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Fターム[2H096AA28]の内容

感光性樹脂・フォトレジストの処理 (33,738) | 目的、用途 (6,461) | 光学部品 (564)

Fターム[2H096AA28]に分類される特許

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【課題】輝点の発生が防止され、高画質な画像を表示することができるカラーフィルターを、生産性よく製造することができるカラーフィルターの製造方法を提供すること、前記カラーフィルターを提供すること、また、前記カラーフィルターを備えた画像表示装置、電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のカラーフィルターの製造方法は、基板を準備する基板準備工程と、前記基板上に、着色剤と感光性樹脂とを含む材料で構成されたシート材を貼着し、その後、露光、現像することにより、着色部を形成する着色部形成工程と、前記着色部形成工程で着色部が形成されるべき部位であって、所望の着色部が形成されていない欠陥部位を検出する検出工程と、前記検出工程で検出された前記欠陥部位に、インクジェット方式でインクを付与し、欠陥を補修する欠陥補修工程とを有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】より低温で耐薬品性に優れた硬化されたパターンを製造することができる。また、この硬化されたパターンの製造方法を利用することにより、より耐熱性の低い基板等を用いても、高品質の表示装置等を得ることが可能となる。
【解決手段】樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤及び溶剤を含む感光性樹脂組成物から得られたパターンを、50℃〜180℃の条件下で、10mJ/cm〜10000mJ/cm露光する硬化されたパターンの製造方法において、樹脂が、炭素数2〜4の環状エーテルを有する単量体に由来する構造単位を含む樹脂である硬化されたパターンの製造方法。 (もっと読む)


【課題】
フラットパネルディスプレイ、高度実装材料の部材および太陽電池などの電極や配線の形
成に用いられるペースト組成物、該組成物を用いたパターン形成方法ならびに該パターン
形成方法を用いた電極の製造方法を得る。
【解決手段】
(A)亜鉛粉末および(B)アクリル系バインダーを含有することを特徴とする導電部材形成用ペースト。 (もっと読む)


【課題】ノズルのプライミング処理に用いる洗浄液の消費量を低減することができ、且つ、前記基板への塗布膜形成の際に、スリット状のノズル吐出口から塗布液を均一に吐出する。
【解決手段】ノズル16に塗布液を供給する塗布液供給手段20,32,33と、前記ノズルを、その長手方向を軸として回動させ、前記吐出口を上方に臨む状態とするノズル回動手段25と、前記塗布液供給手段と前記ノズル回動手段の駆動制御を行う制御手段50とを備え、前記制御手段は、前記プライミング処理において、前記ノズル回動手段により前記ノズルを回動させて前記吐出口が上方に臨む状態とし、前記塗布液供給手段により前記ノズルに所定量の塗布液を供給し、前記吐出口から前記塗布液を吐出させることにより、前記吐出口上に前記塗布液の隆起部R1を形成する。 (もっと読む)


【課題】保存安定性に優れ、耐光性の高い着色硬化膜を形成しうる着色硬化性組成物を提供すること。
【解決手段】(A−1)下記一般式(I)で表される化合物と金属原子又は金属化合物とを含む錯体、(A−2)フタロシアニン系顔料、(B)分散剤、(C)重合性化合物、(D)光重合開始剤、及び(E)有機溶剤を少なくとも含む着色硬化性組成物。〔一般式(I)中、R〜Rは、各々独立に、水素原子、又は置換基を表す。Rは、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。〕。
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【課題】製造工程において硬化してもシワの発生がない着色組成物、及び信頼性に優れた高明度、高コントラストなカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】透明基板上に着色画素と、該着色画素上に透明導電膜を有する液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、少なくとも1色の着色画素が、少なくとも1種の染料と少なくとも1種の熱硬化性化合物を含む着色組成物から組成され、該熱硬化性化合物が着色組成物中の固形分として5質量%から50質量%の範囲で含まれる、ことを特徴とする着色組成物を使用し、且つ、該着色画素を形成する際のベーク工程の焼成温度T1が150℃以上220℃以下であり、且つ透明導電膜の焼成温度T2が(T1−20)≦T2≦(T1+20)の範囲で焼成することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法である。 (もっと読む)


【課題】ITOスパッタ適性、硬度、耐熱透明性に優れる硬化膜が得られるポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜形成方法を提供すること。
【解決手段】(成分A)酸により分解しカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位と、カルボキシル基又はフェノール性水酸基と反応して共有結合を形成しうる官能基を有する構成単位とを有する樹脂、及び、(成分B)下記式(1)で表される酸発生剤、を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。


1〜R5はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アミノ基、アシル基、ハロゲン原子、アリール基、又は、ヘテロアリール基を表し、隣接するR1〜R5が互いに連結して環を形成してもよく、X-は共役塩基を表す。 (もっと読む)


