【課題】画像解像度や測距精度を低下させることなく、かつ、駆動信号の大きさを高めることなく走査画角を大きくする。
【解決手段】第１光反射面２ａを有した第１可動板２ｃを備え、楕円を含む基準平面に第１光反射面２ａの反射点を投影した点が楕円の一方の焦点Ｆ１と一致するように配置され、第１可動板２ｃの揺動により第１光反射面２ａへの入射光を反射走査する第１走査手段２と、楕円の長軸側の円弧状に湾曲形成した反射面４ａを有し第１走査手段２からの入射光を反射する楕円ミラー４と、第２光反射面３ａを有した第２可動板３ｃを備え、基準平面に第２光反射面３ａの反射点を投影した点が一方の焦点Ｆ１と楕円ミラー４間の他方の焦点Ｆ２と一致し、かつ、基準平面に対して第１走査手段２と反対側に位置するように配置された第２走査手段３と、各走査手段に駆動信号を供給する駆動手段５とを備える。 （もっと読む）

【課題】ミラーの剛性を確保しつつ、スキャンミラーをモーター軸に固定する際のねじ締めの応力によるミラー反射面の歪みを抑制したスキャナ装置及びレーザ加工装置を得る。
【解決手段】スキャンミラー２０に設けられた第１の固定部２１と、モーター軸３０に設けられた第２の固定部３１において、第１端面２２と第２端面３２を密着させた状態で、第１の固定用部材６０の凹部６１を第１傾斜面２３と第２傾斜面３３に嵌合させる。その後、第２の固定用部材７０で挟み込み、第２の固定用部材７０を固定ねじ８０で結合することにより、スキャンミラー２０をモーター軸３０に固定する。このときに発生する応力は、スキャンミラー２０の反射面に平行な方向となるため、ねじ締めの応力によるミラー反射面の歪み、変形を抑制することが可能なスキャナ装置１０が得られ、加工穴の位置決め精度が高く、加工穴品質の優れた安価なレーザ加工装置１００が得られる。 （もっと読む）

【課題】光源からの光束をリサージュ描画する際、駆動周波数によって軌跡が粗になったり、軌跡が経時変化したりするため動画を表示する際に解像度が低下する。
【解決手段】リサージュ描画を行う投影型表示装置において、走査線ができるだけ緻密な軌跡を描くように駆動周波数を設定し、高い解像度が得られる光走査装置を提供するため光束を射出する光源と、前記光束を第一、第二の周波数で略直交する二軸方向に走査する走査手段と、からなり、前記第一の周波数をｆ_H、第二の周波数をｆ_Lとしたとき、これらｆ_Hおよびｆ_Lを複数の数式を用いて決定することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】反射ミラー面の反復偏向手段によって光ビームを２次元的に走査することで投射スクリーン上に２次元画像を投影表示する機能を備えた走査型画像表示装置において、前記反射ミラー面の２次元反復偏向駆動に起因する光ビーム走査時に生じる画像歪みを良好に補正する。
【解決手段】所定の屈折率と所定の頂角を備えたくさび形もしくは台形プリズム１０を前記反復偏向手段９と前記投射スクリーン２０間の光路中に配置する。 （もっと読む）

【課題】品質良く光反射面が動作する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射面９ａを支持する可動部８と、可動部８に一端が接続され、光反射面９ａと平行に延在する可動梁１０と、可動梁１０の他端に連結された変位部５と、変位部５に固定された永久磁石７と、可動梁１０の延長方向に変位部５から隔てて配置され、変位部５を駆動する駆動部１１と、変位部５に接続され可動梁１０と直交して変位部５を支持する駆動梁６と、駆動梁６が連結された固定部３と、固定部３が固定された基台２と、固定部３を基台２に固定する連結部４と、を備え、固定部３は第１孔部３ａを有し、基台２は第２孔部２ａを有し、連結部４は第１孔部３ａより大きい頭部４ａと第１孔部３ａを通過する本体部４ｂとを有し、本体部４ｂが第１孔部３ａを貫通し第２孔部２ａに挿入され、本体部４ｂの他端が基台２と接着剤４ｃを介して固着され、固定部３は頭部４ａと基台２とに挟まれて配置される。 （もっと読む）

