【課題】 エアギャップ構造を簡易な方法で形成する。
【解決手段】 本発明の一態様の半導体装置の製造方法によれば、半導体基板上に導電層を含む被加工膜を形成する工程と、前記被加工膜上にダミー膜を形成する工程と、を備えている。さらに、前記ダミー膜を所望の形状にデポ条件の異方性エッチングにより加工する工程と、前記被加工膜を所望の形状に異方性エッチングにより加工する工程と、前記所望の形状に加工された被加工膜上の前記ダミー膜を異方性エッチングにより除去する工程と、前記被加工膜上に上層膜を形成する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】埋め込みゲートトランジスタのＳＣＥに対する免疫性を向上させると同時に、分岐点での重なりを増加させる方法及び構造の提供。
【解決手段】基板１０２は第１活性領域１０４と第２活性領域１０６とを有し、浅溝分離（ＳＴＩ）領域１０８によって分離される。バッファ層１１２は応力緩和層として機能しハードマスク層１１４が形成される。基板１０２の表面に分離領域１０８を部分的に網羅するように凹部１１８を設ける。ゲート誘電体１２０が凹部１１８に形成された後第一ドーパントインプラント１２２により、ドープ済みチャンネル領域１２４が形成される。インプラントはハードマスク１１４を貫通しないので、凹部１１８の下に形成されたドープ済みチャンネル領域１２４中のドーパント濃度は最も高くなる。ドープ済みチャンネル領域１２４はトランジスタのオン・オフを切り替える閾値電圧を変調する。 （もっと読む）

【課題】ビット線間の寄生容量による影響を低減することにより、高精度のデータの読出しを可能にする半導体メモリを提供する。
【解決手段】１つの主ビット線に互いに異なるタイミングでオン駆動するセレクタ素子及び当該セレクタ素子のそれぞれに接続された副ビット線を介して当該副ビット線のそれぞれにメモリセルが接続され、当該主ビット線に並置されるとともに固定電位に接続された固定電位線が設けられていること。 （もっと読む）

【課題】電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い、新たな構造の半導体装置を提供する。
【解決手段】トランジスタのオフ電流を十分に小さくすることができる材料、例えば、ワイドギャップ半導体である酸化物半導体材料を用いて半導体装置を構成する。トランジスタのオフ電流を十分に小さくすることができる半導体材料を用いることで、長期間にわたって情報を保持することが可能である。また、書き込みワード線に電気的に接続する容量素子またはノイズ除去回路を設けることで、駆動回路等からメモリセルに入力されうる制御信号とは異なる短パルスやノイズ等の信号を低減または除去することができる。これにより、メモリセルが有するトランジスタが瞬間的にオンすることでメモリセルに書き込まれたデータが消失してしまう誤動作を防ぐことが可能である。 （もっと読む）

【課題】
駆動回路からメモリセルへの寄生抵抗や寄生容量の影響により、非選択セルへの熱ディスターブ、印加電圧のばらつき、読み出し時の記憶素子の劣化等の課題があった。
【解決手段】
電流により記憶情報が書き込まれる記憶素子と、当該記憶素子に接続される選択素子と、を有するメモリセル（ＭＣ）の上方または下方にキャパシタ（Ｃ）を設け、当該キャパシタに蓄積された電荷によって記憶素子に書き込みを行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＳＯＩにおいて適したゲッタリング方法を適用して得られる半導体装置を提供する。
【解決手段】埋め込み酸化膜と、埋め込み酸化膜上に表面シリコン層を有するＳＯＩ構造を有する半導体装置において、埋め込み酸化膜上に、表面シリコン層を活性層として有するトランジスタと、素子分離絶縁膜を有し、素子分離絶縁膜上に容量が形成されており、素子分離絶縁膜に希ガス元素又は金属元素が含まれていることを特徴とする半導体装置とする。 （もっと読む）

【課題】 制御端子が浮遊状態になると、予期しないリーク電流などにより電極に電荷が蓄積され、電極の電位が変動し、スイッチが誤動作してしまう可能性がある。
【解決手段】 クーロン力により湾曲させることで第１の信号電極と第２の信号電極とを接触または分離することが可能な架橋部と、前記架橋部を制御するための制御端子とを有するスイッチ素子と、前記制御端子に接続された第１の不揮発性半導体素子と、前記制御端子および前記第１の不揮発性半導体素子に接続された第２の不揮発性半導体素子とを備える。 （もっと読む）

