【課題】流体の流量の制御を簡単な構造で実現でき、故障が少なく、安価で、かつ装置を微少化することができる流体制御方法を提供する。
【解決手段】ポンプ１６を作動させ、容器１１内の液体をチューブ１７内に導入し、容器１２内の液体をチューブ１８内に吸引する。温度調整部１３，１４の設定温度を調整してチューブ１７，１８内を流れる液体の粘度を調整することによりチューブ１７，１８内を流れる液体の流量を制御する。これにより、合流部１９で容器１１，１２内の液体を所望の混合比で混合する。 （もっと読む）

【課題】静電力が可動部の揺動方向に働く位置関係に容易に電極を配置できる静電型アクチュエータを得る。
【解決手段】鏡面１２４と同じ方向を向く可動部側電極１２３ａの面と、裏面１２５と同じ方向を向く可動部側電極１２３ｂの面には、可動部膜１２７ａ、１２７ｂが蒸着される。可動部膜１２７ａ、１２７ｂはＳｉ_３Ｎ_４から成る。Ｓｉ_３Ｎ_４は所定の条件下で２１０ＭＰａの引張応力を発生する。そのため、可動部側電極１２３ａは、その先端が裏面１２５の方向へ向くように湾曲し、可動部側電極１２３ｂは、その先端が鏡面１２４の方向へ向くように湾曲する。同様に、固定部側電極１１１ａと固定部側電極１１１ｂも固定部膜１１２ａ、１１２ｂが蒸着されて湾曲する。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、ヒンジの強度や剛性を確保しつつ、可動板の共振周波数を大幅に低くする。
【解決手段】光走査ミラー１は、シリコン層２１０−酸化膜２２０−金属層２３０の３層基板２００から形成されている。シリコン層２１０には、可動板５０が、第１ヒンジ５により固定フレーム４に揺動可能に軸支されるように形成されている。可動板５０の下方には、酸化膜２２０と金属層２３０により構成された金属構造体９が可動板５０と一体に揺動可能に形成されている。金属構造体９が設けられていることにより、金属構造体９を含む可動板５０の第１ヒンジ５回りの慣性モーメントが大きくなっている。従って、第１ヒンジ５の強度や剛性を確保しつつ、可動板５０の共振周波数を大幅に低くすることができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロマシンの振動を抑えることにより、出力信号のノイズを低減できるマイクロマシンのマイクロマシン装置を提供する
【解決手段】マイクロマシン装置１は、基板１１と、前記基板１１に搭載され、電界の作用により変形する機構を備え、該変形に伴って電気特性を変化させるマイクロマシン１６と、無機材料を含み、前記基板１１の主面上に設けられ、気体を収容した中空部１７を介して前記マイクロマシン１６を覆うとともに、前記中空部１７と外部とを連通する開口形状部２１ａを有する、内側無機封止膜２１と、有機材料を含み、前記内側無機封止膜２１上に成膜され、前記開口形状部２１ａを塞ぐ有機封止膜２２と、前記有機材料よりも低い透湿性を有する無機材料を含み、前記有機封止膜２２上に成膜されて前記有機封止膜２２を覆う外側無機封止膜２３と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ量産性に優れたマイクロ流路／ナノ流路などの微細流路の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上にナノワイヤの成長核となる金属ナノ微粒子をパターン蒸着した後、プラズマＣＶＤ若しくは熱ＣＶＤを用いて、基板上にパターン配置された金属ナノ微粒子を成長核として、ナノワイヤを垂直成長させて、マイクロ流路やナノ流路の微細流路を製造する。親水性基板上に形成させた触媒パターン位置に、撥水性を有するナノワイヤを垂直成長させて、微細流路を製造する。撥水性ナノワイヤを成長させた部分を微細流路の（溝部の）側壁とし、親水性基板が露出した部分を微細流路の（溝部の）底部とする。或は、撥水性基板上に形成させた触媒パターン位置に、親水性を有するナノワイヤを垂直成長させて、微細流路を製造し、親水性ナノワイヤを成長させた部分を微細流路における流路空間（溝部自体）とする。 （もっと読む）

【課題】反射面を備える可動板の有効面積を確保しつつ、可動板の慣性モーメントを低減させた光偏向器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】反射面と側面を備える可動板と、所定の軸の周りに可動板を回動可能に支持する支持部とを有し、可動板の側面が軸に向かって窪んでいる。 （もっと読む）

【課題】機能素子の可動部分を配置した空間の気密性の低下を抑制しつつ、小型化を実現できる半導体装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】表面１０ａに凹部１５が形成され、その凹部１５内に配置された可動部分を有する機能素子１００を備える変位検出用半導体チップ１０と、変位検出用半導体チップ１０の表面１０ａ上で凹部１５を囲んで環状に配置されたダイアタッチ材を含む結合部２０と、可動部分の変位を検出した機能素子１００が出力する検出信号を処理する処理回路３００を有し、空洞を形成するように凹部１５の上方を覆って結合部２０上に配置された信号処理用半導体チップ３０とを備え、結合部２０によって凹部１５が気密封止されている。 （もっと読む）

