【課題】レジスト剥離物とテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＡＡＨ）とを含む現像廃液を長期に亘り安定かつ効率的に再生処理する。
【解決手段】レジスト剥離物とＴＡＡＨとを含有する現像廃液に酸を添加してｐＨ８〜９．５に調整した後、ＭＦ膜モジュール１で膜分離処理し、透過液を分画分子量２００〜９００のナノフィルトレーション（ＮＦ）膜モジュール２により通液温度４０〜８０℃で膜分離処理し、透過液を活性炭塔３で処理する。ＮＦ膜の通液温度を４０〜８０℃とすることにより、被処理液の粘性を下げ、操作圧力を抑えて透過液量を高める。ＮＦ膜の透過液量を高めると、ＮＦ膜の透過液側にレジスト剥離物がリークするが、このレジスト剥離物は後段の活性炭処理で除去することができ、ＴＡＡＨ純度の高い再生液を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】レジスト剥離物とテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＡＡＨ）とを含む現像廃液を安定かつ効率的に再生処理する。
【解決手段】レジスト剥離物とＴＡＡＨとを含有する現像廃液をｐＨ８〜１２に調整した後、ＭＦ膜モジュール４で膜分離処理し、濃縮水を循環処理するに当たり、濃縮水に無機凝集剤及び／又は高分子凝集剤を添加して凝集・固液分離処理し、分離水をＭＦ膜モジュール４の一次側に返送して膜分離処理する。現像廃液を膜分離処理するに当たり、膜供給水ではなく、膜分離処理で得られた濃縮水に凝集剤を添加して凝集・固液分離処理し、得られた分離水を膜の一次側に返送して現像廃液と共に膜分離処理することにより、凝集剤使用量を低減すると共に、凝集・固液分離のための設備を小型化した上で、膜の濁質負荷を軽減し、安定かつ効率的な処理を行える。 （もっと読む）

【課題】無機物および有機物のうち、少なくとも一方の成分を含有する被処理液を膜ろ過法で処理するに当たり、少量のサンプルを用い、短時間で、簡便に、かつ精度良く各被処理液に好適なろ過膜を選択する方法、ろ過膜の洗浄手段の選択方法、及びろ過膜の前処理手段の選択方法を提供すること。
【解決手段】被処理液を処理する液体処理プロセスに適用するろ過膜の選択方法であって、複数のろ過膜それぞれについて、被処理液中に含有される無機物および有機物のうち、少なくとも１種以上の成分の吸着量を測定し、成分の吸着量が最少となるようなろ過膜を、液体処理プロセスのろ過膜として選択することを特徴とするろ過膜の選択方法。 （もっと読む）

【課題】被処理水のろ過処理と共に、ろ過膜の損傷を監視する膜ろ過システム及びろ過膜損傷検知方法を提供する。
【解決手段】内部に配置されたろ過膜１０ａにより一次側領域１０ｂと二次側領域１０ｃとに区分され、一次側領域１０ｂから供給された被処理水中の分離対象物質をろ過膜１０ａによりろ過する膜ろ過装置１０と、前記被処理水中にモニター用微粒子を添加して、前記モニター用微粒子を添加した被処理水を一次側領域１０ｂで循環させる循環水ライン３２と、一次側領域１０ｂからろ過膜１０ａを介して二次側領域１０ｃへ透過した処理水中の微粒子数を測定する微粒子計１４と、を備える膜ろ過システム１を用いる。 （もっと読む）

【課題】供給水に酸を添加することなく、または酸の添加量を最小限に止めながら、逆浸透膜でのシリカ系及び炭酸カルシウム系スケールの発生を同時に抑制することのできる水処理方法及び水処理システムを提供すること。
【解決手段】シリカ及び硬度成分を含む供給水Ｗ１を脱気処理する気体分離膜モジュール２と、脱気処理した処理水にスケール分散剤を添加する分散剤添加装置４と、スケール分散剤が添加された処理水Ｗ２を透過水Ｗ３と濃縮水Ｗ４とに分離する第１の逆浸透膜モジュール３とを含み、前記第１の逆浸透膜モジュール３において、濃縮水Ｗ４のランゲリア指数を０．３以下、かつシリカ濃度を１５０ｍｇＳｉＯ_２／Ｌ以下に保って分離操作するように構成されている水処理システムである。 （もっと読む）

