【課題】洗浄後の脱脂を不要とすることができる、機械加工品の洗浄方法を提供する。
【解決手段】まず、第１洗浄工程および第２洗浄工程が行われる。第１洗浄工程および第２洗浄工程では、シリンダヘッドに洗浄液が供給されて、シリンダヘッドが洗浄される。次に、第１乾燥工程が行われる。第１乾燥工程では、シリンダヘッドにエアが吹き付けられ、シリンダヘッドに付着した洗浄液が除去される。その後、ミスト工程が行われる。ミスト工程では、第１乾燥工程で一旦乾燥したシリンダヘッドに対して、洗浄液のミストが吹き付けられる。ミスト工程の後は、第２乾燥工程が行われ、シリンダヘッドにエアが再び吹き付けられて、シリンダヘッドから洗浄液が除去される。 （もっと読む）

【課題】処理液を効率的に利用しつつ処理性能を向上させることのできる基板処理装置及び基板処理方法を提供することである。
【解決手段】
処理液を基板Ｐの表面に向けて吐出して基板Ｐの全幅にわたって処理液を吹付ける第１ノズルユニット１０と、第１ノズルユニット１０より基板Ｐの搬送方向の下流側に当該第１ノズルユニット１０と向き合うように配置され、処理液を基板Ｐの表面に向けて吐出して当該基板の全幅にわたって処理液を吹付ける第２ノズルユニット２０とを有し、相互に向き合う第１ノズルユニット１０及び第２ノズルユニット２０から吐出される処理液が基板Ｐの表面上でぶつかりあって基板Ｐの幅方向に延びる処理液の盛り上がり部分Ｍが形成されるように第１ノズルユニット１０及び第２ノズルユニット２０からの処理液の吐出方向が設定された構成となる。 （もっと読む）

【課題】フィルムに傷などの物理的欠陥を起こさないフィルム洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を供給する供給部材と、前記供給部材に形成され、走行するフィルム面に洗浄液を吹付ける洗浄液吐出口を設け、前記供給部材とフィルム面の間に洗浄液を流す洗浄部を構成したフィルム洗浄装置において、前記供給部材に、前記洗浄部を流れた洗浄液を回収する洗浄液回収口と、気体をフィルム面に供給する気体供給口を設け、前記洗浄液回収口付近の圧力がフィルムと前記供給部材が接触しない圧力以上に維持されるように、前記気体供給口からフィルム面に気体を供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より簡素な構成によってダウンフローを発生させること。
【解決手段】スピンナ洗浄装置１は、ワークを保持するスピンナテーブル３０と、鉛直方向を回転軸としてスピンナテーブル３０を回転させるモータ４２と、スピンナテーブル３０に保持されたワークに洗浄水を供給する洗浄水供給ノズル５０と、スピンナテーブル３０を収容するケーシング２０と、モータ４２に接続された羽３６Ａを備え、羽３６Ａは、モータ４２によってスピンナテーブル３０が回転する際に同時に回転し、ケーシング２０内にダウンフローを発生させる。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の蒸気洗浄方法及びその装置に係るもので、被洗浄物の蒸気洗浄に於いて、溶剤ガスの外部への流出を減少し環境に与える影響が少ない安全な蒸気洗浄を可能とするとともに溶剤の消費を減少し廉価な蒸気洗浄を可能にしようとするものである。
【解決手段】洗浄液２の上部に、被洗浄物７の蒸気洗浄を行う蒸気層５を蒸気発生部１１に接続して設け、この蒸気層５の厚みを、被洗浄物７の上下移動方向に於ける最大直径よりも小さい直径とすると共に、この被洗浄物７を洗浄液２側から上部側に蒸気層５を通過させながら、蒸気を被洗浄物７に接触して凝縮させることにより蒸気洗浄を行うものである。 （もっと読む）

