【課題】従来の描画装置では、コストを軽減することが困難である。
【解決手段】ワークに向けて液状体を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドに対する前記ワークの相対位置を変位させる変位装置と、前記相対位置の変位方向に沿って並ぶ複数の目盛り７５が設けられたリニアスケール７１と、前記相対位置の変位にともなって目盛り７５を検出し、目盛り７５を検出するごとに検出信号を出力するエンコーダー７３と、リニアスケール７１の一端７８ａ側を支持するビス８２と、リニアスケール７１の他端７８ｂ側からリニアスケール７１に張力を付与する引張りばね８３と、リニアスケール７１から独立した状態で、ビス８２から距離Ｄを隔てた位置に設けられ、他端７８ｂ側において、複数の目盛り７５のうちの一部の目盛り７５をエンコーダー７３から隠す隠し部材９１と、を有する、ことを特徴とする描画装置。 （もっと読む）

【課題】材料の供給状態を正確に調整して高精度に膜圧形状を制御することが可能な塗布装置及び塗布方法の提供。
【解決手段】実施形態の塗布装置は、塗布対象物に材料を吐出して塗布するノズルと、前記ノズルに供給される材料を貯留する貯留部と、前記貯留部と前記ノズルとを連通する流路と、前記流路の開閉状態を切り替える吐出用ダイヤフラムバルブと、前記流路に接続され前記流路における材料の流量を調整するとともに、そのサックバック量が調節可能なサックバック部と、を有する吐出弁と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大面積においても良好な外観を有する塗布フィルムが得る事ができる製造方法および塗布装置を提供することである。
【解決手段】計量バー３のフィルム走行方向上流側、フィルム走行方向下流側、両端部および底部に設置されたカバー５，６，８により囲われた空間と、該空間に塗液を供給する塗液供給手段７を有し、前記空間に満たされた前記塗液を前記計量バ３ーの回転により持ち上げ、フィルムに前記塗液を塗布・計量する塗液塗布方法であって、前記計量バー３と前記フィルム走行方向上流側カバーの間隙（ａ）が、前記計量バーと前記フィルム走行方向下流側カバーの間隙（ｂ）より大きく、かつ前記フィルム走行方向上流側のカバーが前記フィルム走行方向下流側のカバーの先端高さより高く、その差（ｃ）が２．０〜８．０ｍｍであることを特徴とする塗液塗布方法。 （もっと読む）

【課題】塗液の脈動による塗膜の膜厚ばらつきを低減させる。
【解決手段】塗液を供給する塗液供給ポンプ２と、基材に塗工するコーティングヘッド７と、塗液供給ポンプ２からコーティングヘッド７までを接続するメイン配管３と、メイン配管３に設けられた間欠塗工に使用できる塗液流路切替えバルブ４とを有した塗工装置１００において、塗液供給ポンプ２から塗液流路切替えバルブ４までの間に、一時的に塗液を蓄えることのできるアキュムレータ５を設け、さらにこのアキュムレータ５のガス空間領域の上端の位置が、コーティングヘッド７の吐出口の位置よりも高い位置となるように、アキュムレータ５を配置することで、配管圧力の経時変化にも耐え、塗液供給ポンプ２から発生する吐出脈動による膜厚ばらつきを低減させる。 （もっと読む）

【課題】電極用塗工塗膜を形成する際、塗工精度を保ちつつ、塗工部の終端部にヒゲ形状が生じないように塗工することが可能な二次電池の電極部材の塗工装置および塗工方法を提供すること。
【解決手段】塗料を吐出する塗工用ヘッド（５）と、塗工用ヘッド（５）に塗料を供給する塗料供給装置(１，２)と、塗料供給装置(１，２)から流路仕切弁（４）を介して塗工用ヘッド（５）へ塗料を送液するための第１の流路と、塗料供給装置(１，２)から流路仕切弁（４）を介して塗料供給装置(１，２)に塗料を還流させるための第２の流路と、塗工用ヘッド（５）の近傍に設けられ、塗工停止時に塗工用ヘッド（５）内の塗料を吸引する２つ以上の吸引バルブ（１０）とを備える電極部材の塗工装置。 （もっと読む）