【課題】 基板現像工程を行うための装置が開示される。
【解決手段】 基板を支持するための基板支持部の互いに向い合う両側には現像ノズルを洗浄するための第1洗浄タンクと第2洗浄タンクを配置することができる。前記現像ノズルは前記第1洗浄タンクから前記第2洗浄タンクに向う水平方向に移動することができ、前記基板の上部面上に現像液を供給することができる。前記現像液を供給した後、前記現像ノズルは、前記第2洗浄タンクに収容されることが可能であり、前記現像ノズルについている現像液は前記第2洗浄タンク内で洗浄液によって除去することができる。 (もっと読む)


【課題】遮光部と着色部との密着性に優れ、コントラストに優れた画像表示を行うことができるカラーフィルターを提供すること。
【解決手段】本発明のカラーフィルターの製造方法は、基板上に感光性材料および熱硬化性樹脂を含む遮光部形成用組成物を付与する工程と、感光性材料を露光することにより、前記遮光部形成用組成物を、現像液に対する溶解性の高い易溶性部と溶解性の低い難溶性部とを有するものとする工程と、現像により、難溶性部で仕切られた空間としてのセルを複数個形成する工程と、セル内に染料および熱硬化性樹脂を含む着色部形成用材料を付与する工程と、加熱により、遮光部形成用組成物中に含まれる熱硬化性樹脂を硬化させ遮光部とするとともに、着色部形成用材料中に含まれる熱硬化性樹脂を硬化させ着色部とする工程とを有し、遮光部形成用組成物と着色部形成用材料とは、同種の熱硬化性樹脂成分を含むものであることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 塗布装置や器具に付着し乾燥した付着物を容易に除去することができ、異物欠陥を生じにくい感光性着色組成物の製造方法およびそれを用いたカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】 平均粒径1μm以下の顔料と、感光性樹脂成分と、分散剤と、溶剤とを少なくとも含有するカラーフィルタ用の感光性着色組成物であって、前記感光性着色組成物を塗布し乾燥した後、再溶解溶剤に浸漬させたとき、再溶解した前記感光性着色組成物の顔料の平均粒径が、前記感光性着色組成物の顔料の平均粒径の10倍以下であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高い塗布性及びパターニング性を有し、得られた硬化物が透明性及び密着性に加え、高屈折率を備え、かつ、ポジ型の感放射線特性を有することができるポリシロキサン系の感放射線性組成物、この組成物から形成されたパターニングされた硬化膜及びこれらの形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、[A]シロキサンポリマー、[B]金属酸化物粒子、及び[C]感放射線性酸発生剤又は感放射線性塩基発生剤を含有し、上記[B]金属酸化物粒子が、アルミニウム、ジルコニウム、チタニウム、亜鉛、インジウム、スズ、アンチモン及びセリウムからなる群より選ばれる少なくとも一つの金属の酸化物粒子である感放射線性組成物である。当該感放射線性組成物は、分散剤をさらに含有することが好ましい。 (もっと読む)


【課題】塗布方法としてスリット塗布法を採用した場合であっても、塗膜に微小な凹凸からなるムラを発生させることなく液晶表示素子のスペーサーを形成しうる感放射線性樹脂組成物、液晶表示素子のスペーサーとして要求される諸性能(例えば高回復率と柔軟性とが両立された圧縮性能ならびにラビング耐性)を維持しつつ、特に高度の膜厚均一性を有する液晶表示素子のスペーサーを提供すること。
【解決手段】上記感放射線性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)重合性不飽和化合物、(C)感放射線性重合開始剤および(D)シリコーン鎖を有する特定の重合体を含有する。液晶表示素子のスペーサーは、上記の感放射線性樹脂組成物から形成される。 (もっと読む)


【課題】水置換工程における現像液から水洗水への水置換の際に、水洗槽に混入した現像液の成分が、循環して基板に汚れを発生させない現像装置を提供する。
【解決手段】水置換工程の水置換槽S4へ水洗水を供給する循環タンクST1に、循環タンク内の水洗水の現像液成分による汚染度を計測する測定器40を備え、測定器で計測された汚染度が予め設定された公差外となった際に、循環タンク内の水洗水の排水D3及び循環タンク内へ水洗槽から回収された水洗水の補充を行い、汚染度を公差内に調整する。現像液成分による汚染度として水洗水の導電率を用いる。循環タンクとして2基の循環タンクを並列に設け、一方の循環タンク内の水洗水の汚染度が公差外となった際に、他方の循環タンクに切り換えること。 (もっと読む)


