【課題】紫外／可視光ブラインド比を向上させたダイヤモンド紫外線センサー素子とその製造方法を提供する。
【解決手段】ダイヤモンド単結晶を受光部とし、この受光部に照射される光によって生じる電気抵抗の変化で光を検出するダイヤモンド紫外線センサー素子の製造方法であって、（１）ダイヤモンド単結晶の表面を実質的に水素を含む雰囲気中で水素化する工程と、（２）前記水素化したダイヤモンド単結晶の表面をオゾンまたは活性酸素を含む雰囲気中に曝露することにより受光部を形成する工程と、を含むこととする。 （もっと読む）

【課題】 基板上に垂直配向したＣＮＴの間隔を制御でき、触媒活性度を向上させることができ、ＣＮＴと基板間の抵抗を低減させることができるＣＮＴ構造体を提供する。
【解決手段】基板１１と、基板１１上に設けられた複数の導電性粒子（第１粒子）１２と、基板１１上に設けられた複数の触媒粒子（第２粒子）１３と、基板１１上に立設された複数のカーボンナノチューブ１４とからなり、各触媒粒子１２は基板１１に接触し、かつ各触媒粒子１３は導電性粒子１２と接触するように配置され、カーボンナノチューブ１４は、触媒粒子１３を介して基板１１上に合成され、導電性粒子１２の融点は、触媒粒子１３の融点より高い、カーボンナノチューブ構造体１０。 （もっと読む）

【課題】表面粗さが小さく、自己スパッタによる成膜レートの低下が少ない方法で、摩擦係数を低下させ、且つ硬度を上昇させたダイヤモンド状炭素被膜を形成することができるダイヤモンド状炭素被膜の製造方法を提供する。
【解決手段】炭化水素からダイヤモンド状炭素被膜を合成するにあたって、炭化水素とともに、シリコン及び炭素を含む物質を導入し、イオンプロセス主体での合成を可能にする高電圧を印加するプラズマ化学気相成長法により、炭化水素とシリコン及び炭素を含む物質とからダイヤモンド状炭素被膜を合成する。 （もっと読む）

【課題】半導体材料、電子部品、光学部品、切削・耐磨工具などに用いられる大面積で高品質なダイヤモンド単結晶基板を高速に製造する方法を提供する。
【解決手段】種基板１として、主面の面方位が略＜１００＞方向に揃った複数個のダイヤモンド単結晶基板を並べて配置し、気相合成法により種基板１上にダイヤモンド単結晶を成長させるダイヤモンド単結晶基板の製造方法であって、種基板１の主面の面方位が｛１００｝面に対する傾きが５度以下であり、第一の段階における成長パラメータαが２．０以上３．０未満であり、第二の段階におけるαが３．０以上である。 （もっと読む）

【課題】基板との密着性に優れたカーボンナノチューブの簡便な作製方法及びカーボンナノチューブを密着性良く成長せしめてなる基板の提供。
【解決手段】カーボンナノチューブ作製用原料ガスとして、分解温度の異なる少なくとも二種類の炭化水素ガスを使用し、基板上にカーボンナノチューブを作製する。かくして作製された、接合箇所を含めた根本部分又は根本部分を含めた全表面がカーボン薄膜で覆われたＣＮＴを成長させてなる基板。 （もっと読む）

【課題】
Ｐ型半導体性のカーボンを簡易な製造装置により製造できるカーボン製造方法及びカーボン製造装置を提供すること。
【解決手段】
プラズマＰを生成するチャンバ１１内に固体ヨウ素Ｉを配置し、チャンバ１１内に原料ガスＧを供給しつつ固体ヨウ素Ｉを昇華させてプラズマＰを生成し、チャンバ１１内に配置した基材Ｂ上にヨウ素がドーピングされたアモルファスカーボンＣを生成する。これによって、簡易な手法により、ヨウ素をドーピングしたＰ型半導体性カーボンを製造することができる。 （もっと読む）

