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Fターム[5F110GG02]の内容

薄膜トランジスタ (412,022) | チャネル半導体層 (67,982) | 材料 (18,671) | Si (7,158)

Fターム[5F110GG02]に分類される特許

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【課題】フォトリソグラフィ工程を増やすことなく液晶表示装置を製造することを目的とする。
【解決手段】液晶表示装置は、第1透明電極14の端部に載る第1絶縁層30と、第1絶縁層30下のゲート電極18と、第1絶縁層30上の半導体層34と、半導体層34上から第1透明電極14上に至るように形成されて第1透明電極14に電気的に接続する第1配線46と、第1配線46から間隔をあけて半導体層34上から引き出された第2配線48と、第1配線46、第2配線48、半導体層34及び第1透明電極14を覆う第2絶縁層54と、第2絶縁層54上に形成された第2透明電極60と、第2透明電極60の上に配置された液晶層66と、を有する。第1透明電極14と第2透明電極60の間に印加される電圧によって、基板10の面方向に電界を加えて、液晶層66の液晶分子を基板10と平行な面内で回転させる。 (もっと読む)


【課題】安定した電気特性を有する薄膜トランジスタを有する電位保持機能の高い固体撮
像素子を提供する。
【解決手段】酸化物半導体層を用いて薄膜トランジスタのオフ電流を1×10−13A以
下とし、該薄膜トランジスタを固体撮像素子のリセットトランジスタ及び転送トランジス
タの両方に用いることで信号電荷蓄積部の電位が一定に保たれ、ダイナミックレンジを向
上させることができる。また、周辺回路に相補型金属酸化物半導体素子が作製可能なシリ
コン半導体を用いることで高速かつ低消費電力の半導体装置を作製することができる。 (もっと読む)


【課題】静電破壊による歩留まりの低下を防ぐことができる半導体装置。
【解決手段】複数の画素を選択するための信号を走査線に供給する走査線駆動回路が、上記信号を生成するシフトレジスタを有しており、上記シフトレジスタにおいて、複数のトランジスタのゲート電極として機能する一の導電膜を複数に分割し、上記分割された導電膜どうしを、分割された導電膜と異なる層に形成された導電膜により、電気的に接続する構成を有する。上記複数のトランジスタには、シフトレジスタの出力側のトランジスタが含まれるものとする。 (もっと読む)


【課題】ショートチャネル特性などを向上する。
【解決手段】n型FET111Nの半導体活性層111Cの上面に、バックゲート絶縁膜401を介してバックゲート電極121を金属材料で形成する。ここでは、バックゲート電極121,221について、半導体活性層111Cの上面においてゲート電極111Gおよび一対のソース・ドレイン領域111A,111Bに対応する部分を被覆するように、バックゲート電極121を形成する。 (もっと読む)


【課題】インバータ回路を構成する直列接続された素子を備えた半導体装置において、その直列接続の高電位配線の影響による耐圧低下が生じるのを防止する半導体装置の提供。
【解決手段】第1および第2の素子は、各々、電流のスイッチングを行うトランジスタと、還流を行うダイオードとを含み、かつ、トランジスタの第1主電極とダイオードの第1主電極が電気的に接続され、トランジスタの第2主電極とダイオードの第2主電極が電気的に接続され、第1の素子および第2の素子は、第1の素子におけるトランジスタの第1主電極と、第2の素子におけるトランジスタの第2主電極が電気的に接続され、かつ、半導体基板を平面視したときに、第1の素子におけるトランジスタの第1主電極とドリフト領域の間の導電性半導体領域と、第2の素子におけるトランジスタの第2主電極とドリフト領域の間の導電性半導体領域とが対向するように、配置されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、接続電極のピッチを大きくせずにゲートの寄生容量を小さくすることができ、回路の高速化と層間接続の高密度化の両立が図れる積層型半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】第1のゲート60と、該第1のゲートよりも下層に形成された第1及び第2の不純物拡散領域31、33とを有する第1の半導体素子70と、
前記第1のゲートと対向して接合された第2のゲート65と、該第2のゲートよりも上層に形成された第3及び第4の不純物拡散領域36、38とを有する第2の半導体素子75と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】酸化物半導体を含み、高速動作が可能なトランジスタを提供する。または、該トランジスタを含む信頼性の高い半導体装置を提供する。
【解決手段】下地絶縁層の溝に埋め込まれた電極層上に、一対の低抵抗領域及びチャネル形成領域を含む酸化物半導体層を設ける。チャネル形成領域は、サイドウォールを側壁に有するゲート電極層と重なる位置に形成される。溝は、深い領域と浅い領域を有し、サイドウォールは、浅い領域と重なり、配線との接続は、深い領域と重なる。 (もっと読む)


