【課題】 構造が簡易で、搬送時に搬送対象とする基板に、他の基板が張り付かないような構造の搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置１は、基板３１を真空吸着する吸着パッド、基板３１を押圧する押し棒７、押し棒７を駆動するエアシリンダ１７、エアシリンダ１７および吸着パッドに接続された真空発生器１５を有している。
搬送装置１を用いて基板３１ａを搬送する場合は、まず、吸着パッドを、基板３１ａの上面に接触させる。
次に、真空発生器１５にエアを供給して負圧を発生させ、発生した負圧により、吸着パッドが基板３１ａを真空吸着する。
吸着パッドが基板３１ａを真空吸着すると、基板３１ａを持ち上げつつ、真空発生器１５より排気されたエアを用いて、エアシリンダ１７により押し棒７を移動させて基板３１を押圧、変形させ、基板３１ａと接触していた基板を剥離する。 （もっと読む）

【課題】熱などの諸要因によって被保持面が変形した被保持体を、より確実に保持した状態で搬送することができる搬送装置、および搬送方法を提供すること。
【解決手段】被保持物の被保持面に対して保持面を当接させて前記被保持物を保持した状態で搬送する搬送アームＡにおいて、該搬送アームＡに、ウエハ吸着孔６が設けられたウエハ支持部２を設けるとともに、該ウエハ支持部２をウエハ支持部２の基端部２ａを中心に所定の幅だけ回動自在に構成した。 （もっと読む）

【課題】ウェーハと一体で操作される保持具を使用する際、簡単な操作にて保持具を保持することができる保持装置を提供する。
【解決手段】保持装置であるチャック１上面にウェーハ４を載せた平板状保持具３を設置した場合、平板状保持具３の端部近傍に設けられた吸引用配管５の吸入口５ａに当接する部分にベローズ６を備え、該ベローズ６はチャック１の上面の端部近傍に設けられた穴１ａの底面にその底面６ａが設置されており、穴１ａの底面からはさらに真空ポンプ（不図示）に連結される配管７ａが設けられ、チャック１の上面の中央には、多孔質アルミナ製の円盤１ｂが、通常のアルミナ製のチャック本体１ｃにはめこまれ、円盤１ｂの底部はチャック１の内部に設けられた中空部１ｄに露出し、中空部１ｄの底部からは円盤１ｂを介して平板状保持具３を真空吸着するための配管７ｂが真空ポンプに連結されている。 （もっと読む）

本発明は、熱可塑性樹脂材料のタイプの適切な材料から形成されたコンパクトユニットの形態の本体(１)を備えるツールに関するものである。本体(１)は、できる限り吸引カップ(２)に近接して真空発生器を配置するよう構成されている。本体１は、カートリッジ(３)の形態の真空発生器を収容するための穴であって、真空チャンバを規定し、かつカートリッジ(３)の入口に対応する側において圧縮空気供給部と連通しており、かつ他側において、すなわち、カートリッジ(３)の出口に対応する側において、消音器の形態の膨張チャンバ(３９)と連通している穴と、一つ以上のキャビティおよび／または開口部を備える、真空チャンバ(４４)と吸引カップ(２)との間に非常見に次回内部経路と、を備えている。
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【課題】シンプルな構造の汎用ハンドリング治具を提供する
【解決手段】駆動源によりＹ方向にスライド伸縮可能な第１サーボ軸１１と、駆動源によりＺ方向に進退可能な第２サーボ軸１２と、第２サーボ軸１２を第１サーボ１１に連結する解除可能な従動装置１３と、Ｙ方向の任意の位置において第２サーボ軸１２を固定するためのロック装置１４と、第１サーボ軸１１に設けられてＹ，Ｚ方向の双方と垂直をなすように突出形成される第１，第２クランプピンＣＬ１，ＣＬ２と、第２サーボ軸１２に設けられてＹ，Ｚ方向の双方と垂直をなすように突出形成される第３クランプピンＣＬ３とを有しており、第２，第３クランプピンＣＬ２，ＣＬ３には、ワークのロケート穴に当接して剛性反力を受けた第２，第３クランプピンＣＬ２，ＣＬ３が当該剛性反力に従って移動することを許容するロック可能な第１，第２倣い装置がそれぞれ設けられていることを特徴とするハンドリング治具。 （もっと読む）

