【課題】シリコンをエッチング処理したアルカリエッチング液をエッチング槽から引き抜き、膜分離手段で膜分離処理してエッチング槽に循環するアルカリエッチング液の処理において、シリカ除去効率の向上、不純物の蓄積を防止して低シリカ濃度の透過水をエッチング槽に返送する。
【解決手段】２以上のＮＦ膜モジュールを２段目以降のＮＦ膜モジュールにそれぞれ前段のＮＦ膜モジュールの濃縮水を供給するように直列に連結し、１段目のＮＦ膜モジュール１Ａ，１Ｂの透過水をエッチング槽１０に循環し、２段目以降のＮＦ膜モジュール２〜４の透過水を１段目のＮＦ膜モジュール１Ａ，１Ｂの供給水側に循環する。従来の濃縮水循環に起因する系内のシリカ濃度の上昇によるシリカ除去性能の低下、不純物の蓄積の問題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】膜面上へのスケールの析出を効率的に抑制することができる淡水化装置、膜の監視方法および淡水化装置の運転方法を提供する。
【解決手段】本発明の淡水化装置１０は、海水１１を逆浸透膜１２に通水させて透過水１３と濃縮水１９とに分離する逆浸透膜装置１６を有し、逆浸透膜装置１６から濃縮水１９を抜き出す濃縮水送給ライン２２と、濃縮水送給ライン２２から濃縮水１９の少なくとも一部を抜き出す濃縮水分岐ライン３１と、濃縮水分岐ライン３１に設けられ、濃縮水１９を透過させる監視用分離膜３２を備えた水監視用膜装置３３と、海水１１に酸性薬剤４１を供給する酸性薬剤供給部４２とを有する。監視用分離膜３２の膜状態から逆浸透膜１２の膜面におけるスケールの析出を監視する。 （もっと読む）

【課題】混合ガス流からＣＯ２などのガスを捕捉前溶液に捕捉させて捕捉後溶液とし、捕捉後溶液を電気透析装置を用いてガス、液体、または超臨界流体などの生成物として生成して除去する方法を提供する。
【解決手段】電気透析装置１１０を用いて、ガス、液体、または超臨界流体のような生成物を発生させるプロセスが、本装置へ少なくとも２つの溶液を第１溶液タンク１００、第２溶液タンク１０１から流入させ、電極溶液をタンク１０２，１０３から流入させるステップと、第２溶液から生成物が発生するように、温度および圧力を調整するステップと、第２溶液内に生成物が発生するように、本装置の電気透析スタックへ電圧を加えるステップと、本装置から第２溶液を流出させるステップと、第２溶液から生成物を再生するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】長期間安定的に水を製造する性能を発揮し、しかも浄化水中の塩濃度が低い、方法および、膜モジュール並びに浄化水製造装置を提供することを主な目的とする。
【解決手段】原水を気体透過膜の一方の面に沿って流し、気体透過膜を透過した水蒸気を凝縮させて、浄化水を得ることを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】 大気空気の工業的利用の際に必要な、除湿、除二酸化炭素を効率的に行うためのゼオライト分離膜を利用した膜分離による大気空気の除湿・除二酸化炭素連続処理方法、および処理装置を提供する。
【解決手段】 膜分離を利用した大気空気の除湿・除二酸化炭素連続処理方法は、水（水蒸気）および二酸化炭素を含む大気空気を、除湿用分離膜３を具備する除湿ゾーン１に導入し、膜透過により空気中の水分を選択的に除去するとともに、膜の非透過側に、二酸化炭素を含む乾燥空気を形成する工程と、引き続き、二酸化炭素を含む乾燥空気を、多孔質基体上にゼオライト膜が形成された乾燥状態のゼオライト分離膜４を具備する除二酸化炭素ゾーン２に導入し、膜透過により空気中の二酸化炭素を選択的に除去するとともに、膜の非透過側に、水（水蒸気）および二酸化炭素が低減した乾燥浄化空気を形成する工程とよりなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、航空機等の防爆用に用いられる窒素富化空気を、より簡便にかつ効率的に製造する方法を提供する。
【解決手段】空気分離膜モジュールに、１５０℃以上の高温の空気を供給して窒素富化空気を製造する方法。 （もっと読む）

【課題】順浸透装置を改善する。
【解決手段】 フィード溶液と、カチオン源およびアニオン源をイオン化した状態で含むドロー溶液とを半透膜を介して接触させ、該半透膜によって前記フィード溶液から分離された水で前記ドロー溶液を希釈する希釈手段と、前記希釈手段により希釈されたドロー溶液を、カチオン源およびアニオン源と、水とに分離する分離手段と、前記分離手段により分離されたカチオン源およびアニオン源を、前記希釈されたドロー溶液に戻し、溶解させる溶解手段と、を有し、前記アニオン源およびカチオン源は、それぞれ、非荷電体の状態での分子量が３１以上であり、かつ、標準状態におけるヘンリー定数が１．０×１０⁴［Ｐａ／ｍｏｌ・fraction］以上であることを特徴とする、順浸透装置。 （もっと読む）