【課題】光反射部の変形を低減することのできる光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】板状の可動板２１１と、可動板２１１を回動可能に支持する一対の軸部材２１２、２１３と、一対の軸部材２１２、２１３を捩り変形させ、可動板２１１を回動させる駆動手段６とを備え、可動板２１１は、光を反射する光反射部２１１ａと、光反射部２１１ａと一対の軸部材２１２，２１３との間に配置される接続部２１１ｂ、２１１ｃとを有する。 （もっと読む）

【課題】アルカリ溶液を用いたエッチングを行なうことなくダイヤフラム構造を形成でき、微細化を実現できる半導体センサ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１上にＬＯＣＯＳ酸化膜３が形成され、さらにその上にゲート−メタル層間膜５が形成されている。ゲート−メタル層間膜５の上面からシリコン基板１に到達して、ＬＯＣＯＳ酸化膜３と比べてエッチング選択比の大きい材料からなる枠状部材９が形成されている。枠状部材９の内側に位置するゲート−メタル層間膜５及びその上の絶縁膜１７，２３に枠状部材９よりも小さい平面寸法で開口部２５が形成されている。枠状部材９の内側に位置するＬＯＣＯＳ酸化膜３が除去されて空洞９が形成されている。空洞９は開口部２５と連通している。枠状部材９の内側に位置するゲート−メタル層間膜５の下面に検出部１１が設けられている。検出部１１の一部分は開口部２５に露出している。 （もっと読む）

【課題】特定の処理を施した感光性ポリイミド樹脂を用いることによって種々の基板を接合する技術を提供する。
【解決手段】
本発明の１つの微小分析装置の製造方法は、第１基板１２上に感光性ポリイミド前駆体層を形成する工程と、感光性ポリイミド前駆体層のパターンを形成するパターン形成工程と、酸素濃度が５０ｐｐｍ以下の環境下で、そのパターンが形成された感光性ポリイミド前駆体層を２００℃以上３５０℃以下で加熱して感光性ポリイミド樹脂層１７を形成する第１加熱工程の後、第２基板１４と第１基板１２との間に感光性ポリイミド樹脂層１７を挟む工程と、第１基板１２及び第２基板１４を１６．３ＭＰａ以上４９ＭＰａ以下で加圧しながら、第１加熱工程の最高温度と同じ温度、又は第１加熱工程の最高温度との差が３０℃以内の第１加熱工程の最高温度よりも低い温度で加熱する第２加熱工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】保護キャップの外側の配線領域に空洞構造を形成することなく、配線層と半導体基板との間の寄生容量を低減する。
【解決手段】保護キャップ２０の外側に、信号線１５ａ、１５ｂ間に配置された厚膜絶縁層１７ａおよび信号線１５ｂ、１５ｃ間に配置された厚膜絶縁層１７ｂを形成し、厚膜絶縁層１７ａ、１７ｂの露出面全体がそれぞれ覆われるようにして信号線１８ａ、１８ｂを形成し、信号線１８ａは信号線１５ａ、１５ｂに接続し、信号線１８ｂは信号線１５ｂ、１５ｃに接続する。 （もっと読む）

