【課題】 基板の表面の検査結果に応じて基板を適正に処理することが可能な基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】 基板処理装置における搬入部１１と、第１処理部１２と、第２処理部１３と、搬出部１４とは、昇降用モータ２０の駆動により、それらが水平面に対して平行に向く位置と水平面から傾斜した位置との間を、軸１５を中心に一体となって揺動する。制御部がエッチングすべき膜の膜厚が均一であると判断した場合には、第１処理部１２および第２処理部１３を、搬入部１１および搬出部１４とともに、水平面に対して傾斜させる。制御部がエッチングすべき膜の膜厚が不均一であると判断した場合には、第１処理部１２および第２処理部１３を、搬入部１１および搬出部１４とともに、水平面と平行に向く位置に配置する。 （もっと読む）

【課題】洗浄処理において、基板への不必要なダメージや回路パターン倒れを防ぎつつ、特定箇所の異物を除去できる洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】洗浄処理に用いるための処理流体を基板５に噴出する処理流体ノズル７と、基板５から処理流体を回収する回収装置８とを具備している。基板５を処理流体ノズル７からの処理流体により局所的に洗浄処理することができるため、基板５に対して不必要なダメージ、回路パターン倒れを防ぎつつ、特定箇所の異物を除去できる。 （もっと読む）

【課題】基板の全面を十分に洗浄することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、基板を保持して回転させるスピンチャック２と、スピンチャック２に保持された基板Ｗに向けて処理液の液滴を吐出するノズル４とを含む。ノズル４には、処理液の液滴を吐出する複数の吐出口３３が一列に並べられた列Ｌ１が複数列配置されている。ノズル４はノズルアーム１８に保持されて、スピンチャック２に保持された基板Ｗの主面に垂直な垂直方向Ｄ１から見たときに基板Ｗの主面の回転中心Ｃ１を通る軌跡Ｘ１に沿って移動する。ノズル４は、垂直方向Ｄ１から見たときに複数の列Ｌ１と軌跡Ｘ１とが交差するようにノズルアーム１８に保持される。 （もっと読む）

【課題】配管の内壁に付着した凝集体等の付着物を、薬剤等の化学的作用や高圧ガスによる圧力を用いるのではなく、液体が衝突するときの衝撃により除去できる、低コストの洗浄方法を提供する
【解決手段】液状流体を移送するための配管の洗浄方法であって、内径Ｄの配管を、複数の洗浄液のドメインと複数の気体のドメインとを交互且つパルス状に連続して通過させる工程を備え、配管内を通過する、洗浄液の各ドメインが占める平均長さをＬ_W、気体の各ドメインが占める平均単位長さをＬ_Gとした場合、Ｌ_W／（Ｌ_W＋Ｌ_G）が０．１５〜０．８５であり、且つ、Ｌ_W＋Ｌ_G≦５０・Ｄである、を満たす。 （もっと読む）

【課題】光学部品の洗浄装置において、超音波洗浄による光学部品の洗浄ムラの発生を抑制することができるようにする。
【解決手段】洗浄装置１を、被洗浄物Ｗを洗浄する洗浄液３が貯留された洗浄槽２と、超音波振動子４ａおよび超音波振動子４ａによる超音波振動を伝達してホーン先端面４ｃから放射するホーン４ｂを有し、洗浄液３に挿入されたホーン先端面４ｃの前方に超音波振動によるキャビテーションを生成するキャビテーション生成部４と、を備え、キャビテーション生成部４によって生成されたキャビテーションを被洗浄物Ｗに当てて洗浄を行う構成とする。 （もっと読む）

【課題】画像を表示する領域の表面を好適に洗浄することが可能な携帯電子機器を提供することを目的とする。
【解決手段】筐体を備えた携帯電子機器であって、筐体に配置された表示部と、表示部に重畳して配置されたタッチセンサとを備えるタッチパネルと、タッチパネルの動作を制御し、タッチパネルの操作を検出する操作検出モードとタッチパネルを洗浄する洗浄モードとを切り換える制御部と、を有し、タッチセンサは、対向して配置された２枚の板状の板状導電体を備える接触検出部と、接触検出部に電圧を印加し接触検出部に入力される操作を検出するセンサ制御部と、を備え、制御部は、洗浄モードを選択した場合、センサ制御部で接触検出部を超音波周波数で駆動し、２枚の板状導電体を振動させることにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】洗浄液を少量に抑えながら簡便に基板を洗浄する技術を提供すること。
【解決手段】水平姿勢にて水平に移動している基板Ｇの上面に洗浄ノズル２より洗浄液Ａを供給した後、その基板Ｇを、基板Ｇの移動路における洗浄ノズル２の下流側に設けられた磁場形成部材３、４の間を通過させる。このとき、基板Ｇの表面上に供給された洗浄液Ａは、反磁性であるため、磁場形成部材３、４の間に形成された強力な磁場の作用により通過を阻止される。これにより基板Ｇの表面上の液切りを行って洗浄液Ａを除去するようにしている。 （もっと読む）