【課題】不揮発性半導体装置の機能を確保することができ、フローティングゲートのしきい値電圧の変動が抑制された不揮発性半導体装置を提供する。
【解決手段】主表面を有する半導体基板１１と、半導体基板１１の主表面上に間隔をあけて形成された第１と第２フローティングゲート１５ａ、１５ｂと、第１と第２フローティングゲート１５ａ、１５ｂ上の第１と第２コントロールゲート１２ａ、１２ｂと、第１コントロールゲート１２ａ上に形成された第１絶縁膜３２ａと、第２コントロールゲート１２ｂ上に形成され、第１絶縁膜３２ａに接触するように形成された第２絶縁膜３２ｂと、第１絶縁膜３２ａと、第２絶縁膜３２ｂとを接触させることで、少なくとも第１フローティングゲート１５ａと第２フローティングゲート１５ｂ間に形成された空隙部２６ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い、新たな駆動方法を提供する。また、新たな駆動方法により、メモリ素子への書き込み電位のばらつきを低減し、信頼性を向上させる。
【解決手段】半導体装置の駆動方法において、書き込み電位を段階的に上昇させて、同時に読み出し電流を確認し、読み出し電流の結果を書き込み電位に利用して書き込みを行う。つまり、正しい電位で書き込みが行われたか確認しながら書き込みを行うことで、信頼性の高い書き込みを行うことが可能である。 （もっと読む）

【課題】高速動作が可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体装置は、第１の方向に平行に延在する第１素子分離溝部とそれに交差する方向に延在する第２素子分離溝部とが交互に連なってなる素子分離溝に第１絶縁膜を埋め込んで形成された素子分離領域を複数備え、素子分離領域間に第１素子形成部と第２素子形成部とが交互に連なってなる素子形成領域を複数備え、各第１素子形成部は所定数の第１半導体ピラーを備え、各第２素子形成部は第２半導体ピラーを備え、各素子形成領域はピラーの下部に不純物拡散層からなる第１のビット線を備え、ピラーの上部に上部不純物拡散層を備え、各素子形成領域の第２半導体ピラーの上部不純物拡散層に電気的に接続する第1のビット線より低抵抗の第２のビット線を備え、ピラーの下部側壁に第２絶縁膜を介して第２の方向に延在するワード線を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低電源電圧下においても、安定かつ高速に動作する半導体記憶装置を実現する。
【解決手段】メモリセル列ごとにアレイ電源線（ＡＲＶＤ）およびダウン電源線（ＤＷＶＤ）を配置する。ダウン電源線は、読出し時に接地に結合され、書込み時にフローティング状態とされる。書込み時、選択列のアレイ電源線への電源電圧の供給を停止するとともに該アレイ電源線を対応のダウン電源線に接続する。電源系統を複雑化することなく、低電源電圧下においても安定にデータの書込／読出を行うことのできる半導体記憶装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 製造コストの上昇を招くことなくＮＡＮＤフラッシュメモリにＤＲＡＭを混載することができ、且つチップ面積の増大を招くことなくシステム性能の向上をはかる。
【解決手段】 半導体基板１０上に、ＮＡＮＤセルユニットからなる第１のメモリセルアレイとＤＲＡＭセルからなる第２のメモリセルアレイとを搭載した複合メモリであって、ＮＡＮＤセルユニットは、第１のゲート１４と第２のゲート１６を積層した２層ゲート構成の不揮発性メモリセル１００と不揮発性メモリセル１００の第１及び第２のゲート１４，１６間を接続した選択トランジスタ２００で構成され、ＤＲＡＭセルは、選択トランジスタ２００と同じ構成のセルトランジスタ３００と、不揮発性メモリセル１００又は選択トランジスタ２００と同じ構成のＭＯＳキャパシタ４００で構成されている。 （もっと読む）

【課題】信頼できる非常に小型の記憶素子を含む、３次元集積回路メモリ用の構造を低い製造コストで提供すること。
【解決手段】３次元メモリデバイスは、絶縁材料によって分離され、復号化回路を介してセンスアンプに結合可能なストリングとして配置された複数の隆起した形状スタック含む。ダイオードは、ストリングのストリング選択端部又は共通ソース選択端部のどちらか一方においてビット線構造に接続される。導電材料の帯片は、隆起した形状のスタックのサイドに側面を有する。ワード線として配列された複数の導電線は、行デコーダに結合することができ、複数の隆起した形状のスタックの上で直交して延びる。記憶素子は、スタック上の電導性帯片の側面と導電線との間の交点における界面領域の多層アレイに設けられる。 （もっと読む）

【課題】微細な配線を高アスペクト比かつ高密度で形成できる、半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】層間絶縁膜に隣り合う第１配線溝と第２配線溝を形成し、第１配線溝内に第１配線とその上の空間および第２配線溝内に第２配線とその上の空間を設け、等方性エッチングを行って、第１配線溝の幅が拡大されてなる第１マスク溝と第２配線溝の幅が拡大されてなる第２マスク溝を形成し、第１マスク溝及び第２マスク溝にマスク用絶縁材料を充填して、第１マスク溝内の第１マスク絶縁膜と第２マスク溝内の第２マスク絶縁膜を形成し、第１マスク絶縁膜及び第２マスク絶縁膜をマスクとして利用する異方性エッチングを行って、第１配線と第２配線との間を通過し上記層間絶縁膜を貫通するホールを、第１マスク絶縁膜と第２マスク絶縁膜に対して自己整合的に形成し、このホールに導電材料を充填してプラグを形成する、半導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】不良を抑制しつつ微細化を達成する半導体装置の作製方法を提供することを目的の一とする。
【解決手段】絶縁表面上に、酸化物半導体層と、酸化物半導体層と接するソース電極およびドレイン電極と、を形成し、ソース電極上およびドレイン電極上にそれぞれ絶縁層を形成し、酸化物半導体層、ソース電極、ドレイン電極および絶縁層上にゲート絶縁層を形成し、ゲート絶縁層上に導電層を形成し、導電層を覆うように絶縁膜を形成し、導電層におけるソース電極またはドレイン電極と重畳する領域の少なくとも一部が露出するように絶縁膜を加工し、導電層の露出した領域をエッチングして、ソース電極とドレイン電極に挟まれた領域の少なくとも一部と重畳するゲート電極を自己整合的に形成する半導体装置の作製方法である。 （もっと読む）

