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【課題】現像後の解像度、及びめっき後の剥離特性に優れる感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体を提供する。
【解決手段】(a)(1)α,β−不飽和カルボン酸の中から選ばれる第1単量体単位及び、(2)炭素数1〜6のヒドロキシアルキル基を有するヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートから選ばれる第2単量体単位を含むアルカリ可溶性高分子を20〜90質量%、(b)光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物を5〜60質量%、並びに(c)光重合開始剤を0.1〜20質量%含む感光性樹脂組成物であって、(a)アルカリ可溶性高分子は、酸当量が100〜600、重量平均分子量が5000〜500,000であり、また該第2単量体を該高分子を基準として20質量%以上含み、(b)光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物は、該化合物を基準として70質量%以上がアクリレート化合物である感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】レジスト組成物、および該レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)と、含窒素有機化合物成分(D)とを含有するレジスト組成物であって、前記含窒素有機化合物成分(D)は、下記一般式(d1)で表される化合物を含有することを特徴とするレジスト組成物。[式中、Rは、炭素数5以上の炭化水素基であり、R、Rは、それぞれ独立に、水素原子、置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基、または−C(=O)−O−Rである。式中の複数のRは、同じであっても異なっていてもよく、RとRとは互いに結合して環を形成してもよい。]
[化1]
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【課題】加水分解性シリル基を有するビニル系重合体を含有し、分散度が狭く、並びに強度、弾性、及び耐久性に優れる硬化物を与える湿気硬化性組成物を提供する。
【解決手段】本発明の湿気硬化性組成物は、加水分解性シリル基を有するビニル系重合体を含有する湿気硬化性組成物であって、上記ビニル系重合体は、リン、窒素、炭素、酸素、ゲルマニウム、スズ、及びアンチモンから選ばれる少なくとも1種の中心元素と、該中心元素に結合したハロゲン原子と、を含む化合物からなる触媒の存在下で、リビングラジカル重合により製造された重合体であり、上記ビニル系重合体の重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)との比(Mw/Mn)が、2.0未満である。 (もっと読む)


【課題】微細な顔料を用いた場合や顔料濃度が高い場合においても顔料分散安定性に優れ、硬化後のコントラストに優れた着色樹脂組成物、該着色樹脂組成物を含むカラーフィルター用感光性着色樹脂組成物、及び該感光性着色樹脂組成物を用いたカラーフィルターを提供する。
【解決手段】少なくとも顔料(A)と、スチレン由来の繰り返し単位(b1)、酸基を有するモノマー由来の繰り返し単位(b2)、アミン又はアミド結合を有するモノマー由来の繰り返し単位(b3)並びに前記(b1)、(b2)及び(b3)以外のアクリレート及び/又はメタクリレート由来の繰り返し単位(b4)からなる共重合体である樹脂(B)と、分散剤(C)と、溶剤(D)とを含有し、前記樹脂(B)100重量部に対して、少なくとも前記(b1)の含有量が40〜60重量部、前記(b2)の含有量が10〜20重量部、前記(b3)の含有量が5〜15重量部であることを特徴とする、着色樹脂組成物、該着色樹脂組成物を含有するカラーフィルター用感光性着色樹脂組成物、及び該感光性着色樹脂組成物を用いたカラーフィルター。 (もっと読む)


一般構造:B−S−A−S−BのOLED化合物において、棒状核Aは、縮合芳香族環構造を含んでおり、そしてこの縮合芳香族環構造は、少なくとも1つのさらなるフルオレン環構造と縮合されたフルオレン環構造を含んでおり、この縮合芳香族構造を構成するフルオレン環系は、9位で置換されており、このフルオレンの9位は、酸化に対して感受性がないことを特徴とするOLED化合物。 (もっと読む)


【課題】 高光沢でABS樹脂、ABS/PC樹脂、PS樹脂素材からなる何れのプラスチック成型品に対しても優れた密着性と耐温水密着性、高度な耐溶剤性を発現する水性塗料用樹脂組成物およびこれを含有するプラスチック塗料を提供すること。
【解決手段】 (水酸基含有ビニル系単量体とシクロアルキル(メタ)アクリレートとを必須成分とするエチレン性不飽和単量体を界面活性剤の存在下、乳化重合して得られるガラス転移温度が50℃以上である共重合体を含むエマルジョン(A)と、疎水性ポリイソシアネート(b1)含有水分散性ポリイソシアネート組成物(B)とを含有することを特徴とする水性塗料用樹脂組成物、これを含有するプラスチック塗料。 (もっと読む)


