【課題】不純物が少ない良質のシングルウォールカーボンナノチューブを得るための、低温でのシングルウォールカーボンナノチューブの成長方法を提供する。
【解決手段】真空チャンバを準備する段階と、前記真空チャンバ内で触媒金属が蒸着された基板を準備する段階と、前記真空チャンバ内に供給されるようにＨ_２Ｏを気化させる段階と、真空チャンバ内でＨ_２Ｏプラズマ放電を発生させる段階と、真空チャンバ内にソースガスを供給して、Ｈ_２Ｏプラズマ雰囲気下で基板上にカーボンナノチューブを成長させる段階とを含む、シングルウォールカーボンナノチューブの成長方法である。 （もっと読む）

【課題】触媒を必須とすることなく比較的低温でもって大面積上にわたって一重壁カーボンナノチューブを成膜すること。
【解決手段】無触媒基体上において一重壁カーボンナノチューブを電子サイクロトロン共鳴プラズマによって成膜するための方法であって、磁気ミラーを有した磁気閉込構造を具備しているとともに基体に対向した少なくとも１つの電子サイクロトロン共鳴領域（２０）を内部にまたは境界部分に備えている成膜チャンバ（１）内に、マイクロ波パワーを注入し、これにより、成膜チャンバの中央においてかつ磁気ミラー内において、カーボンを含有したガスを、１０^−３ｍｂａｒ以下の圧力において解離および／またはイオン化させ、生成した種を、加熱した基体上に成膜させる、という方法において、基体（２）の表面を、凹凸形状を有したものとする。 （もっと読む）

【課題】ナノ構造体の生成方法及び装置を提供する。
【解決手段】ナノ構造体の生成方法は、ナノ構造体を生成するためにナノ構造体の成分を含むガスを一つ以上の中空陰極反応装置に通す段階と、ナノ構造体を収集し、次いで副産物を、酸化ガスと一緒に一つ以上の中空陰極反応装置に通して排気ガスから除去する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】従来、高周波プラズマを用いて、窒素プラズマとフラーレンを反応させて窒素内包フラーレンを製造していた。従来の方法では、内包フラーレンの生成に必要な窒素原子イオンの生成効率が低く、また、生成されたイオンのエネルギー制御性が悪いために、内包フラーレンの収率が極めて低いという問題があった。
【解決手段】熱陰極と直流マグネトロン放電を用いたプラズマ源により窒素プラズマを生成し、さらに、窒素イオンのエネルギーを制御して高密度のフラーレンガス中に照射し、窒素内包フラーレンを生成した。窒素原子イオン密度が高く、イオンエネルギーを最適制御して高密度フラーレンに照射しているため、高い収率で窒素内包フラーレンを製造することが可能になった。 （もっと読む）

本発明は、支持材上にナノ構造物（１０４）を作製する方法に関し、以下のステップを含むことを特徴とする。一方の表面上に表面層（１０１）を備える支持材を供給するステップと、触媒によって覆われる表面層の領域及び触媒によって覆われていない表面層の領域を露出するパターンによって構造化される触媒層（１０２）によって表面層を覆うステップと、触媒によって覆われてない領域における表面層（１０１）の厚さをエッチングするステップと、触媒によって覆われる表面層の領域上にナノ構造物（１０４）を選択成長するステップを含む。本発明は、電気的に独立したナノ構造物でカソード構造物を作製するためにも使用されうる。
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【課題】炭素クラスター内にＤＮＡを内包させることができるＤＮＡ内包炭素クラスターの製造装置を提供する。
【解決手段】ＤＮＡ含有溶液をためることができる多孔質材あるいは金網からなる高周波印加用電極４と、該高周波印加用の電極４に対向して配置された接地電極１と、該高周波印加用の電極４に高周波電力を供給する電源９とを備え、該接地電極１の表面に開口炭素クラスター２を有することを特徴とするＤＮＡ内包炭素クラスターの製造装置。 （もっと読む）

【課題】水素吸蔵量が高いナノカーボン粒子を提供する。
【解決手段】直径が１０〜５００ｎｍであるアモルファス構造のカーボンブラック粒子を、放電プラズマ中に曝して炭素原子を再配列させ、断続した炭素六方網平面が略同心円状に配列して積層化した構造とする。 （もっと読む）

