【課題】穴を有する洗浄対象物を洗浄した場合の洗浄性能を容易に評価することのできる洗浄性能評価用部材及び洗浄性能評価方法を提供する。
【解決手段】模擬的な穴部（５０）を形成した洗浄性能評価用部材（１０）を洗浄槽（７２）内の洗浄液（７０）に浸漬し、洗浄槽（７２）内の洗浄液（７０）に超音波を照射しながら洗浄槽（７２）内の減圧及び大気開放を繰り返して洗浄性能評価用部材（１０）を洗浄し、この洗浄工程終了後に洗浄性能評価用部材（１０）の洗浄性能を液浸透性能又は液交換性能に基づいて評価する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄液の深さや温度に影響されること無く、所望となる最適な発振周波数を検索できる超音波発振装置を提供すること。
【解決手段】 超音波発振装置１は、超音波振動を発振する振動子９０を有している。超音波発振装置１は、超音波振動のための振動子９０の出力電圧と振動子９０の出力電流との位相差を算出する位相差算出部７０と、位相差を基に超音波振動のための周波数を検索及び制御する制御部９０とを有する周波数検索部１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】メガソニック洗浄方法及び洗浄装置を提供すること。
【解決手段】メガソニック洗浄方法として、洗浄対象体と区分される空間で、メガソニックによって洗浄液を起電させてマイクロ空洞を生成させる。生成されたマイクロ空洞のうち、安定な振動のマイクロ空洞のみを洗浄対象体がロードされた空間に移動させる。また、前記安定な振動のマイクロ空洞を利用して前記洗浄対象体の表面を洗浄する。前記方法によると、洗浄対象体内のパターンの損傷を防ぎ且つ洗浄対象体表面のパーティクルを効果的に除去することができる。 （もっと読む）

【課題】ワークの下面をスプレー洗浄する際のワークの浮き上がりを防止することができる洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄方法は、ワーク10の上側及び下側にそれぞれ配置された上スプレーノズル２及び下スプレーノズル４から上洗浄液３及び下洗浄液５をそれぞれ噴射した状態で、ワーク10を上下両ノズル2,4に対して相対的に水平方向に移動させることにより、ワーク10の上面10a及び外周面10bのうち少なくとも上面10aを上洗浄液３で洗浄するとともに、ワーク10の下面10cを下洗浄液５で洗浄する洗浄工程を含む。洗浄工程では、上ノズル２及び下ノズル４からそれぞれ上洗浄液３及び下洗浄液５を、下洗浄液５がワーク10の下面10cに当たるときは上洗浄液３が必ずワーク10の上面10a及び外周面10cからなる領域の少なくとも一部に当たるように噴射する。 （もっと読む）

本発明は、圧電素子の中心部で音圧が集中することなく広い面積に渡って均一な音圧が発生するようにし、被洗浄物に損傷を与えずに洗浄効率を高めることができる超音波精密洗浄装置に関する。本発明の超音波精密洗浄装置は、被洗浄物に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、セラミック体およびセラミック体の上部および下部にそれぞれ蒸着した上部電極、下部電極を備えて超音波を発生させる圧電素子と、圧電素子の端部に結合して被洗浄物と対向するように備えられ、圧電素子で発生する超音波を被洗浄物に伝達する超音波伝達体と、ハウジングと、電源線と、を含む超音波洗浄装置であって、圧電素子または超音波伝達体の中心には垂直ホールが形成される。
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【課題】簡単な構成でトレーや焼肉に使用する金網および鉄板等に付着する油、カーボン状の汚れを傷つけることなく洗浄する洗浄方法およびこの洗浄方法を用いた洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】一方に傾斜した底板２を有し、内部に被洗浄物載置用のメッシュ板３と洗浄溶液加熱用のヒータ４とを備えた洗浄槽１と、この洗浄槽１の側面に前記ヒータ４の温度を制御する温度制御器７と前記洗浄溶液８の供給器９と洗浄溶液上面の浮遊汚物および前記底板２に沈殿した洗浄剥離汚物を排出する排出管１１および１２を配設した洗浄装置内に、１０重量％の塩基性水溶性塩よりなるイオン洗浄溶液を水１リットルに対して３〜３００グラム混合した洗浄溶液８を満たし、この洗浄溶液８を３０〜９０℃に加熱すると共に被洗浄物を３０分以上浸漬するように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】使用者が自らの意図するタイミングで浴室洗浄を行うことができ、しかも必要十分な程度での浴室洗浄が可能になる浴室洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を浴室内に噴霧して浴室洗浄を行う浴室洗浄装置本体１と、浴室洗浄の実行を指示する洗浄指示部とを備え、前回の浴室洗浄を実行してからの経過時間が長くなって汚れの程度が大きくなるほどに、今回の浴室洗浄を実行するときの洗浄時間を自動的に長くするか、洗浄液が含む次亜塩素酸の濃度を自動的に高くするか、或いはその両方を行うように設ける。 （もっと読む）

