【課題】 従来、工場等の製造現場で、品物、ワークの物を、確実、かつ安定的に挾持、搬送できる機具として、万能チャックがある。万能チャックは、大小の物を、挾持、搬送する手段として活用されている。しかし、異形、歪等の如く、特殊な形状の物を、挾持、搬送する手段として、希望する器具がないのが現況である。
【解決手段】 作業機械のアームに取付ける本体に、対で枢支した第一アームと、第一アームを駆動するモータと、第二アームとを駆動するモータと、第三アームを駆動するモータと、垂下杆と、垂下杆の先端に設けた挾持具で構成した万能チャックで、第一〜第三アームを、本体と、第一アーム、第二アームに移動可能に構成し、第一〜第三アームの移動を、本体と、第一アーム、第二アームに設けたモータと、モータの駆動で回転する移動機構とする万能チャックである。 （もっと読む）

【課題】ワークが保持される状態において、ワークの姿勢の安定性を高めつつワークと他の部材との接触を防止するチャック装置を提供する。
【解決手段】ワークＷに対向する保持面３２に開口する旋回室３３を有した保持部材１２を備え、旋回室３３に流入した圧縮空気の旋回流によって旋回室３３とワークＷとの間に負圧を形成するとともに、旋回室３３から流出した圧縮空気によって保持面３２とワークＷとの間に正圧を形成することによって、支持台４０に支持されたワークＷを浮上させて保持部材１２から保持距離ＨＤだけ離れた保持位置でワークＷを保持するチャック装置１０において、ワークＷの浮上方向において保持面３２から保持位置よりも保持部材１２の領域である規制領域に配置されるとともに、ワークＷとの接触によって浮上方向におけるワークＷの進路を規制領域の支持台４０側に規制する浮上規制部材４５を備えている。 （もっと読む）

【課題】被搬送物Ｗがロボットハンド９から落下することを回避して、被搬送物Ｗの搬送作業の煩雑化を十分に抑えること。
【解決手段】ハンド本体１１に設けられかつ真空圧を利用して被搬送物を吸着する複数のベローズ型吸着パッド１９と、吸着状態における各ベローズ型吸着パッド１９の軸長を測定する軸長センサ２９と、各軸長センサ２９から測定された各ベローズ型吸着パット１９の軸長に基づいて、搬送中における被搬送物Ｗの姿勢を判定するコントローラ３１と、を備えたこと。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の移送時に、基板表面を損傷することなく安全に移送するための基板移送ロボットを提供すること。
【解決手段】基板（１１）を移送するためのロボットアーム（１０）と、当該ロボットアーム（１０）から前記基板（１１）を浮上させる浮上部（２０）と、当該ロボットアーム（１０）に装着されて前記基板（１１）の重量を支持する基板支持部（３０）とを含み、ガラス基板の移送時に、基板表面を損傷することなく安全に移送するための基板移送ロボットが提供される。 （もっと読む）

【課題】ベローズ型吸着パッド１９による吸着状態の安定化を図りつつ、ベローズ型吸着パッド１９の吸着力を向上させること。
【解決手段】パッド本体２７にベローズ３１が一体形成され、ベローズ３１は、径方向外側へ突出した複数の山部３３と径方向内側に窪んだ複数の谷部３５を交互に有し、パッド本体２７の軸心方向へ伸縮可能であって、ベローズ３１の内部がパッド本体２７の接続孔２９に連通し、ベローズ３１の各山部３３の内側にワッシャ３９が密着して配設されたこと。 （もっと読む）

【課題】ワークを保持するために装置が必要とする空間を、保持面が移動する方向において縮小する非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】非接触搬送装置１０は、ワークＷを保持する保持部材１２と保持部材１２が装着される装着プレート１１とを有している。保持部材１２は、ワークＷに臨む流出面１２ａと、流出面１２ａに開口する旋回室と、旋回室に圧縮空気を導入する導入孔とを有している。一方、装着プレート１１は、相対向する装着面１５ａと裏面１５ｂとを繋ぐ外側面１５ｃを有するプレート本体１５と、気体供給源１３からの圧縮空気が流れる気体流路と、気体流路の経路上に設けられ装着面１５ａに開口し、該気体流路と保持部材１２の導入孔とが連通するかたちに保持部材１２が嵌入される嵌入孔とを有している。装着プレート１１の気体流路には、プレート本体１５の外側面１５ｃに設けられた供給ポート１９を介して圧縮空気が供給される。 （もっと読む）

【課題】爪を有するハンド部でワークを把持し移動させてパレット上に整列積載するパレタイズ装置において、ワークの整列時にハンド部を引き抜く動作を不要として高速にパレタイズ可能とする。
【解決手段】本装置は、ワークＷを把持するハンド部２と、ハンド部２を移動させ、ワークＷを順次搬送してパレット７に整列して積載するアーム部３と、を備え、ハンド部２は、ワークＷを把持する長爪２１および退避爪２２と、退避爪２２を退避させる退避機構と、を備えている。アーム部３は、爪２１，２２によってワークＷを把持したハンド部２を移動させてワークＷをパレット７上に移動させ、ハンド部２がワークＷを整列させる方向ｘ１の前方側にある退避爪２２を退避機構によって退避させ、前記方向ｘ１の後方側にある長爪２１によってワークＷを押してワークＷを整列させる。整列時に退避爪２２が退避するので、ハンド部２を引き抜く必要がない。 （もっと読む）