【課題】所望のバンドギャップエネルギーを容易に実現できるアモルファスカーボン製造装置及びアモルファスカーボン製造方法を提供する。
【解決手段】アモルファスカーボンＣを成長させるための基材Ｂをチャンバ１１内に収容し、そのチャンバ１１内に原料ガスＧを供給し、供給した原料ガスＧのプラズマＰを生成し、生成されたプラズマＰの基材Ｂに到達する際の速度を制御してアモルファスカーボンＣの製造を行う。これにより、プラズマＰの到達速度に対応させてカーボンの結晶化及び選択的エッチング効果を生じさせることができる。このため、カーボンのｓｐ２／ｓｐ３結合比を調整することができ、所望のバンドギャップを有するアモルファスカーボンＣを容易に製造することができる。 （もっと読む）

【課題】大きな変形を伴う基材の表面に形成した場合においても、剥離及びクラックが発生しにくく且つ耐蝕性が高い炭素質薄膜を実現できるようにする。
【解決手段】炭素質薄膜は、基材の表面に形成され、炭素同士が結合したＣ−Ｃ成分及び炭素とシリコンとが結合したＳｉＣ成分を含む膜本体を備えている。膜本体の表面における酸化シリコン成分の比率は、０．０５以下である。 （もっと読む）

【課題】 幅や長さ、膜厚の調整が容易で、かつ、大面積のグラフェンシートを簡単に製造できる方法を提供する。
【解決手段】 触媒金属層を形成した基板上に炭素含有ガスを供給してグラフェンシートを形成するグラフェンシートの製造方法であって、所定の性質を有する基板を準備する工程と、この基板の少なくとも一面に、少なくとも一つのライン状の触媒金属層を位置決めして形成する工程と、前記触媒金属層を形成した前記基板を容器内に収容するとともに、所定環境下で前記基板を加熱する工程と、前記基板の少なくとも前記触媒金属層を形成した面に、炭素含有ガスを供給する工程とを有し、前記触媒金属層の基板からの高さを、形成しようとするグラフェンシートの膜厚及び層数に応じた高さとした。 （もっと読む）

【課題】核生成速度が速く、粒子密度が高いダイヤモンド膜を得ることができる導電性ダイヤモンド膜が形成された基板の製造方法を提供する。
【解決手段】基板に対する前処理として、銅、アルミニウム、ガラスのいずれかからなる基板上に、ダイヤモンドナノ粒子の含有量が、ダイヤモンドナノ粒子分散溶液全体に対して０．００１〜０．１質量％であるダイヤモンドナノ粒子分散溶液を塗布した後、基板温度を２５０℃以上として、化学気相成長法により、前記基板上に導電性ダイヤモンド膜を合成する。 （もっと読む）

【課題】適用用途に応じた所望の性能を発揮するカーボンナノファイバ２０を短時間で多数形成することが可能な導電性繊維物質の製造方法の提供。
【解決手段】 繊維状または管状を成す導電性繊維物質としてのカーボンナノファイバ２０の製造方法であって、シリコンからなる基板１１の表面に直接導電性を有する導電触媒層１２を成膜し、導電触媒層１２を加熱し、減圧雰囲気下において、導電触媒層１２の周囲に混合ガスを導入し、プラズマを発生させてＣＶＤを行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム基板上に高い比率で単層と二層が混在したカーボンナノチューブ複合体を作製すること。及びこれを電極材料に用いることで低抵抗かつ容量の大きいエネルギーデバイスを提供すること。
【解決手段】カーボンナノチューブの触媒層を蒸着膜厚０．５〜１．０ｎｍでアルミニウム基板上に形成し、触媒粒子群を形成するために還元性ガス中で触媒基板を熱処理し、還元性ガスと炭化水素ガスの混合ガス中で合成温度５７０〜６６０℃で単層と二層が混在したカーボンナノチューブ２２をアルミニウムを含む基板２１上に気相成長させて、単層と二層が混在したカーボンナノチューブ複合体を作製する。 （もっと読む）

二酸化炭素を非熱プラズマ雰囲気中で炭素と酸素に分解する二酸化炭素のプラズマ分解装置及び方法が開示されており、当該装置は、二酸化炭素の流入口及び炭素と酸素の排出口を有する二酸化炭素分解反応器と；前記反応器内に配置されて長さ方向に伸長する棒状の複数の陽極と；前記反応器内の複数の陽極内に配置されて長さ方向に伸長する棒状の複数の陰極と；前記複数の陽極と前記複数の陰極との間に所定の電圧を印加する電源と、を含む。 （もっと読む）

