【課題】パワー半導体素子において、周辺の電界強度を緩和する構造を小さな面積で実現する。
【解決手段】周辺領域Ｑにおいては、半導体層との間に周辺層間絶縁層（絶縁層）を介して複数の多結晶シリコン層７０が、ソース電極３０から端部ドレイン電極４１の間にかけて設けられる。多結晶シリコン層７０には、その長手方向が水平方向から傾斜した（傾斜角θ、０＜θ＜９０°）傾斜部が設けられている。多結晶シリコン層７０の傾斜部においては、ｐ型領域７１と、ｎ型領域７２とが長手方向に交互に多数形成されている。 （もっと読む）

【課題】トランジスタ間接続配線が吊りワード線と短絡してしまうのを回避すること。
【解決手段】第１の方向（Ｘ）に複数本並べて配置された活性領域（５０）の各々は、第１の方向（Ｘ）と直交する第２の方向（Ｙ）に離間して配置された２つの縦型トランジスタ（５１）と、この２つの縦型トランジスタ（５１）の間に位置するピラー（１ａ）と、から成る。半導体装置（１００）は、複数本の活性領域（５０）の中央の位置で、第１の方向（Ｘ）へ延在して配置された吊りワード線（２３）と、２つの縦型トランジスタ（５１）間を接続するために、第２の方向（Ｙ）に延在し、かつ吊りワード線（２３）を迂回するように構成されたトランジスタ間接続配線（２１、１０Ａ、１６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークを用いて形成される半導体装置であり、ダイシングおよびクラックに起因する半導体チップの品質低下を抑制し、半導体チップの微細化を容易にすることが可能な構成を有する半導体装置および基板を提供する。
【解決手段】主表面を有する半導体基板と、半導体基板の一方の主表面上に形成された多層構造回路ＩＣと、多層構造回路ＩＣのうち最上層と同一の層に形成される、平面視において多層構造回路を取り囲むように配置される保護壁ＧＲと、最上層と同一の層に形成される位置合わせマークＭ２Ｂとを備える。上記位置合わせマークＭ２Ｂは少なくとも一部において保護壁ＧＲと接するように形成される。 （もっと読む）

【課題】 回路のレイアウト装置で，ＥＯＥの発生しやすい箇所を推定することを目的とする。
【解決手段】 回路レイアウト装置１は，被研磨対象となる回路の配線パターンを含む回路情報を取得する回路情報取得部１１，回路を任意の単位領域でメッシュ状に区切り，各メッシュ領域について，メッシュ領域の配線密度とメッシュ領域の各辺に隣接する周辺領域の各々における配線密度とを示すメッシュ情報を生成するメッシュ情報生成部１２，各メッシュ領域について，メッシュ領域と各周辺領域の密度の関係がＥＯＥの発生条件に該当するメッシュ領域を抽出し，そのエラー情報を生成するエラー抽出部１３を備える。 （もっと読む）

【課題】フリップチップ実装に用いられる半導体チップと実装基板との電気的な接続信頼性を向上させた半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体チップ２と、半導体チップ２の主面に配置された複数の電極パッドと、複数の電極パッドの上に配置された複数のバンプ５とを有し、半導体チップ２のコーナー部において、第１のバンプと第２のバンプとが、第１のピッチで、隣接して配置され、半導体チップの中心部において、第３のバンプと第４のバンプとが、第２のピッチで、隣接して配置され、第１のピッチは、第２のピッチよりも狭い。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路において、ダイシング時の保護膜の剥離を抑制しつつ保護膜の密着性を確保し、チップサイズの小型化を実現する。
【解決手段】半導体集積回路は、スクライブ領域２近傍に形成されたシールリング３と、パッド４と、シールリング３とパッド４との間に形成された配線５と、シールリング３と、ダミーパターン８と、保護膜６と、保護膜７とを備えている。保護膜７の終端縁９は、シールリング３とパッド４との間に位置しており、ダミーパターン８における配線５を挟んで互いに向かい合う部分の端部が、保護膜７の終端縁９を中心に半導体チップ１の周縁部側及び中央部側方向に５μｍの間隔以内に位置している。 （もっと読む）

【課題】電極パッド間におけるデンドライトの発生を抑制する。
【解決手段】半導体装置は、第１電極パッド１ａ及び第２電極パッド１ｂと、第１電極パッド１ａと第２電極パッド１ｂとの間に配置されている金属膜パターン３と、を有している。（１）金属膜パターン３は第１電極パッド１ａと電気的に接続されているか、又は、金属膜パターン３には第１電極パッド１ａと同電位が印加され、且つ、（２）金属膜パターン３は絶縁膜（保護絶縁膜２）により覆われている。 （もっと読む）

