【課題】ＩＣチップの発熱に起因した赤外線センサチップの面内でのＳ／Ｎ比のばらつきを抑制することが可能な赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線センサは、赤外線センサチップ１００と、赤外線センサチップ１００の出力信号を信号処理するＩＣチップ１０２と、赤外線センサチップ１００およびＩＣチップ１０２が収納されたパッケージ１０３とを備える。赤外線センサチップ１００は、複数の熱型赤外線検出部３が半導体基板１の一表面側においてアレイ状に配置されている。パッケージ１０３は、パッケージ本体１０４と、パッケージ本体１０４に接合されたパッケージ蓋１０５とを有する。ＩＣチップ１０２は、パッケージ本体１０４に実装されている。赤外線センサチップ１００は、パッケージ本体１０４に保持された支持部材１０６に支持され、パッケージ１０３内でＩＣチップ１０２の厚み方向においてＩＣチップ１０２から離れて配置されている。 （もっと読む）

【課題】２次元に配置された赤外線検出素子をもつ赤外線検出装置が出力する２次元でデータを用い、検出空間内に存在する熱源の中から精度良く目的とする移動熱源を検出する。
【解決手段】赤外線検出装置から出力される２次元データより検出空間内に存在する熱源を検出し、その検出した熱源を動かない熱源として記憶。次に読み込まれる２次元データから最初に読み込んだデータを減算し、差分条件が設定条件と一致していれば、動いた可能性のある熱源とし、さらに、記憶した動かない熱源データとの位置のずれを比較することで完全に動いた熱源と判断する。 （もっと読む）

【課題】非長尺形状の光検出センサでも太陽光の捕捉角度を確実に確保することができる太陽光検出装置を提供する。
【解決手段】非長尺形状の光検出センサ２０ａ、２０ｂ、２１ａ、２１ｂを用いたので、コスト的に有利である。光検出センサ２０ａ、２０ｂ、２１ａ、２１ｂとボックス６の内面との間には、スポットＰの径以上の間隔Ｄが確保されているため、内面で反射された不規則な反射光が悪影響を及ぼすことはない。 （もっと読む）

【課題】受光素子の受光面に発光層からの直接光や対象物から斜めに入射した散乱光が入射することを抑制しつつ装置を薄型化する。
【解決手段】センシング装置は発光部２０と受光部３０を備え、発光部２０は受光部３０より対象物Ｆ側に位置する。発光部２０は、照射光ＩＬを発する発光層２６と、照射光ＩＬと反射光ＲＬを透過する第１電極２２と、照射光ＩＬと反射光ＲＬを遮光すると共に開口部が形成された第２電極２４とを備える。また、受光部３０は、反射光ＲＬを受光する受光素子Ｄを備える。対象物Ｆ側から平面視した場合に、受光素子Ｄの受光面は第２電極２４の開口部内に位置する。 （もっと読む）

【課題】赤外線検知部のダイオード自体の小型化を実現し、小型で高感度な赤外線撮像素子の提供する。
【解決手段】赤外線検知部の製造工程が、第１導電型の半導体層25の上に、絶縁膜10を形成する工程と、絶縁膜をパターニングしてコンタクトホールを形成して半導体層を露出させる工程と、少なくとも絶縁膜をマスクに用いて第２導電型の元素を半導体層に注入して、第１導電型の半導体層中に第２導電型の半導体層24を形成する工程と、コンタクトホールを埋めて絶縁膜を覆うように、サイドウォール材料膜を形成する工程と、サイドウォール材料膜をエッチングして、絶縁膜の側壁上にサイドウォール材料膜を残してサイドウォール26を形成する工程と、コンタクトホールを埋めてサイドウォール上に延在するように、金属膜を形成する工程と、金属膜をパターニングして電極22を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】多種類の物理量を検出可能としつつ施工作業の簡素化を図る。
【解決手段】本実施形態のセンサ装置では、それぞれが異なる物理量(赤外線量、光量、温度、湿度)を検出する複数のセンサ部２〜５が、制御部１や無線通信部７や電源部８とともに、壁や天井などの造営物に取り付けられる筐体10内に収納されている。このため、従来であれば、人感センサと照度センサと温度センサと湿度センサが個別に設置されていたのに比べ、多種類の物理量を検出可能としつつ施工作業の簡素化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 赤外線撮像装置の適用しうる様々な画像補正方式、検知器の諸元に対応可能な共通の補正手段を赤外線撮像装置に備える。
【解決手段】 赤外線撮像装置の製品検査時に、赤外線撮像装置の適用する画像補正方式及び検知器の諸元に従い、画素毎の信号処理回路に入力する検知器からの撮像画像輝度値、及び信号処理回路から出力する撮像輝度値の組合せをルックアップテーブル値として求めてルックアップテーブルに格納する。赤外線撮像装置の運用時に、輝度変換部において、ルックアップテーブルに格納されたルックアップテーブル値を参照することで、赤外線撮像装置の適用する画像補正方式及び検知器の諸元に見合った輝度変換を行う。 （もっと読む）