本発明は、ナノ構造体またはナノ材料を形成する方法に関する。この方法は、基板（１５）上に熱コントロールバリア（１７）を提供するステップと、ナノ構造体またはナノ材料を形成するステップとを備える。この方法は、例えば、炭素含有ガスプラズマを使用するプラズマ化学気相堆積法によってカーボンナノチューブを形成するために使用されてもよい。基板（１５）の温度は、カーボンナノチューブが形成される間３５０℃未満に維持されてもよい。 （もっと読む）

【課題】 ６５０℃以下の低温で直径が２ｎｍ未満の高純度の単層カーボンナノチューブを合成することができる炭素系一次元材料の合成方法を提供する。
【解決手段】 基体上に担持された触媒を用い、炭素を含む化合物を原料ガスとしてプラズマ中で反応を行うことにより炭素系一次元材料を合成する場合に、その触媒として、（Ｆｅ_1-p-q Ｃｏ_p Ｎｉ_q ）_1-x-y Ｍｏ_x Ｃｒ_y （０＜ｘ＋ｙ≦０．３３、０≦ｘ≦０．３３、０≦ｙ≦０．３３、０≦ｐ＋ｑ≦１、０≦ｐ≦１、０≦ｑ≦１）、例えばＦｅ_1-x Ｍｏ_x （０＜ｘ＋ｙ≦０．３３）を用いる。 （もっと読む）

本発明は、フラーレンの作製中およびカーボンナノ構造体の作製中に得られる炭素含有残渣をさらに加工処理するための方法に関する。本発明の方法は、該残渣が化学置換基の導入によって官能基化され、その際、前記官能基化が該作製中または作製後に行なわれることを特徴とする。また、前記方法に従って得られる官能基化された炭素含有残渣、およびヒドロキシル化剤、湿潤剤、ゴム化合物中の添加剤として、およびつなぎ縄法遠隔官能基化のためのその使用を提供する。 （もっと読む）

【課題】高密度な電子放出点、高アスペクト比、高導電性を備えた新規なカーボン金属ナノツリーを提供すること。
【解決手段】金属内包カーボンナノチューブを幹部分とし、この幹部分となる金属内包カーボンナノチューブの複数箇所から他のカーボンナノチューブが枝部分として分岐し、前記幹部分と枝部分とを含む全体が高配向したツリー構造を備えたカーボン金属ナノツリー。 （もっと読む）

【課題】 本発明は工業生産に適する、極めて容易な手段によるカーボンナノ繊維の製造方法、特に金属触媒など製品中に除去の厄介な混入物のないカーボンナノ繊維、とりわけカーボンナノチューブの製造方法を提供する。
【解決手段】 不活性ガスのプラズマジェット気流中に炭化水素ガスを供給し、該気流中で炭化水素を熱分解し、冷却過程でカーボンナノ繊維を生成させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 カーボンナノウォールを製造する新規な方法およびその方法の実施に適した装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも炭素を構成元素とする原料ガス３２を反応室１０に導入する。その反応室１０には、第一電極２２および第二電極２４を含む平行平板型容量結合プラズマ（ＣＣＰ）発生機構２０が設けられている。これによりＲＦ波等の電磁波を照射して、原料ガス３２がプラズマ化したプラズマ雰囲気３４を形成する。一方、反応室１０の外部に設けられたラジカル発生室４１において、少なくとも水素を含むラジカル源ガス３６をＲＦ波等により分解して水素ラジカル３８を生成する。その水素ラジカル３８をプラズマ雰囲気３４中に注入して、第二電極２４上に配置した基板５の表面にカーボンナノウォールを形成する。
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【課題】 触媒作用を円滑に促進して発電性能に優れた燃料電池を提供すること。
【解決手段】 カーボンに担持された触媒の一方に燃料極３、他方に空気極５を配置し、触媒の作用で燃料極と空気極との間に直流電流を発生させる燃料電池であって、前記カーボンに、幹状カーボンナノチューブ内の空間部に金属が充填され、かつ、該幹状カーボンナノチューブから多数の枝状カーボンナノチューブが高配向に分岐して全体がツリー構造をなすカーボン金属ナノツリーを用いた構成。 （もっと読む）

