記ガス吸気手段からのガスと空気吸気手段からの空気とを混合する混合部と、前記混合部の下流側に配置され混合されたガスのガス濃度を検出するガスセンサと、前記混合されたガスを前記ガスセンサに供給するポンプとを有し、当該ポンプは、ダイヤフラムを収縮拡大して負圧状態または加圧状態を生成し前記混合ガスを前記ガスセンサに導き、更に、互いに異なる位相で収縮拡大する複数のダイヤフラムを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 長期間の間にわたる監視動作中においても、適時の短期データを詳細に取得することができ、従って、検知対象ガスの濃度変化の状況を詳細に把握することができるガス検知器を提供すること。
【解決手段】 上記課題は、少なくとも環境雰囲気における検知対象ガスの濃度を所定の測定間隔時間毎に間欠的に測定する間欠測定モードによる監視動作が実施可能とされたガス検知器において、監視動作を開始するに際して設定された初期間欠測定モードによって測定されたガス濃度値が所定の濃度範囲内にあることが検知されたときに、当該初期間欠測定モードよりも測定間隔時間が短い測定モードに自動的に変更される構成とすることにより、達成される。このガス検知器においては、初期間欠測定モードよりも測定間隔時間が短い間欠測定モード、あるいは、ガス濃度を連続的に測定する連続測定モードに自動的に変更される構成とすることができる。 （もっと読む）

流体の流れ中のガスの量を検出する方法は、音波（AW）センサ（110）を第一の共鳴周波数で作動させることを含む。AWセンサは第一のガス吸収層（122）に連結された高温安定圧電プレート（112）を含む。少なくとも約500℃の温度にて、ガス成分を有する流体の流れを第一のガス吸収層と組み合わせることもまた含まれる。AWセンサの少なくとも１つの共鳴周波数が検出される。流体の流れ中のガスの量は、共鳴周波数を第一のガス吸収層に吸収されたガスの量に相関付けることにより検出される。流体の流れ中のガスの量を検出するセンサ（110）は、第一のガス吸収層（122）、第一のガス吸収層に連結された高温安定圧電プレート（112）、および高温安定圧電プレートに連結されたコントローラ（120）を含む。コントローラは、第一のガス吸収層に吸収されたガスの量に相関する高温安定圧電プレートの共鳴周波数を測定するために高温安定圧電プレートに連結され、ここで流体の流れ中のガスの量が検出される。高温安定圧電プレートは、AlN、GaN、Al_1-xGa_xN（0≦x≦1）、GaPO₄、AlPO₄、および例えばCa₂Ga₂Ge₄SiO₁₄、La₃Ga₅SiO₁₄、La₃Ga_5.5Nb_0.5O₁₄、La₃Ga_5.5Ta_0.5O₁₄のCa₂Ga₂Ge₄SiO₁₄の結晶構造を有する物質からなる群より選択される少なくとも１つの物質で形成される。

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【課題】 ＣＮＴ自体のセンシング能力に依存することなく極めて高い感度を安定して得るとともに、特定のガス分子に対する選択的なセンシングをも可能とする。
【解決手段】 ＣＮＴ１１が平行平板電極１，２間を架橋するように各々並列に整列してＣＮＴ束３が構成され、各ＣＮＴ１１の内部にはフラーレン分子１２が多数充填されており、ＣＮＴ１１の側壁には被検知対象であるガス分子１０がＣＮＴ１１内へ透過するための複数の開孔１３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】安価かつ確実に膜破断の発生を検知する手段を備えた膜処理装置を提供する。
【解決手段】中空糸膜モジュール１の処理水出口ノズル１２ａは処理水配管４１を介して膜破断検知部５０に接続されている。中空糸膜４に破断が有る場合、コンプレッサＣからの加圧気体は該破断部を通過して処理水室１２に流出し、さらに処理水配管４１を介して膜破断検知部５０の電極５１、エルボ７０間を通過する。処理水中に気泡が存在する場合には、この気泡が電極５１、エルボ７０間を通過する際に、電極５１、エルボ７０間の電流又は電圧が変化する。この変化パターンから膜破断を検知する。エルボ７０に縦引き部７２が設けられ、この縦引き部７２の下流側に電極５１が設けられている。 （もっと読む）