【課題】処理液体を用いて基板表面に形成された膜を除去する除去装置で、ウエハ処理が中断され、ウエハ処理能力が低下し、かつ基板処理システムの動作コストが増大するのを解決する。
【解決手段】処理室４６、基板保持手段、処理液を供給するノズル６０、第１速度又は該第１速度以上の速度である第２速度で回転させる回転機構、処理液体格納容器７６を有し、処理液体を回収及び循環し、再度前記ノズル６０から供給する処理液体循環回収機構７３、処理液体を廃棄する処理液体廃棄機構、処理液体が前記基板保持手段が前記第１速度で回転するときには前記処理液体循環回収機構に、前記第２速度で回転して前記ノズル６０から前記処理液体が供給されるときには前記処理液体廃棄機構に導かれるように接続を変更する制御装置を有する。前記処理液体格納容器７６は、底部に廃液ライン１０７、壁面に前記処理液体格納容器内を洗浄するスプレーノズル１０９を有する。 （もっと読む）

【課題】ワークを治具により姿勢制御可能な洗浄装置において、省スペースで安定した治具を提供することを目的とする。
【解決手段】治具２は、外枠３と、基台１０と接続可能な接続台４と、ワークＷを保持するための支持台５と、リンク機構とを備える。リンク機構は、外枠３に一端が回転可能にジョイントされ、他端が支持台５に回転可能にジョイントされた２つのリンク６ａと、接続台４にヒンジ８ｂにより回転可能にジョイントされたロッド８ａを備えた２つのエアシリンダ８とを有する。この構成により、エアシリンダ８のロッド８ａが動作することで、リンク６ａが回転すると共に、ワークＷの中心を回転中心としてワークＷの姿勢制御をすることができる。 （もっと読む）

【課題】サンプリングした高温流体のｐＨあるいは成分を高温状態のままで測定可能な成分計測装置およびその洗浄機構を提供する。
【解決手段】主管路１から流体を取り出す配管の下流側に前記流体のｐＨあるいは成分濃度を測定する計測装置３と、前記計測装置３で測定後の前記流体を細管に通して前記細管外部を空気で冷却する空冷式熱交換器４と、前記主管路１と前記計測装置３の間の配管に洗浄液を注入する三方バルブ５と、前記三方バルブ５と接続された洗浄液注入装置６と、前記三方バルブ５を開閉して前記計測装置３へ流入する洗浄液の注入有無を制御する制御部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡易でメンテナンス作業も容易な超音波洗浄システムを提供する。
【解決手段】 超音波洗浄槽１１内の液体に洗浄容器２０の一部が接触し得るように支持する容器支持部材としてのローラ部材１３，１４を超音波洗浄槽１１外に備えてなる。従って、洗浄容器２０をローラ部材１３，１４に支持させた状態で回転させると、超音波洗浄槽１１内の液体を介して洗浄容器２０内に超音波が照射され、洗浄容器２０内の被洗浄物の汚れを除去することができる。本発明によれば、ローラ部材１３，１４が超音波洗浄槽１１外に配置されているため、ローラ部材１３，１４のシール対策は簡易でよく、メンテナンス作業も容易で、製造コスト、メンテナンスコストの低減に寄与する。 （もっと読む）

【課題】 ワーク載架用のステージに接離可能となる二重カップによる洗浄槽において、二重カップの内側カップに洗浄ノズルを付設し、内外側カップで構成される通路を、排液、又は排気用の流路とする構造であり、密封型の清浄槽である。渦状の流れをつくり、ワークに均一に洗浄液が噴射され、均一な清浄が可能となる。通路による吸引効果と、内側カップの周辺部には吸引力が生成し、渦の発生は可能である。しかし、渦発生力が弱いので、渦のトルネード効果は期待できないと考えられる。
【解決手段】 本発明は、カプセル型の開閉自在の洗浄室と、洗浄室の一方に設けたノズルと、他方に設けた吸引部と、洗浄室内に設けた回転自在のワーク支持台とで構成したカプセル型の洗浄機であり、洗浄室において、ノズルより噴射される洗浄液、洗浄水、又は空気を旋回するとともに、吸引部に誘導可能とする構成としたカプセル型の洗浄機である。 （もっと読む）

