【課題】高精度な加工を安定して実現できる静圧空気軸受スピンドル装置およびこれを用いた工作機械を提供する
【解決手段】スピンドル１０と、このスピンドル１０を空気層を介して回転可能に支持したエアーベアリング機構と、増圧装置(５１，５２)および圧力レギュレータ５４を含み、圧力レギュレータ５４からの空気をエアーベアリング機構に供給するエアー供給手段５０と、スピンドルを回転させる回転駆動機構とを備えた静圧空気軸受スピンドル装置。増圧装置と圧力レギュレータとの間に、増圧装置からの空気の温度を制御して圧力レギュレータに供給する温度調整装置５３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第１の支持面１３ａの凹部１３ｄと第２の支持面１３ｂの凹部１３ｆとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第１通路１３ｈ、第２通路１３ｉを介して、圧縮空気源Ａ，Ｂに接続されているので、例えばバルブＶ２を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第２の支持面１３ｂと第２の案内面１２ｂとの隙間を維持しつつ、第１の支持面１３ａが第１の案内面１２ａに着座することができ、或いはバルブＶ３を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第１の支持面１３ａと第１の案内面１２ａとの隙間を維持しつつ、第２の支持面１３ｂが第２の案内面１２ｂに着座することができ、これによりスライダ１３を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】線形性を向上させ、かつ製造コストを減少させた回転機械の回転シャフトの軸方向位置の検出装置を提供する。
【解決手段】回転シャフト１０の端部１１に設置された強磁性材料のターゲット１２と、エアギャップ６０を残しつつ回転機械の構造に固定され、ターゲットと対向配置された固定磁気回路３２に接続された誘導コイル３１と、誘導コイルに給電するための給電回路とを含む装置であり、給電回路が、誘導コイルの第１端部と基準電圧（０Ｖ）に位置する領域との間に接続されたＡＣ電源と、誘導コイルの第１端部と第２端部との間に接続された少なくとも１つのコンデンサと、第２端部と基準電圧に位置する領域との間に挿入された検出器デバイスとを、第２端部と基準電圧に位置する領域との間を流れる電流の大きさについての情報をライン上に供給するために有し、情報は、所定の公称値ｅ０を有するエアギャップの幅の変更値ｘを表す装置である。 （もっと読む）

【課題】 テーブル移動時のピッチングが極めて小さい静圧水軸受直動案内装置の提供。
【解決手段】 テーブル３１底面の前後側の少なくとも一方にガイドウエイ２に設けたコイル２４に対向して磁気バランサー３００を非磁性体支持板を介して付属させた静圧水軸受直動案内装置１。 （もっと読む）

【課題】可動体を浮上させる圧縮空気をガイドレールから噴出させることで、可動体をチューブレス構造とした静圧気体軸受直線案内装置の提供。
【解決手段】基台に固定されるガイドレール２、ガイドレール２の延出方向に沿って往復移動可能な可動体４(垂直方向受板４２、水平方向受板４４)、圧縮空気を噴出して可動体４をガイドレール２に対して浮上させて非接触に支持する静圧気体軸受部(多孔質部材)６、磁気吸引力により可動体４をガイドレール２に引き寄せる吸引部８(磁気吸引部材８ａ、永久磁石８ｂ)を備え、静圧気体軸受部６からの圧縮空気による可動体４のガイドレール２に対する浮上力と、可動体４をガイドレール２へ引き寄せる吸引部８からの磁気吸引力とを調整してバランスを図り、可動体４をガイドレール２に対して浮上させつつ、往復移動させるべく、静圧気体軸受部６をガイドレール２に配し、可動体４へ向けて圧縮空気を噴出させる。 （もっと読む）