【課題】半導体基板においてダミーパターンの配置密度を高める。
【解決手段】半導体基板１０４には、配線パターン１０２とダミーパターン１０６がレイアウトされる。配線パターン１０２の周囲にはマージン領域がレイアウトされ、マージン領域の周囲にダミー領域がレイアウトされる。このダミー領域に、複数のダミーパターン１０６がレイアウトされる。ダミーパターン１０６は、ダミー領域の延伸方向に配列される。マージン領域とダミー領域は、配線パターン１０２を基準として交互にレイアウトされる。 （もっと読む）

【課題】 製造コストの低減が可能な半導体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 第１再配線層４００は、金属バンプ層３２０の一部分を露出するように形成される。第１再配線層４００は、第１拡張パッド部４１０、第１延長部４２０及び第１連結部４３０を備える。第１拡張パッド部４１０は、金属パッド１２０と電気的に接続し、外部装置と接続する。第１延長部４２０は、金属バンプ層３２０上から第１拡張パッド部４１０上に延びるように形成される。第１連結部４３０は、スクライブレーン領域ＳＲに形成され、複数の第１再配線層４００を電気的に連結する。第１再配線層４００は、銀、ニッケルまたは銅を含むペーストまたはインクを利用したプリンティング方法、または、ロールオフセットプリンティング方法によって形成される。これにより、金属パッドと再配線層との接触抵抗を小さくするとともに、製造コストを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 小型かつ簡素な構成の駆動装置や、当該駆動装置を備える表示装置、複数の当該駆動装置から成る駆動装置複合物、当該駆動装置に備えられる集積回路装置を提供する。
【解決手段】 駆動装置１は、表示部に出力する出力信号を生成する集積回路部１０と、集積回路部１０と電気的に接続する配線部２０と、を備える。集積回路部１０は、出力信号を生成する複数の出力回路を備える。配線部２０は、一端部が出力回路に電気的に接続する複数の出力配線２４−１〜２４−３と、出力配線２４−１〜２４−３の他端部に電気的に接続するとともに駆動装置１の外部に出力信号を出力する複数の出力部２３−１〜２３−３と、を備える。出力部２３−１〜２３−３は、所定方向（Ｘ方向）に沿って配置され、複数の出力部２３−１〜２３−３で出力部群Ｇ１〜Ｇ３が構成される。 （もっと読む）

【課題】特性の劣化を抑えつつ省スペース化を図ることが可能な半導体装置等を提供する。
【解決手段】半導体装置は、基板上の第１の方向に沿って延在し、互いに離隔配置された主配線部および分岐配線部を有する１または複数の第１の配線と、基板上の第１の方向とは異なる第２の方向に沿って延在する幹配線部と、主配線部と分岐配線部との間隙領域内で第１の方向に沿って延在する複数の枝配線部とを有する１または複数の第２の配線と、複数の枝配線部が個別にゲート電極として機能すると共に、主配線部内および分岐配線部内に形成されたソース領域と、複数の枝配線部間に形成されたドレイン領域とを有し、各々が第２の方向に沿って複数個に分割形成されてなる１または複数のトランジスタと、第２の方向に沿って延在し、トランジスタのドレイン領域と電気的に接続された１または複数の第３の配線とを備えている。 （もっと読む）

【課題】発熱体である抵抗から熱容量の大きいアノード領域への放熱を阻止し、ジュール熱を効率的に抵抗で消費するようにして、電気ヒューズの切断電力の低減化を図る。
【解決手段】絶縁膜５上にポリシリコン層６を形成し、該ポリシリコン層６上の一部に絶縁膜マスクを形成する。次に、該絶縁膜マスク層で被覆された以外のポリシリコン層６上にシリサイド層７を形成する。次にフォトエッチング工程を経てシリサイド層７、ポリシリコン層６をエッチングし、アノード領域１、カソード領域２及びアノード領域１とカソード領域２を接続するリンク領域３からなる電気ヒューズを形成する。電気ヒューズは、アノード領域１とリンク領域３の境界を挟んでリンク領域３方向からアノード領域１の一部に延在する非シリサイド領域を具備する。リンク領域３の非シリサイド領域は高抵抗領域１１を構成し、アノード領域１の非シリサイド領域は熱伝導阻止層１ｂを構成する。 （もっと読む）