【課題】検知エリアに設定された複数の検知ゾーンのうち、侵入物体を検知しない検知ゾーンを容易かつ的確に設定することができる赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線センサ１は、第１の方向において複数のレンズを備えた集光レンズ１０１と、赤外線を受光する受光素子１０３と、赤外線を遮光する遮光部材１６１〜１６３と、遮光部材を支持する遮蔽ガイド１２０を有する。遮光部材及び遮蔽ガイドのうち一方には、各レンズを示す複数の識別情報が表示される。互いに隣接する二つの識別情報は、それぞれ対応する二つのレンズの相互の位置関係と同一の位置関係で表示される。遮光部材及び遮蔽ガイドのうち他方は、遮光部材の先端部分で遮蔽されているレンズ、または、そのレンズに隣接する遮蔽されていないレンズを示す識別情報の表示を指し示す指示手段を備える。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサにて得られた画像の分解能を向上する赤外線検出装置を得る。
【解決手段】赤外線検出装置は、バンドが異なるとともに互いに画素の数分の１ずれた複数の赤外線画像を同時または短時間内に撮像可能な赤外線センサと、入力される上記バンドが異なる複数の赤外線画像を、画像特性が整合するように、画像特性を調整して出力するバンド間特性整合処理器と、入力される上記画像特性が整合されたバンドが異なる複数の赤外線画像を超解像処理を施して分解能を向上した赤外線画像を生成する超解像処理器とを備える。 （もっと読む）

【課題】偏光フィルタのような追加の構造を用いることなく、特定の偏光の検出を可能にした赤外線センサおよび赤外線センサアレイの提供。
【解決手段】赤外線センサ１００は、温度検知部と、温度検知部に熱的に接続された吸収体１０とを含み、吸収体１０に入射した光を検出する半導体光素子であって、吸収体１０の表面に含まれた第１方向と、第１方向とは異なる第２方向が規定され、吸収体１０は、第１方向に第１周期で設けられ、第２方向に第２周期で設けられた凹部１１を有し、第１周期と第２周期が異なるか、または吸収体１０は、第１方向および第２方向に周期的に設けられた凹部１１を有し、吸収体１０の表面における凹部１１の形状が第１方向と第２方向で異なる。 （もっと読む）

【課題】赤外線撮像素子の熱応答速度によらず高い応答速度で熱画像を表示することの出来る熱画像撮像方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の熱画像撮像方法によれば、『「第一検出値と第二検出値との差」と、「赤外線撮像素子の熱応答速度」とから赤外線検出値を推定すること』とのことから、１スキャンタイム前と現スキャンタイムとの赤外線撮像素子の検出値の変化速度から現スキャンタイム時の赤外線撮像素子の赤外線検出値を推定し、現スキャンタイム時の対象物の温度を推定することが出来る。よって、赤外線撮像素子の熱応答速度によらずスキャンタイム毎に対象物の温度を推定することが出来、熱画像を高い応答速度で撮像することができる。 （もっと読む）

【課題】受光部を形作るスリットを設けても犠牲層が残存し、レジストマスクパターンの精度悪化も起こらない参照素子を備え、当該参照素子の遮光効果及び伝熱効果が高く、ドリフト抑制精度が高い熱型赤外線固体撮像素子及びその製造方法の提供。
【解決手段】内部に熱電変換素子を包含する絶縁膜に受光素子を形作るスリットが犠牲層に達するまで開口された参照素子において、受光部及びスリットを覆う導電性材料膜とその上に保護膜が設けられ、導電性材料膜及び保護膜は、スリットの側壁に沿ってスリット内部に入り込みスリット内部に空隙が残存している。これにより、絶縁膜の残留応力が受光素子と参照素子とで揃った状態が保たれ、焦点ズレによるレジストマスクパターン精度悪化は起こらず、入射赤外線に対する遮光効果や熱を効率良く逃がす伝熱効果も向上し、ドリフト抑制精度を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】受光量の変化にともなう温度変化を抑制できる赤外線固体撮像素子及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】赤外線固体撮像素子２０は、赤外線を検出する複数の赤外線検出画素２１ａが２次元方向に配列された画素エリア２１と、画素エリア２１から映像信号を読み出して映像信号出力線４１に出力する読み出し回路２２，２３とを有する。読み出し回路２２，２３は、更に所定のタイミングで温度センサ１３の出力を映像信号出力線４１に出力する。 （もっと読む）