【課題】膜モジュールの濾過性能低下を抑え、かつ膜モジュールによる汚泥分離を効率化することができる膜濾過装置を提供することである。
【解決手段】本発明に係る膜濾過装置１００は、原水タンク２０１から膜モジュール３００まで循環ポンプ２０２により汚泥原水が送られ、該汚泥原水を濾過することができる。また、バイパス配管２５２から膜モジュール３００を経由して戻し配管２５３から原水タンク２０１へ原水を循環させることができる。 （もっと読む）

【課題】圧力損失の増大や、膜の閉塞による回収率の大幅な低下を抑制しながら、研磨剤が高濃度に濃縮されたスラリーを回収可能な研磨剤の回収装置および研磨剤の回収方法を提供する。
【解決手段】ＣＭＰ工程で使用された使用済み研磨スラリーから研磨剤を回収する装置であって、前記使用済み研磨スラリーが導入される孔道が円筒状で、かつ有効濾過部の長さが０．８ｍ以下である分離膜４１を有しており、前記使用済み研磨スラリーの研磨剤濃度を、１０質量％以上の濃度に濃縮する研磨剤の回収装置１。 （もっと読む）

【課題】機械的強度及び透水性等を確保しながら、水処理効率をさらに向上させた高分子水処理膜、簡便かつ確実に製造することができる高分子水処理膜の製造方法、効率的な水処理／メンテナンス可能な水処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】外径が３．６ｍｍ〜１０ｍｍ及び外径と肉厚との比であるＳＤＲ値が、３．６〜３４である略単一の主要構成素材による自立構造を有する中空糸膜からなる高分子水処理膜、略単一素材の樹脂溶液を調製し、前記樹脂溶液を、地面に対して水平±３０°以内で、吐出口から凝固槽中に吐出して凝固させることを含む高分子水処理膜の製造方法及びこの高分子水処理膜を分離膜として用いるか、この高分子水処理膜の内部に活性汚泥によって生物処理された排水を通して水を分離する水処理方法。 （もっと読む）

【課題】当該モジュール内の圧力が高い場合にもヘッダーの変形や該変形に起因する破損を抑止する。
【解決手段】固定用ナット４は、当該ろ過モジュール１の内圧が大気圧を超える状況下でヘッダー３の変形を抑止する変形抑止部４１ａを備えており、該変形抑止部４１ａは、ヘッダー３のうち当該ろ過モジュール１の内圧が軸方向に作用する圧力投影部分の少なくとも一部を押さえており、該圧力投影部分のうち、変形抑止部４１ａによって押さえられる押さえ部分の投影面積Ｓ２と、当該変形抑止部によって押さえられていない非押さえ部分の投影面積Ｓ１との比Ｓ２／Ｓ１が２５％から３００％の範囲内にある。 （もっと読む）

【課題】膜蒸留による造水システムであって、簡易な構造からなる簡易な設備で、煩雑な操作も必要とせずに海水等から淡水を回収でき、かつ運転コストも低い造水システムを提供する。
【解決手段】処理水が流れる液相部と、気密状態にある気相部と、前記液相部及び気相部を隔てる疎水性多孔質膜からなる蒸発部、前記気相部よりも高い気圧にある凝結部、前記気相部中の気体を前記凝結部に送気するポンプ、並びに、前記液相部に処理水を送液する送液手段を有し、前記処理水中の水が、前記気相部中に水蒸気として取り出され、前記凝結部において凝結され水として回収されることを特徴とする造水装置。 （もっと読む）

