【課題】セラミックス層と耐熱合金製の母材の表面との間に形成されるボンドコート層の耐酸化性を高める。
【解決手段】セラミックス層３と耐熱合金製の母材１の表面との間に形成されるボンドコート層２は、ＣｏとＮｉの両方又は一方のＭと、Ｃｒと、Ａｌと、Ｙと、ＤｙとＣｅとの一方又は両方のＱと、を含み、Ｑが０．０５〜５ｗｔ％で、残量がＭとＣｒとＡｌとＹとである。 （もっと読む）

【課題】処理容器内壁の腐食の問題が生じ難い処理装置を提供すること。また、耐プラズマ性および耐腐食ガス性に優れた、処理装置に用いられる耐食性部材およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】被処理基板を収容する処理容器と、処理容器内の被処理基板に処理を施す処理機構とを具備する処理装置であって、処理容器は、基材と、その内壁に溶射により形成された周期律表第３ａ族素化合物を含む膜とを具備し、その溶射により形成された周期律表第３ａ族元素化合物を含む膜の表面が研磨されている。 （もっと読む）

【課題】コーティング層の剥離可能性を低減させることができる溶射粉の製造方法を提供する。
【解決手段】ＺｒＯ_２粉と、このＺｒＯ_２の結晶構造を安定化させるＹｂ_２Ｏ_３紛とが混ぜ合わされてから（Ｓ１）加熱処理（Ｓ３）された混合物の粒状物を、プラズマ加熱するプラズマ加熱工程（Ｓ４）を実行して、溶射粉を製造する。 （もっと読む）

【課題】遮熱性能と耐久性に優れた熱応力緩和遮熱コーティング被覆を施す溶射システムおよび溶射方法を提供する。
【解決手段】溶射システムは，基体が配置される回転テーブル５と，前記回転テーブル５に配置され，前記基体の第１の部位を加熱する第１の加熱手段と，前記第１の加熱手段によって加熱される基体が配置される回転テーブル５を回転させるモータ２と，前記回転の軸に沿った方向に走査され，かつ前記回転される回転テーブル５上の前記基体の第２の部位をプラズマまたは炎によって加熱する第２の加熱手段と，前記第２の加熱手段により加熱された前記第２の部位に部分安定化ジルコニア層を形成するプラズマ溶射ガン１と，を具備する。 （もっと読む）

【課題】セラミックス粉末を使用して衝撃焼結被覆によりセラミックス皮膜を製造する場合、プラズマ溶射は、フレーム温度が15000℃から30000℃にもなる。また従来のフレーム溶射はフレーム温度が2200℃から3400℃になり粉末が容易に溶融し、また昇華、分解することにより、溶射粉末と異なる変態した皮膜、組成が変わる皮膜となる。低温で衝撃焼結被覆をすることにより要求を満足する機能性を有する優れた皮膜を得る安価な方法を提供する。
【解決手段】従来のフレーム溶射と異なり、ガンの燃焼室の後に、粉末と燃焼ガスを供給ノズルからフレームの軸に向けて燃焼ガスとスラリー状微粉末を噴射し、燃焼室に導入の酸素量と供給ノズルから導入する燃焼ガスとの容量を調整してフレーム中に存在するセラミックス微粉末の温度を制御し、また燃焼生成ガスにより加速して、衝撃焼結被覆をし、要求機能特性と密着性を有する皮膜を形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高温結晶安定性に優れ、高靭性を有する遮熱コーティング用材料を提供することを目的とする。また、該遮熱コーティング用材料を用いて形成されたセラミックス層を有する遮熱コーティング、並びに、該遮熱コーティングを備えるタービン用部材及びガスタービンを提供することを目的とする。
【解決手段】遮熱コーティング用溶射粉は、組成式（１）：Ｓｍ_ｘＹｂ_ｙＺｒ_{(１−ｘ−ｙ）}Ｏ_{（（４−ｘ−ｙ）／２）}（ただし、０≦ｘ≦０．０５、０．０６≦ｙ≦０．１１）、または、組成式（２）：Ｓｍ_ｘＹ_ｙＺｒ_{(１−ｘ−ｙ）}Ｏ_{（（４−ｘ−ｙ）／２）}（ただし、０≦ｘ≦０．０５、０．０４≦ｙ≦０．０９）で表され、原料混合後、電気溶融工程とスプレードライ等による造粒工程を経ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】比較的簡易な作業にて、所望の粒径の粉末を効率良く製造することができる溶射粉末の製造方法を提供することにある。
【解決手段】溶射粉末の原料及び水並びに分散剤を混合してなるスラリー１３の固形分濃度を６０重量％以上８６重量％以下に調整し、スラリー１３を噴霧乾燥装置１０の円盤状のアトマイザ１２に供給し、アトマイザ１２の回転速度を調整して、アトマイザ１２からスラリー１３が突出する突出速度を３０ｍ／秒以上１１０ｍ／秒以下にし、スラリー１３が噴霧乾燥器１０内で乾燥して溶射粉末本体２２を形成し、これを熱処理し所望の粒径分布の溶射粉末を得ようにする。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れより低コストで製造できる遮熱コーティング材、及び、これを備えるタービン部材及びガスタービンを提供する。
【解決手段】耐熱合金基材１１上に、耐高温酸化合金からなるボンドコート１２とトップコート１３とを備え、前記トップコート１３が前記ボンドコート１２側から順に、ジルコニアを主とするジルコニア含有層１４と、一般式Ａ_２Ｚｒ_２Ｏ_７（Ａは希土類元素を表す）で表される材料、または、Ａ’_１Ｂ_１Ｚｒ_２Ｏ_７（Ａ’及びＢは、それぞれＬａ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｇｄ，Ｄｙ，Ｃｅ，Ｙｂのいずれか、かつ、Ａ’とＢとは互いに異なる元素を表す）を主とする放射層１５とで構成され、前記放射層１５の膜厚が、前記トップコート１３の膜厚の１０％未満とされる遮熱コーティング材。 （もっと読む）