【課題】基板の処理に使用される処理液の消費量を低減すること。
【解決手段】基板処理装置は、処理液を吸収可能で弾性変形可能なスポンジ４１と、スポンジ４１に処理液を供給する貯留槽４０と、基板Ｗを保持する基板搬送ロボット２１とを含む。基板搬送ロボット２１は、スポンジ４１と基板Ｗとを相対移動させてスポンジ４１と基板Ｗの下面とを接触させることにより、スポンジ４１に吸収されている処理液を基板Ｗの下面に供給させる。 （もっと読む）

【課題】洗浄水による洗浄と熱水洗浄とを同一の簡易な設備で施すことができる医療器具等の洗浄殺菌装置を提供する。
【解決手段】洗浄対象の器具が浸漬、且つ加熱するヒータ１４が設けられたポット部１２を具備する貯留タンク１０と、給排出手段と蓋部１８の天井面に向けてポット部１２で加熱された洗浄水を噴射し、天井面に噴射された熱水が流下するようにして水蒸気発生面積を可及的に広くして水蒸気を充満させる噴射ノズル２０，２０と、超音波洗浄を施す超音波発信装置１６と、前記超音波洗浄を施した器具の一部が露出するように貯留タンク１０に貯留された洗浄水をポット部１２で加熱して噴射ノズル２０，２０に送液するポンプとを備え、且つ貯留タンク１０内に各洗浄に用いる所定量の洗浄水を貯留するように前記給排手段を制御する制御手段を具備する。 （もっと読む）

【課題】過硫酸を含む硫酸溶液を洗浄液として、循環利用して電子材料を洗浄する際に、洗浄排液の廃棄と循環とを効果的に選り分けることを可能にする。
【解決手段】過硫酸を含む硫酸溶液を洗浄液として電子材料に供給することにより該電子材料に前記洗浄液を接触させて該電子材料を枚葉式で洗浄し、洗浄排液を系内に循環させ過硫酸を再生して前記洗浄液として再利用する洗浄方法において、前記電子材料ごとの洗浄開始から洗浄終了までの間に、前記洗浄開始から、第１のタイミングまでは、前記洗浄排液を系内に循環させ、前記第１のタイミング後、第２のタイミングまでは、前記洗浄排液を系外に廃棄し、前記第２タイミング後、洗浄終了まで、前記洗浄排液を系内に循環させることで、レジスト濃度の高い時間帯の洗浄排液は系外に廃棄し、それ以外の時間帯の洗浄排液は系内に循環し再利用することが可能になり、効果的な選り分けが可能になる。 （もっと読む）

【課題】液相部への給気流量を所定範囲に収めることにより、騒音を抑制しながら、洗浄性能の低下を防止する。
【解決手段】洗浄槽３には液体が貯留され、被洗浄物２が浸漬される。洗浄槽３には、減圧手段５と液相給気手段６とが設けられる。減圧手段５は、洗浄槽３内の気体を外部へ吸引排出して、洗浄槽３内を減圧する。液相給気手段６は、減圧手段５により減圧された洗浄槽３内の液相部に外気を導入する。また、液相給気手段６は、洗浄槽３内への外気流入量を絞る流量制限手段を備える。この流量制限手段は、たとえばオリフィス１８から構成される。 （もっと読む）

【課題】酸化性物質を含む硫酸溶液に水溶液を混合して電子材料を洗浄する際に、水溶液使用量、廃液処理量、硫酸濃度の低下を招く課題を解決する。
【解決手段】過硫酸物質を含む硫酸濃度７０質量％以上の硫酸溶液を洗浄液として電子材料に供給することにより前記洗浄液を前記電子材料に接触させて前記電子材料を洗浄する枚葉式の電子材料洗浄方法において、前記洗浄液に水溶液を混合させて、混合直後に該洗浄液を前記電子材料に接触させる第１洗浄工程と、該第１洗浄工程の後に、前記洗浄液に前記水溶液を混合させることなく前記洗浄液を前記電子材料に接触させる第２洗浄工程とを含むことで、洗浄効果を良好に維持したままで、水溶液使用量、廃液使用量、硫酸濃度の低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】コンデンサやトランスといったＰＣＢ含有絶縁油を含む機器の無害化に利用されている蒸留塔を効率よく無害化すること。
【解決手段】ＰＣＢ含有絶縁油を含む機器が洗浄油で洗浄されることによって生じたＰＣＢ含有洗浄油を蒸留して前記ＰＣＢ含有洗浄油よりもＰＣＢ濃度の高い缶出液とＰＣＢ濃度の低い留出液とに分離するための蒸留塔に前記ＰＣＢ含有洗浄油に代えて清浄な洗浄油を導入させて前記蒸留塔を運転させることにより、前記清浄な洗浄油で蒸留塔内部を洗浄するとともに該洗浄によって生じたＰＣＢ含有洗浄油を該ＰＣＢ含有洗浄油よりもＰＣＢ濃度の高い缶出液とＰＣＢ濃度の低い留出液とに分離し、該分離によって得られた缶出液を蒸留塔外に排出させるとともに留出液を蒸留塔内の前記洗浄に利用することを特徴とする蒸留塔の無害化方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物に超音波を照射することにより除去された異物が被洗浄物へ再付着することを防止することができる超音波洗浄装置の提供。
【解決手段】超音波洗浄装置であって、少なくとも、超音波を超音波振動子から洗浄液に伝える振動部材と洗浄液の噴出口と吸引口と、を備えており、
前記振動部材は平板状の剛体であり、平板状の超音波振動子に接合されており、
前記洗浄液の噴出口と吸引口は、前期振動部材の表面または前記振動部材が、被洗浄物が載置された平面に形成する垂直投影の内側に配置されていること、を特徴とする超音波洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】液切れのよいノズルアームを備える基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、処理液を吐出するノズルと、ノズルを保持するノズルアーム４とを含む。ノズルアーム４は、水平面に沿う長手方向Ｄ１に延びている。ノズルアーム４の少なくとも一部の直交断面Ｃ１は、直交断面Ｃ１において最も上に位置している頂部４５と、頂部４５より側方に位置している側部４２と、頂部４５から側部４２まで下降し続けている上側傾斜部４７とを含む。 （もっと読む）

