【課題】帯状体２を安定してらせん状に周回走行させることが可能な、表面処理装置１を提供する。
【解決手段】複数のローラ４４が軸体４２に沿って配置されたローラ群４０を備え、複数のローラ群４０が離間配置され、複数のローラ群４０の軸体４２は相互に平行に配置され、複数のローラ群４０のローラ４４は帯状体２の勾配が略一定となるように相互に軸体４２の軸方向にずれた状態で配置され、ローラ群４０に含まれる複数のローラ４４はそれぞれの回転軸を略一致させて相互に独立して回転自在に形成され、ローラ４４の外周面はローラ４４の幅方向の両端から中央にかけて外側に突出形成されている構成とした。 （もっと読む）

【課題】複数段の有機層を持つ有機半導体を効率的に、かつ、一部の故障が発生しても、ライン停止することなく生産を継続でき、かつ、任意の段数の有機半導体を製造する方法及び装置を提供する。
【解決手段】複数段の有機層を持つ有機ＥＬパネルを製造する方法であって、電荷発生層蒸着室１、正孔注入層蒸着室２、正孔輸送層蒸着室３、発光層蒸着室４、電子注入層蒸着室５及びＡＬ蒸着室６よりなる蒸着処理ラインを並列に配置し、そのうちの一の蒸着処理ラインの入口からその出口へ基板を搬送しつつ該基板上に複数層よりなる第１段目の有機層ユニットを成膜した後、該基板を前記一の蒸着処理ラインの出口からバイパスライン８，９により搬出して並列に配置された蒸着処理ラインのうちの他の前記蒸着処理ラインの入口へ搬入し、更に、当該他の蒸着処理ラインの入口からその出口へ前記基板を搬送しつつ該基板上に複数層よりなる第２段目の有機層を成膜する。 （もっと読む）

【課題】蒸発源の材料の減少に伴って蒸発流の密度分布の勾配が大きくなっても、均一な膜厚を形成できる。
【解決手段】真空蒸着室１１内で、蒸発源１の材料を加熱して気化し、蒸発源１の上方に配置された基板３の被蒸着面３ａに蒸着する時に、蒸発源１から放出された蒸発流の密度分布を複数の水晶振動子１５Ａ〜１５Ｃを介して膜厚センサ１５で検出し、膜厚制御装置２１により、前記密度分布の勾配が大きくなった時に、前記密度分布の勾配に応じて、鉛直距離調整装置１４により蒸発源１と被蒸着面３ａとの距離を増大させ、蒸発流の密度分布の均一性が低下することを抑制する。 （もっと読む）

【課題】カバレッジ性を良好にし、歩留まりの向上、かつ、信頼性の高い有機ＥＬ装置の製造方法及び有機ＥＬ装置を提供すること。
【解決手段】基板上に、複数の第１電極２３と、該第１電極２３の形成位置に対応して配置される発光機能層と、該発光機能層を覆う第２電極とを有する有機ＥＬ装置の製造方法であって、発光機能層を真空蒸着法により成膜するに際し、基板２０を収容したチャンバ４０内の圧力を７．５×１０^−４ｍＴｏｒｒから７．５×１０^−７ｍＴｏｒｒの範囲に調整する工程と、チャンバ４０内に不活性ガスを導入することによりチャンバ４０内の圧力を範囲を超える圧力にし、発光機能層の材料を基板２０上に蒸着することにより、発光機能層を形成する工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】最適の接着力とエッチング性を有する軟性金属積層板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】軟性金属積層板の製造に必要なポリイミドからなる高分子フィルム１０を用意する第１ステップと、ニッケル−クロム合金を前記高分子フィルムの一面にコーティングする第２ステップと、前記第２ステップで形成されたタイコート層２０の表面に金属シード層３０を形成する第３ステップと、前記金属シード層上に金属伝導層４０を形成する第４ステップと、を含み、また、軟性金属積層板は、前記高分子フィルムの一面にニッケル−クロム合金のコーティングで形成されたタイコート層と、前記タイコート層上に形成された金属シード層と、前記金属シード層の表面に形成された金属伝導層と、を含み、前記タイコート層において、ニッケル−クロム合金比を８０：２０以上、９５：５以下とする軟性金属積層板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】膜を緻密にすることができる成膜方法を提供することを課題とする。また、均質な膜を形成することができる成膜方法を提供することを課題とする。そして、これらの成膜方法や成膜装置を適用して発光素子を作製することで、寿命が長く発光効率の高い発光素子を得る。
【解決手段】有機化合物２１１が充填された蒸発源２１０を有する成膜室２００内において、基板保持手段２０１に基板２０２を固定する。次に、この有機化合物２１１を気化させる。図において２１２は気化している有機化合物を表す。さらにここで、有機化合物を気化させて蒸着している最中に、気化している有機化合物２１２に対してレーザビーム２０３を照射する。 （もっと読む）

