【解決手段】基材に希土類含有酸化物を５ｍｍ以下の厚さで溶射した後、基材から該溶射膜を剥離させることを特徴とする厚さ５ｍｍ以下の希土類酸化物含有溶射基板の製造方法。
【効果】本発明によれば、成形、焼成、焼結工程なしで、所定寸法の基材に溶射することで希土類含有酸化物セラミックスの薄板を容易に作製することができる。また、基材形状の選択により、多角形状、円盤形状、リング形状、三角形状などさまざまな形状の薄板を容易に作製することが可能である。更に、穴の複数個開いた基材に溶射することで、複数個の穴の開いた溶射薄板を作製することも可能である。 （もっと読む）

【課題】スパッタリングによる透明電極膜の安定な形成等の観点から品質の確実な向上を図りながらスパッタリングターゲットを製造する方法等を提供する。
【解決手段】ターゲットホルダーに対して酸化亜鉛を主成分とする粉末原料が溶射されることにより、ターゲット材が形成される。この際、加速エネルギーｘ［ｇ／ｍｉｎ／ｍｍ^２］および熱エネルギーｙ［ｋＪ／ｋｇ］の組み合わせが、ｘ−ｙ平面において所定の領域に収まるように調節される。 （もっと読む）

【課題】脱ガス量の低減を図りうる耐食性部材およびこれを製造する方法を提供する。
【解決手段】基材に対して原料粉末が溶射される際、セラミックス原料粉末の加速エネルギーｘ［ｇ／ｍｉｎ／ｍｍ^２］および熱エネルギーｙ［ｋＪ／ｋｇ］の組み合わせが、ｘ−ｙ平面において所定領域に収まるように調節される。これにより、同素材の焼結体に対するビッカース硬度の比が０．５２以上であり、相対密度が９０〜９７［％］であり、表面粗さＲａが３．０〜７．０［μｍ］であり、かつ、脱ガス量が１０００［ｐｐｂ／ｃｍ^３］以下であるセラミックス膜を有する耐食性部材が得られる。 （もっと読む）

【課題】熱遮蔽コーティング構造を形成するための時間及び費用を低減することを可能にし、それによって全体的熱遮蔽コーティングシステムの熱サイクル耐性を損なうことなしに基材表面上に熱遮蔽コーティング構造を形成する方法を利用可能にする。
【解決手段】該熱遮蔽コーティング構造は、異なる方法で作り出される少なくとも２つの熱遮蔽コーティング２．１、２．２を含む。一方の熱遮蔽コーティング２．１を形成するには、コーティング材料を、大気圧でのプラズマ溶射（大気プラズマ溶射又は略してＡＰＳ）によって粉末ジェットの形態で基材表面上に溶射し、もう一方の熱遮蔽コーティング２．２を形成するには、コーティング材料を、異方性ミクロ構造を形成し且つ基材表面に対して本質的に垂直に整列される長く伸びた微粒子を有する層が基材表面上に発現するようにプラズマ溶射−物理蒸着又は略してＰＳ−ＰＶＤによって基材表面に塗布する。 （もっと読む）

【課題】フィルム冷却製品を提供する方法を開示する。
【解決手段】第１の壁面１０４及び第２の壁面１０２、及び冷却孔１２０を有する金属部品を準備する。冷却孔１２０は、第２の壁面１０２の入口から第１の壁面１０４の出口まで延びる調量孔１２２を含む。本方法は更に、金属物品の第１の壁面１０２を露出させる段階と、第１の壁面１０２に被さり出口の少なくとも一部を覆う遮熱コーティング２００を施工する段階と、施工された遮熱コーティング２００の外面を穿孔して調量孔１２２を露出させる段階と、金属物品に形成された出口のトラフ部１２６から遮熱コーティング２００を取り除く段階と、遮熱コーティング２００に、金属物品に形成される出口のトラフ部１２６から延び、遮熱コーティング２００の外面と同一平面となるトラフ領域１２６を形成する段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】基材に溶射皮膜を設けた真空装置用部品において、膜剥がれ、微小パーティクルの発生を低減した真空装置用部品を溶射皮膜溶射皮膜提供する。
【解決手段】基材１と前記基材の上に設けられた溶射皮膜３とを有する真空装置用部品において、前記溶射皮膜は、高融点金属粒子またはセラミック粒子の少なくとも一種と、アルミニウム粒子を用いて形成し、前記溶射皮膜が、金属溶融膜膜片５と、粒子６と、空隙７とを有し、空隙率が１２％以上４０％以下である。 （もっと読む）