【課題】水処理システムのエネルギー効率を高め、安定した温度制御を行う。
【解決手段】水処理システムは、内部を水が流れる第１及び第２の配管区間１２，１１と、第１の配管区間と第２の配管区間の一方との間で冷媒の凝縮工程が、他方との間で冷媒の蒸発工程が生じるように、第１の配管区間１２と第２の配管区間１１の間に位置する蒸気圧縮式ヒートポンプ２１と、を有している。蒸気圧縮式ヒートポンプ２１は、第１の配管区間１２の、蒸気圧縮式ヒートポンプとの間で熱の授受が行われる部位３１の出口側における水の温度が２０〜３５℃となるようにされている。 （もっと読む）

【課題】イオンを除去した熱水で水質センサを洗浄し、外部から洗浄液を供給することなく水質センサを洗浄できる熱水水質測定装置を提供する。
【解決手段】熱水の水質を測定する水質センサ２と、前記熱水のイオンを除去して脱イオン熱水を生成する脱イオン部１１とを備え、前記脱イオン熱水で前記水質センサ２を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】リソグラフ投影工程に使用される化学物質の活性に悪影響を与えないパージガスを提供する。
【解決手段】リソグラフ投影装置は、投影システムおよび放射システム中、反射器、および反射要素等の部品の表面近くにパージガスを供給するように構成されたパージガス供給システム１００を有する。パージガス供給システム１００は、少なくとも１種のパージガスと水分を含むパージガス混合物を発生するように構成されたパージガス混合物発生器１２０を含む。パージガス混合物発生器は、パージガスに水分を加えるように構成された加湿器１５０と、パージガス混合物発生器１２０に接続されパージガス混合物を表面近くに供給するように構成されたパージガス混合物出口１３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】水素透過速度が大きく、耐水素脆性にも優れた水素分離膜を用いた水素分離方法及び装置を提供する。
【解決手段】Ｗ及びＭｏを含有するＶ合金よりなる水素分離膜を用いた水素分離方法及び装置。水素分離膜は、好ましくはＷ３０モル％以下、Ｍｏ３０モル％以下、残部Ｖよりなる。特に好ましくはＷ０．１〜３０モル％、Ｍｏ０．１〜３０モル％、残部Ｖよりなる。さらに好ましくはＷ０．１〜１５モル％、Ｍｏ０．１〜１５モル％、残部Ｖよりなる。この方法及び装置によれば、各種の水素含有ガスから、高効率にて水素を分離することが可能である。ガスから、高効率にて水素を分離することが可能である。 （もっと読む）

【課題】消費エネルギーを低減することが可能な膜分離装置及び膜分離方法を提供する。
【解決手段】成分Ａ及び成分Ｂを含む流体Ｘが供給され、分離膜を用いて流体Ｘを成分Ａの濃度が流体Ｘより高い流体Ｙと成分Ａの濃度が流体Ｘより低い流体Ｚとに分離する膜分離器２０と、流体Ｙを断熱圧縮する第１の圧縮機２１と、第１の圧縮機２１によって断熱圧縮された流体Ｙが熱源として導入される第１の熱交換器１１と、流体Ｚが熱源として導入される第２の熱交換器１２と、を備えた膜分離装置１０であって、流体Ｘは、第１及び第２の供給ライン３１、３２とに分岐して運ばれ、分岐した流体Ｘがそれぞれ第１及び第２の熱交換器１１、１２によって加熱され、再度合流して膜分離器２０に供給される。 （もっと読む）

【課題】無機材料分離膜による分離、濃縮において、実用上十分な処理量と分離性能を両立する多孔質支持体−ゼオライト膜複合体の再生方法を提供する。
【解決手段】ＳｉＯ_２／Ａｌ_２Ｏ_３モル比が５以上のゼオライトを含むゼオライト膜が、多孔質支持体の表面に形成されてなる多孔質支持体−ゼオライト膜複合体に、有機物を含む気体または液体の混合物を接触させて、該混合物のうち透過性の高い物質を透過させ後に、該ゼオライト膜複合体を水に浸漬することよりゼオライト膜複合体を再生する。 （もっと読む）