【課題】乾式処理のような高価な製造設備を必要とせず、高電圧を印加する必要もないため製造も容易で、製造現場の作業環境を悪化・劣化させず、安全性を確保でき、さらに、生成と回収とを連続的に行うことにより製造効率を向上させて製造コストを飛躍的に低減し、量産性に優れたナノカーボン材料の生成方法及び生成装置を提供する。
【解決手段】Ａ）容器内に充填した有機溶媒中に、電源に接続した電極の陰極および陽極と超音波発生機器に接続された超音波ホーンとを配置する工程と、Ｂ）前記超音波ホーンの先端付近の有機溶媒中に超音波を発生させて超音波キャビテーション場を生成し、前記電極に電圧を印加して超音波キャビテーション場に放電プラズマを生起させることによって、有機溶媒中の分子を熱分解してナノカーボン材料を生成する工程とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ナノスケールを有する新規なカーボン構造物を利用した新規なデバイス、カーボンナノウォール、カーボンナノウォールの製造方法を提供する。
【解決手段】デバイスは、伝導領域がカーボンナノウォールを基材として形成されている。カーボンナノウォールはヘテロ原子が含有されているものでも、ヘテロ原子を含有しないものでも良い。ヘテロ原子を含むカーボンナノウォールは、ヘテロ原子と炭素源とを含む原料ガスをプラズマＣＶＤ法により製造できる。 （もっと読む）

本発明は、ナノメートル・フィラメント状構造体を堆積させる方法に関する。この方法は、ナノメートル・フィラメント状構造体を電極のうちの少なくとも１つに堆積させるために、ナノメートル・フィラメント状構造体を含むガス相を電界を発生させる少なくとも２つの電極の間に画成される空間を通過させるステップと、堆積中堆積したナノメートル・フィラメント状構造体が電極を架橋することを少なくとも実質的に防止するステップとを含む。本発明は、ナノメートル・フィラメント状構造体を堆積させる装置、ならびにナノメートル・フィラメント状構造体の製造を監視する方法および装置、およびナノメートル・フィラメント状構造体の巨視的集合体にも関する。 （もっと読む）

プラズマ化学デポジション方法により基板の表面上にカーボンナノチューブを形成する。該カーボンナノチューブの成長後、新しく形成されたナノチューブ構造に後処理工程を施す。後処理工程は、グラファイトやその他のカーボン粒子を、成長したナノチューブの壁部から取り除き、ナノチューブ層の厚みを制御する。一定の基板温度でプラズマにより後処理工程を行う。後処理工程のため、水素含有ガスをプラズマ源ガスとして用いる。ナノチューブ成長工程から後処理工程への転移の間で、プラズマ処理室内の圧力が室内にプラズマを閉じ込めることなく前述の純化ガスで安定化される。これは、プラズマ処理室をパージして真空にする必要性をなくす。 （もっと読む）

【課題】表面に炭素皮膜を形成した基板にイオン照射して、基板の表面に形成された各微小突起の頂部に１本ずつカーボンナノ構造材を成長させて、基板上にナノ構造材をバラけた疎の状態で得るに際し、基板の表面に形成する炭素皮膜を適切なものに選択することによって、低い電流密度のイオン照射によってナノ構造材を疎な状態で成長可能としたカーボンナノ構造材の製造方法。
【解決手段】有機ポリマー溶液としてアクリロニトリル系重合体の溶液を基板の表面に塗布し、ついで基板を酸素含有雰囲気中で２００〜４００℃の温度で焼成してアクリロニトリル系重合体の塗膜を予備酸化処理し、ついで基板を不活性雰囲気中で少なくとも１０００℃の温度で焼成することによって塗膜を炭化処理して、基板表面に炭素皮膜を形成する。基板表面に７０μＡ／ｃｍ²で１００分間のイオン照射を行うと（実施例１）、カーボンナノファイバをバラけた状態で得ることができる。 （もっと読む）

【課題】原子内包炭素クラスターを大量合成するためには、高密度の内包原子プラズマ流を生成可能なプラズマ源が必要である。従来、単層で穴のない平板状の熱電極に内包原子蒸気を噴射して、接触電離により内包イオンを生成していた。しかし、イオン化効率が低く、噴射した蒸気の一部の原子しかイオン化せず、十分なイオン電流を取り出すことができなかった。
【解決手段】熱電極を金網など、複数の開口部を有する金属板にした。さらに、複数の熱電極を積層することにより、蒸気が接触する熱電極の表面積が大幅に増加するので、イオン化効率が向上し、大きなイオン電流を取り出すことが可能になった。また、熱電極を細いタングステン線などで構成することにより、熱電極をヒーターで加熱しなくても、熱電極自体に電流を流して発熱させることが可能になり、熱エネルギーの利用効率が向上するという効果もある。 （もっと読む）