【課題】ノズルの動作を簡単に教示することができる基板処理装置およびティーチング方法を提供する。
【解決手段】記録開始指令が制御部４に入力されると、ＣＰＵ２３は、記録開始指令が入力されてからの経過時間をタイマー２５によって計測させる。さらに、ＣＰＵ２３は、ノズルの位置を検出するエンコーダ２２の出力と経過時間とをメモリー２４に記憶させる。そして、記録終了指令が制御部４に入力されると、ＣＰＵ２３は、エンコーダ２２の出力と経過時間の記憶を終了させる。記録開始指令の発生から記録終了指令の発生までのエンコーダ２２の出力は、経過時間と関連付けられて１つの動作データとしてメモリー２４に記憶される。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることのできる洗浄システムを提供する。
【解決手段】洗浄システム１０は、貯留タンク３０から洗浄部１６に洗浄液を導入する導入通路１７や、洗浄部１６内の洗浄液を貯留タンク３０に戻すための排出通路１８、吸入通路２１、吐出通路２２を備える。吸入通路２１や吐出通路２２内の流体を貯留タンク３０に圧送するポンプ２０を備える。貯留タンク３０の上壁部３１に貫通孔３９が形成される。ポンプ２０の駆動時における貯留タンク３０への流体の流入量を可変設定する変更装置を備える。流入量が多くなる態様での変更装置の作動時には貫通孔３９を介して貯留タンク３０の外部に放出される空気量より上記流入量が多くなり、且つ流入量が少なくなる態様での変更装置の作動時には上記流入量が貫通孔３９を介して放出される空気量以下になるように、貫通孔３９の開口形状と変更装置の作動態様とが設定される。 （もっと読む）

【課題】貯留した水溶液を確実に突沸させ、その突沸により被洗浄物を効果的に洗浄する洗浄装置を提供する。
【解決手段】加温手段４により洗浄槽３内の水溶液を第一設定温度まで加温後、設定条件を満たすまで減圧手段５により洗浄槽３内を減圧して水溶液を沸騰させ、この沸騰中に、減圧手段５の作動を継続したまま液相給気弁１８を開いて、洗浄槽３の内外の差圧により被洗浄物２よりも下方から洗浄槽３内の液中に外気を導入して、洗浄槽３内の水溶液を突沸させる。前記設定条件は、洗浄槽３内の水溶液が第二設定温度となるか、洗浄槽３内が第二設定圧力となるまでであり、且つ、第二設定温度は６０℃以下、第二設定圧力は２０ｋＰａ以下に設定される。 （もっと読む）

【課題】比較的大きな口径、例えば、７５ｍｍ〜１５０ｍｍの水道水配管に対し、十分な洗浄効果を得ることができる水道水配管の洗浄方法および装置を提供する。
【解決手段】水道水が流れている水道水配管１内に、炭酸ガスの注入と炭酸ガスの注入停止とを繰り返す炭酸ガスの間欠的な注入を行い、水道水配管１内に炭酸ガスの注入により炭酸ガス空間Ｓ１，Ｓ２を形成し、炭酸ガス空間Ｓ１，Ｓ２によって炭酸ガスの注入停止時に形成した水塊(Ｗｍａｓｓ)を挟むサンドイッチ構造を形成し、水塊(Ｗｍａｓｓ）が水道水配管１内を流れる際に配管の内壁面に付着および堆積した付着・堆積物に衝突して衝撃力を与え付着・堆積物を除去するようにした。 （もっと読む）