【課題】複数視野を同時に測定することができる距離測定装置を提供する。
【解決手段】距離測定装置は、測定光を射出するレーザ光源と、測定対象物からの反射光を検出する光検出器と、第１の反射鏡、第１の反射鏡の周囲に配置された第１の保持枠、第１の反射鏡を第１の保持枠に対し垂直軸の周りに回転可能に軸支する第１の支持梁、第１の保持枠の下部表面に配置された第２の反射鏡、第１の保持枠の上部表面に配置された第３の反射鏡、第１の保持枠の周囲に配置された第２の保持枠、及び第１の保持枠を第２の保持枠に対し水平軸の周りに回転可能に軸支する第２の支持梁を備えた光走査装置と、レーザ光源から射出された測定光を光走査装置に導光すると共に光走査装置で受光された反射光を光検出器に導光する導光光学系と、レーザ光源及び光走査装置の各々を駆動制御すると共に光検出器の検出信号に基づいて測定対象物までの距離を演算する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高速で三次元領域での測定を可能とし、さらに迷光による測定精度の悪化を防止する。
【解決手段】ポリゴンミラー３を収容する収容ケースの内部をレーザ投光器からポリゴンミラー３の反射面に至る第１空間とポリゴンミラー３の反射面から受光器に至る第２空間とに分割する遮光部と、ポリゴンミラー３を回転させることによって測定用レーザ光を第１方向に走査する第１走査部４と、ポリゴンミラー３を第１走査部４による回転の中心軸に対して交差する中心軸を中心として回動させることによって測定用レーザ光を第１方向と交差する第２方向に走査する第２走査部５とを備える。 （もっと読む）

【課題】互いに異なる波長域の複数のコヒーレント光で被照明領域を照明する照明装置であって、スペックルを目立たなくさせることができる照明装置を提供する。
【解決手段】照明装置４０は、ホログラム記録媒体５５と、波長域の異なる第１および第２のコヒーレント光Ｌａ，Ｌｂがホログラム記録媒体上を走査するように、波長域が互いに異なる複数のコヒーレント光を照射する照射装置６０と、を備える。ホログラム記録媒体の各位置に入射した第１コヒーレント光が、それぞれ、少なくとも一部分において重なる領域を照明し、且つ、ホログラム記録媒体の各位置に入射した第２コヒーレント光が、それぞれ、少なくとも一部分において重なる領域を照明する。 （もっと読む）

【課題】光反射領域を確保しながら可動板の回動時の慣性モーメントを低減するとともに、可動板の寸法精度を簡単に優れたものとすることができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１を備える可動板２１と、支持部２２と、可動板２１を支持部２２に対して回動可能に連結する１対の連結部２３、２４とを有し、可動板２１は、可動板２１の回動中心軸（軸線Ｘ）に対して垂直な方向で両側へ突出する１対の突出部２１５、２１６と、軸線Ｘに対して平行な方向で両側に突出する１対の突出部２１３、２１４とを有する十字状をなし、突出部２１３〜２１６の突出長さが最適化されている。 （もっと読む）

【課題】可動部の最大振れ角を変更しても、当該最大振れ角の検出精度を維持することができる光走査装置および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光走査装置１は、板状体で構成され、その一方の面に設けられた、レーザー光ＳＳを反射する光反射部３１１ｅを有し、回動中心軸Ｊ３回りに回動し、その最大振れ角の大きさが可変の可動板３１１ａと、可動板３１１ａが最大振れ角で回動していることを検出する回動検出手段２とを備えている。回動検出手段２は、光反射部３１１ｅに向かってレーザー光ＳＳを照射する光源２１と、光源２１からのレーザー光ＳＳが光反射部３１１ｅで反射した反射光を受ける受光部２２と、可動板３１１ａの最大振れ角に応じて受光部２２の位置を変更する変位駆動部２３とを有している。 （もっと読む）

