【課題】 ピンセットの基板への接触、試料の把持検出、試料の形状測定ができるピンセット付き走査型プローブ顕微鏡の提供。
【解決手段】ピンセット付き走査型プローブ顕微鏡は、探針部が形成された第１のアームと、第１のアームに対して開閉自在に設けられた第２のアームと、開閉駆動電圧が印加され、第２のアームを開閉駆動する静電アクチュエータと、静電アクチュエータ６が有する電気的等価回路を帰還回路として用いることにより自励発振させ、その自励発振により第２のアームを振動させる増幅器９１と利得調整手段９５を有し、第２のアームの物体への接触による振動状態の変化を検出する振動状態検出部９３とを備える。 （もっと読む）

【課題】アームが物体に接触したことを感度良く検出することができるナノピンセットの提供。
【解決手段】ナノピンセットは、開閉自在な一対のアームと、開閉駆動電圧が印加され、一対のアームの少なくとも一方を開閉駆動する静電アクチュエータ６と、静電アクチュエータ６が有する電気的等価回路を帰還回路として用いることにより自励発振させ、その自励発振によりアームを振動させる増幅器９１と、アームの物体への接触による振動の変化を検出する振動変化検出部９３とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡において、高精度な観察と、安定した把持とを両立させることができるＡＦＭピンセットの提供。
【解決手段】ＡＦＭピンセットは、三角柱部材の稜線の先端を走査型プローブ顕微鏡の探針として使用可能な第１のプローブ１０Ｂと、第１のプローブ１０Ｂに対して開閉自在に設けられた三角柱部材から成る第２のプローブ２０Ｂとを備え、各三角柱部材の所定の周面がほぼ平行状態で対向するようにプローブ１０Ｂ，２０Ｂを並置した。そして、稜線の先端で試料を走査する際の試料との干渉を防止する切り欠き部１００を、第１のプローブ１０Ｂに形成した。 （もっと読む）

【課題】挟持する力（挟持力）を容易且つ高精度に検出することができると共に、小型化を図ること。
【解決手段】電子顕微鏡観察用の試料を挟持可能なピンセットであって、所定間隔離間して隣接配置され、それぞれ対向する側の先端に試料を挟持する挟持面７１ａ、７２ａを有する一対の棒状挟持部材７１、７２を備え、一対の棒状挟持部材が、挟持面の基端側に挟持面と電気的に独立した状態で互いに対向して配された導電部７３、７４と、これら導電部間の静電容量を測定する静電容量センサ７５とを備えていることを特徴とするピンセット７０を提供する。 （もっと読む）

【課題】作業部における動作をする部分が規定の原点位置からずれた状態で作業部が取り外されることを認識して操作者に注意喚起をする。
【解決手段】マニピュレータ１０は、操作部１４と、交換自在な作業部１５とを有する。作業部１５は、制御装置５１４ａの作用下に動作する先端動作部１２と、固体識別用のＩＤを保持するＩＤ保持部１０４とを備える。制御装置５１４ａは、ＩＤ保持部１０４のＩＤを認識するとともに、作業部１５が操作部１４に接続されているか否かを判断するＩＤ認識部１２０と、先端動作部１２が規定の原点位置又は非原点位置であることを認識する原点認識部１２２と、先端動作部１２が非原点位置であると判断される場合で、先端動作部１２が操作部１４から外されたと判断されるときに取外警告を発する警告部１２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】 粒子を操作するための光トラップアレイを生成し、制御する。
【解決手段】 本発明は、レーザ光をビームレットに回折することと、（レーザ光に関して仮想のレンズとして働いて）ビームレットを収束させることとの両方が可能であり、それによって回折されたレーザビームをフォーカスレンズに転送するための複数の物理的なレンズの必要をなくす二重の機能を有する光学素子に関連する。本発明はまた、回折されないレーザ光から生じる反射・散乱の雑音の量を制限することによって、光トラップのモニタリングをより向上させることにも関連する。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電素子を個別に駆動して、各圧電素子の駆動に応じた駆動力を駆動対象に付与すること。
【解決手段】ハウジング４８内に、圧電素子５４、５５、間座５６、軸受５８、６０が収納され、軸受５８は、間座５６との当接により、軸受６０は、ロックナット６６との当接により、それぞれねじ軸５０の軸方向への移動が規制され、ロックナット６６の位置に応じた締結力が圧電素子５４、５５に付与される。圧電素子５４に電圧Ｖ１が印加されると、圧電素子５４の操作駆動に伴う押圧力がねじ軸５０を介してインジェクションピペット３４に付与され、細胞に針が挿入される。圧電素子５５に微動用電圧Ｖ０が印加されると、圧電素子５５の微動駆動に伴う押圧力が圧電素子５４、ねじ軸５０を介してインジェクションピペット３４に付与され、インジェクションピペット３の位置が微調整される。 （もっと読む）