【課題】層状物品を提供する。
【解決手段】本物品は、第１の外側層（３００）と、第２の中間層（２００、２０１）と、基材（１００）とを含み、第２の中間層（２００、２０１）は、第１の界面で第１の外側層（３００）にかつ第２の界面で基材（１００）に接触している。第１の外側層（３００）は、Ａｌ_２Ｏ_３−ＴｉＯ_２を含み、また第２の中間層（２００、２０１）は、傾斜機能材料を含む。傾斜機能材料は、第１の界面に近接した位置において実質的にＡｌ_２Ｏ_３−ＴｉＯ_２を含まずかつ第２の界面の位置において第１の外側層（３００）と実質的に等しい量のＡｌ_２Ｏ_３−ＴｉＯ_２を有する組成を含む。 （もっと読む）

【課題】簡便で小型の溶接改質装置により、短期間で溶接金属の耐食性を改善することができる構造材の表面改質装置及びその方法を提供する。
【解決手段】溶接トーチ部２と表面改質トーチ部３とを有する構造材の表面改質装置１において、前記溶接トーチ部２と表面改質トーチ部３を移動可能な連結部材１７により連結するとともに、前記表面改質トーチ部３は、前記溶接トーチ部２で形成された溶接金属２２の表面にチタン含有溶液を噴射しアナターゼ型酸化チタン層からなる表面改質層２１を形成する。 （もっと読む）

【課題】低品位燃料を用いた溶融塩腐食環境下での長期間の運転においても、十分な耐久性，信頼性を有するＴＢＣを提供する。
【解決手段】Ｎｉ，ＣｏまたはＦｅを主成分とする耐熱合金基材１０の表面に、合金からなる結合層１１を介して、セラミックスからなる遮熱層１２を設けた遮熱コーティングを有する耐熱部材において、前記遮熱コーティング層が、多孔質のセラミックスよりなる遮熱層１２と、その上に設けられたセラミック繊維１７を含有したシリカを主成分とする緻密質の環境遮蔽層１３からなり、さらに、多孔質セラミックス遮熱層の気孔１５内に、環境遮蔽層１３のシリカを主成分とする物質の一部が含浸した含浸層１４を有する構成とした。 （もっと読む）

本明細書において説明されるのは、一実施形態において、ガス分配シャワーヘッドアセンブリを製作するための例示的な方法及び装置である。一実施形態において、この方法は、半導体プロセスチャンバ内にプロセスガスを分配するための第１のセットの貫通孔を有するガス分配プレートを提供することを含む。この第1のセットの貫通孔は、プレート（例えば、アルミニウムの基板）の背面上に位置する。この方法は、ガス分配プレートの洗浄された表面上にコーティング材料（例えば、イットリアベースの材料）を噴霧（例えば、プラズマ噴霧）することを含む。この方法は、コーティング材料の厚さを低減するために、表面からコーティング材料の一部分を除去（例えば、表面研削）することを含む。この方法は、コーティング材料内に第２のセットの貫通孔を形成（例えば、ＵＶレーザー穿孔、加工）し、この第２のセットの貫通孔は第１のセットの貫通孔に合わせて配置されるようにすることを含む。
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基材のＣＭＡＳ浸透を低減するためのコーティングシステムは、少なくとも内側セラミック層と、外側アルミナ含有層とを含む。外側層は、最大で約５０重量％までのチタニアを含む。追加のセラミック層及びアルミナ含有層を設けることができる。コーティングは、ガスタービンエンジン構成要素に用いることができる。コーティング層の堆積法は、構成要素の最終用途に応じて決めることができる。コーティングされた製品は、基材と、基材上の任意選択のボンドコートと、記ボンドコートの上又は該ボンドコートがない場合には前記基材上にあるコーティングと、を含む。内側セラミック層が、溶射法、物理蒸着法、及びサスペンションプラズマ溶射法から選択された堆積法の徴候である微細構造を示し、外側アルミナ含有層が、サスペンションプラズマ溶射法、溶液プラズマ溶射法、及び高速酸素燃料溶射法から選択された堆積法の徴候である微細構造を示す。 （もっと読む）