【課題】正常なアクチュエータ動作を行うことができる。
【解決手段】固定枠１１の枠内には、可動部材１２と、蛇行して配置され、捻り変形可能に可動部材１２の両端を支持するトーションバースプリング１３とが設けられている。各トーションバースプリングは、可動部材１２との取付箇所で可動部材１２の回転の軸線に直交する幅を分割し、その各幅の長い幅に沿った方向に蛇行して配置されている。可動部材１２と各弾性支持部材１３との各取付箇所は、可動部材１２の回転の軸線を通る中心点Ｘに対し点対称となる対の取付箇所である。これらの取付箇所Ａ、Ａ’は可動部材１２の中心点を通り各取付箇所Ａ、Ａ’を結ぶ仮想線が可動部材１２の回転の軸線に対して所定の角度を有するように設定する。 （もっと読む）

【課題】小型で軽量なＸＹガルバノミラーペアを有する走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】走査型顕微鏡は、照明光であるレーザ光を射出する光源であるレーザユニットと、このレーザ光を集光して標本１６に照射する対物レンズと、レーザユニットと対物レンズとの間に配置され、レーザ光により標本１６の面を走査するための走査部である制御型及び共振型ガルバノスキャナ１１，１２と、を有する。そして、制御型及び共振型ガルバノスキャナ１１，１２は、第１ミラーであるＸミラー１１Ｘ，１２Ｘと、第２のミラーであるＹミラー１１Ｙ，１２Ｙと、を有し、Ｘミラー１１Ｘ，１２Ｘ及びＹミラー１１Ｙ，１２Ｙを、レーザ光の入射角が４５°より小さくなるように配置する。 （もっと読む）

【課題】駆動感度を損なうことなく、ミラー面垂直方向の加重に対する可動部の耐性が向上された光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器１００は、ミラーユニット１１０と電極基板１４０を備えている。ミラーユニット１１０は、可動部１１２と一対の複合トーションバー１１４と一対の固定部１１６を備えている。一対の複合トーションバー１１４は、可動部１１２が固定部１１６に対して回転軸１１８の周りに回転変位すなわち傾斜し得るように可動部１１２と固定部１１６を機械的に接続している。各複合トーションバー１１４は、回転軸１１８に平行に延びている複数のトーションバーと、隣接する各二つのトーションバーの一端を互いに連結している複数の連結バーで構成されている。複数のトーションバーは、回転軸１１８に近いものよりも回転軸１１８から遠いものの方が高いねじり剛性を有している。 （もっと読む）

【課題】従来の光偏向器においては、駆動電圧をフルに駆動用圧電アクチュエータに印加することによって行っているので、所定の駆動力を得るには、駆動用圧電アクチュエータを大型化しなければならず、消費電力を小さくさせる。
【解決手段】ミラー２は矩形反射面を有し、支持体１の空洞部１ａ内に位置する。１対のトーションバー３、４はミラーを揺動可能に支持する。トーションバーの支持体側に作用する駆動用圧電アクチュエータ５、６、７、８を設け、トーションバーのミラー側に作用する駆動兼検出用圧電アクチュエータ９、１０、１１、１２を設ける。制御ユニットＵ２は駆動兼検出用圧電アクチュエータの検出電圧Vの振幅に応じて駆動用圧電アクチュエータの駆動電圧及び駆動兼検出用圧電アクチュエータの駆動電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】 温度変化によるスキャナの角度誤差を抑制することにより、高精度のレーザー加工を行うことができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】 レーザー加工用のＸＹスキャナが、モータ軸１００を回動させる駆動モータ１０と、レーザー光を反射させる反射ミラー２０、及び、モータ軸１００に取り付けられるマウンタ係合部２１Ｂを有するミラーモジュールと、モータ軸１００を挟んでミラーマウンタ２１と対向するように配置され、モータ軸１００に取り付けられるミラー固定部材２２とを備え、マウンタ係合部２１Ｂ及びミラー固定部材２２は、モータ軸１００との接触面を減らすための非接触領域がモータ軸１００を挟んで両側に存在する状態で、モータ軸１００を挟持する。 （もっと読む）

