【課題】等色関数に近似した分光感度を持つ測色手段によって色度図座標を介さずに、最近接の黒体放射色温度に基づく色温度及び黒体放射軌跡からの乖離量を検出可能な色温度成分分析装置を提供する。
【解決手段】光を測定して色温度情報を出力する色温度成分分析装置を、等色関数と近似した少なくとも３色の分光感度を有し光量に応じた測光信号を出力する測色手段と、測色手段が出力する測光信号を用いてプランク黒体放射式に基づいた黒体放射エネルギ２色比色温度値を色の組み合わせを異ならせて複数求める２色比色温度出力手段と、２色比色温度出力手段が異なった色の組み合わせに基づいてそれぞれ算出した複数の黒体放射エネルギ２色比色温度値の平均値である平均黒体放射色温度値を色温度情報として出力する色温度情報出力手段と、２色比色温度出力手段が求めた黒体放射エネルギ２色比色温度値と平均黒体放射色温度値との差分である黒体放射分布からの乖離量を出力する乖離量情報出力手段とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】波長可変レーザを用いてガスタービン内の高温ガス温度を測定すること。
【解決手段】ガスタービン（１０）に装着された燃焼ガス測定装置であって、該測定装置が、ガスタービン（１０）内の燃焼ガス通路（３０）を通過するレーザビームを放出（１１０）する波長可変ダイオードレーザ（２２）と、１３３４ナノメートル（ｎｍ）の波長の第１のレーザビームと、１３８０ｎｍ又は１３９１ｎｍの波長の第２のレーザビームとを放出するよう波長調整（１００、１０２）される波長可変ダイオードレーザ用のコントローラ（２０）と、燃焼ガス（３０）を通過する放射線ビームの各々を検知（１００）し、波長の各々において燃焼ガスによるビームの吸収を示す吸収信号（１１２）を生成するレーザセンサ（２２）と、を備え、コントローラ（２０）が、非一時的な記憶媒体上に格納され、第１のレーザビーム及び第２のレーザビームの吸収信号の比に基づいて燃焼ガス温度を決定（１１４）するプログラムを実行する。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハの表面温度を放射率に依存することなく精密に放射温度計測することを可能にする。
【解決手段】高温高速放射温度計用参照光源装置であって、光源用材料として貴金属箔からなるリボン２を使用し、このリボンに電流を流して光源とすると共に、該光源の前方部に、２枚のレンズ３をそれぞれの焦点距離の和の間隔を置いて配置し、かつそれぞれのレンズの焦点位置にチョッパ４を配置することを特徴とする光源装置。次世代ウエハ熱処理工程として開発中のフラッシュランプアニール法（ＦＬＡ）やレーザーアニール法（ＬＡ）において処理されるシリコンウエハの表面温度を放射温度計測するための高温高速放射温度計用参照光源装置を提供することが可能である。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面が振動していたりしたとしても、精確な遠隔温度測定を可能とする。
【解決部】本発明に係る放射による温度測定方法は、被測定物Ｗから放射される電磁波の異なる２つの偏光成分を用いて被測定物Ｗの温度を計測する温度測定方法であって、２つの偏光成分を測定すると共に、被測定物Ｗの振動状況を測定すべく設けられた振動測定部４の出力を検出して、２つの偏光成分のそれぞれについて、振動測定部４の出力を基に当該偏光成分に含まれる振動による外乱を除去し、外乱が除去された後の２つの偏光成分を基に、被測定物Ｗの温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】追跡目標からフレアが放出されても高精度に追跡目標を判定することが可能な追跡目標検出装置を提供する。
【解決手段】異なる２波長を用いて追跡目標を撮像し、その幾何学的特徴を評価する評価関数により評価関数値を算出し、この評価関数値と閾値とを比較してフレアを判定し、追跡目標の候補から除外する。また、評価関数値と追跡目標を示す追跡目標基準量とを比較して追跡目標を判定する。異なる２波長は、中赤外線と遠赤外線、または中赤外線と可視光を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】 任意の単色波長を用いたin-situの分光分析計測を行う場合、従来の分光画像計測装置では、装置の巨大化や精密な光路調整の必要性などの問題があった。 さらに、分光学的な熱画像解析において、視野内の反射の影響で実際には存在しない仮想の高温領域が表示されてしまい正しい解析ができない、という欠点があった。
【解決手段】 多色カラーセンサーの全波長域における分光感度特性の違いとカラーセンサー３の色数と同数の任意の波長でピークを持つマルチバンドパスフィルター２を集光レンズ１と組み合わせ（図２）、色変換行列によって各単色成分の入射強度を算出し、分光分析を行う。 さらに、色温度によるカラースケールと輝度または放射率によるグレースケールの表示を合成して熱画像を構築する事によって、反射成分による仮想の高温域を除去する。 （もっと読む）