【課題】加工膜と非加工膜をＲＩＥ法で選択的に加工するときに、非加工膜の加工量を低減させる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、下地層１，７，８の上に非加工膜１４を形成する工程と、非加工膜１４および下地層１，７，８に溝４を形成する工程と、溝内を埋め込むように加工膜５を形成する工程と、非加工膜１４を露出させるように加工膜５を平坦化する工程とを備える。更に、加工膜５および非加工膜１４の上に保護膜１６を形成する工程と、ＲＩＥ法を用いて、保護膜１６をエッチングすると共に、加工膜５を選択的にエッチングして溝内の加工膜５を落とし込む工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体記憶装置の面積を縮小する技術を提供する。
【解決手段】高抵抗付加型ラッチ回路（１２）と、その高抵抗付加型ラッチ回路（１２）に保持されるデータの読み出しと書込みとを制御する選択回路（１３）とを具備する半導体記憶装置（１１）を構成する。その高抵抗付加型ラッチ回路（１２）は、第１駆動トランジスタ（２２）と、第２駆動トランジスタ（２４）と、第１抵抗（１２１）と、第２抵抗（１２３）とを備えることが好ましい。また、その選択回路（１３）は、第１選択トランジスタ（３１）と、第２選択トランジスタ（３２）とを備えることが好ましい。ここにおいて、その第１抵抗（１２１）と第２抵抗（１２３）とは、サイドウォール状の導電性材料（２１）（２３）で形成されるものである。 （もっと読む）

【課題】Ｄｔ−ＭＯＳトランジスタよりなる半導体装置の素子寸法を縮小する。
【解決手段】シリコン基板２１と、素子分離領域２１Ｉと、前記素子分離領域により画成された、第１の導電型を有する第１のウェルよりなる素子領域２１ＤＮＷと前記第１の導電型と逆の第２の導電型のコンタクト領域２１Ｐ＋１と、ゲート絶縁膜を介して、前記素子領域上から、前記素子分離領域のうち前記素子領域と前記コンタクト領域との間に延在するゲート電極と、第２の導電型のソース拡散領域と、第２の導電型のドレイン拡散領域と、前記ソース拡散領域の下端部に接して形成された第１の絶縁領域と、前記ドレイン拡散領域の下端部に接して形成された第２の絶縁領域と、前記ゲート電極と前記コンタクト領域とを電気的に接続するビアプラグと、を含み、前記第１のウェルは前記素子分離領域部分の下の前記シリコン基板を介して前記コンタクト領域に電気的に接続されていること。 （もっと読む）

【課題】自己整列リセス・ゲート構造及び形成方法の提供。
【解決手段】最初に，絶縁用のフィールド酸化物領域２０を半導体基板１０内に形成する。半導体基板の上に形成された絶縁層内に複数のコラムを画定し，それに続いて，薄い犠牲酸化物層を半導体基板の露出領域の上に形成するが，フィールド酸化物領域の上には形成しない。次に，各コラムの側壁上，並びに犠牲酸化物層及びフィールド酸化物領域の一部分の上に誘電体を設ける。第１エッチングを行い，それにより，半導体基板内に第１組のトレンチを，またフィールド酸化物領域内に複数のリセスを形成する。第２エッチングを行い，それにより，コラムの側壁上に残っている誘電体残留部を除去し，かつ第２組のトレンチを形成する。次に，第２組のトレンチ内及びリセス内にポリシリコンを堆積させ，それにより，リセス導電性ゲートを形成する。 （もっと読む）

【課題】低消費電力で動作し、記憶情報の信頼性が高く、小型で軽量、安価な記憶装置と
その駆動方法を提供することを課題とする。さらに低消費電力で動作し、記憶情報の信頼
性が高く、無線通信距離の長い、小型で軽量、安価な半導体装置とその駆動方法を提供す
ることを課題とする。
【解決手段】記憶装置は、少なくとも記憶素子がマトリックス状に配置されたメモリセル
アレイと、書き込み回路とを有し、記憶素子は第一の導電層と、第二の導電層と第一の導
電層と第二の導電層とに挟まれて設けられた有機化合物層とを有し、書き込み回路は、複
数回印加する電圧を発生させる電圧発生回路と、電圧の出力時間を制御するタイミング制
御回路とを有することを特徴とする。 （もっと読む）