【課題】簡単な構成で、複数の積層チップパッケージを積層し互いに電気的に接続することを可能にし、所望の数の半導体チップを含むパッケージを低コストで実現する。
【解決手段】積層チップパッケージ１Ｓは、本体２を備え、本体２は、主要部分２Ｍと、主要部分２Ｍの上面、下面に配置された複数の第１の端子４、第２の端子５を有している。主要部分２Ｍは、２つの階層部分１０Ｓ１，１０Ｓ２と、これらを貫通する複数の貫通電極Ｔを含んでいる。複数の貫通電極Ｔは、複数の端子４，５に電気的に接続されている。各階層部分は、第１の面と第２の面を有する半導体チップと、複数の表面電極を含んでいる。階層部分１０Ｓ１，１０Ｓ２は、第２の面同士が対向するように接合されている。端子４は階層部分１０Ｓ１の表面電極を用いて構成され、端子５は階層部分１０Ｓ２の表面電極を用いて構成されている。 （もっと読む）

【課題】低コストで安定した品質の薄膜を製造すること。
【解決手段】薄膜製造方法は、基板２０の第１主面２０ａ上に形成させる薄膜の金属酸化物前駆体溶液１２中に、基板を配置する配置工程と、光源１３からレーザ光１４を照射することにより、基板２０の第１主面２０ａ上に薄膜を形成する形成工程と、光源１３と同一の光源１３からレーザ光１４を照射して、基板２０の第１主面２０ａと金属酸化物前駆体溶液１２の液面の距離７３を計測する工程と、計測結果に基づいて、基板２０の高さ方向の位置を調整する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 配向度の高く圧電特性が良好なニオブ酸ストロンチウムカルシウムナトリウム系のタングステンブロンズ構造金属酸化物の圧電材料及び圧電素子を提供する。
【解決手段】 そのための本発明は、少なくともＳｒ、Ｃａ、Ｎａ、Ｎｂの金属元素を含み、前記金属元素がモル換算で以下の条件を満たすタングステンブロンズ構造金属酸化物を含有する圧電材料であって、前記圧電材料にＷが含有されており、前記Ｗの含有量が前記タングステンブロンズ構造金属酸化物１００重量部に対して金属換算で０．４０重量部以上３．２０重量部以下であり、前記タングステンブロンズ構造金属酸化物がｃ軸配向を有することを特徴とする圧電材料である。Ｓｒ／Ｎｂ＝ａとしたときのａが：０．３２０≦ａ≦０．４３０、Ｃａ／Ｎｂ＝ｂとしたときのｂが：０．００８≦ｂ≦０．０８６、Ｎａ／Ｎｂ＝ｃとしたときのｃが：０．１８０≦ｃ≦０．２００である。 （もっと読む）

【課題】 配向度の高いニオブ酸バリウムビスマス系のタングステンブロンズ構造金属酸化物の圧電材料を提供する。また、それを用いた圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】 そのための本発明は少なくともＢａ、Ｂｉ、Ｎｂの金属元素を含み、前記金属元素がモル換算で以下の条件を満たすタングステンブロンズ構造金属酸化物を含有する圧電材料であって、前記圧電材料にＷが含有されており、前記Ｗの含有量が前記タングステンブロンズ構造金属酸化物１００重量部に対して金属換算で０．４０重量部以上３．００重量部以下であり、前記タングステンブロンズ構造金属酸化物がｃ軸配向を有することを特徴とする圧電材料である。Ｂａ／Ｎｂ＝ａとしたときのａが：０．３０≦ａ≦０．４００、Ｂｉ／Ｎｂ＝ｂとしたときのｂが：０．０１２≦ｂ≦０．０８４ （もっと読む）

【課題】 配向度の高いニオブ酸バリウムビスマスカルシウム系のタングステンブロンズ構造金属酸化物の圧電材料、それを用いた圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】 そのための本発明は少なくともＢａ、Ｂｉ、Ｃａ、Ｎｂの金属元素を含み、前記金属元素がモル換算で以下の条件を満たすタングステンブロンズ構造金属酸化物を含有する圧電材料であって、前記圧電材料にＷが含有されており、前記Ｗの含有量が前記タングステンブロンズ構造金属酸化物１００重量部に対して金属換算で０．４重量部以上２．０重量部以下であり、前記タングステンブロンズ構造金属酸化物がｃ軸配向を有することを特徴とする圧電材料。Ｂａ／Ｎｂ＝ａとしたときのａが：０．３７≦ａ≦０．４０、Ｂｉ／Ｎｂ＝ｂとしたときのｂが：０．０２＜ｂ≦０．０６５０、Ｃａ／Ｎｂ＝ｃとしたときのｃが：０．００７＜ｃ≦０．１０である。 （もっと読む）