【課題】イオン交換膜電気透析装置における海水の濃縮効率を良好とするとともに、海水を昇温させるために要する電力消費を抑制することができる製塩装置及び製塩方法を提供することを目的とする。
【解決手段】製塩装置１は、供給経路を介して供給された海水を濃縮するイオン交換膜電気透析装置と、濃縮した海水の水分を蒸発させて塩を結晶化させる蒸発結晶化装置９と、前記イオン交換膜電気透析装置の前段で、海水を前記供給経路からタービン用復水器に冷媒として使用可能に導く第１経路６と、前記タービン用復水器１１で冷媒として使用された海水を、前記第１経路６よりも下流側の前記供給経路に導く第２経路７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電気式脱イオン装置の目詰まりの発生や処理水の水質悪化を防止するとともに、電気式脱イオン装置の処理効率の低下や、装置の短命化を防止できる純水製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】電気式脱イオン装置１４により脱イオンを行う純水製造処理と、電気式脱イオン装置１４に熱水を供給して殺菌する熱水殺菌処理と、を交互に繰り返して行う純水製造方法であって、純水製造処理時における、電気式脱イオン装置１４の濃縮室１４２内の被処理水の流れ方向を、脱塩室１４１の被処理水の流れ方向に対して向流方向とし、前記熱水殺菌処理時における、電気式脱イオン装置１４の濃縮室１４２内の被処理水の流れ方向を、脱塩室１４１内の被処理水の流れ方向に対して並流方向とする、純水製造方法。 （もっと読む）

【課題】３種類以上等、平均分子量の異なる複数の分子量標準物質を用いる場合であっても、短時間で濾過膜の分画分子量を決定できる濾過膜評価システムを提供する。
【解決手段】複数の分子量標準物質を溶解してなる循環液を濾過するクロスフロー濾過装置１と、濾液と循環液をそれぞれクロスフロー濾過装置１からサンプリングし、濾液及び循環液のクロマトグラムを取得する液体クロマトグラフ２と、濾液及び循環液のクロマトグラムから複数の分子量標準物質のピーク面積を解析し、濾液のピーク面積と循環液のピーク面積から分子量標準物質の阻止率を計算し、計算された複数の分子量標準物質の阻止率をプロットして濾過膜の分画分子量の決定可能にする解析装置３とを備える。 （もっと読む）

【課題】水素透過膜の水素透過速度を精度にて予測することができる方法と、この方法を採用した水素製造装置及びその運転方法を提供する。
【解決手段】１次室に原料ガスを供給し、水素分離膜を透過した水素を２次室から取り出す水素分離プロセスにおける該膜の水素透過速度を推定する方法であって、１次室の水素分圧Ｐ_１、２次室の水素分圧Ｐ_２及び温度Ｔから求まる１次室と２次室との水素の化学ポテンシャル差Δμと、水素透過速度Ｊとの関係を求めておき、１次室の水素分圧をＰ’_１とし、２次室の水素分圧をＰ’_２としたときの水素透過速度をこの関係から求める。この方法で推定されるＪ値との積Ｊ・Ａが目標水素取出量となるように、１次室及び２次室のガス圧及び温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】
セルロース含有バイオマスからフルフラールを製造する方法を提供する。
【解決手段】
セルロース含有バイオマスを原料としてフルフラールを製造する方法であって、
（１）セルロース含有バイオマスを加水分解し、加水分解物を少なくとも精密濾過膜に通じて濾過してフルフラール粗精製液を製造する工程、
（２）フルフラール粗精製液をナノ濾過膜に通じて濾過し、透過側からフルフラール精製液を回収する工程、および
（３）フルフラール精製液を逆浸透膜に通じて濾過し、非透過側からフルフラール濃縮液を回収する工程、
を含む、フルフラールの製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、分離機能層とこれを支持する多孔質膜を積層した複合分離膜の製造方法に関するものであり、かかる複合分離膜は、排水の浄化、海水の脱塩、医療用成分の分離、食品有効成分の濃縮や、気体成分の分離などの用途に用いることができる。本発明は、このような高性能複合分離膜を効率的に得るための製造方法を提供するものである。
【解決手段】本発明の複合分離膜の製造方法は、多孔質膜上に分離機能層を設ける複合分離膜の製造において、多孔質膜の分離機能層を設ける面に、分離機能層構成成分およびアルコールを含む水溶液を接触させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】適切な運転条件に設定し、電力量を削減する海水淡水化装置を提供する。
【解決手段】高圧ポンプＰ２と、海水および逆浸透膜１０からの濃縮海水が供給され、濃縮海水から回収したエネルギーにより高圧で海水を送出し低圧で濃縮海水を排水する動力回収装置２０と、動力回収装置２０から排水された海水を昇圧し、高圧ポンプＰ２からの海水と合流させて逆浸透膜１０へ排水するポンプＰ３と、動力回収装置２０から排水される濃縮海水量を調整する排水弁３０と、逆浸透膜１０に供給される海水圧力を測定するセンサＳＰ１と、逆浸透膜１０から排水される淡水流量を測定するセンサＳＱ４と、逆浸透膜１０から排水される濃縮海水流量、あるいは、ポンプＰ３から送出される海水流量を測定するセンサＳＱ１、ＳＱ３と、動力回収装置２０に供給される海水流量を測定するセンサＳＱ２と、センサＳＰ１、ＳＱ１〜ＳＱ４で測定された値に基づいて制御する制御部と、を備える。 （もっと読む）