【課題】ミラーの回動精度を保ちつつ、可動部に対する給電を円滑に行い得るミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置を提供する。
【解決手段】ミラーアクチュエータ１は、支軸２４について回動可能なミラーユニットフレーム１１と、支軸１７に配されたミラー１９と、マグネットユニット２０とミラーユニットフレーム１１とを連結するサスペンションワイヤー２６ａ〜２６ｆと、ミラーユニットフレーム１１と支軸１７とを連結するサスペンションワイヤー１６ａ〜１６ｄとを備える。サスペンションワイヤー１６ａ〜１６ｄ、２６ａ〜２６ｆにより、ミラーユニットフレーム１１に装着されたチルトコイル１１ｂと、支軸１７に装着されたパンコイル１２ｂ、１３ｂに給電でき、ミラーユニットフレーム１１と支軸１７に対し、一定かつ安定的な抗力が付与される。 （もっと読む）

【課題】光検出器に迷光が入射し易いレイアウトにおいても、レーザ光の走査制御に対する迷光の影響を円滑に抑制することが可能なビーム照射装置を提供する。
【解決手段】ビーム照射装置は、走査用レーザ光が入射するスキャンミラー１５０とサーボ光が入射するサーボミラー１２４とを備えたミラーアクチュエータ１００を有する。サーボミラー１２４により反射されたサーボ光は、ＰＳＤ１３６により受光される。ＰＳＤ１３６に隣接して高速フォトダイオード１３７が配置される。マイコン１２は、ＰＳＤ１３６から出力される信号に基づいてミラーアクチュエータ１００を制御する。高速フォトダイオード１３７から出力される信号が所定の閾値を超えると、ＰＳＤ１３６から出力される信号が、ノイズキャンセル回路２によって遮断される。 （もっと読む）

【課題】迷光が入射される場合にも、回路規模の増大を招くことなく、障害物までの距離を精度よく測定することができるレーザレーダを提供する。
【解決手段】レーザレーダ１は、レーザ光を出射するレーザ光源２１と、目標領域においてレーザ光を走査させるミラーアクチュエータ２３と、目標領域において反射されたレーザ光の反射光を受光する光検出器３３と、光検出器３３を移動させる光検出器駆動部３４を有する。光検出器駆動部３４は、光検出器３３を反射光の入射位置に移動させる。光検出器３３を反射光の入射位置に移動させることにより、複数の光検出器および回路部を用いずに、反射光を精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】内視鏡によるレーザ治療において、治療を必要とする広範囲の表面面積を自動的に撮影するための光学系を提供する。
【解決手段】撮像用ビームの回転を実現するマイクロモータ１２６０のシャフトの回転は、プリズム１２２０を回転する。撮像用光は、ファイバ１２１０を経由して遠端光学系に結合し、光は集束光学系１２１５により集束し、反射器１２２５によりプリズム１２２０上へ反射され、プリズムの回転により撮像用ビームは円周方向に掃引される。治療用光はファイバ１２００上の遠端光学系に結合され、光学系１２５０を用いて集光され、プリズム１２４５によって内側被覆１２３５に対して固定回転角度で横方向に誘導される。撮像用ビームは固定した治療用スポットの中を通って掃引を行なう。治療用スポットの併進移動は、外側被覆１２４０内で内側被覆１２３５の全体を回転させることにより実行する。 （もっと読む）

【課題】走査領域となる範囲をよりムラなく走査可能な走査周波数の選択を実現する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】第１偏向方向と第２偏向方向とに互いに独立して振動し、入射される電磁波の向きを変えて反射する偏向器を有し、偏向器が偏向させた電磁波を走査させることにより空間を２次元走査する走査方法において、第２偏向方向に１往復する時間において、第１偏向方向の位相進み角度βと、周角とがなす比が略無理数となるような第１振動周波数ｆ₁および第２振動周波数ｆ₂を用いる。 （もっと読む）