【課題】加熱装置において昇温時間が変動するような要因が発生したとしても、無駄な電力消費の発生を小さくする。
【解決手段】複数の加熱ゾーンを有する加熱装置を制御する制御装置２０は、複数の加熱ゾーンのうちの少なくとも１つの参照ゾーンの温度を監視する計測温度取得部２３と、参照ゾーンの温度に基づいて、複数の加熱ゾーンのうちの少なくとも１つの昇温対象ゾーンの昇温を開始させる温調機制御部２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】チャンネル型誘導加熱装置において、保熱操業から加熱操業に移行する際に一時的に発生する湯漏れ誤検知を防止することが可能な溶融金属の誘導加熱昇温方法を提供する。
【解決手段】溶融金属の流路１３を形成する耐火物１８、１９を被覆する外装ケース１７及びブッシング２０に水冷管が付設され、耐火物１８、１９中に湯漏れ検知アンテナ２５が埋設された誘導加熱装置１１を用いた溶融金属の誘導加熱昇温方法であって、誘導加熱装置１１一基当たりについて、誘導加熱装置１１の最大出力の２０％以下の出力を８時間以上継続した後、誘導加熱装置１１の最大出力の７０〜１００％に出力を上昇させる操作を、任意の２０分間における出力の上昇速度の平均値が０．１ＭＷ／分以下となるように実施する。 （もっと読む）

【課題】温度安定時に温度を均一に維持することができ、昇降温時に容易に制御することができる。
【解決手段】制御装置５１は個別に制御される制御ゾーンの数が多い多制御ゾーンモデル７２ａと、制御ゾーンの数が少ない少制御ゾーンモデル７２ｂをとることができる。昇降温時に少制御ゾーンモデル７２ｂをとって少ない数の制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_５の温度センサ５０からの信号に基づいて、各制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_５に設置されたヒータ１８Ａを個別に制御する。温度安定時に多制御ゾーンモデル７２ａをとって、多い数の制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_１０の温度センサ５０からの信号に基づいて、各制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_１０に設置されたヒータ１８Ａを個別に制御する。 （もっと読む）

【課題】対象物をムラなく均一に高温加熱しながら高精度に計測するため、加熱装置を密閉構造とすることなく、さらに対象物をステージ動作させながらでも、対象物の加熱及び計測を可能とする加熱装置を提供する。
【解決手段】対象物６の上面に計測用に設けた開口部１０を有するプレート型ヒーター５を配置し、前記対象物６の下面には接触式または非接触式の加熱ユニット７と、前記対象物６を支持する支持体１１とで構成された加熱ケース９をステージに搭載し、ステージ動作させながら対象物６の加熱と計測を可能とする加熱装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】高い加熱効率を図ることができると共に、被加熱物の温度分布の均一化を図ることができる加熱処理制御装置および加熱処理制御方法を提供する。
【解決手段】オフラインＰＣ１０は、シミュレーションに必要な被加熱物Ｗのデータと電気炉１のデータとにより、被加熱物Ｗの内部を含む全体を均熱加熱するためのシミュレーションを行って、時間ごとの加熱温度を示す加熱温度データとして算出する。次に、制御用ＰＣ２０は、加熱温度データに応じて加熱手段の出力を制御する。このとき、温度センサからの測定温度データに基づいて推定変動温度データを算出し、この推定変動温度データに応じてヒーターＫを制御する。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェハの表裏に電極を設ける際の焼成工程に利用される熱処理装置を改良するものであり、焼成に際して理想的な温度プロファイルを実現する。
【解決手段】熱処理部を有しており、熱処理部は、断熱筐体内に棚状部材（設置部及び熱源部）１１が設けられたものである。棚状部材１１は、７段の棚部材１６ａ〜１６ｇを有し、棚部材１６ｂの内部は、上下のユニット室２５，２６に仕切られている。上下のユニット室２５，２６には、それぞれ９本の横列用ハロゲンランプ２７と、３６本の縦列用ハロゲンランプ２８が縦横格子状に配列されていて熱源ユニット３５が構成されている。各熱源ユニット３５の照度は、個々に制御され、上下の熱源ユニット群４７の照度を異ならせたり、一つの段の上側の熱源ユニット３５と、他の段の上側の熱源ユニット３５の照度に変化を付けることもできる。また点灯中に照度を変えることもできる。 （もっと読む）