【課題】合紙とガラス基板等の板状体を交互に積層してなる積層体を開梱する場合において、周辺環境による合紙折れ曲がり面の状態変化によっても、合紙の吸着不良を発生させずに、合紙除去可能な合紙除去装置を提供する。
【解決手段】合紙と基板が交互に積載され、前記合紙がガラス基板よりも大きく、少なくとも1辺に前記合紙吸着部を有した積層体から、前記合紙と前記基板を１枚ずつ交互に取り出す開梱装置を構成する、前記積層体から前記合紙を複数の吸着パットで真空吸着して取り出す合紙取出ロボットを有する合紙除去装置において、前記合紙の吸着面に対して基板に向かって縦に、少なくとも２個以上の吸着パットを複数列備える合紙取出ロボットを有する。また、複数の前記吸着パットが、個々の真空配管に電磁弁と圧力計とを有しており、予め定められた吸着圧に達しない前記吸着パットの個々の真空引きを停止する機能を有する。 （もっと読む）

【課題】アンパッカー装置による素ガラス投入において、合紙が外れることを防いで動作異常のないアンパッカー装置を提供する。
【解決手段】素ガラス基板と合紙が交互に積み重ねられたデンスパックから素ガラス基板を取り出すアンパッカー装置であって、素ガラス基板を真空吸着する素ガラス基板吸着手段と、合紙を真空吸着する合紙吸着手段と、ガラス基板吸着手段を駆動する駆動手段Ａと、合紙吸着手段を駆動する駆動手段Ｂと、駆動手段Ａと駆動手段Ｂを制御する制御手段と、を備え、更に、合紙吸着手段には、ミストを噴射するミスト噴射ノズルと、合紙を押し当てる加熱された金属バーと、を備えたことを特徴とするアンパッカー装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数の基板を吸着するための基板吸着ユニットおよび基板吸着アセンブリに関する。
【解決手段】本発明は、複数の基板を吸着するための基板吸着ユニットおよび基板吸着アセンブリを提供し、基板吸着アセンブリは、固定フレームと、複数の基板吸着ユニットとを含む。各基板吸着ユニットは、各基板に対応して間隔をおいて固定フレーム上に固設され、各基板吸着ユニットは、真空装置に空圧的に接続し、本体と吸着部とを含む。本体は、真空装置に空圧的に接続し、吸着部は、本体の末端に対称的に設けられ、本体を介して真空装置に空圧的に接続し、基板のいずれかを均一に吸着するために用いられる複数の吸着部材を有する。 （もっと読む）

【課題】ベルヌーイチャックで基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかなものとしながら、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なって、非接触状態での基板の移載を高速度で能率よく行なえる移載装置を提供する。
【解決手段】パラレルメカニズムのハンド部に、基板を非接触状態で吸引保持するベルヌーイチャックと、基板を位置決めする複数個のガイド体とを設ける。基板を吸引する際には、吸引開始位置におけるベルヌーイチャックをハンド部で位置保持して、ガイド体が基板の外郭線の外に位置する状態にして基板を吸引保持する。吸引保持された基板を、ノズル穴から吹き出される空気流で一方向へ旋回させ、旋回変位する基板の辺部をガイド体で受け止めて位置決めする。以上により、基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかにできる。さらに、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なえる。 （もっと読む）

【課題】基板を吸着パッドにより下側に保持して搬送し、基板を真空吸着して保持するワークステージ上に載置するための基板搬送アームにおいて、搬送アームの移動中に基板が吸着パッドから外れたとしても、簡便な手段により落下することを防止する。
【解決手段】複数の吸着パッド１を備え、基板を真空吸着し下側に保持して搬送する基板搬送アーム１０において、回転軸部により回転可能に取り付けられた腕部と、該腕部に取り付けられ該周縁の吸着パッド１の下側に突出する捕手部と、該腕部の先端に位置する滑走部からなる、一対の落下防止具２０、２０が、前記複数の吸着パッド１のうち、周縁に位置する吸着パッド１の一部に隣接して配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 バンパなどの湾曲した成形品を確実に吸着することができる吸着装置を提供する。
【解決手段】 シリンダ部材１１と、シリンダ部材１１に嵌挿するピストン部１３と、ピストン部１３から延設され吸引孔１４を形成するピストンロッド１５と、ピストンロッド１５とシリンダ部材１１の先端部との間に嵌合されシリンダ室１０と外部を連通する開口３２を有するロッドカバー１７と、ロッドカバー１７とピストン部１３の間に縮装された弾性部材１８と、ピストンロッド１５の先端に装着されたバキュームカップ１９を備え、ピストン部１３には、エア供給穴２６と、このエア供給穴２６の底部から穿設したエジェクタ孔２７と、このエジェクタ孔２７に連設したエア噴気孔２８と、このエア噴気孔２８の底部と吸引孔１４を連通する連通路２９が設けられ、エジェクタ孔２７の径が連通路２９の径より小さく、連通路２９の径がエア噴気孔２８の径より小さい。 （もっと読む）