【課題】チクソトロピー性の高い塗液であっても、塗工開始後から所望の目付け量で安定して塗工可能な塗工装置及びその塗工方法を提供すること。
【解決手段】塗工装置は、塗工開始前に塗工ヘッド（２）から塗液タンク（３）に還流する塗液経路を設け、所望の目付け量が得られる塗工時の塗工ヘッド（２）の内圧以上の圧力で還流可能なポンプ（３）を有する。このような構成により、塗工直前まで塗工ヘッド（２）内の圧力を塗工時と同じもしくはそれ以上に保ち、流動させておくことが可能となる。その結果、塗工開始時の塗液粘度を低減し、かつ流動性を確保することで、塗工開始からの目付け量の変動を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】走行するウェブに塗布液を塗布する際に厚塗り部を吸引ノズルで従来よりも効率的に吸引することができるので、吸引圧力を比較的小さくすることができ、走行するウェブがバタつく等の不具合がない。
【解決手段】走行する帯状のウェブ１８に塗布液を塗布する際に、塗布幅方向両端部に形成され、目標塗布膜厚ｄよりも厚い厚塗り部４３を吸引する吸引ノズル１５を備えた塗布装置１０において、吸引ノズル１５の塗布幅方向における吸引面幅Ｄｏ及び吸引口幅Ｄｉは、厚塗り部４３の塗布幅方向の幅をＷ及び高さをＨ、ウェブ１８と吸引面５４との間のクリアランスＬとしたときに、下記の式１及び式２を満足する。
Ｗ≦Ｄｏ…（式１）、Ｗ＊Ｈ／Ｌ≦Ｄｉ＜Ｄｏ−１ｍｍ…（式２） （もっと読む）

【課題】密着性が良好で、かつ基材表面に、耐水性、防曇性、防汚性、耐候性に優れる親水性表面を付与した組成傾斜構造を有する親水性部材を提供する。
【解決手段】基材２上に設けられ、下記親水性材料１）及び活性エネルギー線硬化型オリゴマー又はポリマー２）’を含む膜とを有する親水性部材１であって、該膜が膜の厚み方向において前記基材２に最も近い側から最も遠い側に向かって１）の比率が大きくなり、かつ、２）’の比率が小さくなるように、１）及び２）’の組成が連続的に変化する組成傾斜膜３である、親水性部材１。但し、活性エネルギー線硬化型オリゴマー又はポリマー２）’は下記１）の親水性材料とは異なる。１）加水分解性シリル基含有親水性ポリマーを含有し、かつ前記ポリマーが主鎖末端又は側鎖に、加水分解性シリル基を分子中に少なくとも１個有し、親水性基を分子中に少なくとも１個有する親水性材料。 （もっと読む）

【課題】
液処理モジュール２に載置されたウエハＷに対して処理液ノズル１１から処理液を供給して液処理を行うにあたって、処理液の供給量を安定させ、これによりウエハＷの間における塗布の均一性を図ること。
【解決手段】
ノズル１１がノズルバス１５に待機しているときに一定量だけサックバックバルブ５２によりサックバックを行ってノズル１１の先端部のレジスト液の液面を引き上げる。ノズル１１を液処理モジュール２の上方に移動させた後、ノズル１１を支持するアーム１３に設けられたカメラ１６により、当該ノズル１１の先端部を撮像し、画像データを取得する。この画像データに基づいて、液面レベルを検出し、その検出結果に応じて液面レベルが予め設定した基準レベルになるようにサックバックバルブ５２を制御する。このためレジスト吐出前の液面レベルが一定化し、処理液の吐出量が一定化する。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理の信頼性を保障しつつ洗浄液の使用量を一層削減すること。
【解決手段】スリットノズル７２の吐出口をプライミングローラ１４の頂部に対して平行に対向させ、スリットノズル７２に一定量のレジスト液Ｒを吐出させ、そのまま所定時間放置する。次に、プライミングローラ１４の回転を開始して、プライミングローラ１４の外周面上にレジスト液Ｒを巻き取り、その後もプライミングローラ１４の回転をそのまま継続させて、プライミングローラ１４に巻き取られた塗布液膜の自然乾燥を促し、所定時間経過後にプライミングローラ１４の回転を停止させて該塗布液膜を所定の待機用回転角位置に着かせ、該塗布液膜の自然乾燥を継続する。その後、この塗布液膜を洗浄によって除去する。 （もっと読む）

【課題】たとえばフラットパネルディスプレイに用いられる基板に発生した欠陥の修正など、塗布針と塗布対象物との間に強い電界を形成することなく、塗布針に供給された液体材料を当該塗布針より離脱させることにより、液体材料を塗布対象物上に塗布することができる、液体塗布装置、当該液体塗布装置を備えるパターン修正装置および微細パターン描画装置、ならびに液体塗布方法を提供する。
【解決手段】液体塗布装置５は、塗布針２０と、塗布針２０による液体材料の塗布に際して塗布針２０を振動させる超音波発生器２０ａとを備えている。 （もっと読む）

【課題】狭いスペース内でも効率がよく確実なコーキングを行うことができる経済性に優れたコーキング方法を提供する。
【解決手段】筒状のカートリッジ本体９３と、このカートリッジ本体９３の先端部に設けたノズル９７と、カートリッジ本体９３内に配置したスライド底部と、を有し、カートリッジ本体９３内にコーキング材を収容しているコーキングカートリッジ９１を用いてコーキング作業を行う。コーキング材が少なくなったら、スライド底部よりも後側のカートリッジ本体９３部分を切断する。切断したコーキングカートリッジ９１に対応する長さのカートリッジ装着部５を備えた小型のコーキングガン１に、切断したコーキングカートリッジ９１を装着してコーキング作業を行う。 （もっと読む）