【課題】運転中に炉底電極の折損が生じているか否かを確認することのできる、電気式溶融炉及び電気式溶融炉の動作方法を提供する。
【解決手段】電源装置を用いて、前記溶融用電流の印加を開始する工程と、開始する工程の後に、前記炉底電極と前記主電極との間の電圧差を測定しながら、前記主電極を降下させる工程と、炉底電極と前記炉底電極との間の電圧差に基いて、メタル層とスラグ層との間の境界を検知し、検知結果に基いて、前記主電極の高さを前記メタル成分に接触するような高さに制御する工程と、制御する工程の後に、前記電源装置が、前記溶融用電流の印加を停止する工程と、停止する工程の後に、前記抵抗測定装置を用いて、前記炉底電極と前記主電極との間の電気抵抗値を計測することにより、運転中抵抗値を求める工程と、運転中抵抗値に基いて、前記炉底電極が折損しているか否かを判定する工程と、炉底電極が折損していないと判定された場合に、前記電源装置を用いて、前記溶融用電流の印加を再開する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 制御の追従性と定常特性の向上を図ることができる被処理物の熱処理装置を提供する。
【解決手段】 被処理物を熱処理する熱処理炉４と、熱処理炉を制御するための複数の設定値と複数の制御部選択信号を出力するシーケンサ１０と、熱処理炉の複数の制御量を制御するために構成されている複数の制御系ループとを備え、各制御系ループに、前記シーケンサからの設定値と前記熱処理炉からの制御量とに基づいて操作量を出力する複数の制御部と、複数の制御部から出力される操作量のうち１つをシーケンサ１０からの制御部選択信号に従って選択して熱処理炉４に出力する切替器３−１，３−２，３−３とをそれぞれ備えた被処理物の熱処理装置において、シーケンサ１０は、複数の制御系ループの制御構成の切替をそれぞれ独立して行うための手段を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被測定金属板の幅が変化した際にも、被測定金属板の幅が変化した部分に対応する参照板の幅方向の部分の温度の変化（温度偏差）が軽減され、被測定金属板の温度測定誤差を小さくすることが可能な金属板の温度測定装置における参照板の温度制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】補助ヒータ１３を参照板２に沿って、参照板２と対向する最小幅Ｗｓｍｉｎの鋼板３の両端部よりそれぞれ外側であり、かつ、最大幅Ｗｓｍａｘの鋼板３の両端部よりそれぞれ内側の位置に対応するように設け、温度コントローラ１２の指示に基づき鋼板３の幅Ｗｓ（最小幅Ｗｓｍｉｎ〜最大幅Ｗｓｍａｘ）に応じた所定の電力を補助ヒータ１３に供給し、参照板２の温度分布が所定の温度分布となるように制御する。 （もっと読む）

【課題】ワークの投入状況に大きく影響されることなく安定した熱処理をワークに施すことができる熱処理装置又は熱処理方法を提供する。
【解決手段】この熱処理装置（方法）は、炉内の熱処理空間を通過させることによりワーク（ウェハ）に対して熱処理を施すものであって、熱処理空間内の互いに異なる位置で、かつ、ワークの有無によって検出温度が変化する位置に２つの温度センサを設け、制御装置１０によって、温度センサが検出した温度ｔ_１、ｔ_２に、係数総和が１となる重み係数ｍ_１、ｍ_２をそれぞれ乗じて総和の仮想温度を演算し、当該仮想温度に基づいて温度制御を行うものである。 （もっと読む）