【課題】医療用器材等の洗浄対象物に付着した錆やスケールを確実に除去することができるとともに、洗浄対象物の腐食が生じないようにし、かつ作業者の危険性を減らすことができる洗浄方法および洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄対象物に、酸性洗浄剤により洗浄を施し、酸性洗浄剤による洗浄終了後に、洗浄対象物に、アルカリ性洗浄剤により洗浄を施し、アルカリ性洗浄剤による洗浄終了後に、アルカリ性洗浄剤を水または温水ですすぐことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】運転日時、運転内容、洗浄結果などを履歴として残し、所望により確認することのできる洗浄管理機能を搭載した洗浄装置の提供。
【解決手段】洗浄装置１の運転情報記憶部２８には、運転日時、消毒効果を示すＡ０値、運転時間（運転に要した時間）を含む運転情報が、運転ごとに記憶される。操作パネル２４にて指定された運転についての運転情報を運転情報記憶部２８から取得して、少なくとも運転日時、Ａ０値、運転時間を出力する。洗浄インジケータの結果についても、運転情報として同様に管理するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】水量不足にならず、かつ無駄な水をなくすことを目的とする。
【解決手段】洗浄装置は、給水手段による給水時に、第１の水位計の測定結果に基づいて第１の洗浄水タンク内の水位が所定水位より低いと認識した場合に、第２の水位計に基づいて第２の洗浄水タンクが満杯になったと認識しても、第１の洗浄水タンクの水位が所定水位より高くなる所定水量をさらに給水手段に給水させる制御手段を具備する。 （もっと読む）

【課題】微小洗浄水粒子を含んだ空気との混合流体を噴射して、塗装表面に付着したカーボン等を含んだ埃を除去できる混合流体噴射装置を提供すること。
【解決手段】混合流体噴射装置１０は、流入した空気１と洗剤を含む洗浄水３Ａを同じ圧力にする二流体混合タンク１１と、二流体混合タンク１１から接続する空気通路１２と、洗浄水通路１３Ａと、空気通路１２と洗浄水通路１３Ａとを接続して洗浄水３Ａを微小洗浄水粒子に形成するエジェクタ部１５と、圧縮空気１と微小洗浄水粒子との混合流体５を高速で噴射する噴射ノズル１６とを備えている。エジェクタ部１５において空気通路１２を狭小の絞り部１５１を形成することにより、負圧室を構成し、少量の水３を送って洗浄水３Ａを微小洗浄水粒子に形成する。微小洗浄水粒子３を含んだ混合流体５を高速で噴射することにより、微小洗浄水粒子３を破壊させて少量の残留汚染物質を塗装表面から除去する。 （もっと読む）

【課題】基板の縁部を対象とする縁部洗浄において、表裏均一で良好な洗浄効果を確保することができる基板洗浄装置および基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板の縁部を挟み込む２つの押圧部材のそれぞれの押圧面に洗浄液を供給する第１洗浄剤供給機構、第２洗浄剤供給機構の第１開閉バルブ２９，第２開閉バルブ３０を制御して、表裏それぞれの押圧面に対して２つのノズルによって洗浄剤を供給する個別の塗布動作を、予め定められたインターバル時間Ｔ３で規定される所定のタイムラグによって時間的に隔てられた異なるタイミングにて行う。これにより、供給タンクから洗浄剤の供給対象となる縁部の表裏両面に至る液送配管が異なる場合にあっても、表裏均一で良好な洗浄効果を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】装置コストを抑えつつ、液体中に気泡を効率よく発生させることができる超音波発生装置を提供すること。
【解決手段】超音波洗浄装置１０は、洗浄槽１３の洗浄液１２中に超音波を照射するための超音波振動子１４と、超音波振動子１４を駆動するための超音波発振器１５とを備える。超音波振動子１４は、軸方向の縦振動成分が１／２波長の整数倍の周波数で共振する振動モードを有するボルト締めランジュバン振動子である。超音波発振器１５は、１／２波長の整数倍の周波数信号であって、低周波の周波数と高周波の周波数との少なくとも２種類の信号成分を含んだ超音波発振信号を生成して超音波振動子１４に出力する。 （もっと読む）