【課題】蒸発の起動停止および蒸発量を容易に調整できる。
【解決手段】蒸発容器２１内で材料収納部２０Ａに収容された材料を加熱溶融する第１加熱装置２２と、下部を溶融材料Ａに浸漬させて外周部材２３ａに同伴させ上方に搬送する円筒状の搬送ドラム２３と、搬送ドラム２３に同伴させて蒸発部２０Ｂに搬送された溶融材料Ａを加熱して蒸発させる第２加熱装置２４と、第２加熱装置２４の加熱温度を制御する蒸発制御装置とを具備した。 （もっと読む）

標本を保持する標本ホルダと、荷電粒子を標本ホルダ上に放出するように上面と下面との間に貫通開口部を有するマスクと、マスク（８）と標本ホルダ（３）との間の相対位置を検出する近接場検出装置と、ソース（１）とマスク（８）との間の相対位置とは無関係にマスク（８）と標本ホルダ（３）との間の相対移動を生じさせる変位装置と、を有し、マスクが貫通開口部（１０）に少なくとも第１の電極を含んでいる、ナノ製造設備。
（もっと読む）

【課題】水分のみならず酸素をも吸着可能な吸湿膜を構成し、該吸湿膜を用いて有機ＥＬ積層構造体内への水分や酸素の侵入を安定的に防止し、優れた発光特性を長期間有する有機ＥＬ素子を提供する。
【解決手段】アルカリ土類金属酸化物を主成分とする材料にゲッター作用を有する材料をモル比で０．０４から０．４混合して吸湿膜を構成する。 （もっと読む）

【課題】プラスチック製品のある表面を塗装することに関する問題を解決する新しい方法を提供すること
【解決手段】本発明は、一般水準で大きな表面領域を有するプラスチック製品の塗装方法に関する。本発明はまた、前記方法で製造され、塗装されたプラスチック製品に関する。塗装は、超短パルスレーザー蒸着によって行われ、パルスレーザー光は回転する該レーザー光を反射する少なくとも一つのミラーを備える光学的スキャナでスキャンされる。本発明は、産業的にも品質的にも有利な効果を有し、低い製造温度でプラスチック製品を塗装することを達成し、高い生産率で、高い塗装の品質及び全体的に低い製造コストを実現する。 （もっと読む）

【課題】基板表面の端子部の導通を得ながら、かつ均一な配向膜を成膜することができる電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法及びマスク部材を提供する。
【解決手段】真空室３０１内において、マザー基板３５を蒸着材料３０２に対向して支持し、直動ステージ３０６により平行移動させる。蒸着材料３０２とマザー基板３５との間に、スリット孔２１０が形成されたマスク２００を配設し、マザー基板３５を所定の距離間隔で間欠的に移動させて、スリット孔２１０を介してマザー基板３５を蒸着材料３０２側に露出することで、マザー基板３５上に一定間隔で配列された所定形状の斜方配向蒸着膜を形成する。 （もっと読む）

本発明は、物体を１つ以上の表面によってコーティングするためのレーザアブレーション方法であって、コーティング対象の物体、すなわち基材を、コーティング対象の物体へと蒸着される表面の一様性が±１００ｎｍとなるように、ターゲットをアブレーションすることによってコーティングする方法に関する。コーティングされた物体の表面は、有利にはミクロンサイズの粒子が存在せず、典型的には個々の粒子のサイズが最大でも±２５ｎｍであるであるナノテクノロジー表面である。さらに、物体は、前記方法によって製造される製品に関する。
（もっと読む）

【課題】固相エピタキシル成長によって、きわめて簡単な工程で効率的に、複数のシリコンナノ結晶細線を有するシリコンナノ結晶材料を製造する方法及びそのシリコンナノ結晶材料を実現する。
【解決手段】シリコン基板１の表面に形成した酸化シリコン薄膜２に、シリコン基板１の表面に達するナノホール６を任意のサイズ及び二次元配列で形成し、ナノホール６内に、レーザーアブレーション法を用いてシリコン１０を供給堆積し、その後、加熱することで、ナノホール６内のシリコン１０をシリコン基板１からの固相エピタキシル成長させて単結晶のシリコンナノ結晶細線１１を形成し、シリコンナノ結晶細線１１から成るシリコンナノ結晶材料１２を製造する。 （もっと読む）