【課題】放射線耐性能力をさらに向上することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板1の上方に形成された第1絶縁膜12と、第1絶縁膜12の上方に形成され、下部電極17と上部電極19に挟まれる強誘電体膜18を有するキャパシタQと、キャパシタの上に形成される第2絶縁膜26と、を有し、第1絶縁膜12と下部電極17の間に、Pb又はBiが添加された結晶を持つ絶縁材料膜から形成される第3絶縁膜16、38と、
を有する。 (もっと読む)


【課題】大型化に適した薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタアレイ基板、フレキシブル表示素子、フレキシブル表示装置及び薄膜トランジスタアレイ基板の製造方法を提供する。
【解決手段】フレキシブルな樹脂基板60に形成された薄膜トランジスタ200であって、周面の一部又は全部が導電性材料20により覆われたワイヤー10と、前記導電性材料を覆う絶縁膜30と、該絶縁膜を介して前記導電性材料上に形成された薄膜半導体40と、が一体的に構成されたゲート・チャネル一体形成部50を有し、該ゲート・チャネル一体形成部が前記樹脂基板の表面上又は内部の所定位置に設けられ、前記薄膜半導体の両側に第1及び第2の電極70、80が接続されて形成されたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】トンネルトランジスタの高電圧での駆動力を向上させることが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、半導体装置は、基板と、前記基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極とを備える。さらに、前記装置は、前記基板内に前記ゲート電極を挟むように形成された、第1導電型の第1の主端子領域および前記第1導電型とは逆導電型の第2導電型の第2の主端子領域を備える。さらに、前記装置は、前記基板内において、前記第2の主端子領域の下面に接し、前記第1の主端子領域と離間された位置に形成された、前記第1導電型の第1の拡散層を備える。 (もっと読む)


【課題】 画素の容量値を調節することが可能で高いS/N比が得られる検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板100の上に配置されたトランジスタ130と、トランジスタ130の上に配置され、トランジスタ130と接続された変換素子110と、変換素子110と接続されたオーミックコンタクト部151と、オーミックコンタクト部151と接続された半導体部152と、絶縁層101を介して半導体部152及びオーミックコンタクト部151と対向して配置された導電体部154と、を基板100と変換素子110との間に有して、トランジスタ130に対して変換素子110と並列に接続された容量素子150と、半導体部152にキャリアを蓄積させる第1電位と、半導体部152を空乏化させる第2電位と、を導電体部154に供給する電位供給手段と、を有する。 (もっと読む)


【課題】 有機樹脂膜を有するTFTアレイ基板の製造工程において、ブラシ洗浄の際に異物が有機平坦化膜表面にキズを生じさせることがある。このようにキズが生じた有機平坦化膜上に、画素電極となる透明電極膜を成膜した場合、キズ上の透明電極膜も断線してしまい、画素電極に信号が伝わらず表示不良を引き起こすことがある。
【解決手段】 有機平坦化膜を塗布する工程と、中間調露光を用いて有機平坦化膜に凹凸を形成する工程と、凹凸が形成された有機平坦化膜表面をロールブラシを用いて洗浄する工程と、洗浄工程後に、有機平坦化膜上に画素電極を構成する透明導電膜を成膜する工程とを備えた薄膜トランジスタアレイ基板の製造方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】大量生産上、大型の基板に適している液滴吐出法を用いた製造プロセスを提供す
る。
【解決手段】液滴吐出法で感光性の導電膜材料液を選択的に吐出し、レーザ光で選択的に
露光した後、現像またはエッチングすることによって、レーザ光で露光した領域のみを残
し、吐出後のパターンよりも微細なソース配線およびドレイン配線を実現する。TFTの
ソース配線およびドレイン配線は、島状の半導体層を横断して重ねることを特徴としてい
る。 (もっと読む)


【課題】水分による電気特性劣化が抑制された半導体装置および半導体装置の作製方法を提供する。
【解決手段】トランジスタを覆う層間絶縁層に接して金属酸化物層が位置する構造とし、金属酸化物層を、アモルファス構造を有する第1の金属酸化物層と、多結晶構造を有する第2の金属酸化物層を含む積層構造とする。アモルファス構造を有する第1の金属酸化物層は結晶粒界が存在せず、また、結晶状態の金属酸化物層と比較して格子間隔が広いため格子間に水分をトラップしやすい。多結晶構造を有する第2の金属酸化物層は、結晶粒界部分を除く結晶部分については緻密な構造を有しており、水分の透過性が非常に低い。このため、第1の金属酸化物層および第2の金属酸化物層を含む金属酸化物層が層間絶縁層に接する構造とすることにより、トランジスタ中への水分の侵入を効果的に防止できる。 (もっと読む)