【課題】単一の電源及び単一のマッチングボックスにより、各被エッチング物の最適な周波数を用いてエッチングする。
【解決手段】被エッチング材が載置されるステージを内部に有する真空容器と、前記真空容器内にプロセスガスを供給するプロセスガス供給手段と、前記真空容器内にプラズマを生成させるためのプラズマ生成手段と、前記プラズマ生成手段の電極にプラズマ生成用高周波電力を供給するプラズマ生成用電源と、前記ステージの自己バイアス電位を制御するための単一のバイアス電源であって、出力周波数を変更可能なバイアス電源と、前記ステージと前記バイアス電源との間に電気的に接続された単一の整合器であって、前記バイアス電源の負荷と前記バイアス電源とのインピーダンス整合をとる整合器と、前記バイアス電源の出力周波数を設定する周波数設定手段と、前記バイアス電源の出力周波数に応じて前記整合器のインピーダンスを制御する制御手段とを備えたドライエッチング装置によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】Ｂｉ（Ｆｅ，Ｍｎ）Ｏ₃およびＢａ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ₃をベースにした圧電材料の特性を向上させる非鉛系圧電材料を提供する。
【解決手段】基板１上に弾性膜２、密着層３，４，５、下部電極６、圧電膜９を形成する。圧電材料は、Ｂｉ（Ｆｅ，Ｍｎ）Ｏ₃とＢａ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ₃の混晶からなる圧電材料であって、組成式（１−ｘ）Ｂｉ（Ｆｅ_1-yＭｎ_y）Ｏ₃−ｘＢａ（Ｚｒ_uＴｉ_1-u）Ｏ₃で表され、０＜ｘ＜０．４０、０．０１＜ｙ＜０．１０および０≦ｕ＜０．１６である。かかる構成によれば、Ｂｉ（Ｆｅ_1-yＭｎ_y）Ｏ₃の自発分極量や高いキュリー温度を維持しつつ、Ｂａ（Ｚｒ_uＴｉ_1-u）Ｏ₃により圧電特性の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】基板（３５）上にフィルムを蒸着する方法を提供する。
【解決手段】基板（３５）は、約０．１ミリトールから約１００ミリトールの圧力で反応容器（１）に入れられる。この方法は、ｉ）少なくとも１つの有機金属化合物を含むガス前駆体を、約２０℃から約１５０℃の温度、約０．１トールから約１００トールの蒸気圧で反応容器に供給し、ｉｉ）反応容器に、パージガス、酸化ガス又はこれらの組み合わせを供給する、ことを含む反応サイクルを基板に施すことを含む。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、強誘電性能に優れた非鉛系ペロブスカイト型酸化物を提供する。
【解決手段】ペロブスカイト型酸化物は、下記一般式（Ｐ１）で表される第１成分と、下記一般式（Ｐ２）で表される第２成分とを含むものである。第１成分：（Ｂｉ_ｘ1，Ｘ_ｘ2）（Ｆｅ_ｚ1，Ｍｎ_ｚ2）Ｏ_３・・・（Ｐ１）第２成分：（Ａ_ｙ1，Ｙ_ｙ2）ＢＯ_３・・・（Ｐ２）（式中、ＢｉはＡサイト元素であり、Ｘは平均イオン価数４価以上のＡサイト元素である。Ａは平均イオン価数２価のＰｂ以外の１種又は複数種のＡサイト元素であり、Ｙは平均イオン価数３価以上の１種又は複数種のＡサイト元素である。Ｆｅ，ＭｎはＢサイト元素であり、Ｂは平均イオン価数４価の１種又は複数種のＢサイト元素である。Ｏは酸素。0.6≦x1＜1.0，0≦x2≦0.4，0.6≦y1＜1.0，0≦y2≦0.4，x2+y2＞0，0.6≦z1＜1.0，0≦z2≦0.4） （もっと読む）

【課題】環境負荷を低減し、リーク電流の発生を抑制した液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置、圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上方に、焼成によりビスマス、鉄、マンガン、カリウム、及びチタンを含む複合酸化物を形成する有機金属化合物と、ポリビニルピロリドンと、を含む塗布液７１を塗布する工程と、塗布液７１を焼成し、ペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７２を形成する工程と、圧電体層７２の上方に第２電極を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、かつリーク電流を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法及びこれを用いた液体噴射装置、並びに圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５を形成する工程と、絶縁体膜５５上に反応性スパッタリング法により酸化チタンからなる密着層５６を形成する工程と、密着層５６上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上にチタン、ビスマス、バリウム、カリウム及びナトリウムを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に第２電極８０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、良好な圧電特性を有する圧電体層を備えた液体噴射ヘッド及びその液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる液体噴射ヘッド６００は、薄膜法により形成された圧電体層３０および圧電体層３０に電圧を印加する電極１０，２０を含む圧電アクチュエーター１０２を備える。液体噴射ヘッド６００の圧電体層３０は、チタン酸ビスマスナトリウムと、０．２モル％以上８．０モル％以下の銅と、を含む固溶体である。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、良好な圧電特性を有する圧電体層を備えた液体噴射ヘッド及びその液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる液体噴射ヘッド６００は、薄膜法により形成された圧電体層３０および圧電体層３０に電圧を印加する電極１０，２０を含む圧電アクチュエーター１０２を備える。液体噴射ヘッド６００の圧電体層３０は、チタン酸ビスマスナトリウムと、０．２モル％以上８．０モル％以下のマンガンと、を含む固溶体である。 （もっと読む）