【課題】 パラレルロボットにより処理されるワークのピッチを可変にするためのワークピッチ可変装置を提供する。
【解決手段】 各々の下端が連結部３に連結された複数のパラレルリンク対１４、１５、１６によりワークＷに対して処理を行うパラレルロボット１において、処理すべきワークＷのピッチを可変にするためのワークピッチ可変装置４を構築する。この場合に、上下方向に延びる回転可能な回転軸４０と、回転軸４０の下端に連結され、水平方向に延びるレバーアーム４１と、レバーアーム４１の下方において水平面内の一方向に移動自在に設けられ、ワークＷを吸着保持するための複数の吸着パッド５０、５１、６０、６１、７０、７１、８０、８１と、各吸着パッドとレバーアーム４１との間をそれぞれ連結する複数の連結バー４７Ａ、４８Ａ、４７Ｂ、４８Ｂとを設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大幅に搬送サイクルタイムを向上させた搬送システムを提供するものである。
【解決手段】ワーク１０を直線的に搬送する搬送システム１であって、駆動機構がリニアモータ２から構成され、前記リニアモータ２の可動子５上に前記ワーク１０を着脱する吸引パッド７を昇降可能にする上下機構６を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ウエハ等の脆弱性を帯びた板状部材を搬送対象とした場合の当該板状部材にストレスを与え難くするとともに、ウエハの割れ原因を効果的に回避可能な搬送装置を提供すること。
【解決手段】半導体ウエハＷの下面側に位置してこれを支持する支持手段１１と、この支持手段１１を移動可能に支持する移動手段１２とを備えて搬送装置１０が構成されている。支持手段１１は、第１アーム形成部材２４と第２アーム形成部材２５とにより一部開放可能な閉ループを形成可能な支持アーム２０と、この支持アーム２０に設けられた吸引手段２１とを含む。第２アーム形成部材２５の先端２５Ｂ側は、接離可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】平置きされた種々の形状をなす部材を倒立させ次の工程へと円滑に受け渡しすることのできる部材ハンドリング装置を提供すること。
【解決手段】倒立用ロボットの第２アーム先端に、一平面に複数の電磁石３６の配設されたマグネットハンド３０を設ける。形状の異なる複数の部材のうち最も幅狭な部材よりも小幅な吸着面に形成された電磁石が一平面に複数配設されており、前記部材の形状または重量に応じて選択的に該複数の電磁石のうちの一部または全てを使用して該部材を吸着する。 （もっと読む）

【課題】保持対象物を載置する区画に対して、保持対象物を載置又は取り上げる際の、当該区画に対する保持対象物の位置決めの許容誤差を大きくすることができるチャッキング装置、チャッキング方法、搬送装置、及び搬送方法を提供する。
【解決手段】チャッキング装置は、旋回流発生室と、旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した吸引保持面と、を有し、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、旋回流発生室の端から側方の吸引保持面上に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持パットを備え、吸引保持パットによって保持対象物をチャッキングするチャッキング装置であって、第一の吸引保持面を備える第一の吸引保持パットと、第二の吸引保持面を備え、第二の吸引保持面の面方向が、第一の吸引保持面の面方向と交差する方向である第二の吸引保持パットと、を備える。 （もっと読む）

【課題】位置検出センサーを設けるたり、位置ズレ量を求めたり、位置補正をしたりすることによる、費用増加や搬送時間の増大をきたすことなく、保持対象物又は搬送対象物を、搬送装置や保持対象物又は搬送対象物の着座位置に対して位置決めすることができる吸引保持ハンド、搬送装置、保持方法、着座方法、及び搬送方法を提供する。
【解決手段】吸引保持ハンドは、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持ハンドであって、旋回流発生室が開口しており、水平方向に対して傾いている吸引保持面と、傾いた吸引保持面における鉛直方向において低い側に配設された、吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への保持対象物の移動を規制する規制部材と、吸引保持面及び規制部材を支持する支持部材と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの位置や姿勢にばらつきがある場合でも、ワークと干渉することなく、ワークに治具を正確に取付け／取外しすることができる治具用ロボットハンドとこれを用いた治具の取付け／取外し方法を提供する。
【解決手段】ワーク１に治具８を取付け／取外しする治具用ロボットハンド１０。ワーク１又はこれに固定された固定部材５に設けられた嵌合孔７と嵌合する嵌合部分１２ｂを先端部に有し、嵌合部分１２ｂと嵌合孔７との嵌合により、治具の取付け／取外し方向にその軸線が位置決めされる円筒形のガイドロッド１２と、搬送ロボット９のハンド取付部９ａに取り付けられ、ガイドロッドの末端部１２ｅをガイドロッドの移動及び揺動に追従可能に保持する追従機構１４と、治具８を把持／開放可能な把持装置１６と、把持装置をガイドロッドの軸線に沿って昇降させる昇降装置１８とを備える。 （もっと読む）