【課題】 ノズルから吐出された液滴に変質等が生じないように吐出空間の雰囲気を置換することが可能なデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 デバイスの製造方法は、基板をチャンバ内に搬入して載置台に載置する工程と、待機位置において封止部材により液滴吐出ノズルを隔離した状態で、チャンバの内部を減圧する減圧工程と、ガス供給機構からチャンバ内にパージガスを導入してチャンバ内部の雰囲気を置換するとともに大気圧状態に戻す雰囲気置換工程と、封止部材による液滴吐出ノズルの隔離を解除し、液滴吐出ノズルを吐出位置に移動させて被処理体へ向けて前記液滴を吐出する吐出工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】液剤塗布ユニットに対して、液剤貯留圧送タンクによる液剤の供給時におけるタンク内の液剤残量検出を可能とする。
【解決手段】液剤貯留圧送タンク内の液剤を加圧する落し蓋に対し、上方に立てた液剤検出ロッドがあり、タンク上部のタンク蓋より上方に液剤検出ロッドを出し、液剤の減少量を目視やセンサーにより液剤残量検出を可能とした。 （もっと読む）

【課題】 高精度の描画を行う。
【解決手段】 基板を保持して水平面内方向に移動させるステージと、基板に対向して配置され、基板に向けて絶縁材を吐出する吐出ヘッドと、基板上の一部の位置を押圧する押圧部と、押圧部が、吐出ヘッドによって絶縁材が吐出されていない基板上の位置を押圧するように制御を行う制御装置とを有する液滴吐出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、基板に均一な厚みの材料層を描画する描画装置および描画方法を提供することにある。
【解決手段】
基板の表面に画定される単位領域ごとに、該単位領域内のうち液状材料を付着させるべき領域が占める面積の割合に基づいて、ノズルヘッドのノズルに印加する電気信号の電圧パルス高さまたは電圧パルス幅の少なくとも一方を制御する。 （もっと読む）

【課題】長距離にわたり連続的に液体材料を塗布することができる、液体塗布機構、当該液体塗布機構を備える液体塗布装置および液体塗布方法を提供する。
【解決手段】液体塗布機構２５は、液体材料１２を微細領域に塗布する液体塗布機構であって、先端部において液体材料１２を塗布する塗布部１０と、液体保持部１１とを備えている。塗布部１０と液体保持部１１とは、塗布部１０と液体保持部１１との間に液体材料１２を保持可能な液体保持空間が形成され、液体保持空間に保持されるべき液体材料１２が液体保持空間と塗布部１０の先端部との間において連続的に存在可能となるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】塗布した箇所を視認し易く、且つその後確実に無色となることで塗布した箇所を目立たなくし得る特性を有する塗布製品を提供する。
【解決手段】塗布製品である転写具１は、特定の波長を有する特定波長光たる紫外光が照射されると発色し可視光が照射されると無色となるフォトクロミック化合物を含み、特定波長光が照射されると発色状態となり可視光が照射されると消色状態となる塗布物たる粘着剤５５と、当該粘着剤５５を収納する容器たるケース２と、このケース２に取り付けられ、このケース２内において粘着剤５５が対象物へ塗布される際に通過する通過領域Ｘへ向けて紫外光を照射し粘着剤５５を発色状態とし得る照射部３４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】液晶材料の滴下を微量かつ微細なピッチで行うことができ、結果として液晶パネルの液晶材料層を狭ギャップ化することが可能な液晶材料滴下装置及び液晶材料塗布方法を提供する。
【解決手段】液晶材料を基板に塗布する液晶材料塗布装置であって、液晶材料が貯留される液晶材料貯留手段２２と、液晶材料貯留手段２２に接続され、液晶材料貯留手段２２の内圧を所定範囲内に維持する内圧制御手段１６ａ，１７，２０と、液晶材料貯留手段２２に接続され、液晶材料を基板に塗布するインクジェット方式の塗布手段１１と、を備え、内圧制御手段は、液晶材料貯留手段に大気又は任意の気体を供給する気体供給部１８，１８ａと、液晶材料貯留手段に負圧を供給する負圧供給部１７，１７ａ，２０とを含んで構成されている。 （もっと読む）

【課題】メニスカスに負担を掛けずに増粘液体を空吐出する。
【解決手段】加圧液室と、前記加圧液室に連通するノズルと、前記加圧液室に圧力を発生させる電気機械変換素子を有する液体吐出ヘッドに、複数の駆動パルスから成る空吐出駆動波形を印加して空吐出動作を行う液体吐出ヘッドの制御方法であって、前記駆動パルスの駆動パルス間隔Ｐ１〜Ｐ５を前記加圧液室の固有振動周期の整数倍にして、前記駆動パルス間隔Ｐ１〜Ｐ５が長い順に所定数連続した駆動パルスで空吐出駆動波形を生成する工程と、生成した駆動波形を前記電気機械変換素子に印加する工程と、を有する。 （もっと読む）