【課題】 被処理基板のハンドリング時や加工時にメンブレンが破損する確率を低下し、ハンドリング部材を被処理基板から迅速に除去する。
【解決手段】 本発明において、ハンドリング部材には、素子と固定する面に、素子と固定された状態で外部と連通する流路の一部を構成する溝が形成される。被処理基板とハンドリング部材との固定工程において、振動膜支持部のエッジ方向と、ハンドリング部材の溝のエッジ方向とが交差するように、ハンドリング部材を固定する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な低コストの方法で、抵抗値を充分に低くでき、貫通穴に充填される金属の熱応力による基板などの破壊が発生しない貫通電極を有する半導体装置およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】第１の基板に形成された貫通穴の一端を塞ぐように第２の基板が接合され、前記貫通穴に金属層を設けることにより貫通電極が形成される半導体装置において、前記貫通電極は、前記貫通穴の底面および内壁の表面に形成される第１の金属層と、この第１の金属層の上面に前記貫通穴を充填するように形成される第１の金属層よりも融点の低い第２の金属層、で構成されたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】温度が上昇する際における共振器の周波数の著しい低下を克服する共振器及び共振器を形成するための方法を提供する。
【解決手段】共振器は、バルク２１と柱状部２４とを含む共振素子２０を備えたバルクモード共振器である。柱状部２４は、バルクの材料の温度係数の符号と反対の符号の温度係数を有するヤング率の材料から形成されている。また、柱状部２４は、バルク波の振動方向に対して垂直方向に長く、共振素子２０の膨張／圧縮方向に共振素子２０と交差してバルク２１の連続部分を有する様に分散されている。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのアクティブ素子を含む電気機械デバイスを少なくとも１つの基板上に製造する方法を提供する。
【解決手段】第１の部分１と、界面層８と、第２の部分９とを含む不均質基板を製造するステップであり、前記第１の部分１が、第１の単結晶材料中に形成され、埋込みゾーン３_１を含み、表面１”と埋込みゾーンをつなぐ開口２０と、埋込みゾーンと界面層８をつなぐトレンチ２６を通じて、前記埋込みゾーンを選択的に腐食することができるように、第２の単結晶材料３を形成するステップと、前記埋込みゾーン３_１の少なくとも一部をエッチングして、１つの空洞１４を形成するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】犠牲層内に任意の幅寸法で機械的補強ピラーを容易に形成することが可能な電気機械構造の製造方法を提供する。
【解決手段】単結晶材料層１’上に形成された犠牲層２を部分的にエッチングすることによって、当該犠牲層２内に、少なくとも１つの前記機械的補強ピラーを画定するウェル領域５_１を形成する工程と、第１の材料からなる第１機能付与層４により少なくとも前記ウェル領域及び周囲の犠牲層の自由表面を覆う工程と、前記ウェル領域を含む第１機能付与層４の上に、前記第１の材料とは異なる第２の材料からなる充填材層６を形成した後、充填材層６を第１機能付与層４表面に達するまで研磨して前記ウェル領域にのみ充填材層６を残す工程と、前記単結晶材料層１’に形成された開口１０を通して犠牲層２を少なくとも部分的にエッチング除去することによって前記電気機械構造を解放する工程、とからなる電気機械構造の製造方法。 （もっと読む）

【課題】容量型機械電気変換素子において、電極間に設けられる犠牲層のエッチング速度を比較的高速且つ安定にできて、素子の生産性を向上する。
【解決手段】容量型機械電気変換素子の製造方法において、基板４に第１の電極８を形成し、第１の電極８上に、第１の電極へ通じる開口部６が設けられた絶縁層９を形成し、絶縁層上に犠牲層を形成する。犠牲層上に、第２の電極１を備える振動膜３を形成し、振動膜に開口をエッチング液の入口として設ける。犠牲層をエッチングしてキャビティ１０を形成し、エッチング液の入口としての開口を封止する。開口部６と犠牲層と振動膜の開口を介して、第１の電極８と外部に設けた対向電極との間で通電する電解エッチングを行なってエッチングを実行する。 （もっと読む）

【課題】加工過程で要するグリスを飛散させないようにしたマイクロ構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】主基板１１の裏面１１Ｒに、その裏面１１Ｒの一部領域を囲い込む初期溝ＦＶが形成された後、この初期溝ＦＶを除く裏面１１Ｒに、グリス１２が塗られる。さらに、このグリス１２の塗られた裏面１１Ｒを支持基板１３が支える状態で、主基板１１の表面１１Ｆに対してドライエッチングが行われ、初期溝ＦＶを介して裏面１１Ｒと表面１１Ｆとの間が貫通する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ技術により構築が簡単な改良型トルク・モータを提供する。
【解決手段】ベースと、ベースから離れて延び、互いに離れて仮想多角形の隅部に配置され、電極内でそれぞれ終端する４つの極片と、極片の１つを囲むコイルと、ベース上に旋回可能に取り付けられ、その間に可変リラクタンス空隙を画定するように、電極の取り付けられた１つに向かって及びこれから離れて移動するように配置された部分を有する電機子と、ベース及び電機子の１つに取り付けられ、前記電機子の旋回軸に平行な方向に分極された永久磁石とを有し、少なくとも一部がＭＥＭＳ技術によって形成されたトルク・モータ。 （もっと読む）

【課題】オーバートーン技術を用いず、基本波及び高調波の少なくとも一つの周波数で共振することができ、しかも共振周波数を変更することができかつ従来技術に比較して小さい駆動電圧で励振できる共振器、それを用いた発振回路及びＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】基板１０上に電気的に絶縁されかつ少なくとも一個の固定端で固定された可動主ビーム３と、可動主ビーム３から延在するように形成された少なくとも一本の可動副ビーム４と、可動副ビーム４に近接するように設けられた少なくとも一個の励振電極５とを備えたＭＥＭＳ共振器が提供される。励振電極５を交流信号を用いて励振することにより、可動副ビーム４を静電気力により励振して振動させ、基本共振周波数及びその高調波周波数のうちの少なくとも一つの周波数で共振する。 （もっと読む）