【課題】酸化イットリウム溶射皮膜の表面に、外観色が白色で、緻密かつ平滑で耐プラズマ・エロージョン性にも優れた白色二次再結晶層を生成させる技術を提案する。
【解決手段】大気プラズマ溶射法によって形成された白色の酸化イットリウム溶射皮膜の表面を、活性酸素、オゾン、亜酸化窒素のうちから選ばれるいずれか１種以上の強酸化性ガス雰囲気中でレーザビーム処理することによって、外観色が白色の二次再結晶層を形成する方法、およびその白色二次再結晶層を表面にもつＹ_２Ｏ_３溶射皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】ガラス製造装置等の高温装置を構成する白金族貴金属の揮発損失を抑制する方法を提供する。
【解決手段】本発明は、白金族貴金属からなる高温装置の外表面の揮発防止方法であって、前記高温装置の外表面に、安定化ジルコニアからなる厚さ５０〜５００μｍのコーティング層を溶射により形成する方法である。本発明が有用な高温装置としては、ガラス製造用途における各種の桶、るつぼ、パイプやガラス繊維紡糸用のブッシングの他、単結晶育成用るつぼやるつぼ付帯冶具等が挙げられるも。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、少ないエネルギー消費・熱負荷で、緻密でバッキングチューブへの密着性が良好な長尺のセラミック溶射円筒ターゲットを製造する方法を提供することにある。
【解決手段】
長尺バッキングチューブを複数の溶射領域に分割して溶射する。 （もっと読む）

【課題】減耗度を簡便に確認できる遮熱コーティングならびにこれを用いたガスタービン部品およびガスタービンを提供するものである。
【解決手段】本発明にかかる遮熱コーティング２１は、部分安定化ジルコニアで構成されるセラミックス層２５を有する遮熱コーティング２１であって、このセラミックス層２５は、厚さ方向に隣り合う層で色が異なる複数の分割層である表層２７、第２層２９および第３層３１によって構成され、分割層は全ての層が部分安定化ジルコニアで構成され、且つ、分割層は色の異なる安定化材を用いて形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
上記のような課題を解決するためになされたものであり、比較的コストを低く抑えて溶射することが可能であり、金属の酸化や金属酸化物の変質を抑え、基材との密着性に優れた、緻密な溶射皮膜を形成することができるＨＶＡＦ溶射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
金属、セラミックス又は樹脂が不活性ガス及び圧縮空気とともに粉末供給路に供給されると、ラバルノズルを通過する燃焼ガスの流路の略中心軸上に排出される。金属、セラミックス又は樹脂は比較的低温で、超音速でバレルを通過することにより、酸化や変質が抑えられ、緻密な溶射皮膜が形成される。 （もっと読む）

【課題】基板表面に熱遮蔽被覆構造体１０を製造する。
【解決手段】プラズマ・トーチ４を有する作業室２を準備し、プラズマ・ガスをプラズマ・トーチ４を介して導入し加熱によりプラズマ・ジェット５を形成し、プラズマ・ジェット５を作業室内に導入された基板３の表面に方向付ける。熱遮蔽被覆を製造するために、プラズマ・トーチ４と基板３との間に電圧を印加してアークを発生させ、基板表面をアークによって清浄化し、アークによる清浄化の後で基板３を作業室内に留め、０．０２μｍ〜２μｍの厚さを有する酸化物層１１を清浄化された基板表面上に形成し、熱遮蔽被覆１２をプラズマ溶射プロセスによって付着させる。 （もっと読む）

【課題】ハロゲン化合物による腐食と耐プラズマエロージョン性、装置部材を清浄化するために頻発に繰り返される洗浄液に対しても優れた耐食性を示す、半導体加工装置用部材に適用して有用な溶射皮膜被覆部材を提供する。
【解決手段】金属と酸化物とからなるサーメット材料を用いて形成された溶射皮膜の表面に、高エネルギー照射処理して気密再溶融層を設けてなる部材について、成膜の初期に存在する皮膜表面の貫通気孔を消滅させると同時にひび割れを防止して、トップコート（溶射皮膜）の表面を実質的に無気孔で耐食性と耐プラズマエロージョン性に優れるサーメット溶射皮膜にする。 （もっと読む）