【課題】高い回転精度を有し、低コストで製造することのできる静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】矢印方向に回転する回転体を気体膜を介して回転支持する多孔質体２は、回転体の回転方向に交互に配設された複数の有効通気部３と線状の非有効通気部４とを有する。複数の有効通気部３は、それぞれ非有効通気部４によって分離され、通気流量を個別に制御される。線状の非通気有効部４を、回転方向に垂直な軸に対して回転方向に傾斜させることで、通気流量の回転方向の分布を低減し、均一な気体膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】回転体のナノメートルオーダーの回転精度を向上させる。
【解決手段】本発明の静圧気体軸受は、回転体２４が回転軸２０の径方向へ鍔状に突出するスラスト部１９を有している。スラスト部１９の一方の面および他方の面が回転軸２０と垂直に交わる仮想平面２１と平行である。ハウジング１２には、スラスト部１９の一方の面および他方の面に対向する部位にそれぞれ一方の多孔質体１３および他方の多孔質体１４が配置されている。各多孔質体１３、１４表面の前記仮想平面からの距離の不均一を補償するように各多孔質体１３、１４からの気体の流出量を表面の孔の開口量によって変化させる。 （もっと読む）

【課題】 流体供給部や排気溝等を高い位置精度で設けることができ、可動体をより安定して移動させることができる案内装置を提供する。
【解決手段】 案内装置は、第１表面を有する固定体と、第１表面に対向する第２表面を有する可動体とを備える。可動体は、第１表面および第２表面の間に形成される隙間に供給された流体を介して第１表面に沿って第１方向に移動可能である。第１表面および第２表面の一方は、可動体の移動方向に平行な中心軸の周りに外向きに設けられた外向き面であるとともに、隙間に前記流体を供給する流体供給部と該流体供給部を環状に取り囲んで前記流体を回収する回収溝とが設けられている。第１表面および第２表面の他方は、移動可能な範囲で流体供給部および回収溝を覆う内向き面である。 （もっと読む）

【課題】 コロガリ軸受および静圧軸受の両者の優れた面、すなわちコロガリ軸受においては、負荷荷重、剛性で優れた特性を発揮し、また静圧軸受においては、アキシャル方向の精度の良いロール軸受とした特性を発揮できるロールの軸受方法を提供することを課題とする。

【解決手段】 ロールの幅方向の両端部にある軸に、それぞれロールの幅方向の中心側から順に、静圧軸受次いでコロガリ軸受を直列に取り付け、回転自在に支承することを特徴とするロールの軸受方法とした。また、ロールの幅方向の両端部にある軸に、それぞれロールの幅方向の中心側から順に、コロガリ軸受次いで静圧軸受を直列に取り付け、回転自在に支承することを特徴とするロールの軸受方法とした。 静圧軸受は、空気静圧軸受であることを特徴とするロールの軸受方法とした。 静圧軸受は、前述の空気軸受に替えて、油静圧軸受としたことを特徴とするロールの軸受方法とした。 （もっと読む）

【課題】空気圧リニアガイドによる並列スライダ装置において、二つのスライダを機械的に連結した場合に、スライダの連結部分の機械的剛性とエアスライド機構のエア軸受剛性とが互いに影響を及ぼしあって平行度の再現性が低下することを排除し、高精度な平行度再現性を保証すること。
【解決手段】第１の空気圧リニアガイド４８と第２の空気圧リニアガイド５４とでエアギャップの大きさや供給空気圧を相違させることにより、スライダ支持剛性（エア軸受剛性）に差を生じさせ、エアギャップ変化による真直誤差の吸収が、エア軸受剛性が低い側において安定して行われるようにする。 （もっと読む）

【課題】高精度で円滑に移動することを向上させた静圧案内装置を提供することにある。
【解決手段】直線状に延在するガイドレール１２ａ，１２ｂを備えるベッド１１と、ベッド１１のガイドレール１２ａ，１２ｂに沿って移動可能なコラムベッド１３とを具備し、ベッド１１のガイドレール１２ａ，１２ｂと対向するコラムベッド１３の摺動部１３ｃ，１３ｄに当該コラムベッド１３の移動方向に沿って複数の静圧ポケット２５〜２８，３１〜３６を設け、複数の静圧ポケット２５〜２８，３１〜３６の内のコラムベッド１３の移動方向にて両端部以外の静圧ポケット３１〜３６を両端部の静圧ポケット２５〜２８よりも小さくした。 （もっと読む）