【課題】ロボットを含めた装置全体を防水室内に収める必要がなく、且つ、ロボット自体を高度の防塵防水仕様とする必要がないため、これら防水手段配備のための手間及びコストを削減できる機械部品のシャワー洗浄装置を提供することを課題する。
【解決手段】洗浄槽１が、互いに反対方向に移動してその上面開口を開閉する一対のシャッター７、８から成る飛散防止カバーを備え、前記飛散防止カバーは、洗浄するワークをクランプしたロボットハンド８１が洗浄槽１内に進入した際に、ロボットハンド８１を抱持するようにして閉じ、ロボットハンド８１が横方向に移動する際には、その閉じた状態においてシャッター７、８が一体となって、ロボットハンド８１の横方向の動きに追随して移動可能にされる。 （もっと読む）

【課題】使用できるスペースに制限のある作業場所においても、塗料の洗浄によって生じた廃水を適正に処理可能な器具類の付着物の洗浄装置を提供する。
【解決手段】水性塗料又はその他の汚れが付着している器具類を水で洗浄した洗浄廃水を貯留可能であり、洗浄廃水に対して中和と凝集を含む必要な処理を行うために、洗浄廃水を溜めるときは排水口１３を閉じ、洗浄廃水を排出するときには排水口を開く開閉部２０を設けた貯留槽１４と、上記貯留槽内部に着脱可能に配置され、必要な処理の行なわれた洗浄廃水を槽外部へ排出する際に凝集分ないし固形分を捕集する粗フィルターを備えた第１の分離手段と、上記貯留槽から排出された洗浄廃水を受け入れ、第１の分離手段を通過した固形分を捕集するために、上記粗フィルターよりも細かいメッシュを持つ細フィルターを備えた第２の分離手段を具備する。 （もっと読む）

【課題】マイクロリアクタを包含するマイクロリアクタラインのインライン洗浄が可能なマイクロリアクタライン洗浄システムを提供する。
【解決手段】マイクロリアクタ２０と、前記マイクロリアクタ２０が介装された第１の流路１２と、前記第１の流路１２の前記マイクロリアクタ２０の上流側で合流し、前記マイクロリアクタ２０及び前記第１の流路１２に洗剤４４、すすぎ水５２、揮発性溶剤６０の順に流通させる洗浄機構（第１の流路１２に合流する第２の流路３６、第２の流路３６に合流する第１の供給手段３８乃至第５の供給手段７０等）と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 処理液に溶解する二酸化炭素の量を、所望の濃度以上に維持し、かつ、二酸化炭素を無駄に消費しないようにした基板洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】 比抵抗計８１が、所望の比抵抗値より高い値を検出するとコントローラ８２は開閉制御弁Ｖ５を開け二酸化炭素が供給される。すなわち、ポンプ２４が、吸込み管２５によって処理液タンク３１から吸い込んだ処理液は、処理液送出管２３、分岐管２７、開閉制御弁Ｖ４、戻し管２８、ミキシングユニット５０、撹拌ノズル６１を経て処理液タンクに戻る処理液循環路を循環する動作を行い、循環動作の途中のミキシングユニット５０にて二酸化炭素を混入する。 （もっと読む）

【課題】洗浄中での洗浄液と洗浄対象物との接触面積を制御する洗浄システム及び洗浄方法を提供することを課題とする。
【解決手段】洗浄システムは、ワーク１に洗浄液Ｌを供給可能な供給ノズル３０と、ワーク１に供給された洗浄液Ｌに接触して振動させるホーン６０と、ホーン６０を振動させる発振器５０と、ワーク１とホーン６０とのクリアランスを変更可能にホーン６０を移動させる昇降機８０と、発振器５０のインピーダンスを検出する検出分離部７０と、インピーダンスに基づいて昇降機８０を制御することによりクリアランスを制御する制御部１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ロットの処理不良を防止することができるとともに、ロット間における処理を均一化することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】薬液交換後から薬液処理部ＣＨＢ２に第２搬送機構ＷＴＲが到達した後、薬液処理部ＣＨＢ２にてロットの処理を開始した時間を計時部２７が計時し、その経過時間とオーバータイムカウントとを判断部２９が比較する。経過時間がオーバータイムカウントを超えたと判断部２９が判断すると、報知部３３がオーバータイムアラームを報知する。したがって、許容時間内にロットを薬液処理部ＣＨＢ２で処理開始できなかったことをオペレータは知ることができる。よって、ロットの処理不良を防止することができる。またオーバータイムアラームが発生しない場合には、薬液交換からロットの処理までを一定時間内に収めることができるので、ロット間における処理を均一化することができる。 （もっと読む）