【課題】1種類の感放射線性樹脂組成物で層間絶縁膜、保護膜及びスペーサーを形成することが可能であり、層間絶縁膜、保護膜においては高感度、高平坦性、高密着性、高透過率、スペーサーにおいては高解像度、高感度を達成できる、さらに、その形成工程においては、昇華性が低い光重合開始剤を使用することにより、べーク炉の汚染や露光時のフォトマスクの汚染を防止することができる感放射線性樹脂組成物を提供することにある。
【解決手段】(A)カルボキシル基を有し、かつエポキシ基または(メタ)アクリロイル基から選ばれる少なくとも一種を有する重合体、
(B)重合性不飽和化合物、
(C)一般式(1)で示される感放射線性重合開始剤を含有する感放射線性組成物。 (もっと読む)


【課題】周波数の高い振動に対しても耐えることができるフォトスペーサ作製するための感光性組成物の提供。
【解決手段】側鎖に酸性基を有する樹脂(A)、重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)、及び表面処理二重結合量が微粒子1g当たり0.02mmol〜0.35mmolである表面処理微粒子(D)を含むフォトスペーサ用感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】フォトリソグラフィー法での加熱硬化の際にパターンが球面化せず、平坦なパターンを製造できるポジ型感光性組成物を提供すること。
【解決手段】バインダー樹脂、キノンジアジド化合物、硬化剤、式(I)で表される熱酸発生剤、色素及び溶剤を含有するポジ型感光性組成物。


[式(I)中、R101〜R103は、互いに独立に、C1-10炭化水素基を示す。但しR101〜R103のうち少なくとも1つは、C6-10アリール基である。
-は、1価のアニオンを表す。
前記炭化水素基およびアリール基は、置換基を有していてもよい。なお前記炭化水素基及びアリール基の炭素数には、置換基の炭素数は含まれない。] (もっと読む)


【課題】オーバーコート層4を形成する樹脂として熱硬化性樹脂を用いた塗布膜が品質基準に達しない場合、塗布膜のみを剥離し、ブラックマトリックス2及び着色画素3を活用してカラーフィルタを廉価に製造するカラーフィルタの製造方法、製造装置。
【解決手段】カルボキシル基が露出していない熱硬化性樹脂を用いた塗布膜の品質が基準に達しない際、該塗布膜を軟化点以下の温度で微加熱してカルボキシル基を塗布膜表面に露出させ、アルカリ液による中和、溶解処理を施して塗布膜のみを剥離し、ブラックマトリックス、着色画素が順次に形成された状態のガラス基板1の再生を行う。 (もっと読む)


【課題】分散性、分散安定性に優れた着色硬化性組成物の調製方法を提供し、それによって得られた着色硬化性組成物を提供し、また、色純度が高く、色ムラ発生が抑えられたカラーフィルタの製造方法を提供し、それによって得られたカラーフィルタを提供し、さらに高解像度の固体撮像素子を提供する。
【解決手段】少なくとも染料を有機溶剤に溶解して染料溶液を調製する工程、少なくとも顔料を分散剤で分散して顔料分散液を調製する工程、および前記染料溶液と前記顔料分散液を混合する工程、を有する着色硬化性組成物の調製方法。 (もっと読む)


【課題】透明性、耐熱透明性及びパターン形状に優れ、高い絶縁破壊電圧を有する硬化膜を与える感光性樹脂組成物を提供すること、並びに、透明性、耐熱透明性及びパターン形状に優れ、高い絶縁破壊電圧を有する硬化膜及びその形成方法を提供すること。また、透明性、耐熱透明性及びパターン形状に優れ、高い絶縁破壊電圧を有する硬化膜を具備する有機EL表示装置、及び、液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有する架橋性アクリル樹脂、(C)高分子感光剤、並びに、(D)溶媒を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物、並びに、前記感光性樹脂組成物を使用する硬化膜の形成方法、硬化膜、有機EL表示装置、及び、液晶表示装置。 (もっと読む)


【課題】非常に高い印刷精度・膜厚精度が必要とされる有機パターン層を形成することができる樹脂版を作成する上で有利な樹脂版の製造方法および電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基材101上に感光性樹脂からなる感光性樹脂層102を成膜し、基材101と感光性樹脂層とを有するパターン転移媒体を作成する。次いで感光性樹脂層102が架橋反応する波長のレーザ光を予め入力された情報に基づいて光変調手段により変調することにより露光光のパターンを形成して感光性樹脂層102に照射し、パターン転移媒体と露光光とを相対移動させることで感光性樹脂層102をパターン露光する。次いで感光性樹脂層102のうち未露光部分の感光性樹脂を除去し、レーザ光のスポット径に対応する線幅の樹脂パターンが形成された感光性樹脂凸版を得る。 (もっと読む)


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