【課題】フィルターの耐圧性、塵芥の捕集性および剥離性を向上し、塵芥によるフィルター圧損を軽減し、ユニットの大型化を抑え、且つ安定運転でフィルターの寿命を長くできる気体浄化用中空糸膜カートリッジを提供する。
【解決手段】
気体に含まれる塵芥を除去する気体浄化用中空糸膜カートリッジであって、
（ａ）中空糸膜束エレメントと前記中空糸膜束の外周部を保護するエレメントガードとを有する中空糸膜モジュールと、
（ｂ）前記中空糸膜モジュールを内部に収納し、浄化すべき気体の導入口および浄化された気体の導出口を備えるハウジングと、
（ｃ）前記ハウジングの内側底部に配置された、気体から分離された塵芥を集積するための塵芥集積容器と、を備える塵芥集積容器一体型の気体浄化用中空糸膜カートリッジ。 （もっと読む）

【課題】管板の熱膨張による影響を抑え、高温下でも良好に動作可能な分離膜モジュールを提供する。
【解決手段】この分離膜モジュールは、選択的透過性を有する多数の中空糸膜が集束された中空糸束と、その中空糸束が収容される筒状容器と、前記中空糸束の端部に設けられ、当該束の端部を前記筒状容器の端部に固定するとともに前記筒状容器の内部と外部とを隔絶する機能を有する管板と、前記管板の外周面と前記筒状容器の内周面との間をシールする環状シール部材と、を備え、高温条件下で使用される分離膜モジュールであって、前記環状シール部材が取り付けられる周辺において、前記管板に段差部が設けられていない構成となっている。 （もっと読む）

【課題】アミン系剥離液使用により蓄積するレジスト樹脂、炭酸アンモニウム塩、溶解金属を連続的に除去し、剥離液の再生装置、方法を提供する。
【解決手段】剥離装置１内で循環する使用済み剥離液２を配管経路３を通じて電解槽４の陽極ドラム５およびカチオン交換膜６間に導入する。一方で電解槽４には陽極ドラム５に対向する陰極７が、カチオン交換膜６を介して設置されており、陰極７は再生済みの剥離液８によって満たされている。陽極と陰極間の電気伝導は陽イオンの移動による電気伝導が可能となっているので電気的には隔離されていない。陽極ドラム５及び陰極には、電気給手段として電源９が接続されている。陰極及び陽極間に直流電流を通電することで、使用済み剥離液に含まれるレジスト樹脂を陽極ドラム５の表面上に電着でき、剥離液中からレジスト樹脂を除去できる。 （もっと読む）

【課題】被処理液中に含まれる菌体や細胞などの破砕を抑制すると共に、低線速のクロスフローにおいてろ過性能の向上を図ることができる異形多孔性中空糸膜の製造方法、異形多孔性中空糸膜、この異形多孔性中空糸膜を用いたモジュール、異形多孔性中空糸膜を用いたろ過装置及び異形多孔性中空糸膜を用いたろ過方法を提供する。
【解決手段】熱可塑性樹脂、有機液体及び無機微粉を溶融混練し、溶融混練物を二重環状の吐出口２１から吐出させ、冷却固化した後に有機液体及び無機微粉を抽出除去することによって異形多孔性中空糸膜１を得る異形多孔性中空糸膜の製造方法であって、吐出口２１は、環状の内装部２３と当該内装部２３を包囲するように配設された外装部２４とから構成され、内装部２３の外周部２３ａには当該内装部２３の周方向に沿って凹凸２５が形成されており、溶融混練物を吐出口２１にて成型して吐出する。 （もっと読む）