【課題】構造の簡素化を図り、製造コスト及びメンテナンスコストの軽減を実現し得る木材搬送装置を提供する。
【解決手段】木材２の長手方向に離間した少なくとも２つの部位を個別に保持する保持手段８を備え、当該保持手段８は、前記木材２をその長手方向と直角な方向から挿入可能な間隔で配設されると共に互いに平行を成す一対の棒状の保持部材１３，１３を有し、当該一対の保持部材１３，１３を、各保持部材１３，１３に平行な軸線Ｙを中心に一体的に回動可能に構成した。 （もっと読む）

【課題】ワークをチッャクするチャック装置において、ワークを任意の姿勢で取り置きする。
【解決手段】本体基板１１に固定された固定チャックアセンブリ１２と、固定チャックアセンブリ１２への進退方向にスライドする移動チャックアセンブリ２２とを備え、各チャックアセンブリ１２，２２は、周方向に等間隔に配置され先端からシリンダブロック５０のボア５１の中に差し込まれる３本のチャックアーム１６，２６と、ボア５１の内面に接してボア５１の内面を押圧するチャックツメ１７，２７と、各チャックアーム１６,２６の本体基板側端を径方向にスライド可能に支持する支持部と、各チャックアーム１６，２６を径方向に駆動する空気アクチュエータを備える。 （もっと読む）

【課題】ねじれ紐式アクチュエータを複数組備えた義手用アクチュエータユニットにおいて、駆動機構部を含む複数のねじれ紐アクチュエータを空間的に効率よく配置することができる構造を提供する。
【解決手段】ねじり紐アクチュエータは、２本の紐を互いにねじり合わせた構造のねじれ紐１と、ねじれ紐１の基端側に接続された駆動機構部２０と、ねじれ紐の先端側に接続されたスライド部材３２とを備え、駆動機構部の作動に伴いねじれ紐１を構成する２本の紐のねじれが強められたり緩められたりすることによりねじれ紐１の長さが変化し、その結果、スライド部材３２がねじれ紐１の長手方向に変位する。複数組の長尺状のねじり紐アクチュエータが、略円筒形状の周方向に沿って並ぶように、かつ、各ねじり紐アクチュエータの長手方向が略円筒形状の軸方向に沿うように配置されている。 （もっと読む）

【課題】積み重ねられた複数の基板の最上層の基板をその下層の基板から容易に剥離して引き上げることができる基板移送方法を提供すること。
【解決手段】多数枚積層されるガラス基板積層体８から最上層のガラス基板３を取り出して移送するに際し、最上層のガラス基板３の片隅部２０を初めに吸引して引き上げ、その片隅部２０を下層の基板３より剥離し、次に、その片隅部２０を剥離した状態で、ガラス基板３の剥離した箇所に近接した部位２４を吸引して引き上げ、その吸引箇所を下層のガラス基板３より更に剥離する。そして、これを維持した状態で、ガラス基板３の残りの部位を吸引して引き上げ、ガラス基板３全体を下層のガラス基板３より剥離して取り出す。 （もっと読む）

【課題】 シリンダ５の推力によらずにワークＷ狭持位置を確保可能なクランプ。
【解決手段】 シリンダ５、シリンダ５が固定される基台部４と、シリンダヘッド５２に固定されワークＷを狭持する可動狭持部２１を有する可動クランプ把持部２と、一端にワークＷを狭持する揺動狭持部３４を形成し他端に倣いローラ３３を設け中間部３１には基台部４と係止可能な揺動基部３２を形成する揺動クランプ把持部３と、シリンダヘッド５２に固定され揺動クランプ把持部３をガイドする倣いガイド溝６１を施した倣いガイド６とからなり、
倣いガイド溝６１は、シリンダヘッド２の伸縮方向と角度を有して設ける傾斜部６１および同方向と平行に設ける平行部６３とから形成され、倣いローラ６３がシリンダヘッド５３の伸張に伴って倣いガイド溝６１の傾斜部６２に案内された後平行部６３に案内される。 （もっと読む）