【課題】強誘電体膜の結晶性および性能の向上を図れるとともに低コスト化を図れ、しかも、製造工程の簡略化を図れる強誘電体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】強誘電体膜２４ｂとの格子整合性の良い第２の基板４０の一表面側に所定パターンのシード層１２４ｃを形成し、第２の基板４０の一表面側に強誘電体層１２４ｂを形成する。強誘電体層１２４ｃ上に下部電極２４ａを形成し、下部電極２４ａと第１の基板４０とを接合層５１を介して接合する。所定波長のレーザ光ＬＢを第２の基板４０の他表面側から照射し強誘電体層１２４ｂのうちシード層１２４ｃに重なる強誘電体膜２４ｂおよびシード層１２４ｃを第１の基板２０の一表面側に転写する。レーザ光ＬＢを、第２の基板４０を透過し、且つ、シード層１２４ｃにより反射され、且つ、強誘電体層１２４ｂのうちシード層１２４ｃに重ならない第２の部分２４ｂ_２に吸収される波長の光とする。 （もっと読む）

【課題】絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない圧電素子を有する液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子並びに圧電材料を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０および圧電体層７０に設けられた電極６０，８０を備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０は、ビスマス、鉄およびセリウムを含むペロブスカイト型複合酸化物であり、圧電体層７０は、セリウムを、ビスマスおよびセリウムの総量に対してモル比で０．０１以上０．１３以下含む液体噴射ヘッドＩとする。 （もっと読む）

【課題】環境に優しく且つ比誘電率が高い液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電体層７０と、圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを具備する圧電素子３００を備えた液体噴射ヘッドＩであって、圧電体層７０は、膜厚が３μｍ以下であり、鉄酸マンガン酸ビスマス及びチタン酸バリウムを含むペロブスカイト型化合物を含有する圧電材料からなり、（１１０）面に優先配向し、且つ、この（１１０）面に由来するＸ線の回折ピーク位置（２θ）が３１．８０°以上３２．００°以下である。 （もっと読む）

【課題】消費電力を低減することができるプレート方式の不揮発性記憶装置を提供する。
【解決手段】複数のメモリセルをそれぞれ有する複数のメモリマットと、メモリマット毎に設けられ、複数のメモリセルに電圧を与える複数のプレート電極と、複数のプレート電極に電圧を与える電源部と、電源部とプレート電極との間、及びプレート電極間にそれぞれ設けられた複数のスイッチを有するスイッチ回路と、スイッチ回路を制御して、電源部とプレート電極の間を非接続とすると共にプレート電極間を接続して、プレート電極間で電荷の充放電を行う制御部と、を備えた不揮発性記憶装置とした。 （もっと読む）

【課題】
表面及び内部の強誘電体の自発分極を劣化させず、且つ、外部電場で反転しやすいようにするため、酸素等の構成元素の欠落と表面の結晶性の劣化を排除しつつ、自発分極から発生する電場を増大させる。
【解決手段】
酸化物強誘電体の表面に、酸素以外の気体元素を十分に低減した雰囲気で、酸素原子、酸素イオン、オゾンなどの活性酸素を低運動エネルギーで照射する。また、酸化物強誘電体薄膜のように、表面が露出していない場合は、該薄膜の形成前に、該薄膜を形成する下地層の表面に、同様の活性酸素を照射する。 （もっと読む）

【課題】過消去ビットの発生を抑制してエンデュランス特性等を向上させることができる不揮発性記憶装置、集積回路装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】不揮発性記憶装置は、電気的に書き換え及び消去可能な複数の不揮発性メモリーセルＭ１１〜Ｍ４４を有するメモリーセルアレイと、複数の不揮発性メモリーセルのうちの消去対象メモリーセルに対する消去動作の制御を行う消去制御回路ＥＲＣＮとを含む。消去制御回路ＥＲＣＮは、消去対象メモリーセルが多い場合には、消去対象メモリーセルに対応するビット線ＢＬ１〜ＢＬ４がフローティング状態に設定される第１の消去動作制御を行う。消去対象メモリーセルが少ない場合には、消去対象メモリーセルに対応するビット線ＢＬ１〜ＢＬ４が低電位電源電圧ＶＳＳに設定される第２の消去動作制御を行う。 （もっと読む）

【課題】絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ビスマスカリウムを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）