【課題】筒状部の両端部におけるポッティング剤の供給位置をより安定させることが可能な中空糸モジュールを提供する。
【解決手段】中空糸モジュール１は、中空糸膜Ａが収容される筒状部１０と、筒状部１０の両側の各開口端を閉鎖する蓋部１１とを有し、筒状部１０の両端部において中空糸膜Ａの両端部がポッティング剤Ｂにより封止されている。各蓋部１１には、第１のノズル２０が形成され、筒状部１０の両端部のポッティング剤Ｂより内側には、第２のノズル２１が形成されて当該第２のノズル２１のノズル開口部２１ａが形成されている。筒状部１０のノズル開口部２１ａの外側端Ｅにおける内径よりも、筒状部１０の端１０ａにおける内径が大きくなっている。筒状部１０の端１０ａを含む最端部には、筒状部１０の端１０ａと内径が同じで一定の大同径部４４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】硬質成分、特に２価イオンの除去率が高く、軟水化用として好適な中空糸型ＮＦ膜を提供する。
【解決手段】カチオン荷電を有するポリマーと疎水性ポリマーを含有する製膜成分からなり、内表面が外表面よりも緻密な構造であり、外表面に存在する孔の最大孔径が５nm以上であり、下記式で求められる硬度成分（塩化カルシウム）の除去率が７０％以上であり、純水透過係数が５Ｌ／ｍ²ｈ（0.1MPa）以上である、中空糸型ＮＦ膜。硬度成分除去率＝〔１−（透過液中の硬度成分量）／｛（供給液中の硬度成分量＋濃縮液中の硬度成分量）／２｝〕 （もっと読む）

【課題】有機溶剤回収システムに用いられるエネルギー使用量を削減することが可能な構成を備える有機溶剤回収システムを提供することを目的とする。
【解決手段】有機溶剤回収システム１においては、濃縮装置２００の脱着部２２から排出された脱着ガス（Ｇ１４）は、凝縮液（Ｅ１０）との熱交換部５００における熱交換によって降温された状態で冷却装置３００に導入される。冷却装置３００から排出される凝縮液（Ｅ１０）は、脱着ガス（Ｇ１４）との熱交換部５００における熱交換によって昇温された状態で膜分離装置４００に導入される。膜分離装置４００から排出される透過液（Ｅ１１）および濃縮液（Ｅ１２）は、冷却装置３００から排出される未凝縮ガス（Ｇ１７）との熱交換部６００における熱交換によって冷却される。熱交換部５００，６００の熱交換によってより少ないエネルギー使用量で有機溶剤を回収することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】各中空糸膜間に良好な隙間を確保して分離性能が向上された中空糸分離膜モジュールを提供する。
【解決手段】流体導入口２０、透過成分排出口２１、及び未透過成分排出口２２を備える中空筒型のモジュールケース１０と、該モジュールケース１０内の長手方向両端部に設けられ、該モジュールケース１０の内部空間を区画する樹脂製の隔壁１１・１１と、該両隔壁間１１・１１において互いに平行に配設された複数の中空糸膜１２とを有し、該各中空糸膜１２の両端部が、隔壁１１へ貫通状に固定されている中空糸分離膜モジュール１であって、両隔壁１１・１１のうち少なくとも一方には、各中空糸膜１２の間に介在するように複数の介在物１３が埋設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 注入された試料アリコート内に含有される粒子を分離するフィールドフロー分画装置。
【解決手段】 必要に応じて、上記分画装置は、そのような粒子の特定の予め規定されたクラスをその後の除去のために捕捉するために用いられてもよい。クロスフロー分画装置か非対称流フィールドフロー分画装置かに基づいて、開示される分画装置は、その分離チャンネルの長さに沿った複数の場所で、加えられた横方向流を変化させる手段を含む。複数の分離された区画は各々、別個の対応する膜支持透過性フリットセグメントの下方に横たわり、その上方の膜部分を通る局所化されたフローを制御する個々の手段を設けられている。対応する同心状区画実現例は、中空繊維分画装置と統合されると、同じタイプの区画化されたクロスフローを実現する。 （もっと読む）

【課題】粉末活性炭のみ用いた水処理装置より処理性能が優れた水処理装置を提供する。
【解決手段】本発明は、被処理水の不用物を固液分離する水処理装置であって、前記被処理水と粉末イオン交換樹脂と粉末活性炭とを混合させる混合手段と、前記粉末イオン交換樹脂及び前記粉末活性炭を含む被処理水の固液分離を行う固液分離手段と、を備える。 （もっと読む）