【課題】物体（１０）用の温度測定システムを提供する。
【解決手段】本システムは、複数波長範囲内の放射線を受けるように構成されかつ空間次元を表す第１の軸線（１２４）及び波長次元を表す第２の軸線（１２６）を有する二次元形態の検出器（５６）のアレイを含む。本システムはまた、物体（１０）によって放出された放射線を検出器（５６）のアレイ上に集束させるように構成された光学システム（５０）を含む。 （もっと読む）

【解決手段】光および温度に依存する信号を発生させる回路配置において、入射電磁放射線に応じた第１および第２電気信号を発生させる複数の第１および第２センサ素子を有する。第１センサ素子は、可視光の少なくとも大部分を含む第１波長範囲（６２）から第１電気信号を発生させるように設計される。第２センサ素子は、主として赤外放射線を含む第２波長範囲（６４）から第２電気信号を発生させるように設計される。第１波長範囲（６２）は、第２波長範囲（６４）と重複し、よって第１波長範囲（６２）は第２波長葉に（６４）と同様に赤外放射線を含む。
【効果】２つの種類の異なるセンサ素子を用いて、簡単でかつより費用対効果の高い構成で、精度の高い温度信号および画像信号を得る。 （もっと読む）

【課題】波長帯の異なる複数種類の赤外線が検出されることで行われる対象物の表面温度の測定に際し、対象物の表面についての放射率の高低に応じて演算を行うことができ、測定精度を向上させることができる表面温度測定方法を提供すること。
【解決手段】対象物の表面から放射される波長帯が異なる三種類の赤外線の強度分布を検出する赤外線分布検出工程と、前記分布の各要素について計測温度（見かけ温度）を測定温度（黒体温度）として変換する温度変換工程と、前記各波長帯に対応する前記測定温度（Ｔ_ｒｓ１、Ｔ_ｒｓ２、Ｔ_ｒｓ３）間の温度差の全てが設定温度差値ΔＴよりも小さいか否かの判定を行う判定工程と、前記温度差の全てがΔＴよりも小さい場合、前記測定温度の平均を表面温度Ｔ_ｓとして導出する表面温度導出工程と、前記温度差の全てがΔＴよりも小さくない場合、前記測定温度に基づいてＴ_ｓを三色法により算出する表面温度算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】波長帯の異なる複数種類の赤外線が検出されることで行われる対象物の表面温度の測定に際し、表面状態の変化に起因して生じる測定誤差を低減することができ、測定精度の向上を図ることができる表面温度測定方法を提供すること。
【解決手段】表面温度測定方法であって、金型キャビティ面２ａから放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度分布を検出する赤外線分布検出工程と、前記分布の各要素について、計測温度（見かけ温度）を測定温度（黒体温度）に変換する温度変換工程と、放射率一定の仮定下、前記測定温度に基づいて金型キャビティ面２ａの温度（表面温度）を算出する表面温度算出工程と、前記測定温度および前記表面温度に基づき、放射率および放射率比を算出する放射率比算出工程と、前記放射率比算出工程により算出された放射率比を用い、前記測定温度に基づいて前記表面温度を再算出する表面温度再算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面に形成された被膜の膜厚の分布を精度良く測定することが可能な膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供するとともに、表面に被膜が形成された対象物の表面温度の分布を当該被膜の膜厚の分布によらず精度良く測定することが可能な表面温度検査装置および表面温度検査方法を提供する。
【解決手段】波長帯が異なる二種類の赤外線の強度分布から算出される測定温度分布の差分値に基づいて鍛造用金型１０のキャビティ面１０ａに形成された被膜１１の膜厚分布を算出する。また、被膜１１の膜厚に基づいて鍛造用金型１０のキャビティ面１０ａの放射率分布を補正し、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度分布および補正された鍛造用金型１０のキャビティ面１０ａの放射率分布に基づいて鍛造用金型１０の表面温度分布を算出する。 （もっと読む）

本発明は、レーザ加工が実施される被加工品（１０）の加工領域（１１）を監視する方法であって、前記加工領域（１１）から放出された放射を検出器システム（２２）によって位置分解方式で検出し、前記加工領域（１１）の放射を、前記検出器システム（２２）に結像される、該加工領域（１１）の各面要素（３５）ごとに、同時に少なくとも２つの波長で検出することを特徴とする方法に関する。本方法により、正確なプロセス監視を実施することができる。
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【課題】放射温度測定装置において、灰色体、非灰色体、平面、凸凹面に拘わらず、非接触にて高精度に温度を測定できるようにする。
【解決手段】被測定物Ｗに対して複数の異なる波長領域を含む赤外線を照射する赤外光源１０、赤外光源をオフにした状態で被測定物からの放射光における複数の異なる波長領域での赤外線強度を検出する放射光検出手段３０、４０、赤外光源をオンにした状態で被測定物からの放射光及び反射光の重畳光における複数の異なる波長領域での赤外線強度を検出する重畳光検出手段３０，４０、放射光検出手段及び重畳光検出手段の検出情報に基づいて被測定物の温度を演算する演算手段８０を備え、赤外光源１０は、被測定物の測定表面側Ｗｓから観て、放射光検出手段及び重畳光検出手段を取り囲むように形成されている。これにより、測定表面が凸凹状であっても高精度に温度を測定できる。 （もっと読む）