本発明は、低圧においてダイヤモンドの光学的性質を改善する方法に関し、特に、ＣＶＤダイヤモンドを成長させるステップと、ダイヤモンド安定領域外の約１〜約７６０ｔｏｒｒの圧力において還元雰囲気中、約５秒〜約３時間の時間の間、ＣＶＤダイヤモンドの温度を約１４００℃〜約２２００℃に上昇させるステップとを含む所望の光学的品質のＣＶＤダイヤモンドの製造方法に関する。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブをカーボンファイバーシート上に一様に生成することが可能なカーボンファイバーシート上のカーボンナノチューブの成長方法、および電界放出特性に優れたカーボンナノチューブエミッターを提供する。
【解決手段】 本発明の一実施形態では、カーボンファイバーシートを構成する繊維表面にＰｄを含む触媒金属を堆積して、その堆積させた触媒金属を核としてカーボンナノチューブを成長させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大気中かつ無潤滑環境下でも耐摩耗性・低摩擦性能に優れた硬質炭素被膜を提供する。
【解決手段】Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の高融点金属を含む基材１２上に、各層間の密着性を高めるためＣｒ中間層４１、および組成傾斜層４２を形成し、その上に２.７ａｔ％以上７.７ａｔ％以下のＭｏ元素、及び１.３ａｔ％以上４.６ａｔ％以下のＳ元素、及び７.０ａｔ％以上９.５ａｔ％以下のＯ元素を含む硬質炭素被膜４３を０．２μｍ以上０．３μｍ以下の厚さに形成する。 （もっと読む）

【課題】新規なカーボンナノチューブの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のカーボンナノチューブの製造方法は、混合ガス中にプラズマを生成させる方法であり、混合ガスは、炭素源と酸化性成分を含有している。ここで、炭素源が、CO,CH₄, C₂H₄, C₂H₂, CH₃OH, C₂H₅OHから選ばれるいずれか１種、またはいずれか２種以上の混合物からなることが好ましい。また、酸化性成分が、O₂,CO₂,H₂Oなどから選ばれるいずれか１種、またはいずれか２種以上の混合物からなることが好ましい。また、O₂/CO流量比が0.0001〜0.1の範囲内にあることが好ましい。また、プラズマが直流放電プラズマであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】炭素ナノチューブの合成方法及び装置を提供すること。
【解決手段】炭素ナノチューブの合成方法において、反応チャンバの内部を加熱し、前記加熱された反応チャンバの内部に触媒を供給する。触媒は、反応チャンバ内で第１方向に移動する。ソースガスは、第１方向と逆方向である第２方向に反応チャンバに供給される。ソースガスは、第１方向に移動する触媒を遅延させ、触媒と反応して炭素ナノチューブを合成する。触媒の流れに対するソースガスの流れが触媒の落下速度を遅延させるので、ソースガスと触媒とが十分に長い時間互いに反応することができる。 （もっと読む）

【課題】容易に且つ膜の特性を損なうことなく特性が向上したダイヤモンド様薄膜を実現できるようにする。
【解決手段】ダイヤモンド様薄膜は、基材１１の上に形成された第１の層１３と第２の層１４とを備えている。第１の層１３は炭素と結合した水素を含み、第２の層１４は炭素と結合した水素が引き抜かれ、第１の層１３と比べて水素の含有率が低い。 （もっと読む）

【課題】高結晶性でありかつ優れたヤング率、導電性及び耐熱性を有する単層中空炭素繊維を提供すること。
【解決手段】炭素のＳＰ２結合からなる単層の擬似円筒状炭素六角網面からなる周側面と、炭素六員環及び炭素五員環を有して形成された端部とを有する長繊維構造を有し、かつラマン分光法で測定されるＧバンド及びＤバンドの強度比Ｇ／Ｄが、１００以上であることを特徴とする擬似円筒状単層中空炭素繊維。 （もっと読む）