【課題】
炊飯釜等の容器洗浄装置において、容器洗浄面の最短距離まで洗浄ノズルを挿入し、洗浄面を死角なく効率的に洗浄することを可能ならしめると共に装置の小型化を達成する。
【解決手段】
容器３の取手部３ａが挿入される凹状部４を有する反転回動可能な容器支持体２と、ノズルアーム７ａ先端に取り付けられ、容器支持体２が反転したとき、該容器支持体に取り付けられた容器３内部を洗浄する回転式洗浄ノズル７を設けて、回転式洗浄ノズル７を容器支持体２の反転に伴って容器３内に移行して挿入し、回転しながら下向き姿勢の容器３内部を全面にわたり洗浄し得る如く構成した。なお、支持体２内への容器３の挿入、洗浄後の支持体内からの取り出しはガイドローラーを使用し、バッチ式としてもよく、搬送コンベアを用いて連続式又は往復式としてもよい。 （もっと読む）

【課題】 多目的な洗浄に対応するワーク洗浄装置を提供する。
【解決手段】 本願発明では、ワークＷを洗浄するワーク洗浄装置において、洗浄液の噴射部と、複数のプレート４…４と、プレート移動部５とを備え、プレート移動部５は、少なくとも一部のプレート４を移動させて、洗浄するワークの周囲を各プレート４…４にて取り囲むことにより、洗浄液の液溜まりを形成することができ、且つ、移動させたプレート４…４を元の位置に後退させることができるものであり、 噴射部６は、洗浄するワークを、プレート４…４にて取り囲んだ状態と取り囲んでいない状態の何れにおいても、ワークに向け洗浄液を噴射することができるものである。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面にシミやムラ等を形成させずに、ワーク表面の処理液をきれいに洗い落とす。
【解決手段】ワーク１の表面を処理する処理液が蓄えられる処理槽１０と、表面に処理液が付いているワーク１を洗浄する洗浄液が蓄えられる洗浄槽２０と、ワーク１を吊り下げ、処理槽１０の上方と洗浄槽２０の上方との間で移動すると共に、上下方向に移動するクレーン３５を有している移動機構３０と、クレーン３５に設けられ、クレーン３５から吊り下げられているワーク１に対して、洗浄液を噴射するノズル５１と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】洗浄・現像処理装置における基板を搬送する搬送ローラーの洗浄、清掃を自動化し、洗浄清掃操作の手間や労力を省力化し、洗浄・清掃作業を短時間で実施し、搬送ローラーの洗浄、清掃操作による洗浄・現像装置の長期の稼動停止ロスの発生を防止する。
【解決手段】基板材料ｐを水平に載置して洗浄・現像チャンバー１内の洗浄処理手段Ｂと現像処理手段Ｃとに水平搬送する搬送ローラー40を備えた洗浄・現像処理装置Ａにおいて、基板材料ｐが載置、搬送されていない搬送ローラーを特定する検出手段を備え、特定された搬送ローラーの回転中又は回転停止中に、洗浄・現像チャンバー１内の搬送ローラー40上方に対峙する専用の清掃ノズル31にて該搬送ローラーに清掃液ｄを噴射し、搬送ローラーに付着する汚損物を自動清掃除去して搬送ローラーを清掃する。 （もっと読む）

【課題】通風部材の清掃成果を向上させながらも清掃作業時間の短縮も図ることができる洗浄装置等の提供。
【解決手段】洗浄装置１は、フィルタ１７を清掃するものであり、送風部５と、送水部７と、フィルタを支持する支持部９と、送風部からの送風及び送水部からの送水を制御する制御部１３とを備える。制御部は、フィルタに対する第１の送風と、その第１の送風の後、フィルタに対する送水と、その送水の後、フィルタに対する第２の送風とを行うように、送風部の送風及び送水部の送水を制御する。 （もっと読む）