【課題】レイアウトデータからＣｕ残が発生しやすい品種やレイヤであるか否かを判定することのできる偏在率算出方法を提供する。
【解決手段】ＣＰＵは、検証レイヤにおいて所定サイズの検証エリア毎にパターン密度を算出するステップＳ１３と、算出されたパターン密度を複数の密度範囲に分別し、各々の密度範囲に属するパターン密度の分布を示す複数の密度マップＭＡＰ０〜ＭＡＰ７を生成するステップＳ１４とを実行する。また、ＣＰＵは、各密度マップＭＡＰ０〜ＭＡＰ７に所定量のプラスシフトを加えるステップＳ１５と、パターン密度の密度差が第１基準値以上となる組み合わせの密度マップＭＡＰ０〜ＭＡＰ７を重ね合わせ、両密度マップで重複した領域を抽出するステップＳ１６とを実行する。ＣＰＵは、その抽出した領域の総面積を算出するステップＳ１７と、算出した総面積と第２基準値とを比較するステップＳ１８とを実行する。 （もっと読む）

【課題】多層配線構造を有する半導体装置にダミーパタンを配線空隙に効率よく製造容易的に形成する。
【解決手段】多層配線構造の半導体装置において、狭い配線空隙（Ａｒｅａ＿Ｓ１）に、広い配線空隙（Ａｒｅａ＿Ｓ２）に形成されたダミーパタン（２２，２３）と異なる向きのダミーパタン（２１）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路の長寿命化、および設計期間の短縮を同時に実現すること。
【解決手段】設計支援装置７００は、検出部７０１により、レイアウト情報によって表現された設計対象回路から配線間を接続するビアを検出する。つぎに、決定部７０２により、配線間を接続しないダミービアの接続位置を、検出部７０１によって検出されたビアに接続された配線のうち、少なくとも一つの配線上の位置に決定する。そして、挿入部７０４により、決定部７０２によって決定された接続位置にダミービアを挿入する。 （もっと読む）

【課題】微細な配線パターンを備えた発光装置の作製方法の提供。
【解決手段】Ｉｎと、Ｇａと、Ｚｎとを有する酸化物半導体層を形成し、酸化物半導体層上に第１の導体パターンを形成し、第１の導体パターンより微細な第２の導体パターンを形成し、前記第２の導体パターンと電気的に接続する発光素子を形成する発光装置の作製方法であって、第２の導体パターンは、酸化物半導体層を横断する。 （もっと読む）

【課題】駆動時の発熱温度を低下させる。
【解決手段】基板１２の熱伝導率をＮ_ｓｕｂ（Ｗ／ｍＫ）とし、熱拡散層１４の熱伝導率をＮ_ｋａｋｕ（Ｗ／ｍＫ）とし、熱拡散層１４の膜厚をＴ（ｍｍ）とし、熱拡散層１４の平面開口率をＲ（０≦Ｒ≦１）とし、Ｓ＝Ｔ×Ｒとしたとき、例えば、基板１２の熱伝導率Ｎ_ｓｕｂが、Ｎ_ｓｕｂ＜１．８の条件を満たし、熱拡散層１４の熱伝導率Ｎ_ｋａｋｕが、Ｎ_ｋａｋｕ＞３．０×Ｓ^(−０．９７×ｅ^(−１．２×Ｎ_ｓｕｂ））且つＮ_ｋａｋｕ≧Ｎ_ｓｕｂの条件を満たす。 （もっと読む）

【課題】半導体装置におけるＳＭ不良による信頼性や歩留りの低下を抑えることが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置においては、第１の配線と、第１の配線と接続され、第１の配線より細幅の第２の配線と、一方の端部が、第１の配線と第２の配線の接続部の近傍で、第１の配線と接続され、他方の端部より局所的に細幅となる中間部を有する犠牲的配線と、を備える。 （もっと読む）

【課題】プロセス数を増大させることなく、応力を緩和できる構造を有する半導体装置を提供する。
【解決手段】一方の面に埋め込み酸化層と半導体層がこの順で積層される半導体基板１０を加工して作製され、前記一方の面側で他の基板に接合される半導体装置であって、前記埋め込み酸化層及び前記半導体層を加工して形成される半導体素子２０と、前記埋め込み酸化層及び前記半導体層を加工して形成され、前記半導体素子に接続される配線部と、前記配線部の端部に連続する前記半導体層によって構成され、当該半導体層の下側の埋め込み酸化層が除去されて前記半導体基板との間に空隙が形成されるパッド部４０と、前記パッド部と前記他の基板を接合する接合部とを含む。 （もっと読む）

【課題】配線パターンを覆う絶縁層をできる限り薄くする。
【解決手段】配線パターン１は、第一の一対の端子３，４及び該第一の一対の端子３，４間を接続する複数の第一の引き回し部５を有する第一の配線２と、第二の一対の端子７，８及び該第二の一対の端子７，８間を接続する少なくとも一つの第二の引き回し部９を有する第二の配線６とを含む。 （もっと読む）