【課題】炉内において均一な加熱を実現し、確実な脱亜鉛を可能とする脱亜鉛装置および脱亜鉛方法を提供する。
【解決手段】 スクラップ鋼板４１を投入するための投入口を有し、誘導加熱するための誘導加熱炉１０と、誘導加熱容器１０の外周に巻回された誘導加熱コイル２０と、誘導加熱炉１０の内壁１３に埋設され、炉内の温度を計測する熱電対３１と、熱電対３１の検出温度に基づいて、誘導加熱コイル２０へ供給する電力又は電流を制御する電源制御装置３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】鋼板等の加熱対象物が低放射率である等の理由により温度計による所望精度での温度測定が見込めず、かつ所望精度でのモデル化も困難な加熱プロセスにおいても高精度な温度制御を行うことが可能な温度制御方法および温度制御装置の提供。
【解決手段】鋼板１の必要昇温量ΔＴからモデル計算によりヒータ３の出力値を推定するための所要パワー計算モデル１０と、ヒータ３による鋼板１の加熱後の温度を放射温度計４により測定し、この測定結果と温度目標値との偏差からヒータ３の出力値を算出する温度ＦＢ制御手段１１と、モデル計算値をヒータ３へ出力指令するに際し、モデル計算値を温度ＦＢ制御出力値により補正する補正手段とを含む温度制御装置５である。 （もっと読む）

【課題】基板の異物付着を低減し、生産性を向上させることができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】処理室内に収納された基板を加熱する加熱部と、加熱部近傍の温度を検出する第１の温度検出部と、第１の温度検出部よりも基板の近傍に位置し、基板近傍の温度を検出する第２の温度検出部と、基板が入炉されてから所定時間内の加熱部の加熱制御を第１の温度検出部の検出温度に基づいて行う制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】被加熱体の加熱による損傷の発生頻度が低く、かつエネルギーの効率が高い加熱装置の運転方法を提供する。
【解決手段】波長１．６〜２．６μｍにおける熱放射率０．７以上の材質から形成されている内壁面２４を有する壁部２５に囲まれた収容室２３に被加熱体２９を収容する収容部２５と、収容室２３内の雰囲気温度および被加熱体内の温度分布に基づき雰囲気温度の昇温速度を制御しつつ収容室内を加熱する加熱手段２８と、を備える加熱装置において、収容室２３に被加熱体２９を収容し、被加熱体２９に不具合を生じさせないための温度分布の最大許容値が定められている雰囲気温度において、加熱手段２８が、前記最大許容値の０．９〜１．０倍になるように、雰囲気温度の昇温速度を制御しつつ収容室２３内を加熱する加熱装置２１の運転方法。 （もっと読む）

【課題】上下方向の複数段で熱処理できる構成でありながら、上下の各段の間でガスが混ざり合うことを防止することのできる熱処理炉を提供する。
【解決手段】断熱性を有する炉壁１０に囲まれることにより炉内に単一の加熱室９が形成されている炉本体１と、前記単一の加熱室９に上下方向に複数段設けられ各段でワークＷを水平方向に搬送する搬送部３１，３２，３３と、これら搬送部３１，３２，３３によってワークＷが搬送される搬送路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３毎に加熱室９を上下方向複数段に仕切る仕切部材７ａ，７ｂ，７ｃと、これら仕切部材７ａ，７ｂ，７ｃによって仕切られた段毎に炉内環境を調整する調整装置８ａ，８ｂ，８ｃとを備えている。 （もっと読む）

【課題】電圧供給側の急激な電圧変動が発生しても、低コストで熱処理炉のヒータ出力の変動幅を制御して熱処理する半導体ウェーハにスリップ転位が発生するのを抑制できる熱処理炉のヒータ出力制御方法、ヒータ出力制御装置及びそのヒータ出力制御装置を具備した抵抗加熱式熱処理炉を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも、熱処理炉内の温度を検出する温度センサと、熱処理炉のヒータ出力を調整する温度コントローラと、熱処理炉のヒータへの供給電圧の変動を検出し、該供給電圧の変動に応じた補正値を算出し、該補正値を前記温度コントローラに出力するフィードバック手段とを具備し、半導体ウェーハを熱処理する際に、温度コントローラが温度センサで検出した温度及びフィードバック手段から出力された補正値に従ってヒータ出力を調整することによって、供給電圧の変動に伴うヒータ出力の変動幅を制御する熱処理炉のヒータ出力制御装置。 （もっと読む）