【課題】電極の厚さのばらつきが少ないとともに有機層のダメージが少なく、高品質な発光素子を提供する。
【解決手段】 第１の電極と、前記第１の電極に対向する第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極の間に形成された発光層を含む有機層と、を有する発光素子であって、前記第２の電極は、前記有機層上に形成された該有機層を保護する導電性の保護層と、該保護層上に形成された導電性の主電極層とを含むことを特徴とする発光素子。 （もっと読む）

本発明は、高粘着性抗菌フィルムでポリマ表面をコーティングするように適合されたイオンプラズマ蒸着（ＩＰＤ）法に関する。制御されたイオンプラズマ蒸着（ＩＰＤ）プロセスが、選択された金属／金属酸化物で金属またはポリマをコーティングするために使用される。コーティングされた表面を紫外線に露出させることが、堆積されたコーティングの抗菌特性をかなり改善する。本発明は以下の方法を提供する。該方法は、高粘着性抗菌コーティングを生成する方法であって、第１の実質的にマクロ粒子のない金属コーティングを、選択された基板に堆積させることと、該第１のコーティング上に表面層を形成するために、第２のマクロ粒子が密集した金属コーティングを堆積させることと、該表面層を１２０ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内の紫外光に露出させることとを包含する。
（もっと読む）

【課題】電極に耐腐食性を付与すると共に、発光効率や耐久性が向上した有機ＥＬ素子を提供すること。
【解決手段】陽極と陰極との間に有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子において、両電極のどちらか一方が、Ａｌ合金層の単層体またはＡｌ合金層とバッファー層との多層体からなり、該有機層が燐光発光性化合物を含んでいることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。 （もっと読む）

本発明は、一般に、太陽電池、太陽電池内部の材料層、太陽電池の生産方法、および太陽電池生産用の製造装置に関する。本発明による太陽電池は、表面を有してレーザーアブレーションによって生産される少なくとも１つの層を備え、生成される均一な表面積が少なくとも０．２ｄｍ²の領域を含み、パルスレーザビームが当該レーザービームを反射するための少なくとも１つのミラーを有する回転式光学スキャナで走査される超短パルスレーザーデポジションを用いることによって、層が生成されている。 （もっと読む）

【課題】マスクの寿命を長く維持することが可能な基板ホルダ及び基板ホルダの取扱方法を提供する。
【解決手段】基板ホルダＷＨは、成膜対象である基板Ｗの一部を覆うパターンを有するマスクＭと、マスクＭを搭載するマスクフレームＦと、マスクフレームＦとの間でマスクＭとその上に搭載される基板Ｗとを挟持するホルダＨと、マスクフレームＦ及びホルダＨの一方に設けられた位置決め突起６０と、マスクフレームＦ及びホルダＨの他方に設けられ、位置決め突起６０が挿通されて、ホルダＨとマスクフレームＦとを位置決めする位置決め穴８０と、位置決め穴８０に隣接して設けられ、位置決め突起６０の先端部が係合される係合部８２と、を備え、位置決め突起６０の先端部が係合部８２に係合された状態では、マスクＭから離間してマスクフレームＦ上でホルダＨを支持可能である。 （もっと読む）

本発明の主題は、レーザアブレーションにもとづくコーティング方法であって、基材とアブレーションされるターゲットとの間の距離が例外的に小さいコーティング方法に関する。この短い距離は、基材のコーティングを、工業的規模においても、好ましくは低真空あるいは非真空の雰囲気のもとですら可能にする。本発明は、あらゆる大型サイズの物体または種々の形状を有する物体の最適なコーティングに関して好ましい。
（もっと読む）

【課題】 均一な膜厚組成を有する透明バリアフィルムを提供する。
【解決手段】 蒸着法により少なくとも片面に金属、あるいは無機酸化物層を積層したプラスチックフィルムを連続的に製造する際に、プラスチックフィルムの幅方向に１００ｍｍ以上５００ｍｍ以下であり、かつプラスチックフィルムと蒸着源との間隔が２５０ｍｍ以上の位置に少なくとも２台の蛍光Ｘ線を利用したモニターを配置し、形成した金属あるいは無機酸化物層の膜厚及び組成を測定しながら製造することを特徴とするロール状の長尺な透明ガスバリアフィルム。 （もっと読む）