【課題】抄紙工程におけるプレスパート等において、紙への平滑性付与機能を備えつつ、紙との高い剥離性を有する抄紙工程用セラミックロールの提供。
【解決手段】外周面側にセラミック層３を備える抄紙工程用セラミックロール１であって、上記セラミック層３表面にスクラッチ目を有し、このスクラッチ目の主方向が周方向に対して傾斜している方向性領域７を有することを特徴とする。上記方向性領域７がスクラッチ目の主方向を長手方向とする帯状形状を有し、この方向性領域７が軸方向に沿って一定間隔に配設されていることが好ましい。さらには上記方向性領域７が、周方向に沿ってジクザグ状に形成されていることが好ましい。また、上記スクラッチ目の主方向の周方向に対する傾斜角としては４°以上６０°以下が好ましい。 （もっと読む）

【課題】遮熱性、熱サイクル耐久性及び耐エロージョン性を兼ね備えた遮熱コーティングと、これを備えたタービン部材及びガスタービンを提供することを目的とする。
【解決手段】遮熱コーティングは、耐熱基材１上に形成されたセラミックス層３を備える遮熱コーティングであって、セラミックス層３が耐熱基材１の側から表層に向かって、段階的にまたは連続的に気孔率が高くなるよう形成される。セラミックス層３が、気孔率が５％以下で、且つ、膜厚が２０μｍ以下の最表層を更に備えても良い。 （もっと読む）

【課題】溶射被膜形成時の形状安定性や流動性に優れ、未溶融部分が低減された緻密な溶射被膜を形成することができる溶射用粉末を提供する。
【解決手段】全体として球状に形成されるとともに、その外周面の一部に凹部が形成された溶射用粒子からなる溶射用粉末であって、前記溶射用粒子におけるアスペクト比分布の９０％Ｄ₉₀が１．５以下、嵩密度が１．０ｇ／ｃｍ³以上１．５ｇ／ｃｍ³以下、溶射用粒子における５０％粒子径Ｄ₅₀の粒子直径が１０μｍ以上５０μｍ以下であり、全粒子の７０％以上が凹部を有し、前記凹部の凹部直径比が５０％以上７０％以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プラズマ生成に消費される高周波の電界強度分布を制御することが可能なプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマエッチング装置１０は、内部にて被処理体をプラズマ処理する処理容器１００と、処理容器１００の内部にて互いに対向し、その間に処理空間を形成する上部電極１０５及び下部電極１１０と、下部電極１１０に接続され、処理容器１００内に高周波電力を出力する第１の高周波電源１５０とを有する。上部電極１０５及び下部電極１１０の少なくともいずれかは、板状の金属から形成された基材と、内部に金属のプレート電極を埋設した状態で前記基材に嵌め込まれ、一部が前記基材から露出した誘電体と、を含む。 （もっと読む）

高温で過酷な気候に曝される基材のＣＭＡＳ浸透を低減するコーティングシステムを設ける方法。例示的な方法は、任意選択的に基材の上にボンドコートを配置するステップと、ボンドコートの上又は該ボンドコートがない場合には基材の上に内側セラミック層を設けるステップと、高速酸素燃料（ＨＶＯＦ）溶射法を用いて最大で約５０重量％までのチタニアを含む外側アルミナ含有層を配置するステップとを含む。耐ＣＭＡＳコーティングを得るために、追加のセラミック層及びアルミナ含有層を設けることもできる。１つ又はそれ以上の好適な熱処理を利用して、アルミナを相安定することができる。コーティングは、ガスタービンエンジン構成要素に用いることができる。セラミック層の堆積法は、構成要素の最終用途に応じて決めることができる。 （もっと読む）

【課題】長時間の使用によってもドロス等の異物の付着がなく、安定して高品質のめっき製品を製造することができる溶融金属めっき浴用ロールを提供する。
【解決手段】溶融金属メッキ浴に浸漬して用いる溶射皮膜が被覆されたドロス排出溝を有するめっき浴用ロールにおいて、上記溶射皮膜被覆後のドロス排出溝の断面形状は、基材頂部が上に凸の曲線からなり、溝部断面積Ｓと基材部断面積Ｂとの比（Ｓ／Ｂ）が１．０以上である、好ましくは、溝部断面積Ｓ（ｍｍ^２）と溝ピッチＰ（ｍｍ）との比（Ｓ／Ｐ）が０．１以上であることを特徴とする溶融金属めっき浴用ロール。 （もっと読む）