【課題】ラゲールガウシアンビームを効率的に生成できる、ラゲールガウシアンビーム生成用回折格子としてのホログラム２次元パターンを提供する。
【解決手段】ラゲールガウシアンビーム生成用回折格子としてのホログラム２次元パターン２００は、一様な流れの中におかれた湧源から周囲に一様に湧き出す２次元完全流体の流線に基づいて作製されている。 （もっと読む）

【課題】 先端で微細加工が可能なマイクロマニピュレータを提供する。
【解決手段】 アームホルダ２に保持されるアーム３と、前記アーム３の先端に備えられたモータホルダ４と、前記モータホルダ４に固定された小型モータ５と、から構成され、前記小型モータ５の出力軸６はダイヤモンドで形成され、その先端にレーザ加工を行い、ドリル刃７を形成することにより、穴あけや切削等の微細加工が可能となり、また、ドリル刃の芯出し精度を考慮する必要が無くなり、より高精度な加工が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的はマイクロロボットなどに使用される自走機構より成る移動装置において、移動する床面状態が平面でなくとも、即ちうねり、歪曲等曲面であっても又、床面状態が平滑でなく表面粗さがあっても対応する移動装置を提供することにある。
【解決手段】 駆動された圧電素子の伸長収縮運動が確実に前脚又は後脚に伝達されるよう後脚ホルダーと中間ホルダーの両端頂部に各２個のストッパーにより固定された２枚のバネ性あるリーフスプリングが橋渡し状に配置され弾力的に接続されたことを特徴とする移動装置。 （もっと読む）

【課題】誤差運動が発生し難く、微細で正確な動作が可能なマニピュレータを提供する。
【解決手段】円筒形のマニピュレータ本体１０と、マニピュレータ本体１０に設けられたスタイラス支持手段１１と、スタイラス支持手段１１に略重心位置１２２を支持された棒状のスタイラス１２と、スタイラス１２を変位させる変位手段１３と、を備え、スタイラス支持手段１１は、弾性部材から形成される弾性支持膜１１１を備え、弾性支持膜１１１は、スタイラス１２を支持する中心部１１３と、マニピュレータ本体１０に固定された外周部１１４と、中心部１１３と外周部１１４との間に放射状に設けられ中心部１１３と外周部１１４とを連結する複数のリム１１５と、を備えるマニピュレータ１。 （もっと読む）

【課題】インジェクションピペットに対する微動動作とインジェクション動作を同一の手段で実施すること。
【解決手段】細胞に針を挿入するインジェクションピペット３４と、インジェクションピペット３４の位置を制御するＸＹ軸テーブル３６およびＺ軸テーブル３８を備え、インジェクションピペット３４を支持するＺ軸テーブル３８に微動機構４４を内蔵し、微動機構４４は、印加電圧に応じてインジェクションピペット３４の長手方向に沿って伸縮する圧電素子５４と、圧電素子５４に対する印加電圧を制御する制御回路を有し、圧電素子５４は、微動用電圧の印加に応答してインジェクションピペット３４をその長手方向に沿って微動駆動し、インジェクション用電圧の印加に応答してインジェクションピペット３４に針を挿入するための押圧力を付与する。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡観察画像視野下で顕体試料とマイクロプローブの針先を観察しながら、半導体集積回路などの多層微細配線深層部へダイレクトに電気的特性の測定を行ない不良箇所の解析を行なうにおいて、絶縁膜を効率的に除去し、測定対象箇所へのプローブの移動と位置決めを効率的に行ない、同時に操作性および確実性に優れた微細作業を行なうことのできるマニピュレーション装置の提供
【構成】局所プラズマ機構、および該局所プラズマ機構の先端部であるプラズマキャピラリー管を把持するプラズマキャピラリー管位置決めステージ、試料ステージおよび１つまたはそれ以上のプローバがプローバベース上に載置され、該プローバベースが顕微鏡の視野下に着脱自在に装着できる構造を有することを特徴とする顕微鏡微細作業用マイクロマニピュレーション装置である。 （もっと読む）

【課題】 本発明は第1ホルダ(40)内の第1位置から第2ホルダ(10)内の第2位置へ、及び/又はその逆へ試料(2)を搬送する搬送機構に関する。
【解決手段】 各ホルダ(10,40)は脱着可能な状態で試料を保持するように備えられ、ホルダ間での試料の搬送は、第2位置とは異なる搬送位置で行われる。試料がホルダ(10,40)間を搬送されるとき、機械的案内機構は、第2位置での相互精度よりも高い相互精度でホルダを位置設定し、かつ試料が第2位置にあるときには、ホルダ(10,40)のうちの少なくとも1は位置設定されない。
機械的案内機構は追加部分(50)を有して良い。
ホルダ(40)のうちの少なくとも1は多数の試料を保持するように備えられて良い。 （もっと読む）