【課題】効率よく、かつ医療器具の細部分まで洗浄できる医療器具の洗浄方法および医療器具の洗浄装置を提供する。
【解決手段】医療器具にオゾンガスを接触させること、および、医療器具を洗浄液で洗浄する液体洗浄工程をさらに含むこと、また、前記液体洗浄工程で用いた洗浄液を貯水する工程を含み、前記貯水工程で貯水された洗浄液を前記液体洗浄工程で再利用することにより、前記医療器具を洗浄する。また、オゾンガスを発生させるオゾンガス発生部１６と、前記オゾンガスを利用して前記医療器具を洗浄する洗浄部１７とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を招くことなくパーティクルやミストの再付着を抑制するフォトマスクの洗浄装置を提供する。
【解決手段】処理槽１２の内側において、壁部２１の周方向に複数の第一案内翼２４を設ける。この第一案内翼２４は、その上端と下端とを周方向にずらしつつ、中央部を周方向に湾曲した曲面状に形成する。これにより、フォトマスク１９の洗浄時に供給され、フォトマスク１９の回転により壁部２１方向に移動したクリーンエアおよび処理液を、第一案内翼２４により下方に導く。また、第一案内翼２４の下方において、壁部２１の周方向に複数の第二案内翼２５を設ける。第二案内翼２５は、第一案内翼２４により導かれたクリーンエアを、処理槽１２の底部２２に接続さている排出管部１５に導く。これにより、パーティクルやミストなどを含むクリーンエアを処理槽１２から排出する。 （もっと読む）

【課題】ケミカルタンカーのステンレス製カーゴタンクの酸洗作業において、安全面、効率面で問題のある手作業による酸洗方法に替えて、タンク洗浄装置を用いて無人化、自動化による酸洗方法、及びこの自動酸洗方法に好適な高い洗浄効果を得ることができる酸洗浄剤を提供する。
【解決手段】硝酸、フッ酸、硫酸、有機酸、多価アルコール、粘性助剤、錯化合物、消泡剤を含有した構成をもつ酸洗浄剤、及びこの酸洗剤を使用してタンク洗浄装置を用いて行うケミカルタンカーのステンレス製カーゴタンクの自動酸洗方法。 （もっと読む）

【課題】洗浄ノズルの中心軸と被洗浄部との位置合わせを容易に行うことができる技術を提供することを課題とする。
【解決手段】連結手段５７は、支持穴５２を囲うようにして支持ブロック５３に設けられた複数個のピン穴６１〜６８と、これらのピン穴６１〜６８の一つに嵌合するように回転ブロック５３から突出されたピン７１とからなる。ピン７１をピン穴６１からピン穴６２に変更して連結することで、洗浄ノズル２５は矢印（１）のように移動する。同様にピン７１をピン穴６２から隣接するピン穴６３〜６８に変更して連結することで、洗浄ノズル２５は回転中心５４を中心にして一周する。
【効果】回転ブロックを回転させ支持ブロックに固定するだけで洗浄ノズルの位置が調整されるので、洗浄ノズルの中心軸と被洗浄部との位置合わせを容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロチップの性能を回復させることが可能なクリーニング法及びクリーニング液を提供する。
【解決手段】マイクロ流体デバイスに形成された流路であって、ポリマー皮膜を有する表面を有し、且つ核酸及び／又はタンパク質を含む試料が接触した流路を、２５℃において少なくとも同体積の水への溶解性を有する有機溶媒のみからなるクリーニング液、又は５０体積％以上の前記有機溶媒を緩衝液中に含むクリーニング液に接触させることによってクリーニングする、マイクロ流体デバイスのクリーニング方法。前記緩衝液のｐＨが８〜１０である前記の方法。前記緩衝液が３〜８Ｍのタンパク質変性剤をさらに含む前記の方法。前記緩衝液のｐＨが２〜４である前記の方法。 （もっと読む）

【課題】自動車部品等、ワーク表面、鋳物中子孔内部、ネジ穴内部等に残留した切粉、切削油等の異物を除去する洗浄装置であって、洗浄効率が高い。
【解決手段】開口部２を備えた洗浄室３と、洗浄室３内に設置されたワーク把持冶具４と、洗浄室３外に設置された、冶具４をサーボモータで回転駆動する駆動ユニット５と、洗浄ノズル６と、洗浄液を洗浄室３外に排出する排液口７とから構成され、洗浄室内の体積をワーク体積の５倍以下に定め、洗浄室内の流速を高める。 （もっと読む）