【課題】自己発熱量を十分に補償しつつ、感度を確保することができる赤外線イメージセンサ及び信号読み出し方法を提供する。
【解決手段】赤外線を検出する赤外線イメージセンサであって、複数の画素を配列した画素領域及び少なくとも一つのリファレンス画素を有する受光部１２と、画素領域に含まれる１つの画素の信号とリファレンス画素の信号との差分信号である第１差分信号、及び画素領域に含まれる複数の画素のうち所定の２つの画素の信号の差分信号である第２差分信号を取得する差分回路と、第１差分信号及び第２差分信号に基づいて画素の信号を算出する画素信号算出部と、を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】測定精度が低下してしまうのを抑制することのできる赤外線センサモジュールを得る。
【解決手段】基板２上に配置した赤外線センサ３の上方にレンズ５が配置されており、開口部６１が形成された座壁６２と、赤外線センサ３の周囲を覆う側壁６３とを有するセンサカバー６が基板２上に搭載されている。また、ワイヤ１２を介して赤外線センサ３と電気的に接続されるＩＣ搭載部４が基板２上に配置されている。そして、センサカバー６を基板２の上面２ａおよびＩＣ搭載部４の上面４ａに配置した。 （もっと読む）

【課題】測定精度が低下してしまうのを抑制することのできる赤外線センサモジュールおよび当該赤外線センサモジュールの製造方法を得る。
【解決手段】基板２上に配置した赤外線センサ３の上方に、レンズ台座６を介してレンズ５が配置されている。また、レンズ台座６は、レンズ５を取り付ける開口部６１が形成された座壁６２と、赤外線センサ３の周囲を覆う側壁６３とを有しており、基板２上に搭載されている。そして、レンズ５およびレンズ台座６の外側を全体的に覆う金属ケース７を設け、当該金属ケース７とレンズ５、金属ケース７と基板２とをそれぞれ接合することで、赤外線センサ３を金属ケース７内に中空封止した。 （もっと読む）

【課題】加工コストの削減を図ることのできる赤外線センサモジュールを得る。
【解決手段】多角形状の光学素子５の外周側面５ｃに光学素子５の角部Ｃの上部隅部が露出するように封止材１３を塗布して当該光学素子５を導電性ケース６に接合した。そして、光学素子５の複数の角部Ｃのうち少なくとも１つの角部Ｃの露出部Ｍと導電性ケース６の天壁６１とに亘って導電性接着剤１５を塗布するようにした。 （もっと読む）

【課題】マイグレーションの問題を生じることなく、微細でアスペクトの高く絶縁特性に優れた絶縁膜を備えた貫通電極を有する素子付き基板、赤外線センサーおよび貫通電極形成方法を提供する。
【解決手段】予め、素子回路形成前のベース基板にビアホールを形成し、前記ベース基板の素子回路形成面と前記ビアホールの内面に熱酸化により絶縁膜を形成する熱酸化を行なう。前記熱酸化工程後に前記ビアホール形成部に導電部を有する素子回路を形成した後、前記素子回路形成工程後に前記ビアホールに導電体を埋め込み形成するようにしている。 （もっと読む）

【課題】高い製造歩留りで作成できる高感度ボロメータ型ＴＨｚ波検出器の提供。
【解決手段】基板に形成された読出回路に接続される電気配線を含む支持部により、前記電気配線に接続されるボロメータ薄膜を含む温度検出部が、前記基板から浮いた状態で支持される熱分離構造を有するボロメータ型ＴＨｚ波検出器であって、前記基板上の前記温度検出部に対向する位置にＴＨｚ波を反射する反射膜が形成され、前記温度検出部の表面、裏面あるいは内部に前記ＴＨｚ波を吸収する吸収膜が形成され、前記反射膜と前記吸収膜とで光学的共振構造が形成され、前記反射膜上にＴＨｚ波に対して透明な誘電体が形成され、前記誘電体の上面と前記温度検出部の下面との間隔（エアギャップ）が８μｍ未満となるように、前記誘電体の膜厚が設定されている。 （もっと読む）

【課題】感度が高い固体撮像素子を提供する。
【解決手段】実施形態に係る固体撮像素子は、赤外線を受光すると出力電位が変動する赤外線検出画素と、赤外線を受光したときの出力電位の変位量が、前記赤外線検出画素が前記赤外線を受光したときの出力電位の変位量よりも小さい無感度画素と、前記赤外線検出画素及び前記無感度画素の双方に駆動電位を印加する行選択線と、一方の入力端子に前記赤外線検出画素の出力電位が入力され、他方の入力端子に前記無感度画素の出力電位が入力され、前記一方の入力端子に入力された電位と前記他方の入力端子に入力された電位との差に対応する電位を出力する差動アンプと、を備える。前記赤外線検出画素、前記無感度画素及び前記差動アンプは、同一の半導体基板に形成されている。 （もっと読む）