【課題】LWRが小さく、かつ、DOFの広いレジストパターンを形成可能なレジスト被膜の材料である感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】40モル%以上の下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有する重合体(A)及び酸発生剤(B)を含有する感放射線性樹脂組成物。(一般式(1)中、Rは水素原子など、Rはアルキル基、Rは炭素原子、Zは脂環式骨格を示す。)
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【課題】カラーフィルター等に使用可能な、優れた性能を有する感光性樹脂、特に露光感度が高く、かつアルカリ水溶液による現像性が良好である感光性樹脂を提供する。
【解決手段】(i)グリシジル基を含有するラジカル重合性化合物(a)を5〜95モル%、及び該(a)と共重合し得るラジカル重合性化合物(b)5〜95モル%で共重合させ、該(a)及び該(b)からなる共重合体を得て、(ii)該共重合体に含まれるグリシジル基の90〜100%に下記式(1)で示される化合物(c)及び(メタ)アクリル酸を付加させ、このときの化合物(c)の付加量が、該共重合体に含まれるグリシジル基の5〜50モル%であり、(iii)更に、化合物(c)及び(メタ)アクリル酸を付加させたときに生成した水酸基の5〜100%に多塩基酸無水物(d)を付加させて得られる、感光性樹脂(A)。
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【解決手段】(I)酸でアルカリ溶解性が増加する繰り返し単位及びラクトン構造含有繰り返し単位を有する高分子化合物をベース樹脂として含むポジ型レジスト材料を基板上に塗布して第1レジスト膜を形成し露光、アルカリ現像して短辺が200nm以上のポジパターンである大面積パターンを含む第1レジストパターンを形成する工程、
(II)第1レジストパターン上に共役酸pKaが4以上の塩基性含窒素化合物を有するレジスト変性用組成物を塗布し、加熱して第1レジストパターンの変性処理を行う工程、
(III)その上に第2ポジ型レジスト材料を塗布し露光、アルカリ現像して第2レジストパターンを形成する工程
を含む多重パターン形成方法であり、第2レジストパターン形成後の第1レジストパターン中の大面積パターン残膜率が50%以上のパターン形成方法。
【効果】本発明のレジスト変性用組成物を用いたダブルパターニングプロセスにおいて、有効なアライメントマークの形成が可能。 (もっと読む)


【課題】アブレーション速度に優れ、薄膜でありかつ容易に剥離できるレジスト被膜を用いたレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】基板の上にレジスト被膜を形成する工程と、前記レジスト被膜にレーザー光線を照射してレーザーアブレーションにより前記レジスト被膜の所定部分を除去する工程を含むレジストパターン形成方法であって、前記レジスト被膜を、アルカリ可溶性基がアルキルビニルエーテルを用いてブロックされているモノマー単位を有するビニル系重合体(A)、及び、ニグロシン(B)を含有するレジスト組成物から形成することを特徴とするレジストパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】高透明性、耐薬品性、及び耐熱性に優れ、クラックを生じず、かつ塗布により15〜200μmの厚みの硬化膜を得ることができる材料、及びそれを用いた硬化膜及び表示素子を提供する。
【解決手段】オキシラニルを有するラジカル重合性モノマー(a1)と、脂環構造を有するラジカル重合性モノマー(a2)と、特定のアルキルを有する(メタ)アクリル酸エステル(a3)からなる共重合体(A)と、カルボン酸構造又は酸無水物構造を有するラジカル重合性モノマー(b1)、とその他のラジカル重合性モノマー(b2)からなる共重合体(B)と、を含有する熱硬化性重合体組成物を用いて、この組成物の熱硬化による硬化膜を形成し、この硬化膜を有する表示素子を提供する。 (もっと読む)


【課題】特に熱可塑性樹脂の成形用着色コンパウンドや、カラーフィルター用着色インキなど、高温の熱処理工程を含む用途において好適に用いることができる、高い耐熱性及び透明性を有する高分子分散剤を提供する。
【解決手段】高分子分散剤として式(1)で表される繰り返し単位を有する環構造含有重合体を用いる。
[化1]
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【課題】放射線に対する透明性に優れ、レジスト溶剤に対する溶解性に優れ、高コントラストを有する感放射線性樹脂組成物の提供。
【解決手段】下記式(1)で表される繰り返し単位および下記式(2)で表される繰り返し単位を有する重合体と、感放射線性酸発生剤とを含有する。
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【課題】DUVエキシマレーザーリソグラフィーあるいは電子線リソグラフィー等に用いた場合に、高い感度および/または解像度が得られるレジスト用(共)重合体の提供。
【解決手段】脂環式骨格を有する単量体単位又はラクトン骨格を有する単量体単位を含むレジスト用(共)重合体であって、分子末端に式(1)で表わされる分子末端基が含まれていないレジスト用(共)重合体。