【課題】ナノピンセットユニット取り付け作業中のナノピンセット破損を防止することができるナノピンセット保護用治具を提供する。
【解決手段】
ナノピンセット保護用治具の取付アダプタ７０Ａにガイド溝７２Ａを設け、保護カバー８０Ａにガイド突起部８４Ａを設ける。そして、取付アダプタ７０Ａのガイド溝７２Ａに保護カバー８０Ａのガイド突起部８４Ａを嵌合させながら保護カバー８０Ａを移動することによって、保護カバー８０Ａを回転し、斜め横方向に移動することができ、保護カバー８０Ａをナノピンセットユニット１１に接触させないで外すことができる。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡の真空中、電子線下で生物試料に微細操作を行えるようにする。
【解決手段】電子顕微鏡の真空の試料室内２で微小試料を掴んで微小な回動、移動、開放動作が可能なマニピュレータ１０を備える。マニピュレータ１０は並進３自由度型である。マニピュレータ１０を光軸に対して位置合わせする位置調整機構５と、試料室内にあるマニピュレータの微小な針先合わせを電子顕微鏡モニタを観察しながら外部から操作する針先合わせ機構１２と、電力供給用及び電気信号検出用のリード線を試料室の内から外へ気密性を保持して引き出すリード線引出し孔９５とを備え、これらの位置調整機構，針先合わせ機構の操作部及びリード線引出し孔とが一つのフランジ７１に集約的に配設され、このフランジが試料室の壁部の取付孔９６に気密封止により取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】例えば微小機械部品などの被把持物を、より良好に把持することが可能な把持装置を提供する。
【解決手段】把持装置１０は二つのフィンガー部材４６、４６と、フィンガー部材４６、４６を互いに近接する方向に付勢する弾性梁３８、３８と、弾性梁３８、３８の付勢に抗して、フィンガー部材４６、４６を互いに離間させるスピンドル３６を備えたマイクロメータヘッド２２とを有する。マイクロメータヘッド２２のスピンドル３６が移動することによって、弾性梁３８、３８の押圧面５０、５０が押圧されると、弾性梁３８、３８が弾性変形して、フィンガー部材４６、４６の先端部５６、５６が互いに離間する。 （もっと読む）

【課題】把持指開閉の微調整可能で操作性の高いマイクロマニュピュレータを提供する。
【解決手段】細胞ハンドリングシステムは、把持アクチュエータ７１の駆動力により２本の把持指の先端部を近接させて細胞を把持するハンドリング部と、ハンドリング部をＸ、Ｙ及びＺ方向に移動させるＸ、Ｙ、Ｚ方向アクチュエータと、ポテンショメータ９ａを有し、アクチュエータ７１の駆動信号を入力するための第１コントローラと、Ｘ、Ｙ、Ｚアクチュエータの駆動信号を入力するための第２コントローラと、ポテンショメータ９ａから出力される電圧とホール素子７１５ａから出力される電圧との差がゼロとなるようにアクチュエータ７１の駆動を制御する把持アクチュエータ制御部７０と、第２コントローラからの入力に応じたパルス数により、Ｘ、Ｙ、Ｚアクチュエータの駆動を制御するＸ、Ｙ、Ｚアクチュエータ制御部と、を備える。 （もっと読む）

広範囲のサイズのマイクロ物品およびナノ物品を把持できかつ二軸の力の検出能力を備えているマイクログリッパの設計およびマイクロファブリケーション法を提供する。グリッピング運動は、１つ以上の電熱アクチュエータにより引起こされる。ｘ方向およびｙ方向に沿う集積形の力センサは、グリップ力並びに法線方向に沿ってマイクログリッパアームの端部に加えられる力を測定でき、両方ともナノニュートンより小さい分解能を有する。マイクロファブリケーション法は、アクチュエータおよび力センサのモノリシック集積を可能にする。 （もっと読む）

【課題】１本のプローブでも容易に試料の採取が行うことができるマイクロマニピュレータを提供する。
【解決手段】プローブ７は、中心部１５と、中心部１５を同心円状に覆う外周部１６とからなり、中心部１５の先端１７を外周部１６から露出させている。中心部１５はガラス１５などの絶縁体で形成されており、電源９に接続されて、電源９に接続されて選択的に正極性もしくは負極性の電圧が印加されることで静電気を帯びる。また、外周部１６は、鉄１４などの導電体で形成されており、アース接続されて電気を帯びない状態となる。したがって、半導体ウエハ２上の試料３を採取した時に、試料３が外周部１６の表面には吸着せず、先端１７に吸着する。 （もっと読む）