【課題】小型化および低コスト化を可能とするロボットハンドを提供する。
【解決手段】ロボットハンド１は、ベース２と、フィンガー６〜８と、それぞれ同構成からなる一軸スライダー３〜５とを備える。そして、一軸スライダー３は、位置制御部３１と、従動支持部３２２とを備えている。位置制御部３１は、一方向に延伸するレール３１１と、レール３１１に沿って移動可能にレール３１１に支持される移動部３１２と、レール３１１における移動部３１２の位置を制御する駆動部３１３とを有する位置制御部３１とを有し、従動支持部３２２は、移動部３１２に従動し、フィンガー６が取り付けられ、フィンガー６を支持する。 （もっと読む）

【課題】 反った基板を出し入れしたり温度変化により基板が形状変化したりすると真空ピンセットの吸着面が基板を傷つけたり、基板の脱着時に汚れを付着したりして、基板から形成される半導体素子等の歩留まりや信頼性を低下させていた。
【解決手段】 板状体７の先端側が二股状に分岐し、板状体７の先端部および分岐部の各表面の少なくとも３カ所に基板８を吸着する吸着部３を備えるとともに、吸着部３と連通する吸引路４を内設してなる真空ピンセット１において、吸着部３は外側面が吸着面３ａに向かって狭まっており、吸着面３ａの輪郭が曲線であるものとする。吸着面３ａと基板８との接触面積を減少させられるので、基板８を汚染しにくくなる。併せて、吸着面３ａの輪郭が曲線であることから、基板８と接触したとしても線接触にならず点接触となるため、基板８を傷つけるおそれを少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】複数の把持対象物を同一のハンドで把持できるロボットハンドであり、大きさの異なる複数種類の把持対象物を把持する際に、小さい対象物を把持する際も周囲との干渉を防止できるロボットハンドを提供する。
【解決手段】一対の指３，４及び６，７をそれぞれ開閉し、把持対象物を指で把持可能な把持機構１，２を備えると共に、上記把持機構１，２間の相対位置を変更する相対位置変更用駆動機構９を備えたロボットハンドであって、把持機構１，２は、一対の指と上記一対の指を支持する支持部とで形成される平面ＰＢが、把持機構１，２の各開閉方向Ａ、及び相対位置変更用駆動機構９による把持機構１，２の移動方向Ｃに沿った面ＰＡに対し交差するように並んだ構成とする。 （もっと読む）

【課題】 複数種のワークに対応可能であり、特に長尺ワークの搬送についても特別の保持機構を必要としないワーク供給搬出装置を提供する。
【解決手段】 ワーク搬入位置Ｂの未加工ワークｗ１を工作機械１のワーク加工エリアＡに供給するとともに、該ワーク加工エリアＡの加工済みワークｗ２をワーク搬出位置Ｃに搬出するワーク供給搬出装置３において、支持部材４によって前記ワーク搬入位置Ｂと前記ワーク加工エリアＡとの間及び該ワーク加工エリアＡと前記ワーク搬出位置Ｃとの間で移動可能に支持されたベース部材５と、該ベース部材５に支持され、ワークを把持可能に構成された複数組のワークハンド８，９と、該各ワークハンド８，９同士の間隔をワークの性状に応じて可変とするワークハンド可変機構１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板にかかる応力を抑制しつつ確実に吸着保持できるようにする。
【解決手段】外観検査装置１は、基板吸着装置として板金１５に固定された３つの吸着部群１６Ａ〜１６Ｃを備える。吸着部群１６Ａ〜１６Ｃはガラス基板Ｗの搬送方向に並んで配置されており、各々が３つの吸着部１８Ａ〜１８Ｃを備える。吸着部１８Ａ〜１８Ｃは、ガラス基板Ｗの裏面に吸着可能で、首振り動作が可能な吸着パッド２２が１つずつ設けられている。最も中央にある吸着部群１６Ｂの吸着部１８Ｂは、上方に押し付け部３３が配置されている。押し付け部３３は補助パッド３５を降下させてガラス基板Ｗを吸着部１８Ｂに押し付ける。 （もっと読む）