(R1、R2はH、炭素数1〜10のアルキル基、−COO−RA、−X−COO−RA、−CONRB−RA、−X−CONRB−RA、−NRB−RA、または−X−NRB−RA、R3はシアノ基または炭素数2〜10のシアノアルキル基、Xは炭素数1〜10のアルキレン基、RA、RBはHまたは炭素数1〜10のアルキル基である。) (もっと読む)


【課題】植物資源より誘導可能な構成単位を主として有する樹脂の柔軟性及び脆さを改善する。
【解決手段】全構成単位の50モル%超が下記一般式(1)で表される構成単位である重合体(A成分)と、


(式中、nは0、1、2のいずれかであり、R、R、R、R、R、Rはそれぞれ独立に水素原子、炭素原子数1〜8のアルキル基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数6〜12のアルキルシクロアルキル基、炭素数7〜12のアラルキル基又は炭素数6〜12のアリール基を表す。)含窒素化合物(B成分)からなり、前記A成分とB成分の割合が質量比で30/70〜95/5であることを特徴とする樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】被検査体の電気的特性を検査するプローブの状態を確認するプローブ検査方法とそれに用いる硬化性樹脂組成物の提供。
【解決手段】被検査体の電気的特性を検査するプローブに硬化性樹脂組成物の硬化体を接触させ、硬化体にプローブの針跡を転写して、転写された針跡を基にプローブの状態を確認し、かつ、プローブの針跡を転写した後に、硬化体を硬化体のガラス転移温度以上に加熱してプローブの針跡を消去する工程を含み、繰り返し検査に供するプローブの検査方法であり、硬化性樹脂組成物が、特定の単官能(メタ)アクリレート、光重合開始剤、酸化防止剤を含有し、硬化性樹脂組成物の硬化体のガラス転移温度が40℃以上100℃未満であることを特徴とするプローブの検査方法。 (もっと読む)


【課題】保存安定性に優れ、かつ耐熱性、透明性、基材密着性、平坦性に優れた感光性組成物、それを含むコーティング剤ならびにこれを用いたカラーフィルタ保護膜、層間絶縁膜、フォトスペーサーの提供。
【解決手段】炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、カルボキシル基、およびエチレン性不飽和基を有するアクリル系硬化性樹脂(A)、モノシクロ環を有するエポキシ化合物、ビシクロ環を有するエポキシ化合物、およびトリシクロ環を有するエポキシ化合物からなる群より選ばれる少なくとも1つのエポキシ化合物(B)、エチレン性不飽和基を有する重合性化合物(C)、ならびに、溶剤(D)を含んでなる感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】
低揮発性の要求を満たし、更に従来品よりも高屈折率のアクリル系モノマーを提供する。
【解決手段】
下記一般式(1)


〔式中RはHまたはCH3、R、RはそれぞれCH、CH2またはCH2、CHを示す。〕

で示されるアクリル系モノマーであって、大気下10℃/分の条件で昇温させた場合に、100℃における重量減少量が5重量%未満であるアクリル系モノマー。 (もっと読む)


【課題】高解像度、プロセス適応性を有し、露光後のパターン形状が良好でラインエッジラフネスが小さいレジスト材料、特に化学増幅ポジ型レジスト材料、及びこれを用いたパターン形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも、下記一般式(1)で示される、酸不安定基で置換されたカルボキシル基を有する繰り返し単位a、スルホニウム塩を有する繰り返し単位b1及びb2のいずれか1つ以上、アミノ基を有する繰り返し単位cを有する高分子化合物を含むことを特徴とするレジスト材料。
【化1】
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【課題】優れたラインエッジラフネス(LER)及びマスクエラーファクター(MEF)を有するパターンを形成することができるレジスト組成物の樹脂用モノマーを提供する。
【解決手段】式(a)で表される化合物。[X及びXは硫黄原子を表す。Ra1、Rb1、Rc1及びRd1は水素原子、炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。mは1又は2の整数を表す。Wは炭素数3〜36の脂肪族環を表す。Xは単結合又は炭素数1〜17の2価の飽和炭化水素基を表す。Rは水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数1〜6のアルキル基を表す。]
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