【課題】ハイブリッド基板構造を有する半導体集積回路装置においては、SOI−MISFETとバルク−MISFETの混在する結果、ゲートファースト方式で両方のMISFETを作製した場合、それぞれでゲート材料に合った構造設計が必要である。バルク−MISFETはこれまでに多くの知見があり、ゲート材料変更に伴う構造変更は開発コストの増大を招くことになるため、可能な限りバルク−MISFETの構造を維持したい。また従来のゲートラスト方式でゲート電極材料の変更を行う場合は、プロセスの複雑化や製造コスト増大などの問題を招く恐れがある。
【解決手段】本願発明は、半導体基板のデバイス面上にSOI構造とバルク構造が混在するハイブリッド基板構造を有する半導体集積回路装置において、前記デバイス面を基準とするSOI型MISFETのゲート電極の高さを、バルク型MISFETのゲート電極の高さよりも高くしたものである。 (もっと読む)


【課題】消費電力を小さくでき、トランジスタ数が少ない半導体装置を提供する。
【解決手段】ソース及びドレインの一方が第1の配線と電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が第2の配線と電気的に接続された第1のトランジスタと、ソース及びドレインの一方が第1の配線と電気的に接続され、ゲートが第1のトランジスタのゲートと電気的に接続された第2のトランジスタと、一方の電極が第3の配線と電気的に接続され、他方の電極が第2のトランジスタのソース及びドレインの他方と電気的に接続された容量素子と、を有する。 (もっと読む)


【課題】トランジスタのしきい値電圧の制御を行いながら、ゲート電極の電位は変動させず、バックゲート電極の電位のみを変動させることで、入力信号に応じた信号を出力することが可能な論理回路を有するシフトレジスタ回路を提供する。
【解決手段】同じ導電型の第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを有する論理回路、を含むシフトレジスタ回路において、第1のトランジスタの第1のゲート電極を、第1のトランジスタのソース電極またはドレイン電極に接続し、第1のトランジスタの第2のゲート電極に入力信号を供給し、第2のトランジスタのゲート電極にクロック信号を供給し、第1のゲート電極と、ゲート電極とは、同じ層とする。 (もっと読む)


【課題】剥離前の形状及び特性を保った良好な状態で転置工程を行えるような、剥離工程
を用いて半導体装置及び表示装置を作製できる技術を提供する。よって、より高信頼性の
半導体装置及び表示装置を装置や工程を複雑化することなく、歩留まりよく作製できる技
術を提供することも目的とする。
【解決手段】透光性を有する第1の基板上に光触媒物質を有する有機化合物層を形成し、
光触媒物質を有する有機化合物層上に素子層を形成し、光を第1の基板を通過させて、光
触媒物質を有する有機化合物層に照射し、素子層を前記第1の基板より剥離する。 (もっと読む)


【課題】無線通信により交信可能な半導体装置において、個体識別子を容易に付けることができるようにする。
【解決手段】薄膜トランジスタ119と、薄膜トランジスタ上に第1の層間絶縁膜156と、第1の層間絶縁膜上の、ソース領域またはドレイン領域の一方に電気的に接続される第1の電極114と、ソース領域またはドレイン領域の他方に電気的に接続される第2の電極110と、第1の層間絶縁膜、第1の電極、及び第2の電極上に形成された第2の層間絶縁膜135と、第2の層間絶縁膜上の、第1の電極または第2の電極の一方に電気的に接続される第1の配線177と、第2の層間絶縁膜上の、第1の電極または第2の電極の他方に電気的に接続されない第2の配線178とを有し、第2の配線と前記第1の電極または第2の電極の他方は、第2の層間絶縁膜中の分断領域169によって、電気的に接続されない半導体装置及びその作製方法に関するものである。 (もっと読む)


【課題】耐圧バラツキを抑制し、歩留りを向上させることが可能となる横型素子を有する半導体装置を提供する。
【解決手段】横型FWDなどの横型素子に備えられるSRFP21について、の不純物濃度を1×1018cm-3以上となるようにする。このように、横型FWD7などに備えられるSRFP21について、の不純物濃度を1×1018cm-3以上とすることにより、耐圧バラツキを抑制することが可能となり、的確に目標とする耐圧を得ることができる製品とすることが可能になる。したがって、製品の歩留りを向上させることが可能となる。 (もっと読む)


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