【課題】基板の予備位置決め機構を搬入ステージ、露光ステージに設置することなく、露光ステージに搬送する前に基板の予備位置決めを行うことができ、ピンの設置位置の調整も簡単な基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】前記搬入ステージ３０上の基板Ｗの端面を押動して予備位置決めを行う予備位置決め機構２と、この予備位置決め機構を支持本体１２により支持すると共に、予備位置決めされた基板を吸着して保持し前記露光ステージ４０に搬送する搬送機構２０とを備え、前記予備位置決め機構は、前記支持本体に支持された駆動手段６と、この駆動手段により駆動して前記基板の端面を押動する押動手段２とを有し、前記駆動手段は、円筒形の磁気軸体７と、この磁気軸体を軸周りに回動させる回動手段８と、この回動手段により回動する磁気軸体の周面に対面させて設けた直線状の第１長尺磁気体９Ａおよび第２長尺磁気体９Ｂと、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】ワークの加工装置又は検査装置において、前記フィルム状ワークを２箇所で把持して、Ｘ方向及びＹ方向に加えて回転方向の位置決めもすることができ、小型化及び低コスト化が可能なワーク把持位置決め装置及び把持装置を提供する。
【解決手段】駆動部は、Ｙ方向に延びる１対の平行なＹガイド５，１２と、Ｙガイドに沿って移動可能のＹ台座２１，３１と、Ｙ駆動部材６，１３と、Ｙ台座２１，３１上に設けられＸ方向に延びるＸガイド２，９と、Ｘガイドに沿って移動可能のＸ台座２２，３２と、Ｘ駆動部材３，１０と、を有する。把持部１，８は、ワークの一方の面に接触してこれを支持する基部と、ワークの他方に面側に設けられ水平軸を介して揺動可能な爪部材と、この爪部材を揺動させる爪駆動部と、を有し、爪部材は、爪駆動部により基部に向けて揺動したときに基部との間でワークを点で把持する。 （もっと読む）

改善された非接触型吊上げツールを用いてガラス基板を搬送する方法。非接触型吊上げツールはガラス基板にかかる圧力差を生じさせるためにベルヌーイ効果を用いる。発明のベルヌーイツールは高められた保持能力すなわち吊上げ能力を有し、ツールがガラス基板面の平面に対して傾けられた場合の、ツールとガラス基板の間の接触の機会を減じる。
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【課題】ワークとハンドとの相対位置が一定にならない場合でも、この把持したワークの位置や姿勢を高精度で制御できるワーク搬送システムを提供すること。
【解決手段】組立てシステム１は、ミラー６０を把持するハンド１２１と、このハンド１２１の位置および姿勢を変化させるアーム１２２と、把持されたミラー６０をセンシングして、このセンシングしたデータを出力する第２のマニピュレータ１３と、これらを制御する制御部７０と、を備える。制御部７０は、ミラー６０の搬送経路についてのティーチングデータを予め記憶しておき、センシングデータに基づいて、ミラー６０の位置および姿勢を実測データとして生成し、ミラー６０の搬送中、ティーチングデータと実測データとを照合してずれ量を算出し、この算出したずれ量に基づいて、ミラー６０の位置および姿勢がティーチングデータに略一致するように、アーム１２２を制御する。 （もっと読む）

【課題】円筒度が十分でないワークでも、強固にワークを把持することのできるワーク把持装置を提供すること。
【解決手段】回転する主軸３に供給する流体によって軸方向に移動する押圧部材２１及び該押圧部材２１連結された押圧体２０とからなる押圧機構２と、前記押圧体２０を軸方向に摺動可能に保持する中空の本体３０と、押圧体２０の内周面に形成した傾斜面２０ａに摺接する外周傾斜面７ｂを有するコレットチャック７とからなり、前記押圧機構２によってコレットチャック７の把持部分７ａを主軸軸芯Ｍに対して軸直角方向に移動させワークＷを把持するようにしたワーク把持装置において、前記押圧機構２を同じ主軸軸芯Ｍとなるように複数組並設して、１個のワークＷを長手方向に離間した複数箇所で発生する押圧力によって把持するようにする。 （もっと読む）