【課題】半導体加工装置用部材として好適なエロージョン性に優れるサーメット溶射皮膜被覆部材とその製法を提供する。
【解決手段】Ｎｉ及びＮｉ−Ｃｒ系Ｎｉ基合金を主成分とする金属１０〜９０ｍａｓｓ％とＡｌ_２Ｏ_３、Ｙ_２Ｏ_３、ＹＡＧ等からなる酸化物９０〜１０ｍａｓｓ％のサーメット溶射材料を用いて、各種プラズマ溶射法によって気孔率０．４〜１０％、膜厚５０〜５００μｍの皮膜を被覆形成する。 （もっと読む）

【課題】基材表面に、耐プラズマエロージョン性に優れたサーメット皮膜を形成する方法と、この方法によって得られるサーメット皮膜被覆部材とを提案すること。
【解決手段】導電性基材の表面に形成した非導電性セラミック溶射皮膜を、電気ニッケルめっき液中に浸漬して、電気ニッケルめっき処理を行うことによって、前記セラミック溶射皮膜の気孔中にめっき析出ニッケルを充填することにより、めっき析出ニッケルを充填したサーメット皮膜を形成し、次いで、高エネルギー照射処理を施して、皮膜表面を再溶融して緻密表面層を生成させる方法と、このようにして得られる皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】基材表面に、耐食性と耐摩耗性に優れた緻密表面層をもつサーメット皮膜を形成する方法と、この方法によって得られるサーメット皮膜被覆部材とを提案すること。
【解決手段】導電性基材の表面に形成した非導電性セラミック溶射皮膜を電気亜鉛めっき液中に浸漬して、電気亜鉛めっき処理を行うことによって、前記セラミック溶射皮膜の気孔中にめっき析出亜鉛を充填することにより、めっき析出亜鉛を充填したサーメット皮膜を形成し、次いで、高エネルギー照射処理を施して、皮膜表面を再溶融して緻密表面層を生成させる方法と、このようにして得られる皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】従来よりも容易に製造でき、かつ、従来よりも耐久性に優れた熱遮蔽コーティング膜及びその製造方法、並びにそれを用いた耐熱合金部材を提供する。
【解決手段】基材３上に形成される熱遮蔽コーティング膜１０であって、金属からなる金属粒子１１を複数含み、複数の金属粒子１１間に金属の酸化物（金属酸化物）１１ａが連続的に接合して形成されているボンドコート１と、金属の酸化物を含む酸化物層２とを有することを特徴とする、熱遮蔽コーティング膜。 （もっと読む）

【課題】数十ショットを超える鋳造を連続的に行う実機の金型においても有効な耐焼付き性を示すダイカスト用金型部品を提供する。
【解決手段】耐熱鋼によって形成された金型部品本体１０の鋳造面が溶射被膜によって被覆されており、その溶射被膜の少なくとも一部の表面が少なくとも６０Ｗｔ％の非中空ＺｒＯ₂を含むセラミック溶射被膜層１２で構成されているダイカスト用金型部品８とした。 （もっと読む）

【課題】イットリア系の皮膜で被覆された部材であって、主に、半導体や液晶製造用等のプラズマ処理装置部材として用いることができ、表面が緻密で滑らかであり、プラズマ処理時にパーティクルや金属不純物の発生によって被処理品を汚染することがなく、かつ、耐久性に優れた耐食性部材を提供する。
【解決手段】セラミックス又は金属からなる基材の少なくともプラズマ又は腐食性ガスに曝される部位の表面に、イットリア系耐食膜が形成された耐食性部材において、前記耐食膜の少なくとも表面層を、イットリアを主成分とし、他は五酸化タンタル又は五酸化ニオブのいずれか１種以上を前記イットリア１００ｍｏｌ％に対して０．０２ｍｏｌ％以上１０ｍｏｌ％以下含有している組成とする。 （もっと読む）

【課題】耐久性のよい遮熱コーティング層を形成する。
【解決手段】動翼５０の翼部５１の翼面に対して、溶射ガン１１から溶射材１２を噴射してコーティングをする。この場合、マスキング部材２０を配置して、プラットフォーム部５２やそのプラットフォーム面５２ａに溶射材が噴射されることを遮断する。溶射ガン１１は、溶射角度を略９０°にしつつ上下方向に走査移動していく。その後、マスキング部残２０を外して、プラットフォーム面５２ａへの溶射施工と、プラットフォーム端面５２ｂへの溶射施工を順次行う。 （もっと読む）