【課題】 放射温度計によって測定される鋼板表面の分光放射輝度が背光の影響を受ける場合においても、精度の高い温度測定を行う鋼板の温度測定方法を提供する。
【解決手段】 放射温度計４で異なる２つの偏光成分について測定される鋼板１の２つの分光放射輝度Ｌ_１およびＬ_２と、オフラインで背光を受けない状態で測定した鋼板１の前記異なる２つの偏光成分での放射率ε_１ｔおよびε_２ｔとを用いて背光の影響を補償し、走行する鋼板の温度Ｔ（Ｋ）を求める。 （もっと読む）

【課題】 ＣＶＤによる成膜に際し、プラズマに影響されずに基板温度を測定する。
【解決手段】 プラズマ輻射スペクトルの計測処理Ｓ１では、分光輝度計により、黒体輻射のない状態のプラズマ輻射スペクトルを測定する。フィッティングに要する波長領域の選定処理Ｓ２では、プラズマ輻射スペクトルのうち、フィッティングに適した領域を選定し、プラズマ輻射・スペクトルの決定処理Ｓ３でプラズマ輻射スペクトルを決定する。フィッティング処理Ｓ４では、プランクの放射則による理論式とプラズマ輻射スペクトルの和を最少自乗法によって測定スペクトルにフィッティングさせ、評価を行う。 （もっと読む）

【課題】焼鈍炉内で熱処理される鋼板の表面温度をオンラインで連続的に測定するのに好適な、鋼板温度計測方法と装置を提供することを目的とする。
【解決手段】加熱炉の炉壁の一部に赤外波長領域での放射率が高い耐熱物質を埋め込み、該耐熱物質からの放射光が前記鋼板の表面で正反射する方向において、複数の波長の放射輝度を、各々複数の偏光角成分において測定し、その測定した複数の波長での複数の偏光角成分のおける各々の放射輝度信号と前記耐熱物質の表面温度とにもとづいて前記鋼板の放射率を算出し、該放射率を元にして前記鋼板の表面温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】鏡面の温度を間接的に測定するための方法及び装置を提供する。
【解決手段】方法は、表面のブルースター角又はその近傍において表面から放射されたＰ偏光放射線の２つの測定値を得ることを含む。第１の測定値（ＳＡ）は、表面部分から直接放射された第１の量の放射線を集光光学系を使用して集光・検出することにより得られる。第２の測定値（ＳＢ）は、第１の量の放射線と、ブルースター角又はその近傍において集光され、表面によって反射された放射線と、を含む。これは、往復透過率ｔ_２を有し、表面部分から受光した放射線を同一の表面部分に逆反射する逆光学系によって行われ、逆反射された放射線は集光光学系によって集光された第１の量の放射線量に反射され、合成される。測定値ＳＡ，ＳＢと透過率（％）は表面放射率（ＳＡ／ξ）を決定するために使用される。次に、第１の測定値ＳＡの表面放射率に対する比率（ＳＡ／ξ）を表面温度に関連付ける較正曲線を使用する（ＳＡ／ＳＡ／ξ）。次に、較正曲線をＳＡ／ＳＡ／ξから表面温度を決定するために使用する。 （もっと読む）

【課題】 一層高い測定精度の高い二次元多色法温度計測装置を提供する。
【解決手段】 ノイズ減算処理手段３８によって固定ノイズが除去され、ゲイン補正手段４０によって入射光量と出力値Ｅとの関係が線形化された後、フラット補正手段４４によって、第１補正値Ｅ''_1ijおよび第２補正値Ｅ''_2ijが、第１補正基準値Ｅｂ_ijおよび第２補正基準値Ｅｂ''_2ijで除されることにより第１比Ｅ'''_1ijおよび第２比Ｅ'''_2ijが算出されると、放射強度比算出手段４６によって、これら第１比Ｅ'''_1ijおよび第２比Ｅ'''_2ijを用いて放射強度比Ｒが算出される。そのため、第１比Ｅ'''_1ijおよび第２比Ｅ'''_2ijの比は、光学系のばらつきが緩和されることによって真の放射強度比に近い値になるので、温度変換関数にこの比を適用することにより、温度分布の測定精度が高められる。 （もっと読む）