【課題】最大供給電力を越える電力量が電源設備から加熱ユニットへ供給される事態を回避できるようにすると共に、過電流を原因とするケーブルの焼損や、ブレーカーの不本意な断動作等を無くすことができるようにする。
【解決手段】炉体内に設けられた複数のヒーターユニット３、炉体１の目標加熱温度を設定する操作部５４と、各々のゾーンにおける現在の温度を測定する温度センサー８と、現在の温度と目標加熱温度との差分を基準にしてヒーターユニット３を出力制御する制御装置５０とを備え、炉体内のヒーターユニット３の出力と炉内温度上昇との関係を予めゾーン毎に求めた出力対温度特性情報と、温度センサー８から得られる温度測定情報と、操作部５４から得られる温度設定情報とに基づいてヒーターユニット３に供給する電力をゾーン毎に制御するものである。 （もっと読む）

【課題】工業炉などの産業用の製造装置に適した制御の再起動を実現する。
【解決手段】起動装置１は、降温速度ΔＰＶと休止時間ＴＷと操作量上限値ＯＨとオフ時間ＴＸとの組からなる分析用データを記憶する分析用データ記憶部２と、分析用データを用いて多変量解析手法により推定用多項式を算出する推定用多項式算出部３と、推定用多項式を記憶する推定用多項式記憶部４と、降温速度ΔＰＶと休止時間ＴＷと操作量上限値ＯＨのオンラインデータを取り込んでオフ時間ＴＸの推定値を算出するオフ時間ＴＸ推定値算出部５と、制御装置１０に対してヒータをオフにさせる指令を与え、オフ時間ＴＸ推定値の時間だけ維持した後に、通常の制御を再起動させる動作指令部６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】低温域での昇温リカバリーにおける収束時間を短縮し、ＴＡＴの短縮及びスループットの向上を図る。
【解決手段】制御装置は、処理容器内を初期温度から該初期温度よりも高く且つ１００〜５００℃の範囲内の目標温度にする温度制御を行うため、１つの制御量によりヒータ及び送風機への給電を制御し、正方向の絶対値の増加によりヒータへの給電を増加させ、負方向への絶対値の増加により送風機への給電を増加させるように制御量を準備する工程と、制御量に従って送風機への給電を停止すると共に、ヒータに所定供給量で給電することにより目標温度下の所定温度まで処理容器内を加熱する工程と、所定温度になった時点から、制御量に従って、送風機に所定供給量で給電して冷却空気を送風すると共に、ヒータへの給電を停止することにより処理容器内を目標温度に収束させる工程と、次に制御量に従って、送風機への給電を停止すると共に、ヒータに所定供給量よりも小さい値で給電することにより処理容器内を目標温度に維持する工程とを実行する。 （もっと読む）

【課題】炉壁の変化を精度よく検出することができ、安全性を向上させることができる誘導溶解炉の警報装置を提供する。
【解決手段】コントローラ１０は、ロードセル８により計測された被加熱材Ｙの質量が定格閾値未満の場合に、警報閾値を補正する（ＳＴＥＰ２３）。また、測温計９により計測された被加熱材Ｙの温度が被加熱材Ｙの溶解温度より高温の温度閾値以上であることを条件に（ＳＴＥＰ２５）、負荷インピーダンスＲを算出する（ＳＴＥＰ２６）。そして、算出された負荷インピーダンスＲが、その警報閾値と同値またはこれを超える場合に（ＳＴＥＰ２７，２８）、警報を出力する（ＳＴＥＰ３１，３２）。 （もっと読む）