【課題】加圧気体の通気経路の全領域で層流状態が維持されるように、オリフィス、通気溝などを構成することにより、振動の発生を防止できる高精度な静圧軸受装置および静圧軸受装置を備えたステージを実現する。
【解決手段】静圧軸受装置において、加圧気体の通気経路の全領域で層流状態が維持されるように、オリフィス１４、通気溝１１及び排気溝１２の形状などの構成を設計したものであり、通気溝１１の幅方向の断面形状が摺動面１０ａから離れる方向に凸の曲線を形成し、また、通気溝１１を、オリフィス１４を囲み環状に形成された環状溝１１ｂと、オリフィス１４を中心に環状溝１１ｂに向かって放射状に延設され、環状溝１１ｂとオリフィス１４とを連通する複数の分配溝１１ａとから、移動体の移動方向に対して対称となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】コスト上昇を抑えつつエレクトリカルランアウトを防止できるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、複数段の回転翼３２が形成されたロータ３０と、回転翼３２に対して回転軸方向に交互に配置された複数段の固定翼２２と、ロータ３０が固定され、モータ３６により回転駆動されるシャフト１２と、シャフト１２を磁気浮上させる磁気軸受３７ａ，３７ｂ，３８と、シャフト１２の磁気浮上位置を検出する渦電流式ギャップセンサ２７ａ，２７ｂ，２８とを備え、ラジアルセンサ２７ａ，２７ｂの検出対象として非磁性金属から成るターゲット部材１３，１４と、スラストセンサ２８の検出対象として非磁性金属で形成されたロータディスク１５とが設けられている。なお、ターゲット部材１３およびロータディスク１５を、シャフト１２に着脱可能に固定するようにしても良い。 （もっと読む）

【課題】基板の平面度調整を行うために、基板を保持する保持手段の裏面を支持する支持手段と前記裏面とに隙間が生じないようにするステージ装置を提供することを課題とする。
【解決手段】保持手段の裏面と支持手段との間に空気を供給し、前記保持手段を前記支持手段から浮上させる軸受手段と、前記軸受手段から供給される気体の流量を検出する検出手段と、前記支持手段の駆動を制御する制御手段とを有し、前記制御手段は、前記軸受手段により前記保持手段を浮上させたときに、前記検出手段によって検出される流量が、所定の流量の範囲内になるように前記支持手段の駆動を制御する。 （もっと読む）

【課題】所望の精度を保持し、かつスラスト負荷容量を高める。
【解決手段】エアスピンドル１では、ハウジング２にスラスト方向エア噴出手段及びラジアル方向エア噴出手段としてのステータ３が固定される。このステータ３の上面、下面、内径面には上エア噴出し面３ａ、下エア噴出し面３ｂ、内径エア噴出し面３ｃが形成されている。上エア噴出し面３ａの外周周りには、外周側負荷容量生成手段としての複数、例えば６個のパッド型エアベアリング１１〜１６が均等に配置されて構成される。このパッド型エアベアリング１１〜１６は、スラスト板上６と同一平面を受けるように構成される。 （もっと読む）

【課題】可変絞り手段を有する静圧流体軸受装置において、絞り開度を増減させた際に発生する流体の流出層の厚さ（２部材の間隔）の変動を適切に抑制し、加工精度をより向上させることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受ポケットと、流体を圧送する流体供給手段と、流体流路と、絞り量を変更可能な可変絞り手段と、を備え、絞り量を直接的または間接的に検出可能な絞り量検出手段と、可変絞り手段５６Ｖから軸受ポケット５６Ｐまでの経路における、可変絞り手段５６Ｖまたは流体流路５６Ｈまたは軸受ポケット５６Ｐの少なくとも一部に設けられて流体が充填されている部分の体積を増減可能な体積可変手段５６Ｅと、絞り量検出手段にて検出した絞り量に応じた体積変化量を算出するとともに、算出した体積変化量を相殺するように体積可変手段５６Ｅの体積を増減させる制御手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受にて支持されたスピンドルにベルトを介して回転動力を伝達する回転動力伝達装置において、作業性が良く、より高精度にベルト張力を測定することができる回転動力伝達装置を提供する。
【解決手段】静圧軸受は、スピンドルＳに対向しているハウジングの対向面に形成された、円周方向に並べられた複数の静圧ポケットＰＲ１〜ＰＲ４にて構成され、各静圧ポケットは、回転軸ＴＺを挟んで互いに対向する位置に配置されており、スピンドルは、ベルト２２の張力にてベルト引張り方向に引張られている。回転軸に対してベルト引張り方向に位置している静圧ポケットである増負荷静圧ポケットＰＲ２と、増負荷静圧ポケットに対向する位置の静圧ポケットである対向静圧ポケットＰＲ４と、に加えられている負荷を測定可能な負荷測定手段Ｓ１、Ｓ２を備え、負荷測定手段にて測定した負荷に基づいて、ベルトの張力を算出する張力検出手段５０を備えている。 （もっと読む）

【課題】スピンドルとハウジングとの軸受隙間の大きさを可変として、高い剛性を必要とする場合にスピンドルの剛性をより高くするとともに、必要とするエネルギーの増加量をより抑制することができる流体軸受装置を提供する。
【解決手段】スピンドルＳは、回転軸ＴＺ方向の一方に向かって径が小さくなるテーパ面ＭＰを有するテーパ部ＳＴと、回転軸方向の一方の方向に向かう流体の力を受ける軸方向力受動面ＭＪを有する軸方向力受動部ＳＪとを有し、テーパ面に対向しているテーパ対向面Ｍ１にはテーパ部ポケットＰ１〜Ｐ４が周方向に分割されて形成されており、軸方向力受動面に対向している軸方向対向面Ｍ２に軸方向ポケットＰＢが形成されている。スピンドルが回転軸に交差する方向の力である負荷Ｆを受けると、軸方向力受動面の受ける力を大きくしてスピンドルをハウジングに対して相対的に回転軸方向の一方の方向に移動させる剛性増加手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】 ロボットや多自由度ステージ等に用いられる球面軸受に要求される、広い揺動角度と高い軸受剛性とを有し、回転揺動方向の平滑な動作と微小な角度の位置決めとを可能にし、且つ、長期間にわたって高精度を維持できる高い耐久性の全てを満足する球面軸受を提供する。
【解決手段】 軸部と球体部とを有する回転揺動体と、この回転揺動体の球体部に外嵌する凹面部を有する軸受体とから構成される球面軸受において、前記軸受体の凹面部を半球若しくはそれより浅い球面状に形成し、且つ、前記回転揺動体の球体部と前記軸受体の半球状の凹面部との少なくとも一方を磁石として、この磁石の吸引力によって前記揺動回転体と前記軸受体とを一体に保持すると共に、前記回転揺動体の球体部と前記軸受体の半球状の凹面部との少なくとも一方に静圧ポケットを刻設して、該静圧ポケットに圧油を供給して静圧軸受とすることを特徴とする球面軸受によって達成される。 （もっと読む）

本発明はロール軸を支持するマグネチック軸受装置に関し、特に永久磁石や電磁石を利用してロール軸を非接触式で支持するマグネチック軸受装置に関する。本発明のロール軸を支持するマグネチック軸受装置は、ロール軸に向かって形成された突出部で磁場を発生する磁石と、上記磁石を一方向に支持する胴部とを含み、上記ロール軸と上記突出部の間に空隙を形成しながら上記ロール軸を支持し、上記突出部の両側はラウンド処理されたことを特徴とする。
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